JPS61253610A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＶＴＲ−フロシピーディスク装置等の磁気記録
再生装置に用いられる磁気ヘッドの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

第６図はＶＴＲに用いられるフェライト磁気ヘッドを示
し、一対のコア半対（４１）　（４２１がＳｉＯ＋のギ
ャップ部（ａを介して接合され、中央部には巻線窓（５
）が開設されている。又トラック幅はガラス製のトラッ
ク幅規制部（７）　（７１によって規定されている。

上記磁気ヘッドは従来より第２図乃至第５図に示す工程
を経て製造されている。

（ａ）　　溝形成工程（第２図、第３図）Ｍｎ−Ｚｎフ
ェライトよりなるウェハ（１）の表面に超鏡面研摩を施
して接合面ａ■を形成した後、該接合面α■に多数条の
トラック幅規制溝■を砥石車によって凹設すると共に、
該溝側に直交する方向に多数条の接合滝川及び巻線溝ω
を砥石車によって凹設する（第２図）。

但し、従来は上記各溝■ｗ側を加工する順序は一定して
おらず、例えばトラック幅規制溝（至）を開設した後、
接合溝田及び巻線溝■を形成していた。

又、上記ウェハ（１）と一対となるＭｎ−Ｚｎ７エライ
ト製のウェハ（２）に対しても同様に接合面■を形成し
た後、該接合面画に多数条のトラ・ツク幅規制溝（至）
を凹設する（第３図）。

（ｂｌ　　接合工程（第４図） 前記一対のウェハ（１）　（２）を、所定厚さに形成さ
れた５ｉＯｚのギャップ層（図示省略）を介して互いに
突き合わせる。接合溝田にはガラス棒（８）を挿入し、
加熱処理を施す。これによってガラス棒（８）が溶融し
、接合溝■及び接合面差に融着して両ウェハ（１）　（
２）が互いに接合固定されるのである。この際、トラ・
Ｉり幅規制溝■（イ）にも溶融ガラスが流入し、トラッ
ク幅規制部（７）を形成する。

（Ｃ）　　加工工程（第５図） 第４図に示すブロックを鎖線Ａにて切断し、テープ対接
面を形成する為の研摩を施すことにより、第５図に示す
如きプロ・ツク片（３）を製作する。

最後に前記ブロック片（３）を破線Ｂに沿ってスライス
し、第６図に示す磁気ヘッド（４）を完成する。

尚、図示した例に於ては一対のウェハ（１）　（２）か
ら２本のブロック片（３）が得られ、該プロ・ツク片（
３）からは２個の磁気ヘッド（４）が形成されているが
、実際の製造工程に於ては更に多数のブロック片（３）
及び磁気ヘッド（４）を得るべ（、大形のウェハ（１）
　（２１に溝加工が施されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第２図及び第３図に示す溝形成工程に於て、トラック幅
規制溝（至）の加工誤差はそのまま第６図に示すトラッ
ク幅Ｗの誤差となり、又巻線溝艶の加工誤差はそのまま
ギャップ部の初期寸法ｇの誤差とな？て、研摩仕上げ後
の磁気ヘッドのギャップ長に大きな影響を及ぼす。従っ
て砥石車による溝加工には極めて高い精度が要求される
。

ところが従来は所期の精度を得ることが困難で、歩留り
が悪い問題があった。

そこで出願人は該問題について考察し、下記の如くい（
つかの原因を明らかにした。

（１）砥石車の回転面と、砥石車のウェハに対する相対
的な送り方向とを厳密に同一平面上に設定することは現
実には不可能であって、両者の僅かな設定誤差（以下単
に砥石車の設定誤差という）に基づいて、回転中の砥石
車には回転面に垂直な方向にも研削抵抗が作用し、これ
によって砥石車は僅かに変形し、ウェハに対して蛇行す
ることになる。

この結果、加工された溝にうねりが生じ、該うねり量が
加工誤差となるのである。

（２）又、上記砥石車の設定誤差に基づいて、ウェハの
被研削面には偏荷重が作用し、該偏荷重に基づいて被研
削面に欠けが生じることがある。

この欠けの発生が、前記うねりによる加工誤差に加えて
溝加工の精度を低下させているものと考えられる。

尚、砥石車の研削量即ち砥石車のウェハに対する相対的
な送り速度及び切込み量を極端に小さくすると、上記加
工誤差は減少するが、全ての溝加工をこの方法で行なう
ことは生産能率の点で問題がある。

〔問題を解決する為の手段〕

本発明は上記問題を解決するべく、第１図（ａｌ〜（ｄ
ｌ及び第７図に示す如（、溝形成工程にて接合溝ｍと、
巻線溝■のギャップ長を規定する溝上半部すを除く溝下
半部３とを形成した後、トラック幅規制溝側を形成する
ものである。

〔作　用〕

ウェハ（１）の接合面α■に、接合溝田と巻線溝■の溝
下半部λとを砥石車によって凹設する際には、従来と同
様に砥石車の設定誤差による加工誤差が生じる。しかし
、接合溝用は単に両ウェハ（１）　＋２３を接合する為
に用いられる溝にすぎないから、高い寸法精度は不要で
ある。又巻線溝■の溝下半部ａは専ら巻線を施す為に用
いられ、第６図に示すギャップ部（４０の深さ方向の端
部、即ちギャップ長を規定するのは溝上半部すであるか
ら、該溝下半部２には高い寸法精度は不要である。

トラック幅規制溝側を砥石車によって凹設する際、接合
溝（＠及び少な（とも巻線溝■の溝下半部１は既に形成
されているから、砥石車はウェハ（１）に対して断続的
に研削を施すこととなる。

砥石車に設定誤差があると、砥石車には回転面に垂直な
方向の研削抵抗が作用するが、接合溝開設時と略同じ研
削速度（ｐｍ／５ｅｃ）及び切り込み量（ＩＭｎ）であ
っても、砥石車の単位時間当りの研削量（Ｐ３７　ｓｅ
ｃ　）は少ないから、前記研削抵抗は小さくなる。従っ
て、回転中の砥石車の変形も小さく、ウェハに対する蛇
行、即ち溝のうねり量は軽微なものとなる。

又、砥石車が既に開設済みの溝に挾まれた山部を研削す
る際に生じる僅かな変形は、砥石車が該山部から前記溝
に抜は出た際にある程度弾性復帰して小さくなる。

この結果、砥石車の蛇行が軽減されるばかりでな（、ウ
ェハの被研削面に対する偏荷重も小さくなり、欠けの発
生は著しく減少する。

巻線溝■の溝上半部すは、溝下半部＆の研削の直後、或
はトラック幅規制溝はの開設後、砥石車によって加工が
施される。前者の場合は、溝下半部３の領域を出来るだ
け大きくシ（例えば溝全体の９０％）、溝上半部すの研
削量を少なくすることにより、砥石車の設定誤差に基づ
くうねり及び欠けの発生を阻止することが可能である。

又、後者の場合は、トラック幅規制溝■が既に開設され
ているから、液溝はを形成したときと同様の作用効果が
得られる。

〔発明の効果〕

溝形成工程に於て前記の如き加工方法を採ることにより
、砥石車に多少の設定誤差があっても、研削後の溝の少
なくとも高精度が要求される部分には大きなうねり及び
欠けが生じることはない。

従って、極めて高い精度を有する磁気ヘッドを能率的に
製造することができる。

〔実施例〕

第１図乃至第５図は、本発明に係る磁気ヘッド製造方法
の一実施例を示し、第１乃至ｇＪ３図に示す溝形成工程
を除いて、第４図の接合工程及び第５図の加工工程は従
来と同じである。

第１図（ａ）〜（ｄｌは一方のウェハ（１）に対し、接
合溝用、巻線溝■及びトラック幅規制溝□□□を形成す
る順序を示している。

先ずＭｎ−Ｚｎフェライト単結晶のインゴットを切断し
て一対のウェハ（１１（２）を作製し、夫々の表面に超
鏡面研摩を施して接合面σ０（２０）を形成する（第１
図（ａ））。

一方のウェハ（１）の接合面（１■に対し、形成すべき
溝に応じた形状の砥石車を用いて、多数条の接合溝［株
］及び巻線溝（ｃＡの溝下半部３を開設する。該溝下半
部ａは、所定の溝１１１１１ｉ　ｈに仕上げるべき台形
状巻線溝艶のギャップ部側（図中左側）の溝上半部すを
除いて、該溝幅りよりも僅かな寸法ｄだけ狭い溝幅Ｃに
開設される（第１図（ｂ））。

次に、トラック幅規制溝（至）が所定の寸法に開設され
る。この際、既に接合溝用及び巻線溝［株］の大部分が
開設されているから、砥石車の設定誤差に基づくうねり
及び欠けは許容できる範囲内に収まる（第１図（Ｃ））
。

最後に巻線溝（ｃＡの溝上半部すが加工される。この際
、砥石車の回転軸方向の切り込み量は僅かな寸法ｄであ
るので、加工誤差は微小である。これによって所定の溝
幅りの巻線溝艶が形成され、テープ対接面の仕上げ研摩
前の初期ギャップ長ｇは高精度に仕上げられる（第１図
（ｄ））。

尚、巻線溝艶の溝上半部すは、溝下半部λに引き続いて
加工を施しても可いのは前述のとおりである。

上記一連の加工によって第２図に示す溝付きウェハ（１
）が得られる。又、他方のウェハ（２）には、トラック
幅規制溝側が比較的低い研摩速度にて開設され、これに
よって加工精度の向上が図られる。

以下、第４図及び第５図に示す工程を経て、第６図に示
す磁気ヘッドが完成されるのである。

尚、巻線溝■は第７図及び第８図に示す如（断面を段付
きの台形状に形成することも可能である。

この場合、先ず鎖線（５１）で示す溝幅ｅなる溝下半部
２が開設され、次に該下半部３よりも深さの浅い溝上半
部すが開設される。これによって溝上半部開設時の研削
量が減少し、高精度な初期ギヤ・ンプ長ｇが得られるの
である。

又、第３図に示すウェハ（２）のトラック幅規制溝（至
）を比較的速い研削速度にて高精度に形成するべ（、該
ウェハ（２）に対しても他方のウエノＸ（１）と同様に
、先ず接合溝（６１）及び巻線溝（（支）を開設し、そ
の後トラック幅規制溝■を開設して、第９図に示す如き
磁気ヘッドブロック片を形成することも可能である。こ
の際、これらの溝（６１１（５２）を高精度に仕上げる
必要はない。

本発明の実施により、溝の加工誤差が従来よりも数ミク
ロン減少することが確められている。

【図面の簡単な説明】

第１図陣）〜（ｄ）は各溝の加工順序を示すウエノ１の
側面図、第２図及び第３図は夫々溝が形成された一対の
ウェハの斜面図、第４図は接合されたウェハの側面図、
第５図は磁気ヘッドブロック片の斜面図、第６図は磁気
ヘッドの斜面図、第７図は他の実施例に於ける溝の形状
を示す拡大部分側面図、第８図及び第９図は夫々の他の
実施例−におけるブロック片の側面図である。。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］磁性材料からなる一対のウェハ（１）（２）の対
   向面に夫々研摩を施して接合面（１０）（２０）を形成
   した後、両接合面（１０）（２０）に夫々多数条のトラ
   ック幅規制溝（７０）（７０）を凹設すると共に、少な
   くとも一方のウェハ（１）にはトラック幅規制溝（７０
   ）に略直交して伸びる多数条の接合溝（６０）と巻線溝
   （５０）とを併設する溝形成工程と、上記ウェハ（２）
   を所定厚さのギャップ層を介して互いに接合面（１０）
   （２０）にて突き合わせると共に、接合溝（６０）には
   接合剤、トラック幅規制溝（７０）には非磁性体を充填
   、融着せしめて一体のブロックを形成する接合工程と、
   該ブロックを接合溝（６０）に沿って切断して磁気ブロ
   ック片を形成し、該ブロック片をギャップ部（４０）毎
   にスライスして夫々ギャップ部（４０）及び巻線窓（５
   ）を具える多数の磁気ヘッドを完成する加工工程とから
   なる磁気ヘッドの製造工程に於て、前記溝形成工程にて
   接合溝（６０）と、巻線溝（５０）のギャップ長を規定
   する溝上半部ｂを除く溝下半部ａとを形成した後、トラ
   ック幅規制溝（７０）を形成し、前記溝上半部ｂはトラ
   ック幅規制溝（７０）を形成した後、或は巻線溝（５０
   ）の溝下半部ａを加工した後であってトラック幅規制溝
   （７０）を形成する前に加工が施されることを特徴とす
   る磁気ヘッドの製造方法。 ［２］接合溝（６０）及び巻線溝（５０）の溝下半部ａ
   を加工した後、トラック幅規制溝（７０）を形成し、最
   後に巻線溝（５０）の溝上半部ｂを加工する特許請求の
   範囲第１項に記載の製造方法。 ［３］接合溝（６０）及び巻線溝（５０）の溝下半部ａ
   を加工した後、巻線溝（５０）の溝上半部ｂを加工し、
   最後にトラック幅規制溝（７０）を形成する特許請求の
   範囲第１項に記載の製造方法。 ［４］接合剤及び非磁性体は共に溶融ガラスである特許
   請求の範囲第１項乃至第３項の何れかに記載の製造方法
   。