JPS63152299A - 群装置内の通信装置 - Google Patents
群装置内の通信装置Info
- Publication number
- JPS63152299A JPS63152299A JP61300285A JP30028586A JPS63152299A JP S63152299 A JPS63152299 A JP S63152299A JP 61300285 A JP61300285 A JP 61300285A JP 30028586 A JP30028586 A JP 30028586A JP S63152299 A JPS63152299 A JP S63152299A
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- Japan
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- communication
- optical
- modems
- voltage power
- optical communication
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 46
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 21
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 1
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Selective Calling Equipment (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は最近の半導体製造装置のように、X発生用ある
いはイオン加速用などの被制御機器としての高圧電源、
この高圧電源を制御する制御部としてのコントローラ、
このコントローラにオン。 オフ指令、あるいは加速電圧の設定値などを操作入力す
るための操作部としての操作パネル、の組合せからなる
組合せ装置を複数組備え、かつ放射線から危険防止上な
どの理由から、前記高圧電源、コントローラ、操作パネ
ルを相互に隔離して設けてなる群装置における、その内
部の装置間の信号伝達手段としての通信装置に関する。
いはイオン加速用などの被制御機器としての高圧電源、
この高圧電源を制御する制御部としてのコントローラ、
このコントローラにオン。 オフ指令、あるいは加速電圧の設定値などを操作入力す
るための操作部としての操作パネル、の組合せからなる
組合せ装置を複数組備え、かつ放射線から危険防止上な
どの理由から、前記高圧電源、コントローラ、操作パネ
ルを相互に隔離して設けてなる群装置における、その内
部の装置間の信号伝達手段としての通信装置に関する。
この種の群装置内における信号伝達方法としては、それ
ぞれ組となる高圧電源、コントローラ。 操作パネルを相互に直接通信線で結合する方法が一般に
用いられている。
ぞれ組となる高圧電源、コントローラ。 操作パネルを相互に直接通信線で結合する方法が一般に
用いられている。
しかしながら前記の方法の場合、被制御機器の数が増え
るにつれて通信線路も増加して複雑になり、群装置内の
各装置を分配配置する際、通信を必要とする各装置間の
伝送距離が通信用モデムの伝送可能距離(例えば1〜2
KM)より長くなり通信ができなくなるという問題点が
あった。 本発明の目的は群装置内の各装置が分配配置されている
場合でも、ループ伝送方式の通信装置を提供することに
より、伝送路の構成を箇潔にして伝送距離を極力短縮し
、各装置間の通信を容易化することにある。
るにつれて通信線路も増加して複雑になり、群装置内の
各装置を分配配置する際、通信を必要とする各装置間の
伝送距離が通信用モデムの伝送可能距離(例えば1〜2
KM)より長くなり通信ができなくなるという問題点が
あった。 本発明の目的は群装置内の各装置が分配配置されている
場合でも、ループ伝送方式の通信装置を提供することに
より、伝送路の構成を箇潔にして伝送距離を極力短縮し
、各装置間の通信を容易化することにある。
上記問題点を解決するために本発明によれば、「被制御
機器(高圧電源10など)、該被制御機器に制御用信号
を与えつつこの被制御機器を制御する制御部(コントロ
ーラ21など)、該制御部に設定データ、オンオフ指令
などの操作用信号を与える操作部(操作パネル30など
)、からなる組合せ装置を複数組備えてなる群装置にお
いて、前記被制御機器、制御部、操作部の各々に光通信
用モデム(411,412,421,422,431,
432など)を設け、該光通信用モデムの各々をループ
状光伝送路(制御通信光ケーブル51など)で順次結合
し、このループ状光伝送路とそれぞれ対応する前記光通
信用モデムとを介し、各組合せ装置内の前記制御部と前
記被制御機器とが前記制御用信号を、同じく前記操作部
と前記制御部とが前記操作用信号を、それぞれ授受する
ようにjする。
機器(高圧電源10など)、該被制御機器に制御用信号
を与えつつこの被制御機器を制御する制御部(コントロ
ーラ21など)、該制御部に設定データ、オンオフ指令
などの操作用信号を与える操作部(操作パネル30など
)、からなる組合せ装置を複数組備えてなる群装置にお
いて、前記被制御機器、制御部、操作部の各々に光通信
用モデム(411,412,421,422,431,
432など)を設け、該光通信用モデムの各々をループ
状光伝送路(制御通信光ケーブル51など)で順次結合
し、このループ状光伝送路とそれぞれ対応する前記光通
信用モデムとを介し、各組合せ装置内の前記制御部と前
記被制御機器とが前記制御用信号を、同じく前記操作部
と前記制御部とが前記操作用信号を、それぞれ授受する
ようにjする。
被制御機器、制御部、操作部の各々は分散配置されても
ループ状光伝送路によって相互に最短距離にあるもの同
志が順次結合され得るので、伝送路の構成は簡素となり
、かつ伝送距離も短くなって通信が容易となる。
ループ状光伝送路によって相互に最短距離にあるもの同
志が順次結合され得るので、伝送路の構成は簡素となり
、かつ伝送距離も短くなって通信が容易となる。
第1図は本発明の一実施例としての構成を示すブロック
図である。同図において、10(11,12,−一)は
被制御機器としての高圧電源、20(21,22゜−>
はこの高圧電源10に制御用信号を与えつつ、高圧電
源10を制御する制御部としてのコントローラ、 30(31,32,−−−−−・)は前記制御部20に
オン、オフ指令を与えたり、高圧電源10に出力させる
べき電圧の設定値など(以下便宜上前記指令や該設定値
等を合せて操作用信号という)を与えたりする操作部と
しての操作パネルである。 ここで高圧電源11.コントローラ21.操作パネル3
1はそれぞれ1:1:1に対応しており、同様に高圧電
源12.コントローラ22.操作パネル32もそれぞれ
1:1:1に対応している。 また4(411,412,−・・・−1421,422
,−−−−一・、431,432゜−・)はそれぞれ高
圧電源11.12. 曲、コントローラ21.22.
・・・−、操作パネル31,32.・−・−・に付され
た光通信モデム(光モデムとも略す)であり、51はこ
の光通信モデム4を順次結合するループ状光伝送路とし
ての制御通信光ケーブルである。 なお6はホストコンピュータであり、このコンピュータ
6は光通信モデム4 (431M、432M、−)とこ
のモデムを順次ループ状に結合するループ状光伝送路と
してのモニタ通信光ケーブル52を介し、操作パネル3
1.32の操作入力内容をモニタしたり、また自動設定
の際は逆にホストコンピュータ6から光ケーブル52.
光通信モデム431M、432Mを介し操作パネル31
.32側にそれぞれ設定用データを与えたりする。 また同時にこのホストコンピュータ6は前記制御通信光
ケーブル51を介し、高圧電源11.12.−・、コン
トローラ21.22.−・、操作パネル31.32.曲
の交信内容をモニタする。但しこのホストコンピュータ
6は本発明には必須のものではない。 操作パネル31は光通信モデム431.制御通信光ケー
ブル51.光通信モデム421を介しコントローラ21
に前記操作用信号を送信し、コントローラ21は光通信
モデム421.制御通信ケーブル51.光通信モデム4
11を介し高圧電源11に前記制御用信号を与える。 同様に操作パネル32は光通信モデム°432.制御通
信光ケーブル51.光通信モデム422を介しコントロ
ーラ22に前記操作用信号を送信し、コントローラ22
は光通信モデム422.制御通信ケーブル51.光通信
モデム412を介し高圧電源12に前記制御用信号を与
える。 このような構成においてシステムの拡張を行う場合、光
ケーブル51.52 ’に光通信モデムを接続するだけ
で面素で伝送距離の極力短い通信線路が得られる。
図である。同図において、10(11,12,−一)は
被制御機器としての高圧電源、20(21,22゜−>
はこの高圧電源10に制御用信号を与えつつ、高圧電
源10を制御する制御部としてのコントローラ、 30(31,32,−−−−−・)は前記制御部20に
オン、オフ指令を与えたり、高圧電源10に出力させる
べき電圧の設定値など(以下便宜上前記指令や該設定値
等を合せて操作用信号という)を与えたりする操作部と
しての操作パネルである。 ここで高圧電源11.コントローラ21.操作パネル3
1はそれぞれ1:1:1に対応しており、同様に高圧電
源12.コントローラ22.操作パネル32もそれぞれ
1:1:1に対応している。 また4(411,412,−・・・−1421,422
,−−−−一・、431,432゜−・)はそれぞれ高
圧電源11.12. 曲、コントローラ21.22.
・・・−、操作パネル31,32.・−・−・に付され
た光通信モデム(光モデムとも略す)であり、51はこ
の光通信モデム4を順次結合するループ状光伝送路とし
ての制御通信光ケーブルである。 なお6はホストコンピュータであり、このコンピュータ
6は光通信モデム4 (431M、432M、−)とこ
のモデムを順次ループ状に結合するループ状光伝送路と
してのモニタ通信光ケーブル52を介し、操作パネル3
1.32の操作入力内容をモニタしたり、また自動設定
の際は逆にホストコンピュータ6から光ケーブル52.
光通信モデム431M、432Mを介し操作パネル31
.32側にそれぞれ設定用データを与えたりする。 また同時にこのホストコンピュータ6は前記制御通信光
ケーブル51を介し、高圧電源11.12.−・、コン
トローラ21.22.−・、操作パネル31.32.曲
の交信内容をモニタする。但しこのホストコンピュータ
6は本発明には必須のものではない。 操作パネル31は光通信モデム431.制御通信光ケー
ブル51.光通信モデム421を介しコントローラ21
に前記操作用信号を送信し、コントローラ21は光通信
モデム421.制御通信ケーブル51.光通信モデム4
11を介し高圧電源11に前記制御用信号を与える。 同様に操作パネル32は光通信モデム°432.制御通
信光ケーブル51.光通信モデム422を介しコントロ
ーラ22に前記操作用信号を送信し、コントローラ22
は光通信モデム422.制御通信ケーブル51.光通信
モデム412を介し高圧電源12に前記制御用信号を与
える。 このような構成においてシステムの拡張を行う場合、光
ケーブル51.52 ’に光通信モデムを接続するだけ
で面素で伝送距離の極力短い通信線路が得られる。
本発明によれば分散配置された複数組の被制御機器(高
圧電源)、コントローラ (制御部)、操作パネル(操
作部)の各々に光通信モデムを付加し、このモデムをル
ープ状光伝送路(制御通信光ケーブル)を介し順次連結
してこれらの各対応装置間の通信を行わせることとした
ので、伝送路の構成が簡素化され、かつ伝送距離も極力
短くすることができ、前記の分散配置の距離が大となっ
ても群装置内の通信が可能となる。
圧電源)、コントローラ (制御部)、操作パネル(操
作部)の各々に光通信モデムを付加し、このモデムをル
ープ状光伝送路(制御通信光ケーブル)を介し順次連結
してこれらの各対応装置間の通信を行わせることとした
ので、伝送路の構成が簡素化され、かつ伝送距離も極力
短くすることができ、前記の分散配置の距離が大となっ
ても群装置内の通信が可能となる。
第1図は本発明の一実施例としての構成を示すブロック
図である。
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)被制御機器、該被制御機器に制御用信号を与えつつ
この被制御機器を制御する制御部、該制御部に設定デー
タ、オンオフ指令などの操作用信号を与える操作部、か
らなる組合せ装置を複数組備えてなる群装置において、 前記被制御機器、制御部、操作部の各々に光通信用モデ
ムを設け、該光通信用モデムの各々をループ状光伝送路
で順次結合し、このループ状光伝送路とそれぞれ対応す
る前記光通信用モデムとを介し、各組合せ装置内の前記
制御部と前記被制御機器とが前記制御用信号を、同じく
前記操作部と前記制御部とが前記操作用信号を、それぞ
れ授受するようにしたことを特徴とする群装置内の通信
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61300285A JPS63152299A (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 群装置内の通信装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61300285A JPS63152299A (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 群装置内の通信装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63152299A true JPS63152299A (ja) | 1988-06-24 |
Family
ID=17882948
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61300285A Pending JPS63152299A (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 群装置内の通信装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63152299A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0224650U (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-19 | ||
JPH0531395U (ja) * | 1991-06-07 | 1993-04-23 | 東洋電子株式会社 | 空間光伝送装置 |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP61300285A patent/JPS63152299A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0224650U (ja) * | 1988-08-02 | 1990-02-19 | ||
JPH0531395U (ja) * | 1991-06-07 | 1993-04-23 | 東洋電子株式会社 | 空間光伝送装置 |
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