JPS61245538A - シリコン基板の部分エツチング法 - Google Patents
シリコン基板の部分エツチング法Info
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- JPS61245538A JPS61245538A JP8638185A JP8638185A JPS61245538A JP S61245538 A JPS61245538 A JP S61245538A JP 8638185 A JP8638185 A JP 8638185A JP 8638185 A JP8638185 A JP 8638185A JP S61245538 A JPS61245538 A JP S61245538A
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は半導体装置の製造法におけるシリコンウェハの
部分エッチ技術に関する。
部分エッチ技術に関する。
半導体装置の製造において、シリコンウェハの状態でそ
の一面の一部に溝などの凹部を掘る場合、ホトレジスト
処理によりバターン化した表面酸化膜(810,膜)を
マスクにして、部分エツチングを行っている。
の一面の一部に溝などの凹部を掘る場合、ホトレジスト
処理によりバターン化した表面酸化膜(810,膜)を
マスクにして、部分エツチングを行っている。
たとえばシリコンウェハの一部のパターンを1μm以下
のシリコンエッチを行う場合、1 : 200フツ硝酸
(フッ酸1.硝酸200の混合液)をエッチ液として用
い、液温30℃で攪拌をしながら、たとえば浸漬法によ
り行う。(丸善■発行集積回路ハンドブック昭和43年
版p266)このウェハエツチングではエッチ液槽中で
複数個のウェハをたてて並べ液を攪拌しながら行うが、
第1図に示すようにウェハ内におけるエツチングのばら
つきの傾向と攪拌速度との関係を調べると、品種ごとの
エツチングされる面積のウェハ内の比率の違いによって
ウェハ内のばらつきの大きさと様子が大きく異なる。
のシリコンエッチを行う場合、1 : 200フツ硝酸
(フッ酸1.硝酸200の混合液)をエッチ液として用
い、液温30℃で攪拌をしながら、たとえば浸漬法によ
り行う。(丸善■発行集積回路ハンドブック昭和43年
版p266)このウェハエツチングではエッチ液槽中で
複数個のウェハをたてて並べ液を攪拌しながら行うが、
第1図に示すようにウェハ内におけるエツチングのばら
つきの傾向と攪拌速度との関係を調べると、品種ごとの
エツチングされる面積のウェハ内の比率の違いによって
ウェハ内のばらつきの大きさと様子が大きく異なる。
すなわち、一つ、のウェハでエツチング面積の比率の大
きいものにあっては、攪拌速度が遅いとき、同図囚に示
すように周辺のみがエッチされた中高のウェハにエッチ
される一方、エツチング面積の比率が10%以下のウェ
ハでは、逆に同図0に示すように中の部分のくぼんだウ
エノ・にエッチされる。
きいものにあっては、攪拌速度が遅いとき、同図囚に示
すように周辺のみがエッチされた中高のウェハにエッチ
される一方、エツチング面積の比率が10%以下のウェ
ハでは、逆に同図0に示すように中の部分のくぼんだウ
エノ・にエッチされる。
したがって、均一なウェハエツチングを行うためには、
今のtまでは攪拌速度の仕様を複数にしなければならな
いという煩雑さをさけられない。
今のtまでは攪拌速度の仕様を複数にしなければならな
いという煩雑さをさけられない。
また、ウェハエツチングされる面積の比率が小さいもの
ではウェハ内のばらつきを小さくすることは不可能であ
る。
ではウェハ内のばらつきを小さくすることは不可能であ
る。
本発明は上記した問題を解決するためになされたもので
ある。
ある。
本発明の目的とするところは、多品種の場合においても
、単一仕様で高精度のシリコンエツチングを実現できる
方法を提供することにある。
、単一仕様で高精度のシリコンエツチングを実現できる
方法を提供することにある。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおシである。
を簡単に説明すれば、下記のとおシである。
すなわち、シリコン基板の一部をエッチするにあたって
、基板の全面に多結晶シリコン膜を形成し、上記エッチ
する部分の多結晶シリコンを取り除いた後、残る全面の
多結晶シリコンをエッチしながら、上記エッチする部分
のシリコンをエッチするものであって、これにより、エ
ツチングされる面積の違いによるエツチング深さのばら
つきをなくし、もって単一仕様で高精度のシリコンエツ
チングを実現できる。
、基板の全面に多結晶シリコン膜を形成し、上記エッチ
する部分の多結晶シリコンを取り除いた後、残る全面の
多結晶シリコンをエッチしながら、上記エッチする部分
のシリコンをエッチするものであって、これにより、エ
ツチングされる面積の違いによるエツチング深さのばら
つきをなくし、もって単一仕様で高精度のシリコンエツ
チングを実現できる。
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示すものであっ
て、シリコン基板(ウエノ1)の一部にホトエッチによ
り凹部を形成するためのプロセスの工程断面図である。
て、シリコン基板(ウエノ1)の一部にホトエッチによ
り凹部を形成するためのプロセスの工程断面図である。
以下各工程にそって詳述する。
(1)81(シリコン)エッチを行うウエノ11の表面
に酸化物(Si0g膜)2を形成したものを用意し、全
面に気相よ、lsi’(rデポジットしてポリSl膜3
を形成する。(第1図)このポリSi膜3の厚さtは後
工程で81と同時にエッチを行う際にSlエッチ量が目
標値になったときにOになっている程度の厚さとする。
に酸化物(Si0g膜)2を形成したものを用意し、全
面に気相よ、lsi’(rデポジットしてポリSl膜3
を形成する。(第1図)このポリSi膜3の厚さtは後
工程で81と同時にエッチを行う際にSlエッチ量が目
標値になったときにOになっている程度の厚さとする。
たとえば、ポリSiの1:200フク硝酸によるエッチ
レートはSiの約1.5倍であるから、ポリSi膜3の
厚さt、はStのエッチ量1.の1.5倍より少し小さ
い程度とする。たとえばポリSi膜3の厚さt1’Th
1.5μmよシやや小さい1.3μmとする。
レートはSiの約1.5倍であるから、ポリSi膜3の
厚さt、はStのエッチ量1.の1.5倍より少し小さ
い程度とする。たとえばポリSi膜3の厚さt1’Th
1.5μmよシやや小さい1.3μmとする。
(2)ホトレジスト処理によりレジストマスク4を作り
、このマスク4全通してSlのエッチを行う部分のポリ
Si膜及び5tot膜をエッチする。このときのSiエ
ツチングにはプラズマエッチなどのドライエッチ方式に
より行い、SlO□膜はフッ酸等によりエッチする。(
第2図) (3)1:200フツ硝酸を使用し残るポリSiと霧出
している部分のSIを同時にエッチし、深さ1、=1.
0μmの凹部5を得る。(第3図)〔発明の効果〕 以上実施例で説明した本発明によれば、下記の理由で前
記発明の目的が達成できる。
、このマスク4全通してSlのエッチを行う部分のポリ
Si膜及び5tot膜をエッチする。このときのSiエ
ツチングにはプラズマエッチなどのドライエッチ方式に
より行い、SlO□膜はフッ酸等によりエッチする。(
第2図) (3)1:200フツ硝酸を使用し残るポリSiと霧出
している部分のSIを同時にエッチし、深さ1、=1.
0μmの凹部5を得る。(第3図)〔発明の効果〕 以上実施例で説明した本発明によれば、下記の理由で前
記発明の目的が達成できる。
液体を使用するSlエッチはエッチ液とStとの化学反
応により起こる。このときの反応は反応律速(反応自体
がエッチ速度を決める)と拡散律速(エッチ液が攪拌さ
れ移動することによるエッチ速度)とにより左右され石
。
応により起こる。このときの反応は反応律速(反応自体
がエッチ速度を決める)と拡散律速(エッチ液が攪拌さ
れ移動することによるエッチ速度)とにより左右され石
。
本発明によれば、Stがエッチされる部分以外でポリS
lをエッチすることにより、エッチされる81面積がウ
ェハ全面にわたる(第4゛図における100%)ことに
なシ、品種毎のウェハ内のエツチングされる面積比率の
差がなくなることになる。
lをエッチすることにより、エッチされる81面積がウ
ェハ全面にわたる(第4゛図における100%)ことに
なシ、品種毎のウェハ内のエツチングされる面積比率の
差がなくなることになる。
そのことにより以下の効果が生じる。
(1)単一の攪拌速度仕様でウェハ内のエツチングのば
らつきを低減することができる。
らつきを低減することができる。
(2)10ツト毎のエッチ液の劣化が品種によらず一定
となり、同一のエッチ液で連続して複数ロットを処理す
る場合、エッチ時間管正確に見積ることができ、ロフト
毎のエツチングのばらつきが低減できる。
となり、同一のエッチ液で連続して複数ロットを処理す
る場合、エッチ時間管正確に見積ることができ、ロフト
毎のエツチングのばらつきが低減できる。
したがりて、第4図を参照し、80〜100%で示す曲
線において、常にエツチングばらつき0の線で交わる攪
拌速度に設定すればよいことになる。
線において、常にエツチングばらつき0の線で交わる攪
拌速度に設定すればよいことになる。
以上本発明によりてなされた発明を実施例に基づき具体
的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
あることはいうまでもない。
たとえば、シリコンエッチ液の7ツ酸の成分や酸の種類
等を変更することにより攪拌速度をコントロールできる
。
等を変更することにより攪拌速度をコントロールできる
。
本発明はシリコンを基板として使用する半導体装置全般
に適用することができる。
に適用することができる。
特に本発明はIILを含むIC等において、βl確保の
ためIIL部分部分金剛るプロセスを使用する半導体装
置に応用した場合に最も大きい効果がもたらされる。
ためIIL部分部分金剛るプロセスを使用する半導体装
置に応用した場合に最も大きい効果がもたらされる。
第1図乃至第3図は本発明の一実施例を示すシリコンエ
ッチプロセスの工程断面図である。 第4図は攪拌速度とウェハエツチングのばらつきとの関
係を示す曲線図である。 1・・・シリコン基板(ウェハ)、2・・・酸化膜、3
・・・ポリシリコン膜、4・・・ホトレジスト、5・・
・凹部。
ッチプロセスの工程断面図である。 第4図は攪拌速度とウェハエツチングのばらつきとの関
係を示す曲線図である。 1・・・シリコン基板(ウェハ)、2・・・酸化膜、3
・・・ポリシリコン膜、4・・・ホトレジスト、5・・
・凹部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、シリコン基板の一部をエッチするにあたり、基板の
一主面全面に多結晶シリコン膜を形成し、上記エッチす
る部分を取り除いた後、残る多結晶シリコンをエッチし
ながら、上記エッチする部分のシリコンをエッチするこ
とを特徴とするシリコン基板の部分エッチ法。 2、上記シリコン基板のエッチはウェットエッチにより
行うものである特許請求の範囲第1項記載のシリコン基
板の部分エッチ法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8638185A JPS61245538A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | シリコン基板の部分エツチング法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8638185A JPS61245538A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | シリコン基板の部分エツチング法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61245538A true JPS61245538A (ja) | 1986-10-31 |
Family
ID=13885293
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8638185A Pending JPS61245538A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | シリコン基板の部分エツチング法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61245538A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63115331A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-19 | Matsushita Electronics Corp | ピンホールの検査方法 |
-
1985
- 1985-04-24 JP JP8638185A patent/JPS61245538A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63115331A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-19 | Matsushita Electronics Corp | ピンホールの検査方法 |
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