JP3390969B2 - 溝形状測定方法及び装置 - Google Patents
溝形状測定方法及び装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、穴壁に溝を有する
穴の溝形状を測定する溝形状測定方法及び装置に関す
る。
穴の溝形状を測定する溝形状測定方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】ワークに形成された穴の形状を測定する
測定装置の一つとして、空気マイクロメータがある。従
来の空気マイクロメータは、測定ヘッドをワークの穴に
挿入し、測定ヘッドのノズルから穴壁に向けて圧縮空気
を噴射し、ノズルの背圧を検出する。ノズルの背圧は、
ノズルと穴壁との間隔に依存するので、予め求めたマス
ターの基準値と比較することによって、前記検出値を穴
の内径の寸法に換算できる。このような空気マイクロメ
ータは、ワークと非接触で、高精度に穴の内径を測定で
きる利点がある。
測定装置の一つとして、空気マイクロメータがある。従
来の空気マイクロメータは、測定ヘッドをワークの穴に
挿入し、測定ヘッドのノズルから穴壁に向けて圧縮空気
を噴射し、ノズルの背圧を検出する。ノズルの背圧は、
ノズルと穴壁との間隔に依存するので、予め求めたマス
ターの基準値と比較することによって、前記検出値を穴
の内径の寸法に換算できる。このような空気マイクロメ
ータは、ワークと非接触で、高精度に穴の内径を測定で
きる利点がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
空気マイクロメータは、穴壁に溝を有する穴を測定する
ことができなかった。
空気マイクロメータは、穴壁に溝を有する穴を測定する
ことができなかった。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みて成された
もので、穴壁に溝を有する穴の溝形状を測定できる溝形
状測定方法及び装置を提供することを目的とする。
もので、穴壁に溝を有する穴の溝形状を測定できる溝形
状測定方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は前
記目的を達成するために、穴壁に溝のない第１穴に流体
を供給するとともに該第１穴に浮子を挿入し、前記流体
が前記浮子と前記穴壁との隙間を通過する際の背圧、流
量、又は前記浮子が受ける抗力を検出して第１検出値を
取得し、第１検出値の取得に先立って又は第１検出値の
取得後に、穴壁に溝を有する第２穴に流体を供給すると
ともに該第２穴に浮子を挿入し、前記流体が前記浮子と
前記穴壁との隙間を通過する際の背圧、流量、又は前記
浮子が受ける抗力を検出して第２検出値を取得し、前記
第１検出値と第２検出値とに基づいて第２穴の溝形状を
測定することを特徴としている。
記目的を達成するために、穴壁に溝のない第１穴に流体
を供給するとともに該第１穴に浮子を挿入し、前記流体
が前記浮子と前記穴壁との隙間を通過する際の背圧、流
量、又は前記浮子が受ける抗力を検出して第１検出値を
取得し、第１検出値の取得に先立って又は第１検出値の
取得後に、穴壁に溝を有する第２穴に流体を供給すると
ともに該第２穴に浮子を挿入し、前記流体が前記浮子と
前記穴壁との隙間を通過する際の背圧、流量、又は前記
浮子が受ける抗力を検出して第２検出値を取得し、前記
第１検出値と第２検出値とに基づいて第２穴の溝形状を
測定することを特徴としている。
【０００６】請求項２記載の発明は前記目的を達成する
ために、穴壁に溝のない第１穴、穴壁に溝を有する第２
穴に挿入される浮子と、前記第１穴、前記第２穴に流体
を供給する流体供給手段と、該流体供給手段で供給した
流体が、前記第１穴、前記第２穴の穴壁と前記浮子との
隙間を通過する際の流体の背圧、流量、又は前記浮子が
受ける抗力を検出する検出手段と、該検出手段で前記第
１穴を検出して取得した第１検出値と、前記第２穴を検
出して取得した第２検出値とに基づいて、前記第２穴の
溝形状を測定する測定手段と、を備えたことを特徴とし
ている。
ために、穴壁に溝のない第１穴、穴壁に溝を有する第２
穴に挿入される浮子と、前記第１穴、前記第２穴に流体
を供給する流体供給手段と、該流体供給手段で供給した
流体が、前記第１穴、前記第２穴の穴壁と前記浮子との
隙間を通過する際の流体の背圧、流量、又は前記浮子が
受ける抗力を検出する検出手段と、該検出手段で前記第
１穴を検出して取得した第１検出値と、前記第２穴を検
出して取得した第２検出値とに基づいて、前記第２穴の
溝形状を測定する測定手段と、を備えたことを特徴とし
ている。
【０００７】本発明によれば、穴壁に溝のない第１穴に
流体を供給して浮子を挿入し、圧縮空気の背圧、流量、
又は浮子が受ける抗力を検出し、第１検出値を取得する
とともに、前記第１穴と同条件で、穴壁に溝を有する第
２穴を検出して第２検出値を取得する。そして、第１検
出値から第１穴の断面積を求め、第２検出値から第２穴
の断面積を求めるとともに、双方の断面積の差を求める
ことにより、第２穴の溝に相当する断面積を求めること
ができる。
流体を供給して浮子を挿入し、圧縮空気の背圧、流量、
又は浮子が受ける抗力を検出し、第１検出値を取得する
とともに、前記第１穴と同条件で、穴壁に溝を有する第
２穴を検出して第２検出値を取得する。そして、第１検
出値から第１穴の断面積を求め、第２検出値から第２穴
の断面積を求めるとともに、双方の断面積の差を求める
ことにより、第２穴の溝に相当する断面積を求めること
ができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る溝形状測定方法及び装置の好ましい実施の形態につい
て説明する。
る溝形状測定方法及び装置の好ましい実施の形態につい
て説明する。
【０００９】図１は、本実施の形態の測定装置１０の構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【００１０】図１に示すように、空気源１２から供給さ
れる圧縮空気は、フィルタ１４で除塵され、レギュレー
タ１６で一定圧力に調整された後、Ａ／Ｅ変換器１８
（空気／電気変換器）内に設置された絞りを通り、コネ
クタ３３を介して測定台２８内の送気路２８Ｂに送気さ
れる。
れる圧縮空気は、フィルタ１４で除塵され、レギュレー
タ１６で一定圧力に調整された後、Ａ／Ｅ変換器１８
（空気／電気変換器）内に設置された絞りを通り、コネ
クタ３３を介して測定台２８内の送気路２８Ｂに送気さ
れる。
【００１１】測定台２８の上面には、送気路２８Ｂに連
通する供給口２８Ａが形成されるとともに、ワーク２２
が載置される。ワーク２２には、測定球３０を挿入する
円柱状の穴２３が形成されており、この穴２３が前記供
給口２８Ａに連通される。供給口２８Ａの回りには、エ
ア漏れ防止シール（Ｏリング）３４が配設され、このエ
ア漏れ防止シール３４によって測定台２８とワーク２２
との隙間から空気が洩れることが防止される。これによ
り、前記送気路２８Ｂに供給された圧縮空気は、洩れる
ことなく、供給口２８Ａから穴２３に噴射される。噴射
された圧縮空気は、穴２３の穴壁と測定球３０との隙間
を通って外部に吹き出される。Ａ／Ｅ変換器１８は、こ
のときの圧力を、内蔵するベローズと差動変圧器とによ
って電気信号に変換し、管制部２０に出力する。測定球
３０の外径が異なる場合、圧力が微小変化し、管制部２
０は、変化した電気信号に基づいて測定球３０の外径を
算出し、算出したデータを例えば管制部２０のモニタ上
に表示する。
通する供給口２８Ａが形成されるとともに、ワーク２２
が載置される。ワーク２２には、測定球３０を挿入する
円柱状の穴２３が形成されており、この穴２３が前記供
給口２８Ａに連通される。供給口２８Ａの回りには、エ
ア漏れ防止シール（Ｏリング）３４が配設され、このエ
ア漏れ防止シール３４によって測定台２８とワーク２２
との隙間から空気が洩れることが防止される。これによ
り、前記送気路２８Ｂに供給された圧縮空気は、洩れる
ことなく、供給口２８Ａから穴２３に噴射される。噴射
された圧縮空気は、穴２３の穴壁と測定球３０との隙間
を通って外部に吹き出される。Ａ／Ｅ変換器１８は、こ
のときの圧力を、内蔵するベローズと差動変圧器とによ
って電気信号に変換し、管制部２０に出力する。測定球
３０の外径が異なる場合、圧力が微小変化し、管制部２
０は、変化した電気信号に基づいて測定球３０の外径を
算出し、算出したデータを例えば管制部２０のモニタ上
に表示する。
【００１２】前記測定球３０は、樹脂や金属等によって
高い加工精度で球状に形成されており、支持部材３２を
介してアーム３６に取り付けられる。支持部材３２は、
ピアノ線等の弾性体から成り、測定球３０を着脱自在に
支持する。例えば、測定球３０が磁性体である場合に
は、支持部材３２の下端に磁石を設けて測定球３０を吸
着支持する。また、例えば測定球３０を接着剤等によっ
て支持部材３２に接着し、測定後に測定球３０を取り外
してもよい。
高い加工精度で球状に形成されており、支持部材３２を
介してアーム３６に取り付けられる。支持部材３２は、
ピアノ線等の弾性体から成り、測定球３０を着脱自在に
支持する。例えば、測定球３０が磁性体である場合に
は、支持部材３２の下端に磁石を設けて測定球３０を吸
着支持する。また、例えば測定球３０を接着剤等によっ
て支持部材３２に接着し、測定後に測定球３０を取り外
してもよい。
【００１３】前記アーム３６は、スライダ３８、３８を
介してコラム４０に鉛直方向の摺動自在に取り付けられ
ている。また、アーム３６には、モータ４２の回転軸に
連結された送りねじ４４が螺合される。これにより、モ
ータ４２を駆動すると、送りねじ４４が回動し、アーム
３６が昇降する。
介してコラム４０に鉛直方向の摺動自在に取り付けられ
ている。また、アーム３６には、モータ４２の回転軸に
連結された送りねじ４４が螺合される。これにより、モ
ータ４２を駆動すると、送りねじ４４が回動し、アーム
３６が昇降する。
【００１４】アーム３６の上方には、リニアスケール４
６が設けられている。これにより、アーム３６の昇降
量、即ち、穴２３への測定球３０の挿入量が検出され、
その検出信号が管制部２０に出力される。
６が設けられている。これにより、アーム３６の昇降
量、即ち、穴２３への測定球３０の挿入量が検出され、
その検出信号が管制部２０に出力される。
【００１５】管制部２０は、リニアスケール４６の検出
信号に基づいてモータ４２を制御し、測定球３０の挿入
量を調節する。また、管制部２０は、Ａ／Ｅ変換器１８
の検出値をマスターの基準値と比較し、測定球３０の外
径に換算する。ここで、マスターの基準値とは、測定に
先立って、測定時と同じ条件でマスターを測定した値で
あり、測定条件を変える度に行われる。
信号に基づいてモータ４２を制御し、測定球３０の挿入
量を調節する。また、管制部２０は、Ａ／Ｅ変換器１８
の検出値をマスターの基準値と比較し、測定球３０の外
径に換算する。ここで、マスターの基準値とは、測定に
先立って、測定時と同じ条件でマスターを測定した値で
あり、測定条件を変える度に行われる。
【００１６】図２に示すように、前記ワーク２２の穴２
３は、穴壁に溝２４、２４…を有する溝部（第２穴に相
当）２３Ａと、溝のない溝無部（第１穴に相当）２３Ｂ
とから構成される。溝部２３Ａは、溝無部２３Ｂと同一
直線状に形成され、溝部２３Ａの溝２４、２４…は、穴
２３の軸と平行に形成される。また、溝２４、２４…
は、図３に示すように、穴２３の軸を中心として所定の
間隔で形成されている。なお、溝２４、２４…の形状
は、上述したものに限定されず、例えば、流体軸受の一
部に見られるように、螺旋状に形成されたものでもよ
い。
３は、穴壁に溝２４、２４…を有する溝部（第２穴に相
当）２３Ａと、溝のない溝無部（第１穴に相当）２３Ｂ
とから構成される。溝部２３Ａは、溝無部２３Ｂと同一
直線状に形成され、溝部２３Ａの溝２４、２４…は、穴
２３の軸と平行に形成される。また、溝２４、２４…
は、図３に示すように、穴２３の軸を中心として所定の
間隔で形成されている。なお、溝２４、２４…の形状
は、上述したものに限定されず、例えば、流体軸受の一
部に見られるように、螺旋状に形成されたものでもよ
い。
【００１７】前述した測定球３０の外径ｄは、穴２３の
内径Ｄと、要求される感度によって設定され、例えば、
（Ｄ−ｄ）が１０〜１００μｍ程度になるように設定さ
れる。この（Ｄ−ｄ）が小さいほど感度が良くなり、測
定球３０の外径が少し変化しただけでも、Ａ／Ｅ変換器
１８の検出値が大きく変化するようになる。
内径Ｄと、要求される感度によって設定され、例えば、
（Ｄ−ｄ）が１０〜１００μｍ程度になるように設定さ
れる。この（Ｄ−ｄ）が小さいほど感度が良くなり、測
定球３０の外径が少し変化しただけでも、Ａ／Ｅ変換器
１８の検出値が大きく変化するようになる。
【００１８】次に上記の如く構成された測定装置１０の
作用について説明する。
作用について説明する。
【００１９】まず、図１の空気源１２から圧縮空気を供
給する。これにより、供給口２８Ａから穴２３に圧縮空
気が噴射され、該圧縮空気が穴２３の軸方向に送気さ
れ、溝部２３Ａ、溝無部２３Ｂを経て上部開口から外部
に噴射される。
給する。これにより、供給口２８Ａから穴２３に圧縮空
気が噴射され、該圧縮空気が穴２３の軸方向に送気さ
れ、溝部２３Ａ、溝無部２３Ｂを経て上部開口から外部
に噴射される。
【００２０】次に、モータ４２を駆動してアーム３６を
下降させ、測定球３０を穴２３Ａに挿入する。測定球３
０は、測定球３０と穴２３の穴壁との隙間を通り抜ける
圧縮空気によって自動求心作用（又は自動調心作用）を
受けて、穴２３の中心に自動的に移動しながら下降す
る。
下降させ、測定球３０を穴２３Ａに挿入する。測定球３
０は、測定球３０と穴２３の穴壁との隙間を通り抜ける
圧縮空気によって自動求心作用（又は自動調心作用）を
受けて、穴２３の中心に自動的に移動しながら下降す
る。
【００２１】そして、図２に実線で示すように、測定球
３０が溝無部２３Ｂの内部に配置された際に、溝無部２
３Ｂの穴壁と測定球３０との隙間を通過する圧縮空気の
背圧を、Ａ／Ｅ変換器１８で検出する。この検出値は、
図４に示す溝無部２３Ｂと測定球３０との隙間の大きさ
に依存する。したがって、予め求めたマスターの基準値
と比較することによって溝無部２３Ｂの内径に換算でき
る。管制部２０は、この内径の換算値から、溝無部２３
Ｂの断面積を算出する。
３０が溝無部２３Ｂの内部に配置された際に、溝無部２
３Ｂの穴壁と測定球３０との隙間を通過する圧縮空気の
背圧を、Ａ／Ｅ変換器１８で検出する。この検出値は、
図４に示す溝無部２３Ｂと測定球３０との隙間の大きさ
に依存する。したがって、予め求めたマスターの基準値
と比較することによって溝無部２３Ｂの内径に換算でき
る。管制部２０は、この内径の換算値から、溝無部２３
Ｂの断面積を算出する。
【００２２】次に、続けて下降させた測定球３０が、図
２に二点鎖線で示すように、溝部２３Ａの内部に配置さ
れた際に、圧縮空気の背圧をＡ／Ｅ変換器１８で検出す
る。この背圧の検出値は、図３に示した溝部２３Ａと測
定球３０との隙間の大きさに依存する。管制部２０は、
溝部２３Ａを円柱状の穴と仮定し、前記検出値をマスタ
ーの基準値と比較して、前記仮定した穴の内径に換算す
る。そして、この換算値から溝部２３Ａの断面積を換算
する。
２に二点鎖線で示すように、溝部２３Ａの内部に配置さ
れた際に、圧縮空気の背圧をＡ／Ｅ変換器１８で検出す
る。この背圧の検出値は、図３に示した溝部２３Ａと測
定球３０との隙間の大きさに依存する。管制部２０は、
溝部２３Ａを円柱状の穴と仮定し、前記検出値をマスタ
ーの基準値と比較して、前記仮定した穴の内径に換算す
る。そして、この換算値から溝部２３Ａの断面積を換算
する。
【００２３】ところで、図３に示した溝２４、２４…全
体の断面積は、溝部２３Ａの断面積から、図４に示した
溝無部２３Ｂの断面積を引いたものに相当する。したが
って、溝部２３Ａの断面積から、溝無部２３Ｂの断面積
を引くことにより、溝２４、２４…全体に相当する断面
積が算出される。
体の断面積は、溝部２３Ａの断面積から、図４に示した
溝無部２３Ｂの断面積を引いたものに相当する。したが
って、溝部２３Ａの断面積から、溝無部２３Ｂの断面積
を引くことにより、溝２４、２４…全体に相当する断面
積が算出される。
【００２４】このように本実施の形態の測定装置１０
は、溝２４を有する溝部２３Ａの断面積と、溝のない溝
無部２２Ｂの断面積とを比較して溝２４、２４…全体の
相当断面積を算出するので、溝２４、２４…の形状を簡
単に測定できる。したがって、溝２４、２４…が所定の
大きさで加工されてない加工不良品や、溝２４の加工が
行われてない未加工品を簡単に検出できる。特に測定装
置１０は、溝２４、２４…全体の相当断面積を算出でき
るので、流体軸受け等の検査に有利である。
は、溝２４を有する溝部２３Ａの断面積と、溝のない溝
無部２２Ｂの断面積とを比較して溝２４、２４…全体の
相当断面積を算出するので、溝２４、２４…の形状を簡
単に測定できる。したがって、溝２４、２４…が所定の
大きさで加工されてない加工不良品や、溝２４の加工が
行われてない未加工品を簡単に検出できる。特に測定装
置１０は、溝２４、２４…全体の相当断面積を算出でき
るので、流体軸受け等の検査に有利である。
【００２５】また、測定装置１０は、溝部２３Ａを円柱
状の穴と仮定して溝部２３Ａの断面積を測定するので、
溝付きのマスターを必要としない。溝付きのマスター
は、精度の良い加工が困難であり、コストも高い。した
がって、測定装置１０は、低コストであり、穴２３の径
の変更に伴うマスターの交換も容易に対応できる。
状の穴と仮定して溝部２３Ａの断面積を測定するので、
溝付きのマスターを必要としない。溝付きのマスター
は、精度の良い加工が困難であり、コストも高い。した
がって、測定装置１０は、低コストであり、穴２３の径
の変更に伴うマスターの交換も容易に対応できる。
【００２６】なお、測定装置１０で測定する穴２３の形
状は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、
穴壁全体に溝が形成された穴（即ち、溝部２３Ａのみか
ら成る穴）であっても溝形状を測定できる。例えば、溝
を加工する前の円柱状の穴を測定して断面積を算出し、
溝を加工した後に再び測定して断面積を算出する。これ
により、溝全体の相当断面積を精度良く求めることがで
きる。
状は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、
穴壁全体に溝が形成された穴（即ち、溝部２３Ａのみか
ら成る穴）であっても溝形状を測定できる。例えば、溝
を加工する前の円柱状の穴を測定して断面積を算出し、
溝を加工した後に再び測定して断面積を算出する。これ
により、溝全体の相当断面積を精度良く求めることがで
きる。
【００２７】また、本発明は、穴壁に溝が形成された穴
であれば溝形状を測定できるので、穴の形状は、角穴で
あってもよい。
であれば溝形状を測定できるので、穴の形状は、角穴で
あってもよい。
【００２８】また、上述した実施の形態は、Ａ／Ｅ変換
器１８で背圧を検出したが、これに限定するものではな
く、Ａ／Ｅ変換器１８の代わりに流量計を設けて圧縮空
気の流量変化を検出してもよい。この場合も、検出値を
マスターの基準値と比較して穴２３の内径に換算する。
器１８で背圧を検出したが、これに限定するものではな
く、Ａ／Ｅ変換器１８の代わりに流量計を設けて圧縮空
気の流量変化を検出してもよい。この場合も、検出値を
マスターの基準値と比較して穴２３の内径に換算する。
【００２９】さらに、圧縮空気の背圧や流量の検出に限
定されるものではなく、以下に示すように、測定球３０
の受ける抗力や測定球３０の変位量を検出してもよい。
定されるものではなく、以下に示すように、測定球３０
の受ける抗力や測定球３０の変位量を検出してもよい。
【００３０】図５は、測定球３０が受ける抗力を検出す
る、測定装置４８の構造を示すブロック図である。同図
に示す測定装置４８は、支持部材３２が圧電ピックアッ
プ５０を介してアーム３６に取り付けられている。圧電
ピックアップ５０は、圧縮空気が穴２３の穴壁と測定球
３０との隙間を通過する際に、測定球３０が圧縮空気か
ら受ける抗力を検出し、その検出信号を管制部２０に出
力する。管制部２０は、圧電ピックアップ５０から検出
信号を受信すると、その検出値を、前記同様、マスター
の基準値と比較して穴２３の内径に換算する。
る、測定装置４８の構造を示すブロック図である。同図
に示す測定装置４８は、支持部材３２が圧電ピックアッ
プ５０を介してアーム３６に取り付けられている。圧電
ピックアップ５０は、圧縮空気が穴２３の穴壁と測定球
３０との隙間を通過する際に、測定球３０が圧縮空気か
ら受ける抗力を検出し、その検出信号を管制部２０に出
力する。管制部２０は、圧電ピックアップ５０から検出
信号を受信すると、その検出値を、前記同様、マスター
の基準値と比較して穴２３の内径に換算する。
【００３１】また、圧電ピックアップ５０を設ける代わ
りに、アーム３６に歪みゲージ（不図示）を取り付け
て、アーム３６の歪みを検出してもよい。この場合に
も、マスターの基準値と比較することにより穴２３の内
径に換算できる。
りに、アーム３６に歪みゲージ（不図示）を取り付け
て、アーム３６の歪みを検出してもよい。この場合に
も、マスターの基準値と比較することにより穴２３の内
径に換算できる。
【００３２】なお、上述した実施の形態は、ワーク２２
の穴２３に空気を噴射したが、流体を噴射するのであれ
ばよく、空気以外の気体や液体であってもよい。また、
その流体の温度を制御する温度制御手段を設けてもよ
い。
の穴２３に空気を噴射したが、流体を噴射するのであれ
ばよく、空気以外の気体や液体であってもよい。また、
その流体の温度を制御する温度制御手段を設けてもよ
い。
【００３３】また、支持部材３２は、測定球３０が穴２
３の軸と直交方向に移動自在に支持する構造であればよ
い。例えば、図６に示す支持部材３２は、剛体で構成さ
れており、該支持部材３２の上端に円盤５２に取り付け
られている。円盤５２は、静圧流体軸受５８によって水
平方向にスライド自在に支持される。これにより、測定
球３０が自動求心作用を受けると、円盤５２がスライド
して測定球３０が穴２３の中心に配置される。なお、図
６に示した静圧流体軸受５８に、図７に示すような位置
検出センサ６０、６０を設けると、該位置検出センサ６
０によって円盤５２の位置、即ち測定球３０の水平面上
の位置を検出できる。このように測定球３０の位置を検
出することにより、複数の溝２４、２４…が均等に形成
されているかを検査することができる。即ち、溝２４、
２４…が均等に形成されてない場合には、測定球３０が
穴２３の中心からずれるので、これを検知することがで
きる。
３の軸と直交方向に移動自在に支持する構造であればよ
い。例えば、図６に示す支持部材３２は、剛体で構成さ
れており、該支持部材３２の上端に円盤５２に取り付け
られている。円盤５２は、静圧流体軸受５８によって水
平方向にスライド自在に支持される。これにより、測定
球３０が自動求心作用を受けると、円盤５２がスライド
して測定球３０が穴２３の中心に配置される。なお、図
６に示した静圧流体軸受５８に、図７に示すような位置
検出センサ６０、６０を設けると、該位置検出センサ６
０によって円盤５２の位置、即ち測定球３０の水平面上
の位置を検出できる。このように測定球３０の位置を検
出することにより、複数の溝２４、２４…が均等に形成
されているかを検査することができる。即ち、溝２４、
２４…が均等に形成されてない場合には、測定球３０が
穴２３の中心からずれるので、これを検知することがで
きる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る溝形状
測定方法及び装置によれば、穴壁に溝のない第１穴と、
穴壁に溝を有する第２穴とを同じ条件で検出し、これら
の検出値から第１穴と第２穴の断面積の差を求めるの
で、第２穴の溝形状を測定することができる。
測定方法及び装置によれば、穴壁に溝のない第１穴と、
穴壁に溝を有する第２穴とを同じ条件で検出し、これら
の検出値から第１穴と第２穴の断面積の差を求めるの
で、第２穴の溝形状を測定することができる。
【図１】本発明に係る溝形状測定装置の実施の形態の構
造を示すブロック図
造を示すブロック図
【図２】図１に示した溝形状測定装置の特徴部分を示す
断面図
断面図
【図３】図２の３−３線に沿う断面図
【図４】図２の４−４線に沿う断面図
【図５】図１と検出方法が異なる溝形状測定装置の構造
を示すブロック図
を示すブロック図
【図６】図１と異なる測定球の支持構造を示す側面図
【図７】図６の７−７線に沿う断面図
１０…測定装置、１２…空気源、１６…レギュレータ、
１８…Ａ／Ｅ変換器、２０…管制部、２２…ワーク、２
３…穴、２８…測定台、２８Ａ…供給口、３０…測定
球、３２…支持部材、５０…圧電ピックアップ
１８…Ａ／Ｅ変換器、２０…管制部、２２…ワーク、２
３…穴、２８…測定台、２８Ａ…供給口、３０…測定
球、３２…支持部材、５０…圧電ピックアップ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−293610（ＪＰ，Ａ)
特開2001−349719（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 13/00 - 13/24
Claims (3)
- 【請求項１】 穴壁に溝のない第１穴に流体を供給する
とともに該第１穴に浮子を挿入し、前記流体が前記浮子
と前記穴壁との隙間を通過する際の背圧、流量、又は前
記浮子が受ける抗力を検出して第１検出値を取得し、 第１検出値の取得に先立って又は第１検出値の取得後
に、穴壁に溝を有する第２穴に流体を供給するとともに
該第２穴に浮子を挿入し、前記流体が前記浮子と前記穴
壁との隙間を通過する際の背圧、流量、又は前記浮子が
受ける抗力を検出して第２検出値を取得し、 前記第１検出値と第２検出値とに基づいて第２穴の溝形
状を測定することを特徴とする溝形状測定方法。 - 【請求項２】 穴壁に溝のない第１穴、穴壁に溝を有す
る第２穴に挿入される浮子と、 前記第１穴、前記第２穴に流体を供給する流体供給手段
と、 該流体供給手段で供給した流体が、前記第１穴、前記第
２穴の穴壁と前記浮子との隙間を通過する際の流体の背
圧、流量、又は前記浮子が受ける抗力を検出する検出手
段と、 該検出手段で前記第１穴を検出して取得した第１検出値
と、前記第２穴を検出して取得した第２検出値とに基づ
いて、前記第２穴の溝形状を測定する測定手段と、 を備えたことを特徴とする溝形状測定装置。 - 【請求項３】 前記第１穴と前記第２穴は、共通のワー
クに形成されることを特徴とする請求項２記載の溝形状
測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000174154A JP3390969B2 (ja) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | 溝形状測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP2000174154A JP3390969B2 (ja) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | 溝形状測定方法及び装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001349720A JP2001349720A (ja) | 2001-12-21 |
| JP3390969B2 true JP3390969B2 (ja) | 2003-03-31 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000174154A Expired - Fee Related JP3390969B2 (ja) | 2000-06-09 | 2000-06-09 | 溝形状測定方法及び装置 |
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| JP (1) | JP3390969B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4905833B2 (ja) * | 2007-03-13 | 2012-03-28 | 株式会社東京精密 | 内径測定装置、及び内径測定方法 |
-
2000
- 2000-06-09 JP JP2000174154A patent/JP3390969B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2001349720A (ja) | 2001-12-21 |
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