JPS61279669A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 □ この発明は、蒸気化した蒸発物質を被蒸着部Ｉｉｔ。

に衝突させて薄膜等を形成する蒸着装置に関する　　′
：、。

ものである。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
１′〔従来の技術〕１．。

第３１ｉＳｆｆｌ＃：を従来のこの種の蒸着装置を示す
もので　　い、、・図において、（１）は真空にされた
容器、（２）ｌｌ−１ｔこの容　　１゜器内に置かれ、
小孔（２ａ）ｔ−有して蒸発物質（３）が入　　、１・
れられ几るつぼ、（４）はこのるつぼ（２）の外側に配
設　　１：：１１′ され、るつぼ（２）を加熱して蒸発物質（３）を蒸気化
す　　！□：ｊ る加熱用フィラメント、（５）ハ蒸気化した蒸発物質　
　□（シ）ライオン化、するために電子を発生するイオ
ン１１．フイ、７，１．３６１．、□−イヶ７ｏ□６ケ
９　（］□・ニ ット、（γ）は被蒸着部材（３）全小孔（２ａ）と対向
するよ　　ｉ′□□、′ｉ うに支持する支持台、（９）ハイオン化された蒸発物　
　１□：質（３ａ）を加速して被蒸着部材（３）Ｋ衝突
させる加速　　ゝ゛□゛。

、１ 電極、（１０１は加熱用フィラメント（４）、イオン化
用フイラメント（６）を取り囲むように同心状に配設さ
れた箱形で２層構造の熱シール・ド、α１）　、　（１
２１、（１Ｂ）　、α４は加熱用フィラメント（４）、
イオン化用フィラメント（５）、グリッド（６）、加速
電極（９）それぞれの電源、（至）は加熱用フィラメン
ト（４）から発生した電子を加速する電源である０ 従来の蒸着装置は上記のように構成され、まず蒸発物質
（３）をるつぼ（２）に入れ、容器（１）を高真空にす
る。次いで、加熱用フィラメント（４）を電源（１ηで
赤熱して電子を発生させ、上記電子を電源■）で加速し
、るつぼ（２）に衝突させて加熱する。すると、蒸発物
質（３）は溶融し蒸気化され、るつぼ（２）内の圧力が
高くなって、蒸気化された蒸発物質（６ａ）は小孔（２
ａ）エリ噴出する。噴出した蒸発物質（３ｂ）は被蒸着
部材（３）に向かう途中で、イオン化用フィラメント（
６）から発生し、グリッド（６）にＬつで加速された電
子に衝突されてイオン化される。イオン化さ成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の蒸着装置では、熱シールド叫はるつ
ぼ（２）及び加熱用フィラメント（４）からの輻射熱の
損失を小さくしてるつぼ（２）を高温に保つために用い
られるものであり、従って、るつぼ（２）の囲りをほと
んど覆う構造で、かつ輻射熱の損失を出来るだけ小さく
するために２重まｆｃハそれ以上の多重構造となってい
た。そのために、蒸気化された蒸発物質（３ａ）が被蒸
着部材（３）に向かうものの他に、熱シールド叫の内側
にもぐり込むもの（３ｄ）があり、熱シールドα＠の内
側の真空度が低くなり、そのためにるつぼ（２）と加熱
用フィラメント（４）間の絶縁が悪くなり、そこで放電
が発生して安定した蒸着が出来なくなるという問題があ
った。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、放電によるトラブルを発生することなく安定
した蒸着が出来る蒸着装置を得ることを目的としている
。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る蒸着装置Ｖｉ、真空の容器外にレーザ発
振器を設置し、このレーザ発振器からのレーザ光を上記
容器内に導びいてるつぼに照射するようにしたものであ
る。

〔作用〕

この発明においては、レーザ光に工９るつぼを加熱する
ようにしているので、熱シールドの内側にもぐり込む蒸
着物質の蒸気があっても、放電によるトラブルが発生し
ない。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例全示すもので、図中、第３
図と同一符号は同−又は相当部分を示す○α６）は容器
（１）外に設置されたレーザ発振器、α′７）はこのレ
ーザ発振器α６）から発射され次レーザ光線、（９））
はとのレーザ光線αりを容器（１）内に導びくために容
器（１）に取付けられた透過材からなる窓、α１１はこ
の窓Ｑ３）　’）介して容器（１）内に導びかれたレー
ザ光線ＣＬ７）を熱シールド（１０内部に導びくために
熱シールド（至）に設けられた開口である。

上記のように構成された蒸着装置においては、レーザ発
振器α６）から発射されるレーザ光線＜１７）’を窓槃
）及び開口ｎｌを介してるつは（２）に照射することに
より、るつぼ（２）が加熱され、その内部の蒸着物質（
３）が加熱昇圧されて蒸気化する。従って・仮え蒸着物
質（３ｄ）がるつぼ（２）と熱シールド叫との間にまわ
り込むようなことがあっても、加熱フィラメントを用い
ていないので従来のものと異なり、放電ＫＪ：るトラブ
ルは発生しない。

なお上記実施例では、レーザ光線（ロ）をそのままるつ
ぼ（２）に照射しているものを示したが、第２図に示す
ように窓（ト）と開口（１呻との間のレーザ光線（ロ）
の光程に、レーザ光線（１？）を開口（至）内で一旦集
光させる、すなわち開口（至）位置に焦点を有する集光
レンズ（イ）を設置する工うにしてもよい。この第２図
によれば、開口α呻の大きさを小さくでき、その分るつ
ぼ（２）からの輻射熱の損失を小さくできる。またるつ
ぼ（２）へのレーザ光線０ηの照射面積を大きくできる
ので、高いレーザ出力までるっぽ（２）を溶融させるこ
とな（、レーザ光線ｏ′Ｉ）を照射できる。

なお、上記集光レンズ（社）は、容器（１）に取付けて
窓（ホ）と兼用としてもよい。

〔発明の効果〕

この発明は以上説明したとおり、レーザ発振器からのレ
ーザ光をるつぼに照射して加熱するようにしているので
、加熱フィラメントとるつばとの間で発生する放電を回
避でき、安定した蒸着が期待できる等の効果がある０

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す蒸着装置の断面図、
第２図はこの発明の他の実施例を示す第１図相当図、第
３図は従来の蒸着装置を示す第１図相当図である。 （１）φ・容器　　　　　（２）・・るつぼ（３）・・
蒸着物質　　　（３）・・被蒸着部材叫響・熱シールド
　　α６）φ・レーザ発振器＜１７）・・レーザ光線　
　（至））−・窓四ｅ・開口　　　　　（イ）・・集光
レンズなお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す
ものとする。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器と、この真空容器内に対向して配された
   るつぼ及び被蒸着部材と、上記るつぼを囲む熱シールド
   とを備え、上記るつぼを加熱してるつぼ内の蒸着物質を
   蒸気化し、この蒸気をるつぼの小孔から噴射して上記被
   蒸着部材上に蒸着させるものにおいて、上記真空容器外
   にレーザ発振器を設置し、かつ真空容器に、レーザ発振
   器からのレーザ光を真空容器内に取入れる窓を設けると
   ともに、上記熱シールドに、上記窓を通過したレーザ光
   をるつぼに照射させる開口を設けたことを特徴とする蒸
   着装置。
2. （２）レーザ光の光程の上記開口の入側位置に、上記開
   口近傍位置を焦点とする集光レンズを配置したことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の蒸着装置。
3. （３）真空容器に設けた窓が集光レンズであることを特
   徴とする特許請求の範囲第２項記載の蒸着装置。