JPS61277004A - 寸法測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔竜業上の利用分野〕 本発明は、被測定物の像をイメージセンサ上に形成して
そのイメージセンサの出力によって被測定物の寸法を測
定する寸法測定装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、ＣＣＯ等のイメージセンサ上に被測定物の拡大像
を投影して該寸法を測定する装置が提供されている。

〔本発明が解決しようとする問題点〕

同一のイメージセンサに関し、被測定物の投影倍率を高
くすると各画素の受光量が減少して、い比が低下し測定
精度に影響を与えるとともに。

被測定物上の塵等も大きく投影されて該この塵の゛　　
像を被測定物の像として該測定する場合が生ずる問題点
が発生する。

本発明は上記従来の問題に鑑みなされ六ものであって、
測定分解路を高く維持したままイメージセンサにおける
塵等の影響を極めて小さくした寸法測定装置を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記問題を解決するため以下の構成上の特徴を
有する。すなわち、本発明は、被測定物の像を測定方向
についてこれと直角をなす方向の倍率よりも高い倍率で
投影する光学系と、該光学系による結像位置に上記測定
方向に沿って画素を配置したイメージセンサと、該イメ
ージセンサの出力から被測定物の寸法を演算する処理部
とからなることによって構成される０ 〔発明の効果〕 イメージセンサ上に投影して構成されるから、イメージ
センサの測定方向の分解能を高く維持しながら、測定方
向と直角をなす方向の被測定領域を拡大させることがで
き、被測定物上の塵等がイメージセンサの画素に与える
影響が小さくなル、餓測定を行う−恐れが小さくなる利
点を有する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例の寸法測定装置について説明する
。本測定装置は、第３図及び第１０図に示すように、複
数のビデオヘッド用モールドＭ１゜Ｍ２．・・・・・・
１ＭＮを上面に設けたかまぼこ部２を基台部４の上に有
する磁気ヘッド部材ｌＯにおける複数の該磁気ヘッドギ
ャップ（通−常透明ガラスが充填されている）ｆの幅を
自動的に測定し、ギャップｔが所定範囲内にある部材ｌ
Ｏと、ない部材１０とを分類する。ためのものである。

本測定装置は、第１図に示すように、概ね、搬送保管系
１００と、測定系２００と、制御演算系４００とからな
る。搬送保管系１００は、基台１０２に、搬送ロデツ）
１０４と、第１ないし第３パレツト収容部１０６，１０
８，１１０とを設けてなる。搬送ロデット１０４は、回
動ポール１１２に固着された第１アーム１１４、第１ア
ーム１１４の先端に揺動可能に取付けられた第一アーム
１１６、及び第２アーム１１６の先端に取付けられ、磁
気ヘッド部材ｌＯを吸着するバキュウムチャック１１８
を有する。第１ノ９レツト収容部１０６は測定前の部材
１０を入れた／４’レット１２０を収容するためめもの
であシ、第一及び第３パレツト収容部１０８，１１０は
、それぞれ測定によりギャップｔが所定範囲内にあった
部材１０及び所宇範ｉ内になかった一部材１０を入れた
・ぐレット１２０を収容するためのものである。各パレ
ット収容部１０ｆＳ、１０８，１１０はエレベータ式に
構成され、パレット１２０を多段式に収容する。

搬送口ゲット１０４は、第１ノ母レツト収容部１０６か
ら送り出されたパレツ）１２０内の部材ｌＯを順次、測
定系２００へ送り、また測定後の部材１０を測定系２０
０から第２パレット収容部１０８又は第３・中レット収
容部１１０に収容されるべきノやレット１２０へ分類搬
送する。

測定系２００は、基台２０２に、各々測定部を有する測
定要部″２０４と、測定操作を行うための操作ノＪ？ネ
ル２０６と、部材１０の被測定部を拡大表示讐るための
モニタテレビ２０８とからなる。

制御演算系４００は、各種制御装置を収容した制御部４
０ｇと、制御部４０２を操作するためのマイコン４０４
と、測定値等をプリントアウトするためのプリンタ４０
６と、制御部４０２の制御信号や測定値信号を記憶する
ためのフロッピーディスク装置４０８とを有する。

本測定装置の構成を、第２図のブロック図に基づいてさ
らに詳しく説明する。搬送保管系１００は、搬送ロデッ
ト１０４と各パレット収容部１０６゜１０８．１１０と
がシーケンサ−１８０を介して接続されて構成され、全
体としてマイコン４０４によって制御される。

測定系２００は、アライメント光学系２１０及び測定光
学系２８０からなる光学系２５０と、照明光源を作動さ
せるための照明光学系８００と、被測定部を拡大観察す
るための観察系２９０と、光学系２５０を被測定部に自
動的に合焦させるためのオートフォーカス駆動系２８Ｇ
と、光学系２５０の出力信号を処理するための信号処理
系２６０と、部材ｌＯを載置するステージ及び該ステー
ジを駆動制御するためのステージ駆動系８２０とを有す
る。

アライメント光学系２１０は、部材１０を測定に適した
所定の位置に置くためのものであって、第３図に示すよ
うに、対物レンズｚ１２、対物レンズ２１２の光軸２１
４上の部材１０と反対側に以下の順序で配置された、ハ
ークミラー２１６゜赤外線反射可視光透過のビームスプ
リッタ２１８、及び対物レンズ２１ａＫ関し部材１０と
共役な位置に配置され走りニア第１イメージセンサ２２
０を有する。ハーフミラ−２１６による反射光軸ｆＡ　
２Ｉ上Ｋ　ハ、ハロダンランｆ２２２のリレーレンズ２
２８、及び赤外線吸収フィルター２２４が設ケラれ、リ
レーレンズ２２８はハａ　ｙ　ｙ　、９ンプ２２２の像
を対物レンズ２１２の後側（部材１０と反対側）の焦点
位置に結像させ、従って、部材ｌＯは平行光束によって
照明される。

一方、ビームスプリッタ２１８の反射光軸２２５上には
、ビームスプリッタ２１Ｂから順に、ハーフミラ−プリ
ズム３２６、正の円柱レンズ２ｇ？及び≠分割受光素子
２２８が設けられている。また、ハーフミラ−プリズム
２２６の入射光軸２８９上には、赤外線ＬＥＤ２１１．
　　リレーレンズ２１８、及びピンホール部材２１５が
設けられている。そして、赤外線ＬＥＤ２１１において
発生させられた赤外線はリレーレンズ２１８によってピ
ンホー１　ル部材２１５上に結像させられ、ピンホール
部材２１５を透過した光束は、ノ・−フミラープリズム
２２６の２つの反射面２１７，２１９及びビームスプリ
ッタ２１８で反射され、対物レンズ２１２を透過後部材
１０によって反射され、再び対物レンズ２１２を透過し
、ビームスプリッタ２１８で反射され、反射面２１９及
び円柱レンズ２２７を透過して夕分割受光素子２２８に
達する０ことで、円柱レンズ２２７は、その円柱軸が第
３図の紙面に対し直角となるように配置され、また、対
物レンズ２１２を２度通過しかつ円柱レンズ２２７を通
過した赤外線光束が、その第３図の紙面と平行表面内の
光束と、紙面と直角をなす面内の光束とに分けられ、両
光束によるピンホール部；ｆｉｌ１５のピンホールのλ
つの像を、り分割受光素子２２８をはさみ、かつこれか
ら等しい距離だけ離れて形成するように設計される。従
って、部材１０の上面が所定位置にあると、ダ分割受光
　−素子２２８の各分割受光素子はそれぞれ等しい出力
をなし、一方該上面が所定位置にないと、不均一な各分
割受光素子の出力からそのずれ方向及びずれ量を演算す
ることができる。第１イメージ七ン？２２０はその＃１
素が紙面と直交する方向に配列され、対物レンズ２１２
によって部材１ｏの儂が２０倍で第１イメージ七ン？２
２０上に投影される０ 測定光学系２８０は、測定光軸２８１上に、部材ｌＯの
像から、対物レンズ２８ｚ１ハーフミラ−２８８、ビー
ムスプリッタ２Ｂ４、第１レチクル２Ｂ５、第１リレー
レンズ２８６、負の円柱レンズ２８７、正の円柱レンズ
２８８、及びリニアの第２イメージセンサ２８９を配置
してなる。第１レチクル２Ｂ５は、対物レンズ２Ｂ２に
関して所定位置に置かれた部材１ｏと共役となるように
配置され、第９図に示すように、測定しようとする磁気
ヘッドギャップｆの幅に対物レンズ２８８による投影倍
率１００倍を乗じた＠Ｇのレチクル線２４Ｄが磁気ヘッ
ドギャップ像と平行となるように設けられている。第１
リレーレンズ２８６は第１レチクル２８５を１０倍で第
２イメージセンサ２８９上に投影する。負・正の円柱レ
ンズ２８７゜′Ｂ８８はその円柱軸線が紙面と直角とな
るように配向され、負の円柱レンズ２８７は紙面と平行
な面内で射出光束が平行光束となるように配置され、従
って紙面と平行な面内において正の円柱レンズ２８８を
光軸２８１上で移動させることによシ全進可能である。

負・正の円柱レンズ２８７　、２８８によって紙面と平
行な面内の投影倍率は局となる０第２イメージセンサ２
８９は紙面と直角の方向に並んだ複数の画素を有する。

以上の構成によシ、第２イメージセンサ２８９上には、
紙面と直角をなす面内で７０００倍、紙面と平行な面内
で５００倍の部材１０の像が投影される。

ハーフ宥う−２８８の反射光軸９４１上には、ハｃ２ｒ
ンラング２４ｚ１第１リレーレンズ２４Ｂ、円形絞シ８
４４、及び第１リレーレンズ２４８が贋次配置されてい
る０円形絞ｊ９８４４は第１リレーレンズ２４８に関し
ハロダンラング２４２と共役であり、第１リレーレンズ
２４８は円形絞）２４４の像を対物レンズ２８２のハー
フミラ−２８Ｂ側の焦点上に形成する。従って、部材１
０は平行光線によって照明される。

ビームスプリッタ２Ｂ４の反射光軸２４６上には、ビー
ムスプリッタｚ８４の側から順次、第２レチクルｚ４７
、リレーレンズｚ４８、ミラー２４９、及びテレビカメ
ラ２５１が配置される０ビームスプリッタ２８４は入射
光束のｇＯ％を第２イメージセンサ２８９側へ透過させ
、２０％をテレビカメラ２５１側へ反射させる。第２レ
チクル２４７は、第３図に示すように１その中心に小円
形レチクル線２５２を有し、レチクル線２６２の中心が
光軸２４６と一致するように、かつ対物レンズ２８２に
関し部材１０と共役であるように位置決めされる。テレ
ビカメラ２５１の受光面はリレーレンズ８４８に関して
第１レチクル２８５と共役であシ、モニタテレビ２０８
には、第６図に示すように部材１０の磁気へラドギヤツ
クの儂？−１と小円形レチクル線２５２の像２１５２−
１が重ねて表示される。

信号処理系２６０は、グ分割受光素子２２８に接続され
た入力端子を有し、後述のコントロール回路２８７に出
力端子を接続し、Ｉ１０インタフェイスユニット４１０
からのスタート信号ｓｔ１によって動作する差動検出回
路ｚ６２、第２イメージセンサ２８９に入力端子を接続
し、出力端子を増幅回路２６８及びサンプルホールド回
路２６４を介してマルチブレフサ２６５に接続し、さら
に入力端子を後述の１１０インタフエイスエニツト４１
０に接続した駆動回路［）Ｃ４，及び第２イメージセン
サ２８９に入力端子を接続し、出力端子を増幅回路２６
６及びサンプルホールド回路２６７を介してマルチプレ
ク？２６５に接続し、さらに入力端子をＩ１０インタフ
ェイスユニット４１０に接続した駆動回路ＯＣ３を有す
る。これら駆動回路ＯＣ，及びＤＣ３はＩ１０インタフ
エイスエニット４１０からのスタート信号Ｓｔ２及びＳ
ｔ３によって読み出しを開始する。

マルチブレフサ２６５の出力端子は、１１０イン　　　
□タフェイスユニット４１０によって制御されるスイッ
チＳ、によって２値化回路２６８又はＡ／Ｄ変換回路２
６９に切換え接続される。Ａ／Ｄ変換回路　　　□２６
７には駆動回路ＤＣ５の出力も入力しておシ、　　　□
Ａ／Ｄ変換された出力は積算回路２７０に入力される。

ａ値化回路２６８及び積算回路２７０の出力はそれぞれ
カウンタ２７１及びメモリ２７２に入力される。

オートフォーカス駆動系２８０は、光学系２５０を２方
向（光軸２１４，２８１の方向）に移動させて部材ｌＯ
に合焦させるためのものであって、１１０インタフニー
イスユニツト４１０から出力される制御信号が→ントロ
ール回路２８２に入力され、マイクロステップドライバ
ー２８８を介してモーター２８４が駆動される。モータ
ー２８４の回転軸には螺合装置２８５が取付けられて粗
金無索が構成され、該回転軸の回動によシ光学系２５０
が粗合焦される。

オートフォーカス駆動系２８０はまた、コントロール回
路２８７、及びピエゾ素子からなるオートフォーカス駆
動部２８８からなる微合焦系を有し、コントロール回路
２８７には差検出回路２６２及びＩ１０インタフェイス
ユニット４１０の出力が入力し、これＫよシ光学系２５
０の微合隼が行われる。

観察系２９０は、テレビカメラ２５１に接続されたカメ
ラコントロールユニット（以下、ＣＣＵという）２９２
及びＣＣＵ２９２に接続されたモニタテレビ２０８から
なり、部材ｌＯの被測定部ヲモニタテレピ２０８により
拡大表示する。

照明駆動系８００は、Ｉ１０インタフェイスユニット４
１０の出力が入力するコントロール回路８０２及びコン
トロール回路８０Ｂの出力が入力するドライバー８０４
からな４７％１１０インタフエイスユニツト４１０の制
御によシトライバー８０４に接続さ五た赤外線ＬＥＤ２
１１、ハロダンランｆ２２　ｇ、２４２を所定条件で点
灯させる。

測定のために部材１０を載置するステージ８１０は、第
１図及び第ｇ図に示すように載置ディスク８１２上にＸ
軸方向に延びたＹ軸突当て８１Ｂ、同じくＹ軸方向に延
びたＸ軸突当て８１４、及びＹ軸突当て８１Ｂ及びＸ軸
突当て８１４の隅部付近を向いた、エアシリンダ８１５
を有する押当て装置８１６を有する。Ｙ軸突当て８１８
．Ｘ軸突当て８１４及び載置ディスク８１２にはそれぞ
れ吸着アパーチャー８１７，８１８．８１９が設けられ
ている。Ｘ軸突当て８１４の高さは部材ｌＯの高さに一
致し、上面は鏡面仕上げされている。

そして、ステージ駆動系８ａＯは、第２図に示すように
、ディスク８１ＢをＸ軸方向に移動させるための、Ｘ軸
方向ドライ１４−８２２及びＸ軸方向コントロール回路
＄１ａ８を介してＩ１０インタフェイスユニット４１０
に接続されたＸ軸方向モーター８２４と、ディスク８１
２をＹ軸方向に移動させるための、Ｙ軸方向ドライバー
８２５及びＹ軸方向コントロール回路８２６を介してＩ
１０インタフェイスユニット４１０に接続されたＹ軸方
向モーター８２７と、ディスク８１ａを回動させるため
の、回動ドライバー８２８及び回動コントロール回路８
２９を介してＩ１０インタフェイスユニット４１Ｏに接
続されたディスク回動モーター８８０とを有する。

Ｘ軸方向モーター８２４は螺合装置８８１０回動軸を回
動させることによシディスク８１２をＸ軸方向に移動さ
せ、Ｙ軸方向モーター８２７は螺合装置８Ｂ２の回動軸
を回動させてディスク８１１ＢをＹ軸方向に移動させ、
ディスク回動モーター８８０は歯車装置又はベルト装置
（図示せず）介　゛してディスク８１２を回動させる。

一方、エアシリンダ８１５はＩ１０インタフェイスユニ
ット４１２によって制御されるポンプＰ。

によって加圧制御され、またアノぐ−チャ−８１７８１
８，８１９の吸引はＩ１０インタフェイスユニット４１
０によって制御されるポンプＰ２　　によって吸引され
、各アパーチャー８１７，８１８゜８１９の吸引はＩ１
０インタフェイス４１０によって制御されるバルブＶｓ
　＝　Ｖ４　ｅ　Ｖ５　　によって、制御される。

制御演算系４００は、上述したように、各種制御を行う
マイコン４０４と、マイコン４０４の入出力を各駆動部
及び検出部に適した信号に変えるためのＩ１０インタフ
エイスエニツ）４１０と、マイコン４０４の入出力を行
うためのプリンタ４０６及びフロッピーディスク装置４
０８とからなる。

続いて、上記構成の寸法測定装置の作動を、第９図のフ
ローチャートに基いて説明する。最初に、ステラｆＳ、
のセツティングがなされる。すなわち、バキュームチャ
ック１１８が所定の部材１０を吸着し、第１アーム１１
４及び第１アーム１１４がそれぞれ揺動して部材１０を
ステージ８１０上に置く。続いて、ステージ８１０が図
示しない構成によって測定位置に移動させられる。測定
位置においては、壕ず、第ｇ図に示すように、ポンプＰ
、を作動させてエアシリンダ８１５にエアを圧動させて
アノぐ一チャ８１７，８１８，８１９を負圧にして部材
１０を各突当て８１８．８１４及びディスク８１２に吸
着してセツティングが終了する０ 次に、ステップＳ２　　においてシリオートフォーカス
が行われる。最初にオートフォーカス駆動系２８０の粗
金無索を作動させて粗合焦を行う。一方、スイッチＳ、
がコ値化回路２６８に接続され、そ−ター８２４が駆動
してステージ８１２をＸ軸、方向すなわち部材ｌＯの長
手方向に移動させる。

この時、カウンタ２７１の計数によシ、最初に部材１０
の像１０−１に対し第１イメージセンサ２２０が、第１
θ図の■で示すように像１０−１の端部にあるようにす
る。次に、ステージ８１２をさらＥＸ軸方向に所定距離
移動させて、第１Ｏ図の■に示すように、磁気ヘッドギ
ャップ像ｔｏ　−１の長手方向の中間位置又はこれと実
質的に同等の位置に第１イメージセンサ２２０が位置す
るようＫする。εの状態で、ダ分割受光素子２２８の出
力からオートフォーカス駆動部２８８を駆動させて微合
焦を行う。

続いて、ステラ７’８５において部材１Ｇを正しい測定
位置に位置決めするためのアライメント調整を行う。次
に、ステップＳ４　　においてステージ８１０をＸ軸方
向に移動させて鋳面仕上げされたＸ軸突当て８１４の上
面に対物レンズ２８２が対向するようＫする。

ステップＳ５　は、第１イメージセンサ２２０の各画素
の感度の不均一性を補正するための補正係数を求めるた
めのものであって、Ｘ軸突当て８１４の上面における鏡
面反射を第２イメージセンサ′２８９で受光する。すな
わち、この時、第２イメージセンサ２８９の各画素Ｐ。

、　Ｐ、　、　Ｐ２・・・・・・Ｐ。

Ｋは均一な強度の光が入射しているはずであるが、各画
素Ｐ。・・・・・・Ｐ、の出力は第１／図に示すように
不均一である。そこで、スイッチＳ、はＡ／Ｄ　変換回
路２６９に切換えられ、各画素Ｐ。・・・・・・ｐ、の
出力Ｐｏ　が各３回読出され、積算回路２７０によって
各画素毎に積算され、メモ！Ｊ２？ｋに記憶される。一
方、マイコン４０４は画素Ｐ。、　Ｐ、　、　Ｐ２・・
・・・・Ｐｏの出力のうちの最大値ＰＯｍａｘを検出し
て１各画素の補正係数Ｘ。ａ　Ｘｌ　＊　Ｘ２・・・・
・・×。をＯｍａｘ Ｏ から求めて記憶する。

ステラｆＳ６　において、磁気ヘッドギャップｆの幅を
測定するため、その像が第２イメージ七ンサ２８９上に
結像するようにステージ８１０をＸ軸方向に移動させる
。ステラ７’！３．において測定光学系２８０の合焦を
よシ完全に行うファインオートフォーカスを行うため、
第１イメージセンサ２２０の出力が読出され、磁気へラ
ドギヤラグ儂？−１による出力ピークが最も鋭くなるよ
うに光学系２５０が２軸方向に再び微合焦がなされる。

ステップＳ８　　において、所定の磁気へッドギャツゾ
ｔの幅を測定するため、第１２図に示すように、上記補
正係数Ｘによシ補正された画素Ｐ、・・・・・・Ｐｎ　
　の最大出力ＰＯｍａｘ　　に対する、磁気ヘッドギャ
ップの像？−１及びレチクル線の像２４０−１における
それぞれの最小出力すなわち？トムレベルの差の３０％
の値をスライスレベル５Ｌ＝ＳＬ２として定める。一方
、本測定に先立ち、基準磁気ヘッドギャップｔによシギ
ャツｆ？及びレチクル　　′線の幅をそれぞれＶｆｆ　
、　Ｗｒとして測定して記憶しておく。そして、本測定
において所定の部材１０につい七ギャッグｆ及−びレチ
クル線２４０の幅をそれぞれＷｆｎｌＷｒｎと測定され
たとすると、求める幅Ｗ□は ｗ。

として計算される。

ここで、測定対象である部材１０の上面に塵Ｍがあった
としても、第１２図における部材１０の像の上下方向の
投影倍率は左右方向の投影倍率の半分であシ、従って、
塵Ｍが光を遮断することの影響は左右方向の投影倍率と
等しくした場合の概ね半分となシ、塵Ｍによる第１イメ
ージセンサ２２０の出力が誤って磁気へッドギャツｆｆ
として誤って検出される恐れが半減される。

ステラ７’Ｓ、。において、全測定ギヤラグｆの測定が
終了したか否かが判別され、測定未了の場合は、ステッ
プＳ９　　においてステージ８１０をＸ軸方向に移動さ
せて次の磁気ヘッドギャップ１を対物レンズ２８２に対
向させてステップＳ７　へ進ム。

全測定が終了していた場合は、搬送ロボット１０４が作
動してステージ８１０上の部材１０を取上げ、該測定値
により第２又は第３・々レット収容部１０８゜１１０の
いずれかのパンツ）１２０に分類搬入する０ 続いて、ステラｆＳ、２において測定続行が否かが判別
され、測定続行ならばステップＳ、に進み、測定を続行
しないと判断されると、全測定が終了する。

続いて、上述のアライメント調整を行うステラ７’！３
３　についてさらに詳しく説明する。ステップＳ３　　
は、第１，７図に示すようにステラｆ　ｓ、、ないしＳ
３６によジ構成される。ステップＳ３．において、ステ
ージ８１０をＸ軸方向に移動させて、第１Ｏ図の■で示
すように第１イメージセンサ２８９と部材ｌＯの左端に
ある第１モールドＭ、の偉Ｍニー１のＸ軸方向の略中央
が一致するようにする。続いて、ステラｆＳ３□に訃い
て第１イメージセンサ２８９の読出しを行い、この出力
から第１モールドＭ、のＹ軸方向の中心座標を演算して
これをメモリ２７２に記憶する。

ステップＳ３３において、ステージ８１０をＸ軸方向に
移動させて、第１θ図の■で示すよう釦、第１イメージ
センサ２８９と部材１０の右端にあるｔ４ＮモールドＭ
Ｎ　　の偵ＭＮ−１のＸ軸方向の略中央が一致するよう
にする。続いて、ステップＳ３４において、第１イメー
ジセンサ２８９の読取りを行い、この出力から第Ｎモー
ルドＭＮ　ＯＹＹ軸方向中心座標を演算してこれをメモ
リ２７２に記憶する。

ステラｆＳ３５において、メモ１，１２７２に記憶され
た第１モールドＭ、と第ＮモールドＭＮ　の中心座標の
差から部材１０と第１イメージセンサ２８９の交差角度
関係を知り、両者が直交するようにステージ８１０を回
転させる。続いて、ステップＳ３６において、ステージ
８１０をＹ軸方向に移動させてモールドの偉Ｍ−１，Ｍ
Ｎ−１の中心と第／イメージ七ン？２８９の中心がほぼ
一致するようにする。これによシステップＳ３　　の７
ライメント調整が終了した。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の寸法測定装置の斜視図、第２
図は本発明の実施例のブロック図、第３図は第２図の光
学系の光学図、第り図は第１レチクルの平面図、第３図
は第コレチクルの平面図、第６図はモニタテレビの表示
の説明図、第１図はステージの斜視図、第を図はステー
ジの作動説明図、第９図は本実施の作動を示す７ａ−チ
ャート図、第１０図は被測定物の７ライメント調整の説
明図、第１／図はイメージセンサの出力を示すグラフ、
第１コ図はイメージセンサの出力を解析するための説明
図、第１３図はアライメント調整のフローチャート図で
ある。 １０：磁気ヘッド部材 ？＝磁気ヘッドギャップ １０４：搬送ロボット ２１０：アライメント光学系 ２１２＝対物レンズ ２１８：ビームスプリッタ ２２０：第１イメージセンサ ２２７二円柱レンズ ２２８：４分割受光素子 ｚ８０：測定光学系 ２８２二対物レンズ ２８９：第２イメージセンサ ２８５：第１レチクル ２８７：負の円柱レンズ ２８８二正の円柱レンズ ２８９：第コレチクル 第６図 第８図 簗１１図 ｍＷ４雷号

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）被測定物の像を測定方向についてこれと直角をなす
   方向の倍率よりも高い倍率で投影する光学系と、該光学
   系による結像位置に上記測定方向に沿つて画素を配置し
   たイメージセンサと、該イメージセンサの出力から被測
   定物の寸法を演算する処理部とからなることを特徴とす
   る寸法測定装置。 ２）上記光学系は、被測定物から上記イメージセンサの
   側へ順次、対物レンズ系及びリレーレンズ、負の円柱レ
   ンズ、正の円柱レンズからなるリレーレンズ系を有し、
   上記負の円柱レンズ及び正の円柱レンズの円柱軸は上記
   測定方向と平行である特許請求の範囲第１項に記載の寸
   法測定装置。 ３）上記負の円柱レンズは、その射出光束が測定方向と
   直交する面内で平行である特許請求の範囲第２項に記載
   の寸法測定装置。 ４）上記正の円柱レンズは対物レンズ系の光軸上で移動
   調整可能に取付けられている特許請求の範囲第３項に記
   載の寸法測定装置。 ５）上記対物レンズ系は、被測定物の画像光束を取出し
   てモニタテレビに送るためのビームスプリッタを有する
   特許請求の範囲第１項に記載の寸法測定装置。 ６）上記イメージセンサは、測定方向と直交する方向の
   長さが測定方向の長さよりも大きい画集を測定方向に並
   べて構成されている特許請求の範囲第１項に記載の寸法
   測定装置。