JPS61256975A - 炭化けい素焼結体 - Google Patents

炭化けい素焼結体

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Publication number
JPS61256975A
JPS61256975A JP60097441A JP9744185A JPS61256975A JP S61256975 A JPS61256975 A JP S61256975A JP 60097441 A JP60097441 A JP 60097441A JP 9744185 A JP9744185 A JP 9744185A JP S61256975 A JPS61256975 A JP S61256975A
Authority
JP
Japan
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silicon carbide
sintered body
weight
slc
carbide sintered
Prior art date
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Pending
Application number
JP60097441A
Other languages
English (en)
Inventor
康信 米田
公英 須郷
治文 万代
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は電気絶縁性、熱伝導性にすぐれ、かつ高密度
を有する大規模集積回路基板用材料として有用な炭化け
い素（Ｓａｃ）焼結体に関するものである。
〈従来の技術とその問題点〉 大規模集積回路基板用材料としてのＳＬＣ焼結体は、従
来気相反応法、反応焼結法、シリコン含浸法、加圧焼結
法などによって製造されている。
しかし、これらの製造法には夫々以下のような欠点が指
摘されている。
■　気相反応法は炭素とけい素の化合物をキャリヤガス
によって反応室に導き、それらを熱分解し、適当な基板
の上にＳＬＣとして析出させる方法でおるが、この方法
では均質かつ緻密な皮膜は得られるものの厚いものの製
造には適していない。
■　反応焼結法は、炭素とけい素または二酸化けい素混
合物を焼成してＳＬＣ焼結体を得る方法であり、この方
法では形状の大きなものも作りうるが、高密度焼結体が
得られない。
■　シリコン含浸法は、炭素の成形体をシリコン溶融体
中に浸し、これを炭化させる方法であるが、この方法も
高密度焼結体が得られない。
■　ホットプレスなどの加圧焼結法は、高密度のＳＬＣ
焼結体を得る方法として一般的に行われているが、量産
性に欠け、コストアップとなる。
■　ＳＬＣは共有結合性が強く、常圧焼結では緻密な焼
結体を得ることは極めて困難である。
などである。
〈問題点を解決するための手段〉 この発明は上記の点に鑑みて、電気絶縁性、熱伝導性に
すぐれ、かつ高密度の炭化けい素焼結体をホットプレス
などの加圧焼結法ではなく、量産性にすぐれた常圧焼結
法にて得られるべく検討の結果、得られたものでおる。
即ち、この発明はＢａ、　Ｓｒ、　Ｃａの酸化物あるい
は周期律表第３ａ族の希土類元素の酸化物から選ばれた
少なくとも１種以上の酸化物を０．１〜１０．０重量％
含有する炭化けい素粉末の焼結体からなる炭化けい素焼
結体である。
また上記の炭化けい素粉末に、ざらに＃２０３を５重量
％以下、必るいはＭｎまたはｉｎ化合物をｔ’Ｉｎに換
算して３．０重量％以下含有させて炭化けい素焼結体と
したものである。
〈作用〉 この発明において、Ｂａ、　ＳＴ、　Ｃａの酸化物ある
いは周期律表第３ａ族の希土類元素の酸化物のＳＬＣ粉
末に対する含有量を０．１〜１０．０重量％とするのが
低下して好ましくないためでおる。
Ｍ２Ｏ３を含有する場合、Ｍ２Ｏ３が５重量％を越える
と密度が低下し、熱伝導率も低下する。さらにｉｎの添
加は電気絶縁抵抗の改善に効果があるが、その添加量が
３．０重量％をこえると相対密度が小さくなり、熱伝導
性が低下してくるので３．０重量％以下が好ましい。
〈実施例〉 以下、この発明を実施例により説明する。
希土類元素酸化物あるいは、希土類元素の酸化物とＡ＃
２０３の混合物、Ｂａ、　Ｓｒ、　Ｃａの酸化物、ある
いはＢａ、　５ｒＳＣａの酸化物と／Ｖ２Ｏ３の混合物
、ｉ’Ｉｎ化合物などの量を第１表の組成となるように
平均粒径１゜０μｍ以下のＳＬＣ粉末に混合した。
次いで該混合粉に１０００Ｋｇ／ｃｒｆＩの圧力を加え
て成形体とした。そめ後この成形体を窒素ガス雰囲気中
で２０００〜２２００℃に１時間保持してＳＬＣ焼結体
を得た。
かくして得られたＳＬＣ焼結体の相対密度、熱伝導率な
どを測定したところ第１表に示す結果が得られた。
なお、表において＊印を付した番号のものはこの発明の
請求範囲外の比較例でおる。
また第１表に示すものは上記のように常圧焼結によって
得られたＳＬＣ焼結体でおるが、ホットプレス加圧焼結
法を採用したものでも同様の性質が得られた。
〈発明の効果〉 以上の通り、この発明により得られる炭化けい素焼結体
は、その相対密度は理論密度の８５％以上を有し、熱伝
導率は０．４ｃａｌ／　ｃｍ−３ｅＣ・’Ｃ以上と大き
な値を示し、従来の常圧焼結法によるＳＬＣ焼結体にｄ
３ける相対密度が７５％以下、熱伝導率０．１ｃａｌ／
　ｃｍ−ｓｅＣ・℃に比べて非常にすぐれた値を示した
。
このため、この発明で得られた炭化けい素焼結体は高密
度化、小形化が要求される大規模集積回路基板用材料と
して有用でおること、また該焼結体が緻密であって高強
度材料としての適用も可能であることが認められた。
さらにこの発明の炭化けい素焼結体は常圧焼結法で得ら
れることから量産性にすぐれていることも認められた。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）Ｂａ、Ｃａ、Ｓｒの酸化物、あるいは周期律表第
    ３ａ族の希土類元素の酸化物から選ばれた少なくとも１
    種以上の酸化物を０．１〜１０．０重量％含有する炭化
    けい素粉末の焼結体からなる炭化けい素焼結体。
  2. （２）特許請求の範囲第１項において、さらに酸化アル
    ミニウムを５重量％以下含有する炭化けい素焼結体。
  3. （３）特許請求の範囲第１項または第２項において、さ
    らにマンガンあるいはマンガン化合物をマンガンに換算
    して３．０重量％以下含有する炭化けい素焼結体。
JP60097441A 1985-05-08 1985-05-08 炭化けい素焼結体 Pending JPS61256975A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117819977A (zh) * 2024-03-06 2024-04-05 聚勒微电子科技(太仓)有限公司 一种碳化硅复合陶瓷材料及其制备方法和应用

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