JPS5915385Y2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5915385Y2 JPS5915385Y2 JP10056378U JP10056378U JPS5915385Y2 JP S5915385 Y2 JPS5915385 Y2 JP S5915385Y2 JP 10056378 U JP10056378 U JP 10056378U JP 10056378 U JP10056378 U JP 10056378U JP S5915385 Y2 JPS5915385 Y2 JP S5915385Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- substance
- electron beam
- sample plate
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は被観察物質を蒸着させながらその過程を詳細に
観察することのできる新規な電子顕微鏡に関するもので
ある。
観察することのできる新規な電子顕微鏡に関するもので
ある。
近時試料室内に蒸着装置を設けた電子顕微鏡が提案され
ている。
ている。
斯かる電子顕微鏡においては試料室の一隅に被観察物質
（蒸発材料）が配置され、該物質を例えば通電加熱によ
り蒸発させてメツシュに付着（蒸着）させ、該付着した
物質を観察することにより蒸着過程における結晶構造の
変化等を知ることができる。
（蒸発材料）が配置され、該物質を例えば通電加熱によ
り蒸発させてメツシュに付着（蒸着）させ、該付着した
物質を観察することにより蒸着過程における結晶構造の
変化等を知ることができる。
しかしながらこの様な通電加熱による通常の蒸着装置で
は高融点物質の蒸着を行うことができないという大きな
欠点がある。
は高融点物質の蒸着を行うことができないという大きな
欠点がある。
この欠点を取り除くには、蒸着装置としてフィラメント
から発生した電子を加速して物質に衝突させる電子衝撃
型蒸着装置を用いることが考えられる。
から発生した電子を加速して物質に衝突させる電子衝撃
型蒸着装置を用いることが考えられる。
ところが斯かる電子衝撃型蒸着装置では加速用電界が電
子顕微鏡の電子線通路に漏洩して非点の原因となったり
悪影響を及ぼすことは避けられず、従って蒸着を行いな
がらの同時観察を行うことは不可能である。
子顕微鏡の電子線通路に漏洩して非点の原因となったり
悪影響を及ぼすことは避けられず、従って蒸着を行いな
がらの同時観察を行うことは不可能である。
本考案は上述した問題点に鑑みてなされたものであり、
電子衝撃型蒸着装置を用いながら同時観察を可能にした
電子顕微鏡を提供することを目的とする。
電子衝撃型蒸着装置を用いながら同時観察を可能にした
電子顕微鏡を提供することを目的とする。
以下図面を用いて本考案を詳説する。第１図は本考案の
一実施例の構成を示す要部断面図であり、同図において
１は被観察物質で形成される試料板である。
一実施例の構成を示す要部断面図であり、同図において
１は被観察物質で形成される試料板である。
該試料板１はホルダー２によって、電子線光軸０をはさ
んで９０°間隔で軸対称に配置されている。
んで９０°間隔で軸対称に配置されている。
具体的には該試料板１は第２図に示す様にホルダー２に
押え金具３及びネジ４を用いて固定される。
押え金具３及びネジ４を用いて固定される。
５はその中心を上記軸Ｏと一致させた熱電子放出用の環
状フィラメント、６は該フィラメントから発生した電子
を上記試料板１の下端部に集中的に照射するために、該
フィラメントと略同電位に保たれる制御電極である。
状フィラメント、６は該フィラメントから発生した電子
を上記試料板１の下端部に集中的に照射するために、該
フィラメントと略同電位に保たれる制御電極である。
電子衝撃により試料板１の下端部から発生した被観察物
質粒子は下方の対物レンズ７の近傍に置かれた試料保持
用のメツシュ８に付着する。
質粒子は下方の対物レンズ７の近傍に置かれた試料保持
用のメツシュ８に付着する。
該メツシュ８に付着した被観察物質には前記制御電極６
に設けられた開口９を介して図示しない電子銃から発生
した電子線が照射され、該物質によって影響を受けた電
子線は対物レンズ７及びその下方の結像レンズ系へと導
びかれる。
に設けられた開口９を介して図示しない電子銃から発生
した電子線が照射され、該物質によって影響を受けた電
子線は対物レンズ７及びその下方の結像レンズ系へと導
びかれる。
斯かる構成においてホルダー２には、高電圧ＨＶが印加
されるため、試料板１はフィラメント５に対し高電位に
保たれ、該フィラメント５から発生した熱電子はＨＶに
よって加速されて試料板１に衝突し、被観察物質を蒸発
させる。
されるため、試料板１はフィラメント５に対し高電位に
保たれ、該フィラメント５から発生した熱電子はＨＶに
よって加速されて試料板１に衝突し、被観察物質を蒸発
させる。
しかもこの時試料板１は電子線光軸０をはさんで９０°
間隔で軸対称に配置されているため、試料板１に印加さ
れるＨＶによって形成される電界も軸対称なものとなり
、従って光軸０を通る電子線に与える影響は極めて少な
い。
間隔で軸対称に配置されているため、試料板１に印加さ
れるＨＶによって形成される電界も軸対称なものとなり
、従って光軸０を通る電子線に与える影響は極めて少な
い。
そのため、斯かる構成となせば試料板１にＨＶを印加す
ると共にフィラメントを加熱した蒸着作業中であっても
、常にメツシュに蒸着されつつある被観察試料を電子顕
微鏡観察することができる。
ると共にフィラメントを加熱した蒸着作業中であっても
、常にメツシュに蒸着されつつある被観察試料を電子顕
微鏡観察することができる。
第１図は本考案の一実施例の構成を示す要部断面図であ
り、第２図は試料板の保持状態を説明するための斜視図
である。 １：試料板、２：ホルダー、５：環状フィラメント、６
：制御電極、８：メツシュ。
り、第２図は試料板の保持状態を説明するための斜視図
である。 １：試料板、２：ホルダー、５：環状フィラメント、６
：制御電極、８：メツシュ。
Claims (1)
- 試料室内に電子線光軸を取囲む様に環状電子銃を設け、
該電子銃の近傍に複数の蒸発材料を電子線光軸をはさん
で軸対称に配設し、該蒸発材料に前記電子銃からの電子
線を衝突せしめることにより該材料を蒸発させる様に構
成してなる電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056378U JPS5915385Y2 (ja) | 1978-07-21 | 1978-07-21 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056378U JPS5915385Y2 (ja) | 1978-07-21 | 1978-07-21 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5517275U JPS5517275U (ja) | 1980-02-02 |
| JPS5915385Y2 true JPS5915385Y2 (ja) | 1984-05-08 |
Family
ID=29038386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10056378U Expired JPS5915385Y2 (ja) | 1978-07-21 | 1978-07-21 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915385Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5833147A (ja) * | 1981-08-11 | 1983-02-26 | マイクル・ハング | 車両電灯用の試験及び監視装置 |
-
1978
- 1978-07-21 JP JP10056378U patent/JPS5915385Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5517275U (ja) | 1980-02-02 |
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