JPS61237010A - 極小内径測定器 - Google Patents
極小内径測定器Info
- Publication number
- JPS61237010A JPS61237010A JP7969285A JP7969285A JPS61237010A JP S61237010 A JPS61237010 A JP S61237010A JP 7969285 A JP7969285 A JP 7969285A JP 7969285 A JP7969285 A JP 7969285A JP S61237010 A JPS61237010 A JP S61237010A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lever
- stylus
- measured
- probe
- specimen
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/12—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring diameters
- G01B7/13—Internal diameters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、極小孔径を正確に測定する装置に係るもの
である。
である。
内径を電気マイクロメータ等の変位電気変換器によって
測定する場合、２本の測子を被測定孔に挿入し、直径方
向に拡張して論定するのが一般的であるが、直径が微小
であると測子が非常に細くなるので、変形し易くなり測
圧等によりたわみ誤差が発生するとか、挿入時に損傷を
起こす等の欠入居があり、測定可能な最小孔径には限度
があった。
測定する場合、２本の測子を被測定孔に挿入し、直径方
向に拡張して論定するのが一般的であるが、直径が微小
であると測子が非常に細くなるので、変形し易くなり測
圧等によりたわみ誤差が発生するとか、挿入時に損傷を
起こす等の欠入居があり、測定可能な最小孔径には限度
があった。
また、空気マイクロメータによる場合は、直径方向に噴
気するエアジェツトを小さな被測定孔に差し込んで測定
する方式によるが、ジェットの摩耗による精度低下に対
する管理や、損傷防止のための取り扱いが面倒であり、
かつエアジェツトは小径部材に軸方向の通気孔と直径方
向の噴出口を加工・形成しなければならないので、小径
になる程、その加工、製作が困難である等の問題があっ
た。
気するエアジェツトを小さな被測定孔に差し込んで測定
する方式によるが、ジェットの摩耗による精度低下に対
する管理や、損傷防止のための取り扱いが面倒であり、
かつエアジェツトは小径部材に軸方向の通気孔と直径方
向の噴出口を加工・形成しなければならないので、小径
になる程、その加工、製作が困難である等の問題があっ
た。
このため、従来、測定可能な最小孔径は、２本の測子に
よる電気式で約φ２ＩＩＩＩｌｌまで、エアジェツトに
よる空気式で約φＩＩｆ１ｍまで、とされてきた。
よる電気式で約φ２ＩＩＩＩｌｌまで、エアジェツトに
よる空気式で約φＩＩｆ１ｍまで、とされてきた。
本発明は、これら従来技術の改善をはかるために創意、
開発されたもので、極小内径の１本の測子による電気式
測定を可能とし、従来装置に比し、より小径に適用でき
、高精度で、測子の損傷が少なく操作も比較的容易な極
小内径測定器、を提供するものである。
開発されたもので、極小内径の１本の測子による電気式
測定を可能とし、従来装置に比し、より小径に適用でき
、高精度で、測子の損傷が少なく操作も比較的容易な極
小内径測定器、を提供するものである。
まず、第１図によりて本発明の構成等の概要を説明する
。図の右の部分に示す２は支点１を有する１本の測子レ
バーであり、この１１１１子レバー２の右端に接触子３
を設けて、これを被測定孔４に差、し込み、測子レバー
２を支点１を中心に接触子３が孔４の直径位置に接触す
るように、図では紙面に沿って上下方向に回動させ、こ
のときの検出器５の出力を検出する。そして検出信号の
最大値と最小値を求め、その差すなわち振幅を演算し、
これを予め測定、記憶されているマスクの振幅と比較演
算し、その差を測定値として出力するものである。
。図の右の部分に示す２は支点１を有する１本の測子レ
バーであり、この１１１１子レバー２の右端に接触子３
を設けて、これを被測定孔４に差、し込み、測子レバー
２を支点１を中心に接触子３が孔４の直径位置に接触す
るように、図では紙面に沿って上下方向に回動させ、こ
のときの検出器５の出力を検出する。そして検出信号の
最大値と最小値を求め、その差すなわち振幅を演算し、
これを予め測定、記憶されているマスクの振幅と比較演
算し、その差を測定値として出力するものである。
ここで測子レバー２を上下に回動させる機構の一例を第
１図の左の部分に示す。モータ６には偏心カム７が取り
付けられており、偏心カム７は、支点９に支えられる上
部レバー８の図の左端部および支点１１に支えられる下
部レバー１０の図の左端部にその外周が相対している。
１図の左の部分に示す。モータ６には偏心カム７が取り
付けられており、偏心カム７は、支点９に支えられる上
部レバー８の図の左端部および支点１１に支えられる下
部レバー１０の図の左端部にその外周が相対している。
また、上部レバー８の右端部と、下部レバー１０の右端
部との間に、上、下の平衡用ばね１２．１３を介して測
子レバー２の左端部が位置している。
部との間に、上、下の平衡用ばね１２．１３を介して測
子レバー２の左端部が位置している。
このように構成することによって、モータ６を回転させ
ると、偏心カム７が回転し、そのリフトにより上、下部
レバー８．１０が傾斜するので、測子レバー２は支点１
を中心として、図では紙面に沿った上下方向に回動し、
接触子３は、前述のように被測定孔４の直径位置に接触
することになり、最大、最小の変位として検出される。
ると、偏心カム７が回転し、そのリフトにより上、下部
レバー８．１０が傾斜するので、測子レバー２は支点１
を中心として、図では紙面に沿った上下方向に回動し、
接触子３は、前述のように被測定孔４の直径位置に接触
することになり、最大、最小の変位として検出される。
第２図は、以上説明した本発明の構成を具体化した一実
施例である。図では、第１図に示すものと同じ機構を有
する部分は同一の符号（数字）をもによって固定部に支
持されており、支点１に対し、接触子３の反対側には、
固定部に固定されたコイルボビンに進退可能なコアが取
り付けられ、差動変圧器５を形成している。接触子３を
有する測子は、摩耗、損傷時とか、被測定対象物が変更
された場合、交換して、測子レバー２に取り付けて用い
ることができる。上・下部レバー８．１０は、中間に薄
肉部の弾性支点９．１０が形成された剛性体の一端にそ
の中央部が取り付けられている。この上、下レバー８．
１０の図で右端部は平衡用コイルばね１２．１３を介し
て測子レバー２の後端部を挟持しており、レバー８．１
０の他端は当駒１５．１６を介してモータ６の袖に取り
付けられた偏心カム７の外周に当接している。また、こ
れらの主要構成部分は、コンパクトに円筒状ケーシング
１７内に収められている。
施例である。図では、第１図に示すものと同じ機構を有
する部分は同一の符号（数字）をもによって固定部に支
持されており、支点１に対し、接触子３の反対側には、
固定部に固定されたコイルボビンに進退可能なコアが取
り付けられ、差動変圧器５を形成している。接触子３を
有する測子は、摩耗、損傷時とか、被測定対象物が変更
された場合、交換して、測子レバー２に取り付けて用い
ることができる。上・下部レバー８．１０は、中間に薄
肉部の弾性支点９．１０が形成された剛性体の一端にそ
の中央部が取り付けられている。この上、下レバー８．
１０の図で右端部は平衡用コイルばね１２．１３を介し
て測子レバー２の後端部を挟持しており、レバー８．１
０の他端は当駒１５．１６を介してモータ６の袖に取り
付けられた偏心カム７の外周に当接している。また、こ
れらの主要構成部分は、コンパクトに円筒状ケーシング
１７内に収められている。
以上の構成におＶ′１て、被測定孔に接触子３を挿入し
、モータ６を始動するとその回転は、偏心カム７の口伝
→当駒１５．１６の上下動、→支点９．１０を中心とす
る上、下レバー８．１０の回動、→測子レバーの支点１
を中心とする回動、と順次伝達され、接触子３が被測定
内径４の図では上下の直径位置に当接し、その時の位置
が検出器５によって検出されるのは、第１図によって説
明した通りである。
、モータ６を始動するとその回転は、偏心カム７の口伝
→当駒１５．１６の上下動、→支点９．１０を中心とす
る上、下レバー８．１０の回動、→測子レバーの支点１
を中心とする回動、と順次伝達され、接触子３が被測定
内径４の図では上下の直径位置に当接し、その時の位置
が検出器５によって検出されるのは、第１図によって説
明した通りである。
第３図は検出器出力の処理を示すブロック図である。図
に示すように、接触子を被測定内周面の例えば第２図の
下部に当てたときの検出器出力を最小値として記憶し、
上部に当てたときの検出器出力を最小値として記憶し、
両横出値を演算して、その差を振幅として出力する。一
方、予め前記と同様の手順でマスクの最小値、最大値、
振幅を検出、演算、記憶しておき、被測定内周の振幅値
と演算することにより、被測定内径の測定値がマスク内
径に対する偏差として求められる。
に示すように、接触子を被測定内周面の例えば第２図の
下部に当てたときの検出器出力を最小値として記憶し、
上部に当てたときの検出器出力を最小値として記憶し、
両横出値を演算して、その差を振幅として出力する。一
方、予め前記と同様の手順でマスクの最小値、最大値、
振幅を検出、演算、記憶しておき、被測定内周の振幅値
と演算することにより、被測定内径の測定値がマスク内
径に対する偏差として求められる。
な゛お、接触子３を被測定内径の直径方向の２点に当接
させるための測子レバー２の回動機構としては、本実施
例で示した上、下部レバー８、ｌＯによって挟持して行
なう手段に限定されるものではなく、要は、測圧をもっ
て接触子３を被測定内径の直径方向の上下位置に押し付
ける機構であればよく、例えば、測子レバー２の左端を
上下に、加圧空気圧をもって押圧する方法や電磁コイル
によって吸引し、接触子３の測定点への当接時には弾性
部材によって緩衝し、適宜な測定力を与える手段等□他
の公知技術によって実施することができる。
させるための測子レバー２の回動機構としては、本実施
例で示した上、下部レバー８、ｌＯによって挟持して行
なう手段に限定されるものではなく、要は、測圧をもっ
て接触子３を被測定内径の直径方向の上下位置に押し付
ける機構であればよく、例えば、測子レバー２の左端を
上下に、加圧空気圧をもって押圧する方法や電磁コイル
によって吸引し、接触子３の測定点への当接時には弾性
部材によって緩衝し、適宜な測定力を与える手段等□他
の公知技術によって実施することができる。
また、検出器は差動変圧器に限らず、静電容量型等、他
の検出器を用いても同様に実施可能である。
の検出器を用いても同様に実施可能である。
以上詳述したように、本発明によれば、２本の測子を被
測定内径に挿入して測定を行なう従来技術に対しては、
挿入する測子は１本だけであるため、より極小内径、例
えばφ０，７＋ｎｎ＋程度まで適用可能であり、被測定
内径が同等の場合は測子を太く、強くすることにより、
損傷、たわみを防止することができる。
測定内径に挿入して測定を行なう従来技術に対しては、
挿入する測子は１本だけであるため、より極小内径、例
えばφ０，７＋ｎｎ＋程度まで適用可能であり、被測定
内径が同等の場合は測子を太く、強くすることにより、
損傷、たわみを防止することができる。
また、従来の空気マイクロメータによる１本の測子を用
いる方式に比較すると、測子の内部に縦、横の通気孔の
加工を要しないので、より小径の測子で、より小さい孔
径の測定が可能となり、測子の摩耗による精度劣化に対
処するための寸法、寿命等の管理が不要となるなど、す
ぐれた効果が得られる。
いる方式に比較すると、測子の内部に縦、横の通気孔の
加工を要しないので、より小径の測子で、より小さい孔
径の測定が可能となり、測子の摩耗による精度劣化に対
処するための寸法、寿命等の管理が不要となるなど、す
ぐれた効果が得られる。
＃ｆＪ１図は本発明の構成機°要を示す説明図、第２図
は本発明の′一実施例の断面図、第３図は本発明の実施
例における検出信号の処理出力を示すブロック図。
は本発明の′一実施例の断面図、第３図は本発明の実施
例における検出信号の処理出力を示すブロック図。
Claims (1)
- 先端に接触子を有し、支点に支持されて回動可能の測子
レバーと、前記接触子が被測定孔の直径位置の２点に接
触したときの測子レバーの回動による変位を検出する検
出器とを有し、かつ、測子レバーの回動機構を備え、前
記検出器の出力の最大値と最小値との差により内径を測
定することを特徴とする極小内径測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7969285A JPS61237010A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 極小内径測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7969285A JPS61237010A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 極小内径測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61237010A true JPS61237010A (ja) | 1986-10-22 |
| JPH0511564B2 JPH0511564B2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=13697254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7969285A Granted JPS61237010A (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 極小内径測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61237010A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172911A (ja) * | 1987-01-10 | 1988-07-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | トンネル内に組み立てられたセグメントの締結方法 |
| CN113532340A (zh) * | 2020-04-14 | 2021-10-22 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 跳动测量装置 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54155862A (en) * | 1978-05-29 | 1979-12-08 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for measuring tridimensional form |
| JPS5662507U (ja) * | 1979-10-20 | 1981-05-27 | ||
| JPS59117907U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-09 | 安藤電気株式会社 | クシ型基準器をもつ測長機 |
| JPS6049U (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-05 | 豊田工機株式会社 | 接触検出用ヘッドを備えた数値制御工作機械 |
| JPS6029211U (ja) * | 1983-08-03 | 1985-02-27 | 住友電気工業株式会社 | 加硫管内の被加硫物位置検出装置 |
| JPS6050408A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-20 | Ando Electric Co Ltd | 振動による測定誤差を少なくした座標測定機 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029211B2 (ja) * | 1975-09-10 | 1985-07-09 | 松下電器産業株式会社 | 半導体磁器コンデンサの製造方法 |
| JPS6049B2 (ja) * | 1980-10-31 | 1985-01-05 | 松下電器産業株式会社 | 圧力調整装置 |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP7969285A patent/JPS61237010A/ja active Granted
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54155862A (en) * | 1978-05-29 | 1979-12-08 | Osaka Kiko Co Ltd | Device for measuring tridimensional form |
| JPS5662507U (ja) * | 1979-10-20 | 1981-05-27 | ||
| JPS59117907U (ja) * | 1983-01-31 | 1984-08-09 | 安藤電気株式会社 | クシ型基準器をもつ測長機 |
| JPS6049U (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-05 | 豊田工機株式会社 | 接触検出用ヘッドを備えた数値制御工作機械 |
| JPS6029211U (ja) * | 1983-08-03 | 1985-02-27 | 住友電気工業株式会社 | 加硫管内の被加硫物位置検出装置 |
| JPS6050408A (ja) * | 1983-08-30 | 1985-03-20 | Ando Electric Co Ltd | 振動による測定誤差を少なくした座標測定機 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172911A (ja) * | 1987-01-10 | 1988-07-16 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | トンネル内に組み立てられたセグメントの締結方法 |
| CN113532340A (zh) * | 2020-04-14 | 2021-10-22 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 跳动测量装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0511564B2 (ja) | 1993-02-15 |
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