JPS61243406A - カラ−フイルタアレイの成膜方法 - Google Patents
カラ−フイルタアレイの成膜方法Info
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- JPS61243406A JPS61243406A JP60084808A JP8480885A JPS61243406A JP S61243406 A JPS61243406 A JP S61243406A JP 60084808 A JP60084808 A JP 60084808A JP 8480885 A JP8480885 A JP 8480885A JP S61243406 A JPS61243406 A JP S61243406A
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- gelatin
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- Pending
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
くイ）産業上の利用分野
本発明はカラー固体撮像素子に装着移れるＣＦＡ（カラ
ーフィルタアレイ）の成膜方法に関するものである。
ーフィルタアレイ）の成膜方法に関するものである。
半導体構成の固体撮像素子表面にＣＦＡを形成する事に
依って１枚の固体撮像素子からＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青
）の３Ｍ色の色信号を検出する事ができ、この種のＣＦ
Ａの構成技術は固体撮像の分野で重要視されている。
依って１枚の固体撮像素子からＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青
）の３Ｍ色の色信号を検出する事ができ、この種のＣＦ
Ａの構成技術は固体撮像の分野で重要視されている。
（ロ） 従来の技術
ＣＦＡ作製に用いられる代表的な材料はゼラチンであり
、塗布・露光パターニング後、染色液に −
浸漬して所望の色に染色する方法がとられている。この
ゼラチンは室、温く２０℃程度）ではゲル化しでしまい
、均一な塗布処理ができなくなるので、加温して塗布す
る必要がある。一般にゼラチンは第２図の如き温度粘度
特性を示し、この図によれば３０〜４０℃に加温すると
粘度が塗布処理に適した１０ｃｐ程度に安定化する。斯
る塗布工程の合理化を図るために、特開昭５７−１８９
１３３号公報には低分子量ゼラチンを使用する事の報告
がなされているが、実用には到っていない。故に、現状
では加温塗布する方法が主流となっている。即ち、ゼラ
チン容器を３０〜４０°Ｃに温調して固体撮像素子表面
に、このゼラチンを滴下する事になるが、斯る素子自体
が室温であるためにゼラチンの温度降下が大きく安定塗
布を妨げていた。
、塗布・露光パターニング後、染色液に −
浸漬して所望の色に染色する方法がとられている。この
ゼラチンは室、温く２０℃程度）ではゲル化しでしまい
、均一な塗布処理ができなくなるので、加温して塗布す
る必要がある。一般にゼラチンは第２図の如き温度粘度
特性を示し、この図によれば３０〜４０℃に加温すると
粘度が塗布処理に適した１０ｃｐ程度に安定化する。斯
る塗布工程の合理化を図るために、特開昭５７−１８９
１３３号公報には低分子量ゼラチンを使用する事の報告
がなされているが、実用には到っていない。故に、現状
では加温塗布する方法が主流となっている。即ち、ゼラ
チン容器を３０〜４０°Ｃに温調して固体撮像素子表面
に、このゼラチンを滴下する事になるが、斯る素子自体
が室温であるためにゼラチンの温度降下が大きく安定塗
布を妨げていた。
（ハ） 発明が解決しようとする問題点本発明は上述の
点に鑑みてなされたものであり、より安定なゼラチンの
加温塗布を可能としたＣＦＡの成膜方法を実現するもの
である。
点に鑑みてなされたものであり、より安定なゼラチンの
加温塗布を可能としたＣＦＡの成膜方法を実現するもの
である。
（ニ） 問題点を解決するための手段本発明のＣＦＡ
の成膜方法は、固体撮像素子を載置した回転支持台を予
め３０〜４０℃に加温しておき、温調したゼラチンを滴
下し回転塗布するものである０回転支持台を加温する方
法としては赤外線ランプの照射或いは、ヒータを直接回
転支持台に取り付ける方法が可能である。
の成膜方法は、固体撮像素子を載置した回転支持台を予
め３０〜４０℃に加温しておき、温調したゼラチンを滴
下し回転塗布するものである０回転支持台を加温する方
法としては赤外線ランプの照射或いは、ヒータを直接回
転支持台に取り付ける方法が可能である。
（ホ） 作用
本発明のＣＦＡの成膜方法に依れば、温調されたゼラチ
ンが滴下後も温度降下されることなく、安定塗布が可能
となる。
ンが滴下後も温度降下されることなく、安定塗布が可能
となる。
（へ） 実施例
第１図に本発明のＣＦＡの成膜方法に用いられるゼラチ
ン塗布装置を示し、同図を用いて、本発明方法の具体例
を以下に説明する。
ン塗布装置を示し、同図を用いて、本発明方法の具体例
を以下に説明する。
先ず、分子量５万のゼラチン１０％の水溶液に対し、１
０％の重クロム酸アンモニウム溶液を１０＝１の割合で
混合したゼラチン溶液を用意する。そして、この溶液を
レジストタンクに収容して、恒温水槽で４０℃に温調し
ておく、一方、回転支持台〈１）に固体撮像素子が形成
きれた半導体ウェハー（２）を載置した状態で、該支持
台（１）下の加熱ヒーター（３）で１分間加熱してこの
支持台（１）を３０℃に加温する。この時の加温温度は
、回転支持台（１）下の温度センサーの監視の基で、加
熱ヒーター（３）の発熱量が制御されるのである。
０％の重クロム酸アンモニウム溶液を１０＝１の割合で
混合したゼラチン溶液を用意する。そして、この溶液を
レジストタンクに収容して、恒温水槽で４０℃に温調し
ておく、一方、回転支持台〈１）に固体撮像素子が形成
きれた半導体ウェハー（２）を載置した状態で、該支持
台（１）下の加熱ヒーター（３）で１分間加熱してこの
支持台（１）を３０℃に加温する。この時の加温温度は
、回転支持台（１）下の温度センサーの監視の基で、加
熱ヒーター（３）の発熱量が制御されるのである。
而して、４０℃に加温きれたレジストタンク（５）のゼ
ラチン溶液をノズル（６）から３０℃に加温きれたＬ記
回転支持台（１）上の半導体ウェハー（２）表面に滴下
し、この回転支持台（１）をを３００Ｏｒｐｍで回転せ
しめる。従って、ゼラチン溶液は半導体ウェハー（２）
上に滴下されても大巾な温度差はなく、このゼラチン溶
液は１０ｃｐ程度の最適な粘度を保ちつつ、均一な膜厚
に回転塗布され、即ち成膜され、ＣＦＡが得られる。
ラチン溶液をノズル（６）から３０℃に加温きれたＬ記
回転支持台（１）上の半導体ウェハー（２）表面に滴下
し、この回転支持台（１）をを３００Ｏｒｐｍで回転せ
しめる。従って、ゼラチン溶液は半導体ウェハー（２）
上に滴下されても大巾な温度差はなく、このゼラチン溶
液は１０ｃｐ程度の最適な粘度を保ちつつ、均一な膜厚
に回転塗布され、即ち成膜され、ＣＦＡが得られる。
斯る実施例方法にて３０枚の半導体ウェハー（２）にゼ
ラチンを塗布処理した時のＣＦＡの膜厚バラツキは±１
００Å以下であり、回転支持台（１，）を加温する事な
く塗布処理した時のＣＦＡの膜厚バラツキが±３００人
程度１あった事に比べると、ＣＦＡの膜厚制御に秀れて
いる事がわかる。
ラチンを塗布処理した時のＣＦＡの膜厚バラツキは±１
００Å以下であり、回転支持台（１，）を加温する事な
く塗布処理した時のＣＦＡの膜厚バラツキが±３００人
程度１あった事に比べると、ＣＦＡの膜厚制御に秀れて
いる事がわかる。
尚、半導体ウェハー（２）の加温方法としては、回転支
持台（１）下にヒーター（３）を設ける代わりに、回転
支持台（１）中にヒーターを内蔵せしめてもよく、又、
温風ファンを備える構成も可能である。
持台（１）下にヒーター（３）を設ける代わりに、回転
支持台（１）中にヒーターを内蔵せしめてもよく、又、
温風ファンを備える構成も可能である。
（ト） 発明の効果
本発明のＣＦＡの成膜方法は、塗布前のゼラチン液をそ
の粘度を下げる為に、加温すると共に、ゼラチン塗布前
の固体撮像素子のウェハーをゼラチン液の粘度を保持で
きる温度に予め加温するものであるので、ゼラチン液の
上記ウェハー上への安定塗布が可能となり、膜厚の均一
なＣＦＡを得る事ができる。
の粘度を下げる為に、加温すると共に、ゼラチン塗布前
の固体撮像素子のウェハーをゼラチン液の粘度を保持で
きる温度に予め加温するものであるので、ゼラチン液の
上記ウェハー上への安定塗布が可能となり、膜厚の均一
なＣＦＡを得る事ができる。
第１図は本発明のＣＦＡの成膜方法に用いる回転塗布装
置の構成模式図、第２５！Ｊはゼラチン液の温度粘度特
性図であり、（１）は回転支持台、（２）は半導体ウェ
ハー、（３）はヒーター、（４）は温度センサー、（５
）はタンク、（６）はノズルを夫、々示している。
置の構成模式図、第２５！Ｊはゼラチン液の温度粘度特
性図であり、（１）は回転支持台、（２）は半導体ウェ
ハー、（３）はヒーター、（４）は温度センサー、（５
）はタンク、（６）はノズルを夫、々示している。
Claims (1)
- （１）固体撮像素子のウェハーにゼラチン液を回転塗布
して固体撮像素子表面にゼラチンからなるカラーフィル
タアレイを成膜する方法に於いて、塗布前のゼラチン液
をゼラチン液の粘度を下げる為に加温すると共に、ゼラ
チン塗布前の上記ウェハーをゼラチン液の粘度を保持で
きる温度に予め加温する事を特徴としたカラーフィルタ
アレイの成膜方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60084808A JPS61243406A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | カラ−フイルタアレイの成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60084808A JPS61243406A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | カラ−フイルタアレイの成膜方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61243406A true JPS61243406A (ja) | 1986-10-29 |
Family
ID=13841017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60084808A Pending JPS61243406A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | カラ−フイルタアレイの成膜方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61243406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017179175A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 富士フイルム株式会社 | ゼラチン成形体の製造方法 |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP60084808A patent/JPS61243406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017179175A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 富士フイルム株式会社 | ゼラチン成形体の製造方法 |
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