JPS6129166A - 機能トリミング方法 - Google Patents
機能トリミング方法Info
- Publication number
- JPS6129166A JPS6129166A JP14988184A JP14988184A JPS6129166A JP S6129166 A JPS6129166 A JP S6129166A JP 14988184 A JP14988184 A JP 14988184A JP 14988184 A JP14988184 A JP 14988184A JP S6129166 A JPS6129166 A JP S6129166A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- hybrid integrated
- trimming
- bias power
- trimming method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/01—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate comprising only passive thin-film or thick-film elements formed on a common insulating substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、混成集積回路の機能トリミング方法に関する
。
。
（従来技術）
従来大電流制御用等に使用される、消費電力の大きい混
成集積回路の機能トリミングを行う場合、混成集積回路
の内部発熱による、特性値の変動又電源を間欠的に印加
することで混成集積回路の上昇を抑えるという方法を用
いておシ、特性値の調節に、長時問責やすという欠点が
ち９だ。
成集積回路の機能トリミングを行う場合、混成集積回路
の内部発熱による、特性値の変動又電源を間欠的に印加
することで混成集積回路の上昇を抑えるという方法を用
いておシ、特性値の調節に、長時問責やすという欠点が
ち９だ。
（発明の目的）
本発明の目的は、消費電力の大きい混成集積回路に連続
的にバイアス電源を印加し、特性値の調節時間を短縮す
ることを可能とする、機能トリミング方法を提供するこ
とである。
的にバイアス電源を印加し、特性値の調節時間を短縮す
ることを可能とする、機能トリミング方法を提供するこ
とである。
（発明の構成）
本発明の機能トリミング方法は、混成集積回路の基板表
面又は基板裏面に、空気等の気体を送風することで混成
集積回路を冷却しながら、レーザー光を照射して、特性
値を調節することを特徴とする。
面又は基板裏面に、空気等の気体を送風することで混成
集積回路を冷却しながら、レーザー光を照射して、特性
値を調節することを特徴とする。
（実施例）
以下に図面を用いて説明する。
第１図は従来の機能トリミングを行う概略図でア如、混
成集積回路１とバイアス電源７の間に、スイッチ９を設
け、バイアス電源７を間欠的に印よる機能トリミングの
概略図である。同図において混成集積回路１は、送風機
構の１実施例である送風管１０を通して送られた空気等
の気体１１が吹きつけられ、冷却される。−例では、バ
イアス電源７が、連続的に該混成集積回路１に印加され
ていても第３図１３の曲線に示すごとく３０℃以下に該
混成集積回路の温度上昇を抑えることが可能であり、特
性値の変動は、はとんど見られなかった。又、内部発熱
による搭載部品等の熱破壊を起こすこともない。
成集積回路１とバイアス電源７の間に、スイッチ９を設
け、バイアス電源７を間欠的に印よる機能トリミングの
概略図である。同図において混成集積回路１は、送風機
構の１実施例である送風管１０を通して送られた空気等
の気体１１が吹きつけられ、冷却される。−例では、バ
イアス電源７が、連続的に該混成集積回路１に印加され
ていても第３図１３の曲線に示すごとく３０℃以下に該
混成集積回路の温度上昇を抑えることが可能であり、特
性値の変動は、はとんど見られなかった。又、内部発熱
による搭載部品等の熱破壊を起こすこともない。
（発明の効果）
本発明によれば、連続的にバイアス電源を、混成集積回
路に印加して特性値の調節が可能である為、トリミング
時間を短縮することが可能である。
路に印加して特性値の調節が可能である為、トリミング
時間を短縮することが可能である。
尚本発明の実施例で、混成集積回路の基板表面を、空気
等の気体を送風し冷却しながらトリミングを行う方法を
示したが該混成集積回路の基板裏面に該気体を送風しな
がらトリミングを実施してもよいことは、もちろんであ
る。
等の気体を送風し冷却しながらトリミングを行う方法を
示したが該混成集積回路の基板裏面に該気体を送風しな
がらトリミングを実施してもよいことは、もちろんであ
る。
第１図は従来の機能トリミングの概略図、第２図は本発
明の機能トリミングの概略図、第３図は内部発熱による
混成集積回路の温度曲線である。 図において、１・・・・・・混成集積回路、ス４・・・
・・・バイアス電源印加プローブ、３，５・・・・・・
測定用グローブ、６・・・・・・レーザー光、７・・・
・・・バイアス電源、８・・・・・・計測器、９・−・
・・・スイッチ、１０・・・・・・送風管、１１・・・
・・・冷却用気体、１２・・・・・・冷却しない時の温
度曲線、１３・−・・・・冷却した場合の温度曲線。
明の機能トリミングの概略図、第３図は内部発熱による
混成集積回路の温度曲線である。 図において、１・・・・・・混成集積回路、ス４・・・
・・・バイアス電源印加プローブ、３，５・・・・・・
測定用グローブ、６・・・・・・レーザー光、７・・・
・・・バイアス電源、８・・・・・・計測器、９・−・
・・・スイッチ、１０・・・・・・送風管、１１・・・
・・・冷却用気体、１２・・・・・・冷却しない時の温
度曲線、１３・−・・・・冷却した場合の温度曲線。
Claims (1)
- 混成集積回路の基板表面又は、基板裏面に、空気等の
気体を送風することで該混成集積回路を冷却しながら、
レーザー光を照射して、特性値を調節することを特徴と
する機能トリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14988184A JPS6129166A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 機能トリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14988184A JPS6129166A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 機能トリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6129166A true JPS6129166A (ja) | 1986-02-10 |
Family
ID=15484674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14988184A Pending JPS6129166A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | 機能トリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6129166A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9791046B2 (en) | 2011-10-27 | 2017-10-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Rotary machine |
-
1984
- 1984-07-19 JP JP14988184A patent/JPS6129166A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9791046B2 (en) | 2011-10-27 | 2017-10-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Rotary machine |
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