JPS6127427A - 温調チヤンバ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は温調チャンバ一番こ係り、特許こクリーンルー
ム内での局部的な精密温度調節機構に関する。

〔発明の背景〕

クリーンルームに設置される装置が、例えば高精度な測
定機や露光装置などの場合には、その装置の周りの雰囲
気温度を２３±０．１℃穆度に精密に制御する必要が生
じる。

このような場合には、従来、第１図に示すような方法で
クリーンルーム内を局部的に温度コントロールすること
が行なわれている。第１図に示すダウンフロータイブの
クリーンルームの断面は、リア４と、天井面２の上方で
温調された冷風が供給されているサプライチャンバー５
と、床面１の下方でクリーンエリア４から排出される空
気を流すリターンチャンバー６に分けられる。

この方法は、クリーンエリア４の空気をリターンダクト
７を介し、プロワ８により吸引し′Ｃ温調ユニット９に
吹き込む。温調ユニット９は、冷凍器１０によって冷却
される冷却コイル１１と、塵埃をろかするフィルタ１２
と、このフィルタ１２の下方に配設された温度センサ１
３の信号を受け゛Ｃ温調器１４により精密−こ温度制御
される再熱ヒータ１５とを有する。従って、プロワ８１
こより温調ユニット９に吹き込まれた空気は、冷却コイ
ル１１で冷却され、その後再熱ヒータ１５により精密に
温度制御され、フィルタ１２を通つ゛Ｃクリーンエリア
４に吹き出す。この場合の温度精度は一般に±０．１℃
程度であり、非常醗こ精密な温度制御ができる。

しかし、この方法は、冷凍器１０、再熱ヒータ１５など
を用いるので、大きな設置スペースを必要とし、オた工
事が大変であると共に、使用エネルギー（電力）が大き
いという問題点を有する。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、コンパクトで、容易に設置でき、しか
も使用エネルギーが少な（−（すむ温調チャンバーを提
供することにある。

〔発明の概要〕 本発明は上記目的を達成するために、温調ユニットは、
サプライチャンバーの冷風を嵌り入れる冷風取入口と、
リターンチャンバーの高温空気ヲ取り入れる高温循環空
気取入口とを有し、クリーンエリアの温度に応じて前記
冷風取入口からの冷風と前記高温循環空気取入口からの
高温循環空気との混合比率を制御する制御手段を有し、
この制御手段で制御された空気をクリーンエリアに供給
することを特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。なお
、第１図と同じまたは相当部材及び部分には同一符号を
付して説明する。装置３の背面側には下方に開口部２０
ａを有する隔壁２０が設けられている。クリーンエリア
４に温度制御された空気を吹き込む温調ユニット２１は
、図示しない空ｌ器で温調されたサプライチャンバー５
の冷風を取り入れる冷風取入口２１ａと、リターンチャ
ンバー６及びクリーンエリア４の開口部２０ａを通った
空気を取り入れる高温循環空気取入口２１ｂを有し、前
記冷風取入口２１ａ＃こは空気式ダンパー操作器２２で
開口量が制御されるダンパ２３が配設されている。また
温調ユニット２１は、内部にプロワ２４を、クリーンエ
リア４への吹き出し口にフィルタ１２を有し、フィルタ
１２より吹き出された空気は温度センサ１３で検出され
るようになつＣいる。温度センサ１３は調節計２５に接
続されＣおり、調節計２５は温度センサ１３の温度によ
つ゛Ｃ前記ダンパ２３の開口量を制御する電気信号を出
力するようになっている。調節計２５は電気信号を空気
圧に変換する変換器２６を介して前記空気式ダンパ操作
器２２に接続されている。

次に作動につい−Ｃ説明する。プロワ２４が回転すると
、冷風取入口２１ｍから冷風を、高温循環空気取入口２
１ｂから高温空気を取り入れ、冷風と高温空気は混合さ
れてフィルタ１２よりクリーンエリア４に吹き出され゛
る。フィルタ１２からの空気の温度は温度センサ１３に
より検出され、フィルタ１２から吹き出される空気の温
度が一定になるように、調節計２５により変換器２６に
電気信号が入力され、変換器２６はこの電気信号を空気
圧に変換し、空気式ダンパ操作器２２を介してダンパ２
３の開口量を制御する。これにより冷風取入口２１１１
から取り入れられる冷風の量が制御され、クリーンエリ
ア４の局所的な温度が±０．１℃程度に精密に制御され
る。

このように、冷風と高温循環空気との混合比率を制御し
て温度制御するので、従来のような冷凍器、再熱ヒータ
が不要となり、従来の約Ｗ程度に極め′Ｃ小型で、かつ
従来の約Ｗ程度をこ安価になる。

また冷凍器、再熱ヒータが不要となることにより、従来
１６ＫＷの電力を必要としＣいるものが、約０．３ＫＷ
以下となり、エネルギーも大幅−こ低減される。

〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、コン
パクトで、安価になると共に、使用エネルギーも低減さ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の説明図、第２図は本発明の一実施例を
示す説明図である。 ６一 ４・・・クリーンエリア、　　５・・・サプライチャン
バー、６・・・リターンチャンバー、　　　１２・・・
フィルタ、１３・・・温度センサ、　　　２１・・・温
調ユニット、２１ａ・・・冷風取入口、　　　２１ｂ・
・・高温循環空気増大口、２２・・・空気式ダンパー操
作器、２３・・・ダンパ、２４・・・ブロワ、２５・・
・調節計、　　　２６・・・変換器。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンエリアと、室内空調用の冷風が供給されるサプ
   ライチャンバーと、クリーンエリアから排出される高温
   空気を流すリターンチャンバーとを有し、前記クリーン
   エリアに温度制御された空気を供給する温調ユニットを
   備えた温調チャンバーにおいて、前記温調ユニットは、
   前記サプライチャンバーの冷風を取り入れる冷風取入口
   と、前記リターンチャンバーの高温空気を取り入れる高
   温循環空気取入口とを有し、前記クリーンエリアの温度
   に応じて前記冷風取入口からの冷風と前記高温循環空気
   取入口からの高温循環空気との混合比率を制御する制御
   手段を有し、この制御手段で制御された空気をクリーン
   エリアに供給することを特徴とする温調チャンバー。