JPS61283572A - 電子写真プリンタ用記録ヘッド - Google Patents
電子写真プリンタ用記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPS61283572A JPS61283572A JP60124176A JP12417685A JPS61283572A JP S61283572 A JPS61283572 A JP S61283572A JP 60124176 A JP60124176 A JP 60124176A JP 12417685 A JP12417685 A JP 12417685A JP S61283572 A JPS61283572 A JP S61283572A
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- JP
- Japan
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- insulating film
- heating resistor
- heat
- substrate
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は赤外線や近赤外線あるいは可視光線等の熱線全
放射して感光体に情報全書込む熱線放射ヘッドに関する
ものである。
放射して感光体に情報全書込む熱線放射ヘッドに関する
ものである。
従来のこの種の熱線放射ヘッドは、熱線放射用の発熱抵
抗体をガラス等の基板上に複数形成すると共に、各々の
発熱抵抗体の周囲を酸化防止膜で覆った構成としており
、このように発熱抵抗体を酸化防止膜で覆うことによっ
て、各発熱抵抗体を高山化し、赤外領域に高い感度を持
つ長波長感光体に情報を書込むヘッドとして利用できる
ようになっている。
抗体をガラス等の基板上に複数形成すると共に、各々の
発熱抵抗体の周囲を酸化防止膜で覆った構成としており
、このように発熱抵抗体を酸化防止膜で覆うことによっ
て、各発熱抵抗体を高山化し、赤外領域に高い感度を持
つ長波長感光体に情報を書込むヘッドとして利用できる
ようになっている。
しかしながら従来の熱線放射ヘッドは、前記長波長感光
体を感光して情報を書込むためには、発熱抵抗体での消
費電力を著しく大きくしなければならないという問題が
あった。
体を感光して情報を書込むためには、発熱抵抗体での消
費電力を著しく大きくしなければならないという問題が
あった。
本発明はこのような問題を解決するためになされたもの
で、小さな消費電力で発熱抵抗体を高速かつ高温に発熱
させて長波長感光体に情報の書込みを行うことができる
と共に、各発熱抵抗体間の熱分離性に優れ、しかも安価
な熱線放射ヘッドを実現することを目的とするものであ
る。
で、小さな消費電力で発熱抵抗体を高速かつ高温に発熱
させて長波長感光体に情報の書込みを行うことができる
と共に、各発熱抵抗体間の熱分離性に優れ、しかも安価
な熱線放射ヘッドを実現することを目的とするものであ
る。
上述した目的を達成するため、本発明は部分的に微少な
穴を持つまたは持たない絶縁薄膜をその中央部が空中に
浮くように形成するか、または長穴を有する基板上に前
記絶縁膜を形成し、該絶縁膜上に発熱抵抗体全形成して
、更にこの発熱抵抗体の表面に前記絶縁膜と同様の酸化
防止膜を形成して、これら酸化防止膜及び絶縁膜の中央
部周囲が空気層となるようにしたものである。
穴を持つまたは持たない絶縁薄膜をその中央部が空中に
浮くように形成するか、または長穴を有する基板上に前
記絶縁膜を形成し、該絶縁膜上に発熱抵抗体全形成して
、更にこの発熱抵抗体の表面に前記絶縁膜と同様の酸化
防止膜を形成して、これら酸化防止膜及び絶縁膜の中央
部周囲が空気層となるようにしたものである。
上述した手段によれば、発熱抵抗素子覆う絶縁膜及び酸
化防止膜の周囲が空気層となシ、この空気層は熱伝達率
が悪いため、発熱抵抗体の熱容量は飛躍的に向上し、し
かも発熱抵抗体で発熱した熱はその殆んどが発熱抵抗体
の両端方向に伝達される。
化防止膜の周囲が空気層となシ、この空気層は熱伝達率
が悪いため、発熱抵抗体の熱容量は飛躍的に向上し、し
かも発熱抵抗体で発熱した熱はその殆んどが発熱抵抗体
の両端方向に伝達される。
従って小さな消費電力で発熱抵抗体を高速度でかつ高温
にすることができると共に、各発熱抵抗体間の熱分離性
も優れたものとなシ、しかも低融点で低価格の基板を使
用することができるので安価な熱線放射ヘッドの実現が
可能となる。
にすることができると共に、各発熱抵抗体間の熱分離性
も優れたものとなシ、しかも低融点で低価格の基板を使
用することができるので安価な熱線放射ヘッドの実現が
可能となる。
以下図面を参照して実施例全説明する。
第１図は本発明による熱線放射ヘッドの一実施例を示す
側断面図で、図において１は基板、２は非常に小面積の
穴ｆ：部分的に持つまたは持たない絶縁膜であシ、この
絶縁膜２は前記基板１上に各々の中央部が空中に浮くよ
うに複数本平行に形成されている。
側断面図で、図において１は基板、２は非常に小面積の
穴ｆ：部分的に持つまたは持たない絶縁膜であシ、この
絶縁膜２は前記基板１上に各々の中央部が空中に浮くよ
うに複数本平行に形成されている。
３は発熱抵抗体、４は該発熱抵抗体３の両端に接続した
給電線で、この発熱抵抗体３と給電線４は前記各々の絶
縁膜２上に形成されておシ、更に各発熱抵抗体３上には
酸化防止膜５が形成されている。つま９各発熱抵抗体３
は絶縁膜２及び酸化防止膜５で覆われ、更にこの絶縁膜
２及び酸化防止膜５の中央部周囲が空気層となるように
構成されている。
給電線で、この発熱抵抗体３と給電線４は前記各々の絶
縁膜２上に形成されておシ、更に各発熱抵抗体３上には
酸化防止膜５が形成されている。つま９各発熱抵抗体３
は絶縁膜２及び酸化防止膜５で覆われ、更にこの絶縁膜
２及び酸化防止膜５の中央部周囲が空気層となるように
構成されている。
ところで、熱線放射ヘッドにおいて発熱抵抗体３の厚さ
は数１００ＯＡと薄く、その断面積は非 、
常に小さい。また絶縁膜２及び酸化防止膜５は強度面か
ら見て２μｍの厚さがあればよく、これら絶縁膜２及び
酸化防止膜５の熱伝導率は導電物に比べて悪く、熱は伝
わりにくい。更に空気層の熱伝そのため、上述した構成
による本実施例の熱線放射ヘッドは給電線４から供給さ
れた電力によシ発熱抵抗体３が発熱すると、その熱は空
気層側には殆んど伝達されず、各々の発熱抵抗体３の両
端側に伝達されることになシ、シかも発熱抵抗体３の熱
容量は飛躍的に小さくなる。
は数１００ＯＡと薄く、その断面積は非 、
常に小さい。また絶縁膜２及び酸化防止膜５は強度面か
ら見て２μｍの厚さがあればよく、これら絶縁膜２及び
酸化防止膜５の熱伝導率は導電物に比べて悪く、熱は伝
わりにくい。更に空気層の熱伝そのため、上述した構成
による本実施例の熱線放射ヘッドは給電線４から供給さ
れた電力によシ発熱抵抗体３が発熱すると、その熱は空
気層側には殆んど伝達されず、各々の発熱抵抗体３の両
端側に伝達されることになシ、シかも発熱抵抗体３の熱
容量は飛躍的に小さくなる。
従って小さい供給電力で各発熱抵抗体３を高速度に高温
にすることが可能となり、長波長感光体に情報を書込む
熱放射ヘッドとして充分対応できるものになる。
にすることが可能となり、長波長感光体に情報を書込む
熱放射ヘッドとして充分対応できるものになる。
具体的な例全説明すると、発熱抵抗体３としてＴ ａ
２ Ｎ ｓ、この発熱抵抗体を覆う絶縁膜２及び酸化防
止膜５としてＳ ｉ０２薄模して本発明による構成の熱
線放射ヘッドを製作し、また石英基板上にＴ ａ ２
Ｎの発熱抵抗体を直接形成してこれをＳ ｉ０２の酸化
防止膜で覆った別の熱線放射ヘッドを製作して、両者の
温度特性を比較した。
２ Ｎ ｓ、この発熱抵抗体を覆う絶縁膜２及び酸化防
止膜５としてＳ ｉ０２薄模して本発明による構成の熱
線放射ヘッドを製作し、また石英基板上にＴ ａ ２
Ｎの発熱抵抗体を直接形成してこれをＳ ｉ０２の酸化
防止膜で覆った別の熱線放射ヘッドを製作して、両者の
温度特性を比較した。
実験によれば、本発明の熱線放射ヘッドは、前記した別
の熱線放射ヘッドに比べて発熱抵抗素子が１０００℃に
達したときの消費電力１／３に低減した。
の熱線放射ヘッドに比べて発熱抵抗素子が１０００℃に
達したときの消費電力１／３に低減した。
また、パルス駆動したときの飽和温度に達するまでのパ
ルス数は、繰返し周期２ ｍ ｓｅｃ、印字パルス幅０
．３ｍ５ｅｃでは、本発明の熱線放射ヘッドが第１回目
のパルスで目的の温度に達したのに対し別の熱線放射ヘ
ッドでは第１０回目のパルスで目的の温度に達した。
ルス数は、繰返し周期２ ｍ ｓｅｃ、印字パルス幅０
．３ｍ５ｅｃでは、本発明の熱線放射ヘッドが第１回目
のパルスで目的の温度に達したのに対し別の熱線放射ヘ
ッドでは第１０回目のパルスで目的の温度に達した。
尚、本発明では基板１上で最高温度となるのは、発熱抵
抗体３の両端近傍であり、従って基板材料は製造工程に
支障をきたさず、かつ発熱抵抗体３の両端近傍の温度に
耐え得るものを使用すればよいＯ 第２図は本発明による熱線放射ヘッドの第２の実施例を
示す側断面間、第３図は第２図の実施例に用いられる基
板の構造を示す図で、向Ｎａは底面図、同図すはａのＡ
−Ａｉ断面図である。
抗体３の両端近傍であり、従って基板材料は製造工程に
支障をきたさず、かつ発熱抵抗体３の両端近傍の温度に
耐え得るものを使用すればよいＯ 第２図は本発明による熱線放射ヘッドの第２の実施例を
示す側断面間、第３図は第２図の実施例に用いられる基
板の構造を示す図で、向Ｎａは底面図、同図すはａのＡ
−Ａｉ断面図である。
図において６はステンレス製の基板で、この基板６には
表面側か底面側に貫通すると共に、基板６の長手方向に
延びている長穴Ｔが設けられている。
表面側か底面側に貫通すると共に、基板６の長手方向に
延びている長穴Ｔが設けられている。
８は前記長穴７を横切るように複数本平行に設けられた
部券的に微少な穴を持つまたは持たない絶縁膜で、各々
の絶縁膜８上には発熱抵抗体９と該発熱抵抗体９に両端
に接続した給電線１０がパターン形成され、更に発熱抵
抗体９上に酸化防止膜１１金設けることによシ、発熱抵
抗体９を絶縁膜８と酸化防止膜１１で覆った構造とした
ものである。
部券的に微少な穴を持つまたは持たない絶縁膜で、各々
の絶縁膜８上には発熱抵抗体９と該発熱抵抗体９に両端
に接続した給電線１０がパターン形成され、更に発熱抵
抗体９上に酸化防止膜１１金設けることによシ、発熱抵
抗体９を絶縁膜８と酸化防止膜１１で覆った構造とした
ものである。
次に上述した構成に熱線放射ヘッドの製造手順について
説明する。
説明する。
まず、第３図に示すようにステンレス裂の基板６の表面
側が５０μｍ程度の厚さだけ残るように、予じめ基板６
の底面側から長穴７’ｔエツチングによ多形成し、かつ
表面？電界研摩により鏡面仕上げしておく。
側が５０μｍ程度の厚さだけ残るように、予じめ基板６
の底面側から長穴７’ｔエツチングによ多形成し、かつ
表面？電界研摩により鏡面仕上げしておく。
次にこの基板６の表面全体に５ｉ０２膜をスパッタリン
グによシ厚さ２μに形成し、その上に発熱抵抗体材料と
してＴａ２Ｎ’（スパッタリングによシ２０００Ａの厚
さに形成した後、フォト１７ンエ程とＣＦＩＩ＋０２（
５％）ガスによるエツチング処理全行って、前記５ｉ０
２膜による絶縁膜８とＴａ２Ｎによる発熱抵抗体９をパ
ターン形成する。
グによシ厚さ２μに形成し、その上に発熱抵抗体材料と
してＴａ２Ｎ’（スパッタリングによシ２０００Ａの厚
さに形成した後、フォト１７ンエ程とＣＦＩＩ＋０２（
５％）ガスによるエツチング処理全行って、前記５ｉ０
２膜による絶縁膜８とＴａ２Ｎによる発熱抵抗体９をパ
ターン形成する。
こうして絶縁膜８と発熱抵抗体９を形成した後、これら
の上に給電線材料としてＮｊＣｒ／Ａｕを真空蒸着し、
更に２μｍの厚さまでＡｕメッキを行って、その後フォ
トリン工程と湿式エツチングにより前記ＮｉＣｒ／Ａｕ
の給電線１０を形成する。
の上に給電線材料としてＮｊＣｒ／Ａｕを真空蒸着し、
更に２μｍの厚さまでＡｕメッキを行って、その後フォ
トリン工程と湿式エツチングにより前記ＮｉＣｒ／Ａｕ
の給電線１０を形成する。
そして最後に前記基板６の表面全有機レジストで覆い、
４０℃の塩化第２鉄水溶４０％全エツチング液として前
記長穴７が絶縁膜８に達するまで基板６を溶解する。
４０℃の塩化第２鉄水溶４０％全エツチング液として前
記長穴７が絶縁膜８に達するまで基板６を溶解する。
このように構成した第２の実施例は、基板６に長穴を設
けることによフ第１の実施例と同様に発熱抵抗体９を覆
う絶縁膜８及び酸化防止膜１１の中央部周囲が空気層と
なるので、第１の実施例と 。
けることによフ第１の実施例と同様に発熱抵抗体９を覆
う絶縁膜８及び酸化防止膜１１の中央部周囲が空気層と
なるので、第１の実施例と 。
同様の作用を行うことができる。
以上説明したように本発明は、微少な穴を部分的に持つ
または持たない絶縁Ｍ’ｔその中央部が空中に浮くよう
に基板上に形成するか、または長穴を有する基板上に前
記絶縁膜を前記長穴を横切るように形成し、この絶縁膜
上に発熱抵抗体と該発熱抵抗体の両端に接続した給電線
を形成して、更に発熱抵抗体の表面に前記絶縁膜と同様
の酸化防止膜全形成することによシ、発熱抵抗体金種う
これら絶縁膜と酸化防止膜の中央部周囲が空気層となる
ように構成しているため、発熱抵抗体の熱容量が飛躍的
に小さくなって、小さな消費電力で発熱抵抗体を高速度
で高温度に発熱させることができ、熱線放射量全効率良
く増加できるという効果がある。
または持たない絶縁Ｍ’ｔその中央部が空中に浮くよう
に基板上に形成するか、または長穴を有する基板上に前
記絶縁膜を前記長穴を横切るように形成し、この絶縁膜
上に発熱抵抗体と該発熱抵抗体の両端に接続した給電線
を形成して、更に発熱抵抗体の表面に前記絶縁膜と同様
の酸化防止膜全形成することによシ、発熱抵抗体金種う
これら絶縁膜と酸化防止膜の中央部周囲が空気層となる
ように構成しているため、発熱抵抗体の熱容量が飛躍的
に小さくなって、小さな消費電力で発熱抵抗体を高速度
で高温度に発熱させることができ、熱線放射量全効率良
く増加できるという効果がある。
また、発熱抵抗体が発熱したときの熱は、該発熱抵抗体
の両端方向に殆んど伝達し、隣接する発熱抵抗体の方向
には殆んど伝達しないため、各発熱抵抗体間の熱分離性
も優れたものになるという効果が得られる。
の両端方向に殆んど伝達し、隣接する発熱抵抗体の方向
には殆んど伝達しないため、各発熱抵抗体間の熱分離性
も優れたものになるという効果が得られる。
更に、基板上で最高温度となるのは発熱抵抗体の両端近
傍であるため、基板材料は製造工程に支障をきたさず、
かつ発熱抵抗体の両端近傍の温度に耐え得るものでよく
、従って熱線を天竜に発生する高温付近での使用に際し
ても低融点、低価格の基板全使用することが可能となシ
安価な熱線放射ヘッドを実現できるという効果が得られ
る。
傍であるため、基板材料は製造工程に支障をきたさず、
かつ発熱抵抗体の両端近傍の温度に耐え得るものでよく
、従って熱線を天竜に発生する高温付近での使用に際し
ても低融点、低価格の基板全使用することが可能となシ
安価な熱線放射ヘッドを実現できるという効果が得られ
る。
第１図は本発明による熱線放射ヘッドの第１の実施例を
示す側断面図、第２図はＭ２の実施例を示す側断面図、
第３図は第２の実施例で使用する基板の構造を示す図で
ある。 １．６・・・基板 ２．８・・・絶縁膜 ３．９・・・
発熱抵抗体 ４．１０・・・給電線 ５．１１・・・酸
化防止膜 γ・・・長穴 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人 弁理士 金 倉 喬 二 第１の実施例の側断面図 鴫 １− 酸化防止膜 発熱抵抗体 第２の実施例の９１１ｊ断面囚 袖 ２ 口 （ａ） （ｂ） 第２図で用いる基板の構造を示す図 ＠ ３ 回 手続補正書（自発９ 昭和６０年９月２７日
示す側断面図、第２図はＭ２の実施例を示す側断面図、
第３図は第２の実施例で使用する基板の構造を示す図で
ある。 １．６・・・基板 ２．８・・・絶縁膜 ３．９・・・
発熱抵抗体 ４．１０・・・給電線 ５．１１・・・酸
化防止膜 γ・・・長穴 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人 弁理士 金 倉 喬 二 第１の実施例の側断面図 鴫 １− 酸化防止膜 発熱抵抗体 第２の実施例の９１１ｊ断面囚 袖 ２ 口 （ａ） （ｂ） 第２図で用いる基板の構造を示す図 ＠ ３ 回 手続補正書（自発９ 昭和６０年９月２７日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、微少な穴を部分的に持つまたは持たない絶縁膜をそ
の中央部が空中に浮くように基板上に形成するかまたは
長穴を有する基板上に前記絶縁膜を前記長穴を横切るよ
うに形成し、 この絶縁膜上に発熱抵抗体と該発熱抵抗体の両端に接続
した給電線を形成し、 該発熱抵抗体の表面に前記絶縁膜と同様の酸化防止膜を
形成したことを特徴とする熱線放射ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60124176A JPS61283572A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 電子写真プリンタ用記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60124176A JPS61283572A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 電子写真プリンタ用記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61283572A true JPS61283572A (ja) | 1986-12-13 |
| JPH0414633B2 JPH0414633B2 (ja) | 1992-03-13 |
Family
ID=14878850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60124176A Granted JPS61283572A (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | 電子写真プリンタ用記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61283572A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5751315A (en) * | 1996-04-16 | 1998-05-12 | Xerox Corporation | Thermal ink-jet printhead with a thermally isolated heating element in each ejector |
| US5940109A (en) * | 1994-05-31 | 1999-08-17 | Rohm Co. Ltd. | Thermal printhead, substrate for the same and method for making the substrate |
| JP2007001087A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Seiko Instruments Inc | 発熱抵抗素子部品、プリンタおよび発熱抵抗素子部品の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5611281A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 | Fujitsu Ltd | Thermal head |
| JPS5613185A (en) * | 1979-07-12 | 1981-02-09 | Ricoh Co Ltd | Luminescent element array for spot scanning and recorder |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP60124176A patent/JPS61283572A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5611281A (en) * | 1979-07-11 | 1981-02-04 | Fujitsu Ltd | Thermal head |
| JPS5613185A (en) * | 1979-07-12 | 1981-02-09 | Ricoh Co Ltd | Luminescent element array for spot scanning and recorder |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5940109A (en) * | 1994-05-31 | 1999-08-17 | Rohm Co. Ltd. | Thermal printhead, substrate for the same and method for making the substrate |
| US5751315A (en) * | 1996-04-16 | 1998-05-12 | Xerox Corporation | Thermal ink-jet printhead with a thermally isolated heating element in each ejector |
| JP2007001087A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Seiko Instruments Inc | 発熱抵抗素子部品、プリンタおよび発熱抵抗素子部品の製造方法 |
| JP4619876B2 (ja) * | 2005-06-22 | 2011-01-26 | セイコーインスツル株式会社 | 発熱抵抗素子部品、及びプリンタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414633B2 (ja) | 1992-03-13 |
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