JPS61274241A - ダストモニタの集中管理装置 - Google Patents
ダストモニタの集中管理装置Info
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- JPS61274241A JPS61274241A JP11547385A JP11547385A JPS61274241A JP S61274241 A JPS61274241 A JP S61274241A JP 11547385 A JP11547385 A JP 11547385A JP 11547385 A JP11547385 A JP 11547385A JP S61274241 A JPS61274241 A JP S61274241A
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- JP
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- photoelectric conversion
- dust
- optical fiber
- monitors
- dust monitor
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- Granted
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- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000007175 bidirectional communication Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000006854 communication Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、クリーンルーム等の被測定空間に配置された
複数台のダストモニタを制御すると共にその測定データ
を処理する集中管理装置に関し、特に部品点数を少なく
できると共に電気的ノイズの影響を受けにくいダストモ
ニタの集中管理装置に関する。
複数台のダストモニタを制御すると共にその測定データ
を処理する集中管理装置に関し、特に部品点数を少なく
できると共に電気的ノイズの影響を受けにくいダストモ
ニタの集中管理装置に関する。
従来の技術
従来のダストモニタの集中管理装置は、第２図に示すよ
うに、クリーンルーム等の被測定空間１内に配置された
複数台のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎと、これら
のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎを制御すると共に
その測定データを処理するホストコンピュータ等のデー
タ処理装置３とを、多芯ケーブルからなるパスライン４
で接続し、測定データ等の伝送はパーティライン方式に
より電気信号の形で行っていた。
うに、クリーンルーム等の被測定空間１内に配置された
複数台のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎと、これら
のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎを制御すると共に
その測定データを処理するホストコンピュータ等のデー
タ処理装置３とを、多芯ケーブルからなるパスライン４
で接続し、測定データ等の伝送はパーティライン方式に
より電気信号の形で行っていた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、このようなダストモニタの集中管理装置におい
ては、上記パスライン４はある程度の長さを有すると共
に双方向性であるので、入呂力信号を高信頼で制御する
ため上記パスライン４にはパスラインコントローラ５を
必要とするものであった。従って１部品点数が多くなる
と共に、高価となるものであった。また、上記パスライ
ン４は多芯ケーブルからなり、このパスライン４に複数
台のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎを接続するのに
それぞれコネクタ６ａ、６ｂ・・・６ｎを必要とするの
で、上記パスライン４にダストモニタ２８等を接続する
作業が複雑であった。さらに、上記パスライン４を介し
て微弱な電気信号で測定データ等の伝送を行っているの
で、パスライン４の周囲の電気的ノイズの影響を受は易
く、上記パスライン４の布設場所が制限されることがあ
ると共に。
ては、上記パスライン４はある程度の長さを有すると共
に双方向性であるので、入呂力信号を高信頼で制御する
ため上記パスライン４にはパスラインコントローラ５を
必要とするものであった。従って１部品点数が多くなる
と共に、高価となるものであった。また、上記パスライ
ン４は多芯ケーブルからなり、このパスライン４に複数
台のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎを接続するのに
それぞれコネクタ６ａ、６ｂ・・・６ｎを必要とするの
で、上記パスライン４にダストモニタ２８等を接続する
作業が複雑であった。さらに、上記パスライン４を介し
て微弱な電気信号で測定データ等の伝送を行っているの
で、パスライン４の周囲の電気的ノイズの影響を受は易
く、上記パスライン４の布設場所が制限されることがあ
ると共に。
不適切な場合は誤動作の原因となるものであっ゛た。
そこで、本発明はこのような問題点を解決することを目
的とする。
的とする。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は、被測定空間に
配置された複数台のダストモニタと、これらのダストモ
ニタを制御すると共にその測定データを処理するデータ
処理装置とを有するダストモニタの集中管理装置におい
て、上記データ処理装置に上記各々のダストモニタと１
対１に対応するインターフェイスを設けると共にそれら
の信号入出力部には光電変換コネクタを設け、上記各々
のダストモニタの信号入出力部にも光電変換コネクタを
設け、かつ上記データ処理装置の各インターフェイスの
光電変換コネクタと各ダストモニタの光電変換コネクタ
との間を光ファイバケーブルで双方向通信可能に接続し
たことを特徴とするダストモニタの集中管理装置によっ
てなされる。
配置された複数台のダストモニタと、これらのダストモ
ニタを制御すると共にその測定データを処理するデータ
処理装置とを有するダストモニタの集中管理装置におい
て、上記データ処理装置に上記各々のダストモニタと１
対１に対応するインターフェイスを設けると共にそれら
の信号入出力部には光電変換コネクタを設け、上記各々
のダストモニタの信号入出力部にも光電変換コネクタを
設け、かつ上記データ処理装置の各インターフェイスの
光電変換コネクタと各ダストモニタの光電変換コネクタ
との間を光ファイバケーブルで双方向通信可能に接続し
たことを特徴とするダストモニタの集中管理装置によっ
てなされる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明によるダストモニタの集中管理装置を示
す説明図である。この集中管理装置は、クリーンルーム
等の被測定空間１内に配置された複数台のダストモニタ
２ａ、２ｂ・・・２ｎと、これらのダストモニタ２８等
を制御すると共にその測定データを処理するデータ処理
装置！！７とを有している。上記ダストモニタ２ａ、２
ｂ・・・２ｎは、被測定空間１内の塵埃濃度や微粒子の
粒径分布を測定するもので、上記被測定空間１内の適宜
の位置に設定された測定点ごとにそれぞれ配置されてい
る。そして、各々のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎ
の信号入出力部には、光電変換コネクタ８ａ。
す説明図である。この集中管理装置は、クリーンルーム
等の被測定空間１内に配置された複数台のダストモニタ
２ａ、２ｂ・・・２ｎと、これらのダストモニタ２８等
を制御すると共にその測定データを処理するデータ処理
装置！！７とを有している。上記ダストモニタ２ａ、２
ｂ・・・２ｎは、被測定空間１内の塵埃濃度や微粒子の
粒径分布を測定するもので、上記被測定空間１内の適宜
の位置に設定された測定点ごとにそれぞれ配置されてい
る。そして、各々のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎ
の信号入出力部には、光電変換コネクタ８ａ。
８ｂ・・・８ｎが設けられている。これらの光電変換コ
ネクタ８ａ等は、電気信号を光信号に変換して送出する
と共にその逆に光信号を電気信号に変換して出力するも
のである。
ネクタ８ａ等は、電気信号を光信号に変換して送出する
と共にその逆に光信号を電気信号に変換して出力するも
のである。
上記データ処理装置７は、上記ダストモニタ２８等の測
定データ等を集中管理するたとえばホストコンピュータ
であり、その内部には上記各々のダストモニタ２ａ、２
ｂ・・・２ｎと１対１に対応するシリアルタイプのイン
ターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎが設けられている。
定データ等を集中管理するたとえばホストコンピュータ
であり、その内部には上記各々のダストモニタ２ａ、２
ｂ・・・２ｎと１対１に対応するシリアルタイプのイン
ターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎが設けられている。
これらのインターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎは、デ
ータ処理装置７と上記それぞれのダストモニタ２ａ、２
ｂ・・・２ｎとを結合するもので、その信号入出力部に
は光電変換コネクタ１０ａ、１０ｂ・・・Ｉｏｎがそれ
ぞれ設けられている。
ータ処理装置７と上記それぞれのダストモニタ２ａ、２
ｂ・・・２ｎとを結合するもので、その信号入出力部に
は光電変換コネクタ１０ａ、１０ｂ・・・Ｉｏｎがそれ
ぞれ設けられている。
そして、上記データ処理装置７の各インターフェイス９
ａ、９ｂ・・・９ｎの光電変換コネクタ１０ａ、１ｏｂ
・・・１０ｎと、各ダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎ
の光電変換コネクタ８ａ、８ｂ・・・８ｎとの間は、そ
れぞれ光ファイバケーブルｌｌａ、１１ｂ・・・ｌｌｎ
で接続されている。これらの光ファイバケーブルｌｌａ
等は、データ処理装置７からの制御信号を各ダストモニ
タ２ａ等に伝送すると共に、各ダストモニタ２ａ等から
の測定データを上記データ処理装置７に伝送して双方向
通信可能に接続するもので、それぞれ送信用の光ファイ
バ１２ａ、１２ｂ・・・１２ｎと受信用の光ファイバ１
２ ａ ’ 、 １２ ｂ ’ −１２ｎ ’ との二
本が１組とされている。ここで、データ処理装置７から
の制御信号及び各ダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎか
らの測定データは、それぞれの光電変換コネクタ１゜ａ
、１０ｂ−１０ｎ及び８ａ、８ｂ−８ｎによって電気信
号から光信号に変換して送出され、上記光ファイバケー
ブルｌｌａ、ｌｌｂ・・・ｌｌｎの中は光信号の形で伝
送されることとなる。
ａ、９ｂ・・・９ｎの光電変換コネクタ１０ａ、１ｏｂ
・・・１０ｎと、各ダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎ
の光電変換コネクタ８ａ、８ｂ・・・８ｎとの間は、そ
れぞれ光ファイバケーブルｌｌａ、１１ｂ・・・ｌｌｎ
で接続されている。これらの光ファイバケーブルｌｌａ
等は、データ処理装置７からの制御信号を各ダストモニ
タ２ａ等に伝送すると共に、各ダストモニタ２ａ等から
の測定データを上記データ処理装置７に伝送して双方向
通信可能に接続するもので、それぞれ送信用の光ファイ
バ１２ａ、１２ｂ・・・１２ｎと受信用の光ファイバ１
２ ａ ’ 、 １２ ｂ ’ −１２ｎ ’ との二
本が１組とされている。ここで、データ処理装置７から
の制御信号及び各ダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎか
らの測定データは、それぞれの光電変換コネクタ１゜ａ
、１０ｂ−１０ｎ及び８ａ、８ｂ−８ｎによって電気信
号から光信号に変換して送出され、上記光ファイバケー
ブルｌｌａ、ｌｌｂ・・・ｌｌｎの中は光信号の形で伝
送されることとなる。
発明の効果
本発明は以上説明したように、データ処理装置７呻複数
台のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎと１対１に対応
するインターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎを設けると
共に、これらのインターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎ
に設けられた光電変換コネクタ１０ａ、１０ｂ・・・Ｉ
ｏｎと上記各ダストモニタ２ａ。
台のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎと１対１に対応
するインターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎを設けると
共に、これらのインターフェイス９ａ、９ｂ・・・９ｎ
に設けられた光電変換コネクタ１０ａ、１０ｂ・・・Ｉ
ｏｎと上記各ダストモニタ２ａ。
２ｂ・・・２ｎに設けられた光電変換コネクタ８ａ。
８°ｂ・・・８ｎとの間を光ファイバケーブル１１ａ。
ｆｌｂ・・・ｌｌｎで双方向通信可能に接続したので、
その途中に従来のパスラインコントローラ５（第２図参
照）に相当するようなものは不要とすることができる。
その途中に従来のパスラインコントローラ５（第２図参
照）に相当するようなものは不要とすることができる。
従って、部品点数を少なくできると共に、コストダウン
を図ることができる。また。
を図ることができる。また。
各光ファイバケーブルｌｌａ、ｌｌｂ・・・ｌｌｎは、
それぞれ送信用及び受信用の二本の光ファイバからなる
だけなので、布設後の光ファイバケーブル１１ａ等に対
するダストモニタ２ａ等の光電変換コネクタ８ａ等を接
続する作業が簡単となる。さらに、データ処理袋［７と
各々のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎとの間の制御
信号及び測定データの伝送は、上記光ファイバケーブル
ｌｌａ、１１ｂ・・・ｌｌｎを介して光信号の形で行う
ので、該光ファイバケーブルｌｌａ等の周囲の電気的ノ
イズの影響を受けることなく、上記光ファイバケーブル
ｌｌａ等の布設場所を任意に選ぶことができる。
それぞれ送信用及び受信用の二本の光ファイバからなる
だけなので、布設後の光ファイバケーブル１１ａ等に対
するダストモニタ２ａ等の光電変換コネクタ８ａ等を接
続する作業が簡単となる。さらに、データ処理袋［７と
各々のダストモニタ２ａ、２ｂ・・・２ｎとの間の制御
信号及び測定データの伝送は、上記光ファイバケーブル
ｌｌａ、１１ｂ・・・ｌｌｎを介して光信号の形で行う
ので、該光ファイバケーブルｌｌａ等の周囲の電気的ノ
イズの影響を受けることなく、上記光ファイバケーブル
ｌｌａ等の布設場所を任意に選ぶことができる。
また、電気的ノイズの影響を受けないことから誤動作を
少なくして、信頼性を向上することができる。
少なくして、信頼性を向上することができる。
第１図は本発明によるダストモニタの集中管理装置を示
す説明図、第２図は従来のダストモニタの集中管理装置
を示す説明図である。 １・・・被測定空間 ２ａ、２ｂ、２ｎ・・・ダストモニタ ７・・・データ処理装置 ８ａ、８ｂ、８ｎ・・・ダストモニタの光電変換コネク
タ ９ａ、９１：ｚ ９ｎ・・・インターフェイス１０ ａ
、 １０ ｂ 、 １０ ｎ ・＝インターフェイス
の光電変換コネクタ
す説明図、第２図は従来のダストモニタの集中管理装置
を示す説明図である。 １・・・被測定空間 ２ａ、２ｂ、２ｎ・・・ダストモニタ ７・・・データ処理装置 ８ａ、８ｂ、８ｎ・・・ダストモニタの光電変換コネク
タ ９ａ、９１：ｚ ９ｎ・・・インターフェイス１０ ａ
、 １０ ｂ 、 １０ ｎ ・＝インターフェイス
の光電変換コネクタ
Claims (1)
- 被測定空間に配置された複数台のダストモニタと、これ
らのダストモニタを制御すると共にその測定データを処
理するデータ処理装置とを有するダストモニタの集中管
理装置において、上記データ処理装置に上記各々のダス
トモニタと１対１に対応するインターフェイスを設ける
と共にそれらの信号入出力部には光電変換コネクタを設
け、上記各々のダストモニタの信号入出力部にも光電変
換コネクタを設け、かつ上記データ処理装置の各インタ
ーフェイスの光電変換コネクタと各ダストモニタの光電
変換コネクタとの間を光ファイバケーブルで双方向通信
可能に接続したことを特徴とするダストモニタの集中管
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11547385A JPS61274241A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | ダストモニタの集中管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11547385A JPS61274241A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | ダストモニタの集中管理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61274241A true JPS61274241A (ja) | 1986-12-04 |
| JPH047951B2 JPH047951B2 (ja) | 1992-02-13 |
Family
ID=14663410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11547385A Granted JPS61274241A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | ダストモニタの集中管理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61274241A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989004470A1 (en) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | The Secretary Of State For Defence In Her Britanni | Particle monitoring system |
| JP2002207001A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Nikkiso Co Ltd | 多点粒度分布測定システム |
| JP2013011460A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835484A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Hitachi Ltd | ダスト放射線濃度監視装置 |
| JPS58144769A (ja) * | 1982-02-23 | 1983-08-29 | Toshiba Corp | 放射性ダストモニタ− |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP11547385A patent/JPS61274241A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835484A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Hitachi Ltd | ダスト放射線濃度監視装置 |
| JPS58144769A (ja) * | 1982-02-23 | 1983-08-29 | Toshiba Corp | 放射性ダストモニタ− |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989004470A1 (en) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | The Secretary Of State For Defence In Her Britanni | Particle monitoring system |
| JP2002207001A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Nikkiso Co Ltd | 多点粒度分布測定システム |
| JP2013011460A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH047951B2 (ja) | 1992-02-13 |
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