JPS61287108A - ソレノイド構造体及び製造方法 - Google Patents

ソレノイド構造体及び製造方法

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JPS61287108A
JPS61287108A JP61127846A JP12784686A JPS61287108A JP S61287108 A JPS61287108 A JP S61287108A JP 61127846 A JP61127846 A JP 61127846A JP 12784686 A JP12784686 A JP 12784686A JP S61287108 A JPS61287108 A JP S61287108A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明はソレノイド9、特に比例式ソレノイド及びこれ
の製造方法に関する。
(従来技術) 汎用ソレノイドは、閉じた行程ギャップにおける力が初
期始動行程ギャップにおいて発生される力よりも大きい
というカー行程曲線を与える。このようなソレノイドは
時折「オン・オフ」ソレノイドと呼ばれ、励磁される(
「オン」)と完全動作位置になり、又非励磁(「オフ」
)にされると完全中立位置になる。この形式のソレノイ
ド9では可動子を動作させて行程ギャップを閉じるため
に、ンレノイrは運動の軸に垂直な任意の摩擦力又は側
面荷重磁気力を含む荷重に打ち勝つのに十分なだけの力
を与えなければならない。
ソレノイドの出力をコイルに加えられる電流に比例させ
るようにする力対行程曲線を与えるような比例式ソレノ
イド9は久しく知られている。この出力の力の比例性の
ためにそのようなソレノイド9はソレノイドコイルに全
部又は部分的な電流を選択的に加えることによって負荷
を完全又は部分的に動作させることができ、これにより
ギャップの直線距離に沿って可動子を選択的に配置する
ことができる。
この形式のソレノイドを正確に動作させるためにはソレ
ノイド°の力が正確に制御されなければならない。摩擦
力及び側面荷重力は、製造の際の公差及びソレノイド9
により動作させられる機器を含む正確に制御されること
ができない多くの要因によって変化し、ソレノイドの設
計の際にはそれらの影響を最小限にすることが望ましい
比例式ソレノイド9の従来技術の沿革及びそのようなソ
レノイド9の諸問題は米国特許第3900822号(ハ
ードウィック−Hardwick)の第1欄に記載され
ている。
従来の比例式ソレノイド9は可動子棒と固定磁極片との
間の軸受を含む多くの複雑な支え面を備えていた。例え
ば、比例式ソレノイド9のための必要な構造を与えるた
めに且つ又可動子の同心性を与えるために、rイツ国特
許第1270178号、米国特許第3870931号及
び同第3970981号のそれぞれに開示されるような
可動子のための複雑な軸受及び構造体支持具が設けられ
た。七のよ5な構造は非常に微細な製造公差を必要とし
、そのようなソレノイドを組み立てることは困難であっ
た。
前記の従来技術の特許の同心性の問題を克服し且つ可動
子と固定磁極片との同心性を維持するため同心管を設け
るために、図面の第1図に示されたような多区分可動子
管10が発明された。この多区分可動子管10は円すい
台形外面14を備えた強磁性体製の磁性区分12を含ん
でいる。この管の次の区分は区分12の面14にろう付
は又はその他の方法で恒久的に固定させた非磁性黄銅°
環16であって、これは反対側の円すい台形面18に沿
って強磁性体製の第3区分20にろう付けされ又は恒久
的に固定されている。従って、非磁性黄銅環の中央区分
16は実質的な非磁性半径方向横断円すい台形ギャップ
を与えており、このギャップは可動子の行程ギャップと
同じ長さに広がっている。管10は強磁性体製の固定磁
極片22に圧入され又はその他の方法で恒久的に固定さ
れている。複合可動子管10及び固定磁極片22はソレ
ノイドコイル(図示せず)に受け入れ且つ取り付けられ
ている。
強磁性体製の可動子24には例えば青銅製ブシュからな
る一対の隔置された非磁性支え面26が設けられている
。可動子24に恒久的に取り付けられ且つ固定磁極片2
2の中心穴32内で滑動可能な押し棒30を取り囲んで
いる非磁性詰め金28がある。
第1図に示された三区分管の構造は、三つすべての区分
が互いにろう付は又はその他の方法で固定されて一つの
連続した多区分多金属可動子管を形成していることを除
いては米国特許第3970981号に示された構造に類
似している。
(発明の概要) 本発明は、ソレノイドコイルに受け入れられるように構
成された中空のンレノイr可動子管、この管の一端部に
固定された固定磁極片部材、及び可動子管中において軸
方向に滑動可能に構成された可動子部材を設けて、前記
の両部材の一方に軸方向に延長したくほみを設けると共
に前記の両部材の他方に前記のくぼみに受け入れられる
ように構成され且つこれと相補的になっている減小断面
端部部分を設ける。前記減小断面端部部分を設けた部材
には更にくぼみの内部に形成された半径方向内側に向い
た円すい台形の面を設け、前記の可動子管によって前記
の両部材の同心性が与えられるようにし、且つ前記の可
動子管には可動子の行程によって作られるギャップと同
軸的に延長した非磁性部分を設けてなるものである。
本発明は、従来技術のンレノイrよりも複雑でない構造
により比例式ソレノイドにおける同心性の問題を最小限
にするものである。これは単一の金属製可動子案内管の
同じ円筒形面内に固定磁極片と可動子の両方を収容する
ことによって行われる。
本発明は比例式ソレノイドに関するものである。
本発明の目的は、前述のような従来技術−における問題
を克服した改良形ソレノイド°構造を与えることである
本発明の主要な目的は、従来技術のものよりも簡単な構
造により磁気的側面荷重力の影響を減小させることであ
る。これは可動子の減小直径円筒形鼻部と固定磁極片に
おけるそれと係合する円筒形くぼみとの間の同心性を制
御することによって行われる。可動子と固定磁極片の両
方が単一の金属製案内管の穴によって閉じ込められてい
るので同心性が維持される。
更に本発明の目的は、可動子の直線部分の大部分と隣接
の磁性部材との間に非磁性空間を与えることによって磁
気的側面荷重力を最小にすることであり、この非磁性空
間は、一様な非磁性支え面を設けるか又は単に案内管全
体を非磁性にするなどのような少なくとも幾つかの方法
によって与えることができる。
(実施例) 本発明を以下図面を参照して詳細に説明する。
なお、図面において同じ符号は同じ部分を示している。
第2図に示された本発明の好適実施例は汎用比例式ソレ
ノイド9である。本発明の構成は、耐圧性の穴(内腔)
を必要とする比例式ソレノイド、例えば油圧(水圧)装
置に使用されるような比例式ソレノイドに容易に適用す
ることができる。又、本発明はプッシュプル式ソレノイ
ドに容易に適用することができる。図示した実施例につ
いて強磁性体で作られた外側ハウジング31がある。強
磁性体で作られた端部座金32及び端部座金33はハウ
ジング31に圧入されている。ハウジング31並びに端
部座金32及び33は巻型(ボビ功35に巻かれた電気
的巻線又はコイル34を包囲している。
同心案内管又は中空ソレノイド可動子管36は磁性ステ
ンレス鋼材料製の単一金属管であることが望ましく、強
磁性体製の可動子45を受けるように構成された円筒形
可動子室29を規定している。可動子45は可動子室2
9内で軸方向に滑動するように構成されている。可動子
管36には(以下において更に詳細に説明される)円筒
形非磁性中間部分37がある。
第2図及び第3図、並びに第5〜8図に示される実施例
においては、可動子管36は(米国特許第363313
9号に記載されているように)半オーステナイト系鋼、
例えば17−7P、H,(析出硬化)ステンレス鋼とし
て知られているもので作ることが望ましい。非磁性(オ
ーステナイト系)部分37は可動子管36の非磁性部分
37を通過しようとする磁界に対して妨害を与え、これ
により、以下において更に詳細に説明される磁力の減小
しているギャップを与えている。非磁性部分37の両側
における可動子管36の残りの部分は半径方向に通過す
る磁界の妨害を最小にするために磁性体(マルテンサイ
ト系)から成る。又は、可動子管36は、その壁厚が十
分に薄くて磁気損失を十分に小さく保ち、ソレノイド9
を所望の効率で動作させることができる場合には、完全
に非磁性であってもよい。
製造上の見地からは費用がかかるのであまり望ましくな
いかもしれないけれども、本発明の概念の範囲内におい
て、単一管36の代わりに、磁力の減小している所望の
ギャップに沿って軸方向に延びた少なくとも一つの非磁
性部分を備えた溶接又はろう付は式多区分管を設けて、
本発明の概念及び機能を果たすことが可能であろう。
可動子管36の一端には固定磁極片39が固定されてい
て、これにより可動子室29の一端が規定されている。
第2図に示す実施例の固定磁極片39には半径方向外側
に向いた円すい台形の面54があって、これは環状で管
36の中心軸に対して同心的になっており且つ固定磁極
片39の軸方向円筒形同心くぼみ56(これもやはり管
の中心軸と同心的である)を取り囲んでいる。固定磁極
片39には可動子45に恒久的に取り付けられた非磁性
押し棒60を受けるように構成された中心穴58がおる
。ソレノイドが押すのではなく引っ張るために設計され
るのでちれば、穴58及び棒60は必ずしも必要ない。
固定磁極片39は強磁性体で作られており、可動子管3
6の穴52に一圧入されている減小した外径50を持っ
た直線部分がある。
このように、固定磁極片39と可動子45とは可動子管
36によって同心的に維持されている。
可動子45は第2図においてその励磁位置にあるとき実
線で示され、又その非励磁又は「中立」位置にあるとき
破線45Aで示されている。
可動子管36の非磁性部分37はエアギャップ38を取
り囲んでいる。可動子45には肩部42によって取り囲
まれた、中央減小断面軸方向円筒形同心端部部分即ち鼻
部62がある。この減小断面部分62は固定磁極片39
の円筒形くぼみ56に受け入れられていてこれと相補的
になっている。
可動子45の肩部42(後退位置においては破線の42
Aで示す)は、固定磁極片39の半径方向外側に向いた
円すい台形部分41まで軸方向に延びたエアギャップ3
8を規定している。
第2図に示した実施例における非磁性部分37及びエア
ギャップ38はそれぞれ線Bで表された可動子45の内
部半径方向端面40から線D(第2図)まで同軸的に延
び、その線りは可動子45がその非励磁位置にあるとき
の肩部42Aの位置である。この実施例では、非磁性部
分37及びエアギャップ38は、線BとEとの間にある
第2図に図示された可動子の全行程を越えており、第2
図のBからCまでの「動作行程」と第2図の線CからE
までの「過移動」行程とを含んでいる。これらの行程の
それぞれの力特性は、これらの力特性を図示した第4図
を参照して以下において説明される。
すなわち、管の非磁性部分37は第2図においてBとD
との間に示された磁力の減小したギャップ(以下、減小
磁気ギャップと呼ぶ)を与えており、従ってこの実施例
においてはこの減小磁気ギャップはエアギャップ38と
同軸的に同じものであって、やはり第2図の線BとDと
の間に延びており、従って、第2図の線B、!:Eとの
間にだけ延びている可動子の全行程よりも同軸的に長い
減小磁気ギャップが与えられる。当業者には理解される
であろうが、非磁性部分37の同軸距離を選択的に変化
させて所望の選択された磁力が可動子45に発生される
ようにし、これにより所望の選択された比例した力の出
力又は力の曲線が得られるようにすることができる。そ
のような所望の一曲線が第4図に示されているが、その
他の曲線も所望により得ることができる。既述のように
、可動子管36は非磁性ステンレス鋼のよ5な完全に非
磁性の材料で構成されてもよい、重要なことは、可動子
管36の非磁性部分37が、選択された磁力を可動子4
5上に発生させて所望の選択された比例した力の出力及
び曲線を得ることが十分に可能なように可動子行程の少
なくとも選択された部分において同軸的に延びているこ
とである。
可動子45の外部円筒面46には化学ニッケルめっきに
よって作られた一対の円筒形の隔置された一様な非磁性
支え面64が設けられている。すなわち、可動子45と
可動子管36との間には一様な非磁性空間が設けられて
いて、これが摩擦力及び側面荷重力の影響を最小にして
いる。第4図の図表における線AとBとの間の曲線部分
によって示されるような望ましくない上昇力特性を与え
る行程の部分をなくするために非磁性の黄銅シム66が
設けられている。
第4図に示された図表は、外径4.45crIL(1,
75インチ)、長さ5.1c!rL(2インチ)の寸法
を持った20オームのコイルと2.24crrL(0,
88インチ〕の穴を備えた第2図のソレノイドに対する
典型的な力(ポンド、1ポンド”−0,45に9)対行
程(インチ、1インチ−2,542)曲線を示している
。線EとC(第4図)との間の実線74で示された力は
「過移動」行程と呼ばれ、「動作」行程ギャップG−B
を越えて付加的な行程ギャップが必要とされるときに使
用される。この付加的な行程ギャップは他のある種の用
途、例えば二重ソレノイド9油圧弁における用途のため
に必要とされることがある。第4図の線CとBとの間の
実線72で示された力は、ソレノイドの「動作」行程中
可動子45が第2図の部分的に励磁された「C」位置か
ら第2図の完全に励磁された(実線)「B」位置まで移
動するときの力であってほぼ一定の力特性を示して)・
る。
線AとB(第4図)の間の曲線又は線70で示された破
線の力は一般に望ましくないものであって、前述のよう
に詰め金66を挿入することに二って除去される。
第3図は本発明の第2実施例の一部分な図示したもので
、この実施例では固定磁極片39の半径方向外側に向い
た円すい台形の面54(第2図)の相対的位置が逆にな
っている。すなわち、第3図の可動子78に半径方向外
側に向いた円すい台形の面76が設けられ、且つ又第3
図の固定磁極片82には第2図の鼻部片62に対応する
減小断面円筒形端部部分又は鼻部84が設けられていて
部品の対応する反転が行われている。半径方向外側に向
いた円すい台形の面76は第2図の固定磁極片38のく
ぼみ56に対応する軸方向の円筒形同心くぼみ80を取
り囲んでいる。可動子78及び固定磁極片82は可動子
管86によって同心的に維持されている。第3図の実施
例の構造の残りの部分は第2図の実施例におけるものと
同様である。
可動子管内に配置される固定及び可動磁極片は、相補的
くぼみ及びそのくぼみ内に配置される減小断面端部部分
を有し、第2図及び第3図に関連して前述した如く1つ
の磁極片のくぼみを取り囲む外側に向いた円錐台形面を
設けているが、それ以外の円錐台形磁極片も可能である
。その例を第5図乃至第8図に示す。
これらの変形例は、基本的には第2図及び第3図に関連
して前述したものと同じ構造であり、可動子管36内に
同軸的に整列した固定及び可動磁極片を含み、前述した
ものと同じソレノイド構造を使用している。また、1つ
の磁極片の端部に形成されるくぼみ56の基本構造及び
くぼみ56の′  内部に配置されるべき他方の磁極片
に形成される相補的突出部即ち鼻部62を有することに
ついても第2図及び第3図の実施例と同じである。
第5図に示すように、円錐台形磁極片部は、相補的くぼ
み及び末端突出部に対して可動子45αに形成される円
錐形部として形成され、その円錐形部は第6図において
固定磁極片39b上に形成される。半径方向外側に向い
た円錐台形面を有する円錐形部の代りに、第5図の固定
磁極片39αのくぼみ56α又は第6図の可動子45b
のくぼみ56bを取り囲む相補的な減小断面端部即ち鼻
部62α又は62bは、くぼみ56α又は56bの内部
に配置される半径方向内側に向いた円錐台形面95で形
成される。これらの構成は、第2図及び第3図に示す実
施例と同様に、第4図に示すような線形部分を有する力
対行程曲線を示す比例式ソレノイド9を提供することが
できる。
磁極片45α、39α、45b及び39bは、別の方法
として、前述した如く可動子管36内に同心状に配列さ
れ、ソレノイド構造の残りは、第2図の実施例に関連し
て詳述したものと同じ構成要素を使用することが好まし
い。これらには、可動子の肩部42と固定磁極片39α
又は39bとの間に設けられる座金状シム66αが含ま
れ、第2図の実施例におけるシム66と同じ目的(即ち
、固定及び可動磁極片が接近して接触するのを防止する
)を達成する。また、押し棒60は固定磁極片内の穴5
8を通って伸びる(引っ張り形ソレノイド9ではこの棒
60は必要ない)。
更に、第7図及び第8図に示すような、固定磁極片と可
動磁極片との間に対向する円錐形部の対を設けても比例
式ソレノイド9を得ることができる。
第7図の実施例の可動子45αは第5図の実施例の可動
子45αと類似しているが、固定磁極片39Cは、第2
図の実施例の円錐台形面54と同様に、くぼみ56αを
取り囲む外側に向いた円錐台形面54αを有する。内側
に向いた円錐台形面95と外側に向いた円錐台形面54
αとの間で相互に重なり合って動く円錐形部は、第4図
に示すような線形部分を有する力対行程曲線を示す。
可動子45αが固定磁極片39Cに接近するのを制限す
るため押え器具が設けられなければならないが、第2.
3.5及び6図に示すような慣用のシム66を使用する
余地がないので、接合ピン又はストップ・カラー96が
押し棒60に固着される。
第8図の実施例は、第7図の実施例と形状が逆で、くぼ
み56bは可動子45Cに形成され、減小断面端部即ち
鼻部62αは固定磁極片39bに形成される。これによ
って、半径方向内側に向いた円錐台形面95はくぼみ5
6bの内部に配置され、半径方向外側に向いた円錐台形
面54αによって取り囲まれる。この効果は、第7図の
ソレノイドと同様である。
本発明を実施例に従って説明したが、本発明の範囲内に
おいて他の多くの変更及び修正が可能であることは当業
者には明らかである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来技術のソレノイド管及び磁極片の断面図で
ある。 第2図はソレノイドコイル及びI・ウジングの加わった
本発明の一実施例の断面図である。 第3図は本発明の第2実施例の一部分を示す断面図であ
る。 第4図は本発明によって与えられるソレノイド29:可
動子室   34:コイル3 6:可動子管   37:非磁性部分38:とアギャッ
プ 39:固定磁極片45:可動子

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)a)ソレノイドコイルに受け入れられるように構
    成され且つ内部に可動子室を備えている中空のソレノイ
    ド可動子管、 b)前記の可動子室の一端部に固定され且 つこの一端部を規定する固定磁極片部材、及び c)前記の磁極片部材に対して軸方向に滑 動可能に前記の可動子管の前記の可動子室内に配置され
    且つ前記の磁極片部材に対して可動子行程を規定する可
    動子部材、を設け、 d)前記の両部材の一方に軸方向に延長し たくぼみを設けると共にそれの他方の部材に前記のくぼ
    みに受け入れられるように構成され且つこのくぼみと相
    補的になつている減小断面端部部分を設け、 e)前記他方の部材に、前記くぼみ内に設 けられ且つ前記減小断面端部に形成された半径方向内側
    に向いた円すい台形の面を設け、f)前記の可動子管に
    、選択された磁力を 前記の可動子上に発生させるのに十分な、前記の可動子
    行程の少なくとも一部分と同軸的に延長した減小磁気ギ
    ャップを規定する非磁性部分を設け、且つ g)前記の可動子管により前記の両部材の 同心性が与えられるようにした、 ソレノイド用の組立体。
  2. (2)前記の可動子管が単一の金属管からなつている、
    特許請求の範囲第1項に記載の組立体。
  3. (3)摩擦を減小させるために前記の可動子部材と前記
    の可動子管との間に非磁性支持装置を設けた、特許請求
    の範囲第1項に記載の組立体。
  4. (4)前記の支持装置が前記の可動子室と前記の可動子
    管との間に非磁性空間を与えている、特許請求の範囲第
    3項に記載の組立体。
  5. (5)前記の支持装置が前記の可動子に沿つて直線的に
    隔置された複数の周囲支え面からなつている、特許請求
    の範囲第4項に記載の組立体。
  6. (6)前記の固定磁極片部材が、前記の可動子管の一端
    部の内面に受け入れられてこれと係合するように構成さ
    れた減小断面部分を備えている、特許請求の範囲第1項
    に記載の組立体。
  7. (7)前記の可動子管が、これの前記の非磁性部分に沿
    つて非磁性になるように処理された単一の半オーステナ
    イト系材料の管からなつている、特許請求の範囲第1項
    に記載の組立体。
  8. (8)前記の可動子管が非磁性単一管からなつている、
    特許請求の範囲第1項に記載の組立体。
  9. (9)前記の可動子管が非磁性金属単一管からなつてい
    る、特許請求の範囲第1項に記載の組立体。
  10. (10)前記一方の部材が、前記くぼみを取り囲み前記
    可動子室へ延びた半径方向外側に向いた円すい台形の面
    を有する、特許請求の範囲第1項に記載の組立体。
  11. (11)a)ソレノイドコイルに受け入れられるように
    構成され且つ内部に円筒形可動子室を備えている単一の
    円筒形金属製中空ソレノイド可動子管、 b)前記の可動子室の一端部に固定され且 つこの一端部を規定する固定磁極片部材、及び c)前記の可動子管の前記の可動子室内に おいて軸方向に滑動可能に配置されて前記の磁極片部材
    に対して行程ギャップを規定し且つ前記の磁極片部材に
    対して可動子行程を規定する円筒形可動子部材、を設け
    、 d)前記の両部材の一方に軸方向の同心円 筒形くぼみを形成すると共にそれの他方の円筒形部材に
    前記のくぼみに受け入れられるように構成され且つこの
    くぼみと相補的になつている減小断面軸方向円筒形同心
    端部部分を形成し、 e)前記他方の部材に、前記くぼみ内に設 けられ且つ前記減小断面部に形成された半径方向内側に
    向いた円すい台形の面を設け、 f)前記の可動子管に、選択された磁力を 前記の可動子上に発生させるのに十分な、前記の可動子
    行程の少なくとも一部分と同軸的に延長した減小磁気ギ
    ャップを形成し、且つg)前記の可動子管により前記の
    両部材の 同心性が与えられるようにした、 ソレノイド用の組立体。
  12. (12)摩擦を減小させるために前記の可動子部材と前
    記可動子管との間に非磁性支持装置を設けた、特許請求
    の範囲第11項に記載の組立体。
  13. (13)前記の支持装置が前記の可動子部材と前記の可
    動子管との間に非磁性空間を与えている、特許請求の範
    囲第12項に記載の組立体。
  14. (14)前記の支持装置が前記の可動子に沿つて直線的
    に隔置された複数の面からなつている、特許請求の範囲
    第13項に記載の組立体。
  15. (15)前記の固定磁極片部材が、前記の可動子管の一
    端部の内面に受け入れられてこれと係合するように構成
    された減小断面部分を備えている、特許請求の範囲第1
    1項に記載の組立体。
  16. (16)前記の可動子管が、これの前記の非磁性部分に
    沿つて非磁性になるように処理された単一の半オーステ
    ナイト系材料の管からなつている、特許請求の範囲第1
    1項に記載の組立体。
  17. (17)前記の可動子管を取り囲むソレノイドコイルを
    備えている、特許請求の範囲第11項に記載の組立体。
  18. (18)前記一方の部材が、前記くぼみを取り囲み前記
    可動室へ延びた半径方向外側に向いた円すい台形の面を
    有する、特許請求の範囲第11項記載の組立体。
  19. (19)a)ソレノイドコイルに受け入れられるように
    構成され且つ内部に可動子室を備えている中空のソレノ
    イド可動子管を設ける段階、b)前記の可動子室の一端
    部に固定され且 つこの一端部を規定する固定磁極片部材を設ける段階、 c)前記の磁極片部材に対して軸方向に滑 動可能に前記の可動子管の前記の可動子室内に配置され
    且つ前記の磁極片部材に対して可動子行程を規定する可
    動子部材を設ける段階、d)前記の両部材の一方にくぼ
    みを設ける と共にそれの他方の部材に前記のくぼみに受け入れられ
    るように構成され且つこのくぼみと相補的になつている
    減小断面端部部分を設ける段階、 e)前記他方の部材に、前記くぼみ内の前 記減小断面端部に形成された半径方向内側に向いた円す
    い台形の面を設ける段階、 f)前記の可動子管に、選択された磁力を 前記の可動子上に発生させるのに十分な、前記の可動子
    行程の少なくとも一部分と同軸的に延長した減小磁気ギ
    ャップを規定する非磁性部分を設ける段階、及び g)前記の可動子管により前記の両部材の 同心性が与えられる段階、 からなるソレノイド用の組立体を製造する方法。
  20. (20)前記の可動子管が単一の金属管として与えられ
    ている、特許請求の範囲第19項に記載の方法。
  21. (21)摩擦を減小させるために前記の可動子部材と前
    記の可動子管との間に非磁性支持装置を設ける段階を含
    む、特許請求の範囲第19項に記載の方法。
  22. (22)前記の支持装置が前記の可動子部材と前記の可
    動子管との間の非磁性空間として与えられている、特許
    請求の範囲第21項に記載の方法。
  23. (23)前記の支持装置が前記の可動子に沿つて直線的
    に隔置された複数の周囲支え面として与えられている、
    特許請求の範囲第19項に記載の方法。
  24. (24)前記の固定磁極片部材に、前記の可動子管の一
    端部の内面に受け入れられてこれと係合するように構成
    された減小断面部分が設けられている、特許請求の範囲
    第19項に記載の方法。
  25. (25)前記の可動子管が、これの前記の非磁性部分に
    沿つて非磁性になるように処理された単一の半オーステ
    ナイト系材料の管として与えられている、特許請求の範
    囲第19項に記載の方法。
  26. (26)前記の可動子管を取り囲むソレノイドコイルを
    設ける段階を含む、特許請求の範囲第19項に記載の方
    法。
  27. (27)前記一方の部材に、前記のくぼみを取り囲み前
    記可動子室へ延びた半径方向外側に向いた円すい台形の
    面を設ける段階を含む、特許請求の範囲第19項記載の
    方法。
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