JPS61236603A - 非酸化物粉末の連続合成装置 - Google Patents
非酸化物粉末の連続合成装置Info
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- JPS61236603A JPS61236603A JP60076139A JP7613985A JPS61236603A JP S61236603 A JPS61236603 A JP S61236603A JP 60076139 A JP60076139 A JP 60076139A JP 7613985 A JP7613985 A JP 7613985A JP S61236603 A JPS61236603 A JP S61236603A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
- C01B21/0685—Preparation by carboreductive nitridation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
a、産業上の利用分野
本発明は酸化物の還元窒化又は還元炭化反応を利用した
非酸化物粉末、例えば窒化けい素、炭化けい素、ザイア
ロン、窒化アルミニウム、窒化ホう素等の連続合成装置
。
非酸化物粉末、例えば窒化けい素、炭化けい素、ザイア
ロン、窒化アルミニウム、窒化ホう素等の連続合成装置
。
b、従来の技術
一般に前期のごとき非酸化物粉末の合成に際しては、酸
化物とカーボン、重視粉末等の混合粉末を1300〜2
O00℃の高温において非酸化性ガスを流しながら合成
する方法がとられている。
化物とカーボン、重視粉末等の混合粉末を1300〜2
O00℃の高温において非酸化性ガスを流しながら合成
する方法がとられている。
これらの方法に用いる装置としては、次のものが提案さ
れている。
れている。
(1)耐火物で形成された竪型反応室内部に非酸化性ガ
スを通し、該反応室に原料を充填し、これを降下させ、
前記反応室の周囲から加熱するように構成された竪型炉
、 (2)回転できる円筒反応管の中心に棒状カーボンヒー
ターを通し、該反応管の周囲に断熱材を配した構造とし
、該反応管と反応管の駆動部、電気供給部、原料導入部
、製品排出部等の装置全体をケーシングで囲い、該ケー
シングに非酸化性ガスを導入して、ケーシング全体を非
酸化性雰囲気とした非酸化物合成炉(特公昭5l−10
600)。
スを通し、該反応室に原料を充填し、これを降下させ、
前記反応室の周囲から加熱するように構成された竪型炉
、 (2)回転できる円筒反応管の中心に棒状カーボンヒー
ターを通し、該反応管の周囲に断熱材を配した構造とし
、該反応管と反応管の駆動部、電気供給部、原料導入部
、製品排出部等の装置全体をケーシングで囲い、該ケー
シングに非酸化性ガスを導入して、ケーシング全体を非
酸化性雰囲気とした非酸化物合成炉(特公昭5l−10
600)。
(3)カーボン管と酸化防止用保護管の二重管を重油、
ガスバーナ等で外熱加熱を行い、二重管に非酸化性ガス
を通す構造を有した回転炉。
ガスバーナ等で外熱加熱を行い、二重管に非酸化性ガス
を通す構造を有した回転炉。
C0発明が解決しようとする問題点
しかし、上記いずれの合成炉においても、非酸化性ガス
を連続的に回収して使用する方式のものではないため、
非酸化性バージンガスを多量に使用しなければならず製
品の製造コストが非常に高いものになるという欠点があ
った。
を連続的に回収して使用する方式のものではないため、
非酸化性バージンガスを多量に使用しなければならず製
品の製造コストが非常に高いものになるという欠点があ
った。
d0問題を解決するための手段
本発明は上記従来技術を課題を解消するためになされた
もので、その目的は、高品質な非酸化物セラミック粉末
を、低コストに工業的規模で連続生産するに適した合成
装置を提供することにあり、その要旨は、非酸化物粉末
の反応炉のガス排出口にCO2ガス酸化装置を連結し、
該装置にCO,および11□0吸収装置を連設し、該装
置から得た非酸化性ガスを上記反応炉に供給する手段を
設けたことを特徴とする非酸化物粉末の連続合成装置に
ある。
もので、その目的は、高品質な非酸化物セラミック粉末
を、低コストに工業的規模で連続生産するに適した合成
装置を提供することにあり、その要旨は、非酸化物粉末
の反応炉のガス排出口にCO2ガス酸化装置を連結し、
該装置にCO,および11□0吸収装置を連設し、該装
置から得た非酸化性ガスを上記反応炉に供給する手段を
設けたことを特徴とする非酸化物粉末の連続合成装置に
ある。
本発明装置において、反応炉はその型式を問わない。
以下、本発明による非酸化物製造用の連続合成装置を図
示の実施例を参照しながら説明する。
示の実施例を参照しながら説明する。
本発明において、非酸化性ガスとしては、N2゜Ar等
が用いられ、また原料としてはシリカ粉末。
が用いられ、また原料としてはシリカ粉末。
アルミナ粉末、カーボン粉末、樹脂粉末等が用いられる
。
。
図面に示すように本発明の合成装置は内部が加熱される
反応炉15反応炉1に原料粉末を供給する原料供給部2
.生成された非酸化物粉末を取り出す製品排出部3から
なる合成炉4と、これに、反応炉1から排出された排出
ガス中のCOガスをCO□に酸化する酸化装置5.Co
2を吸収するCO2吸収装置6および非酸化性ガスの供
給手段部からなる。
反応炉15反応炉1に原料粉末を供給する原料供給部2
.生成された非酸化物粉末を取り出す製品排出部3から
なる合成炉4と、これに、反応炉1から排出された排出
ガス中のCOガスをCO□に酸化する酸化装置5.Co
2を吸収するCO2吸収装置6および非酸化性ガスの供
給手段部からなる。
反応炉はどのようなタイプのものでも用いられるが図面
では回転炉を示した。
では回転炉を示した。
回転炉1は図に示すように中央にカーボン+SiC等の
発熱体8を配したカーボン管9の囲りを耐火断熱剤とし
てのカーボンウール10と耐火断熱レンガ11で保温を
行い、さらにその周囲を金属性の気密用円筒管12でガ
スもれを防いだ3重構造となっている。回転炉の両端部
にはシール部材13を介してフード14が設けられてい
る。
発熱体8を配したカーボン管9の囲りを耐火断熱剤とし
てのカーボンウール10と耐火断熱レンガ11で保温を
行い、さらにその周囲を金属性の気密用円筒管12でガ
スもれを防いだ3重構造となっている。回転炉の両端部
にはシール部材13を介してフード14が設けられてい
る。
加熱は発熱体8で行い、該発熱体8は銅電極15を通し
て電流が供給され発熱する。
て電流が供給され発熱する。
回転炉1全体は、気密用円筒管12に取り付けられた鎖
車16およびチェーン17を介してモーター18で駆動
回転される。
車16およびチェーン17を介してモーター18で駆動
回転される。
回転炉1は両端を2対のローラ19によって支持されて
いる。ローラ19は支持台2O上に設けられ、支持枠台
2Oは支点21を中心として油圧シリンダ22によって
その傾斜角度を調整できる。
いる。ローラ19は支持台2O上に設けられ、支持枠台
2Oは支点21を中心として油圧シリンダ22によって
その傾斜角度を調整できる。
原料の通過時間は回転炉1の傾斜角度又は回転炉1の回
転数を変えることによって制御される。
転数を変えることによって制御される。
原料供給部2は投入口23を有する原料ホッパ24と原
料粉末を回転炉内に一定速度で送り込むためのスクリュ
ーコンヘア25と、原料シュート26からなっている。
料粉末を回転炉内に一定速度で送り込むためのスクリュ
ーコンヘア25と、原料シュート26からなっている。
27はスクリューコンベアを回転するためのモーターで
ある。
ある。
製品排出部3は取り出し口28を有する製品取り出し用
水ソバ29と、回転炉1と製品取り出し用水ソバ29と
の間に配設された製品取り出し管30からなっている。
水ソバ29と、回転炉1と製品取り出し用水ソバ29と
の間に配設された製品取り出し管30からなっている。
製品は取り出し口28より一定時間毎に取り出される。
回転炉1に導入されその内部を流れガス排出部31より
排出された非酸化性ガス例えばN2ガス又はArガスと
COガスの混合ガスはファン31によって昇圧され、ヒ
ータ32を有したガス加熱器33で必要に応じて加熱し
たのち、白金系触媒34が充填された酸化反応部5へ送
られる。そのさい、混合ガス中のCOが酸化されてCO
□になるに必要なだけの空気又は純酸素がガス流入口3
5より導入される。
排出された非酸化性ガス例えばN2ガス又はArガスと
COガスの混合ガスはファン31によって昇圧され、ヒ
ータ32を有したガス加熱器33で必要に応じて加熱し
たのち、白金系触媒34が充填された酸化反応部5へ送
られる。そのさい、混合ガス中のCOが酸化されてCO
□になるに必要なだけの空気又は純酸素がガス流入口3
5より導入される。
次に非酸化性ガスとCo2の混合ガスはモレキュラシー
ブ36が充填されたCO□吸収部6へ導入されCO2だ
けが吸収される。
ブ36が充填されたCO□吸収部6へ導入されCO2だ
けが吸収される。
CO□吸収部6は切替使用できるよう2槽にしておく。
通常は一方の吸収槽でCO2を吸収し、その間もう一方
の槽はヒーター37で加熱しながら真空ポンプ38で減
圧してCO2を除去して再生する。
の槽はヒーター37で加熱しながら真空ポンプ38で減
圧してCO2を除去して再生する。
このようにしてCO2を除去したのち、はとんど純粋な
非酸化性ガスとなった回転炉からの排ガスは、回転炉へ
のガス供給手段をなすガス導入部39を通して再び回転
炉1へ導入される。
非酸化性ガスとなった回転炉からの排ガスは、回転炉へ
のガス供給手段をなすガス導入部39を通して再び回転
炉1へ導入される。
非酸化性ガスは上記の如く非酸化物連続合成炉を循環さ
せている間にその少量が消費されるので、それを補うた
めに必要に応じて非酸化ガスポンベ40から流量計41
を通して合成炉へ導入される。図中、42は0□、CO
メータであり、COおよびo2が残存しないように監視
するために用いられる。
せている間にその少量が消費されるので、それを補うた
めに必要に応じて非酸化ガスポンベ40から流量計41
を通して合成炉へ導入される。図中、42は0□、CO
メータであり、COおよびo2が残存しないように監視
するために用いられる。
また上記の如く、排ガスのCOを除去する以外にCOを
H2と反応させてCH,に変換して、非酸化性ガスと共
に循環再使用してもよい。この場合、上記酸化反応部5
にはNi系の触媒を充填し、ガス流入口35より導入し
たH 2ガスとCOを反応させてC114とI−12O
に変換し、次のCO2吸収部にはモレキュラシーブ、シ
リカゲル又はMgl!2等の水分吸収剤を入れておき、
■1□0を吸収除去する。水分吸収剤は加熱真空により
再生して使用される。この方法では排ガスは以−にの処
理により、非酸化性ガスとCH4の混合ガスとなって再
循環使用される。001才非酸化性ガスと共に回転炉内
に導入され、還元反応に使用される。
H2と反応させてCH,に変換して、非酸化性ガスと共
に循環再使用してもよい。この場合、上記酸化反応部5
にはNi系の触媒を充填し、ガス流入口35より導入し
たH 2ガスとCOを反応させてC114とI−12O
に変換し、次のCO2吸収部にはモレキュラシーブ、シ
リカゲル又はMgl!2等の水分吸収剤を入れておき、
■1□0を吸収除去する。水分吸収剤は加熱真空により
再生して使用される。この方法では排ガスは以−にの処
理により、非酸化性ガスとCH4の混合ガスとなって再
循環使用される。001才非酸化性ガスと共に回転炉内
に導入され、還元反応に使用される。
e、実施例
〔実施例1〕
ホワイ1カーボン(多水化学社製ゼオシール100OV
)100重量部、カーボンブランク(東海カーボン社製
シーストロ00) 40重量部、ユリア樹脂(金相社製
)50重量部を分散剤を添加した水で均一に混合したの
ち、乾燥機で乾燥し、5龍程度に解砕して混合原料とし
た。
)100重量部、カーボンブランク(東海カーボン社製
シーストロ00) 40重量部、ユリア樹脂(金相社製
)50重量部を分散剤を添加した水で均一に混合したの
ち、乾燥機で乾燥し、5龍程度に解砕して混合原料とし
た。
図示の構造の連続合成装置で、内径100++mφ、長
さ2O0龍の回転炉を用い、発熱体としてカーボンヒー
ターを用いて合成炉1内をN2雰囲気にして、表−1の
条件で運転してSi3N4の合成を試みた。連続合成炉
から得た製品を730℃、4時間、空気中で脱カーボン
を行って、X線回折、 SEM観察を行ったところ、平
均粒径1,6μmのα型5i2N。
さ2O0龍の回転炉を用い、発熱体としてカーボンヒー
ターを用いて合成炉1内をN2雰囲気にして、表−1の
条件で運転してSi3N4の合成を試みた。連続合成炉
から得た製品を730℃、4時間、空気中で脱カーボン
を行って、X線回折、 SEM観察を行ったところ、平
均粒径1,6μmのα型5i2N。
粉末であり、他のピークはみられなかった。
S i 3 N sの合成においては、COの酸化ガス
として空気を使用したので、同時に空気中のN2ガスも
導入された。そこで連続合成炉の運転開始後50分間は
N2ボンベよりN2ガスを導入したが、それ以後はN2
ボンへからN2ガスを導入する必要がなかった。
として空気を使用したので、同時に空気中のN2ガスも
導入された。そこで連続合成炉の運転開始後50分間は
N2ボンベよりN2ガスを導入したが、それ以後はN2
ボンへからN2ガスを導入する必要がなかった。
表−1si、I”J4の合成条件
〔実施例2〕
アルミナアエロジル(日本アエロジル社製)100重量
部、カーボンブランク(東海カーボン社製シース) 6
00) 30重量部1メラミン樹脂(日清紡績社製)3
0重量部を実施例1と同様な操作で混合して原料とした
。実施例1と同じ炉を表−2の条件で運転してAINの
合成を試みた。この場合COの酸化ガスとして空気を使
用したので、同時に空気中のN2ガスも導入された。そ
ごで連続合成炉の運転開始後50分間はN2ボンベより
N2ガスを導入したが、それ以後はN2ボンへからN2
ガスを導入する必要麻なかった。連続合成炉から得た製
品を730℃、3.5時間空気中で脱カーボを行ってX
線回折、 SEM観察を行ったところ、平均粒径1.3
μmのAβN粉末であり、他のピークはみられなかった
。
部、カーボンブランク(東海カーボン社製シース) 6
00) 30重量部1メラミン樹脂(日清紡績社製)3
0重量部を実施例1と同様な操作で混合して原料とした
。実施例1と同じ炉を表−2の条件で運転してAINの
合成を試みた。この場合COの酸化ガスとして空気を使
用したので、同時に空気中のN2ガスも導入された。そ
ごで連続合成炉の運転開始後50分間はN2ボンベより
N2ガスを導入したが、それ以後はN2ボンへからN2
ガスを導入する必要麻なかった。連続合成炉から得た製
品を730℃、3.5時間空気中で脱カーボを行ってX
線回折、 SEM観察を行ったところ、平均粒径1.3
μmのAβN粉末であり、他のピークはみられなかった
。
□□]
〔実施例3〕
ホワイトカーボン100重量部、カーボンブランク80
重量部を実施例1の操作で混合乾燥して原料とした。実
施例1および2で使用した連続合成装置において、非酸
化性ガスとしてアルゴンガス、COの酸化ガスとして空
気を使用してアルゴンガス中のCOを酸化して、アルゴ
ンガスを再循環使用する方法を採用し、表−3の条件で
β−5iCの合成を試みた。
重量部を実施例1の操作で混合乾燥して原料とした。実
施例1および2で使用した連続合成装置において、非酸
化性ガスとしてアルゴンガス、COの酸化ガスとして空
気を使用してアルゴンガス中のCOを酸化して、アルゴ
ンガスを再循環使用する方法を採用し、表−3の条件で
β−5iCの合成を試みた。
残留カーボンを実施例1と同様な操作で除去したのち、
X線回折、 SEM観察を行ったところ、生成された粉
末は平均粒径065μmのβ−3iCであり、他のピー
クは見られなかった。
X線回折、 SEM観察を行ったところ、生成された粉
末は平均粒径065μmのβ−3iCであり、他のピー
クは見られなかった。
表−3β−3iCの合成条件
回転炉傾斜角度 2℃
回転炉回転数 2. OrpmArガス流量(
炉内) 241 /m1nArガス添加量 2
1/min 原料供給量 500g/hr反応温度
1590℃ CO処理方法 酸 化 法 COa酸化触媒 日産ガードラー社製(白金系、
銅系)COz吸収剤 カーボンモレキュラーシ
ーブrr+lhkルーJニーr tfh
A+10発明の効果 本発明による非酸化物連続合成装置を用いると、非酸化
物粉末を合成するにあたって、非酸化性ガスを循環再使
用し、それによって非酸化性ガスの使用が少量ですめ、
非酸化物粉末の製造コストが大幅に低減できる。
炉内) 241 /m1nArガス添加量 2
1/min 原料供給量 500g/hr反応温度
1590℃ CO処理方法 酸 化 法 COa酸化触媒 日産ガードラー社製(白金系、
銅系)COz吸収剤 カーボンモレキュラーシ
ーブrr+lhkルーJニーr tfh
A+10発明の効果 本発明による非酸化物連続合成装置を用いると、非酸化
物粉末を合成するにあたって、非酸化性ガスを循環再使
用し、それによって非酸化性ガスの使用が少量ですめ、
非酸化物粉末の製造コストが大幅に低減できる。
とくに窒化物(例えばSi2N4. A A N>を合
成する場合、COガスの酸化ガスとして空気を使用する
とN2ガスも同時に導入することができ、N2ガス供給
設備からのN2ガス導入は少量ですみ窒化物粉末を工業
的に低コストで生産することができる。
成する場合、COガスの酸化ガスとして空気を使用する
とN2ガスも同時に導入することができ、N2ガス供給
設備からのN2ガス導入は少量ですみ窒化物粉末を工業
的に低コストで生産することができる。
図面は本発明の非酸化物粉末の連続合成装置を示す系統
図である。 1・・・回転炉部、 2・・・原料供給装置、
3・・・製品取出し部、 5・・・COガス酸化装
置、6・・・COz吸収装置、 7・・・非酸化性ガス供給手段。
図である。 1・・・回転炉部、 2・・・原料供給装置、
3・・・製品取出し部、 5・・・COガス酸化装
置、6・・・COz吸収装置、 7・・・非酸化性ガス供給手段。
Claims (2)
- (1)非酸化物粉末の反応炉のガス排出口にCOガス酸
化装置を連結し、該装置にCO_2ガスおよびH_2O
吸収装置を連設し、該装置から得た非酸化性ガスを上記
反応炉に供給する手段を設けたことを特徴とする非酸化
物粉末の連続合成装置。 - (2)COガス酸化装置がCOをCO_2にするための
触媒を充填した容器を備え、CO_2ガスおよびH_2
O吸収装置がCO_2、H_2Oを除去してN_2ある
いは不活性ガスのみを通過させるモレキュラシーブを充
填した容器からなることを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項記載の非酸化物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60076139A JPS61236603A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | 非酸化物粉末の連続合成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60076139A JPS61236603A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | 非酸化物粉末の連続合成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61236603A true JPS61236603A (ja) | 1986-10-21 |
Family
ID=13596644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60076139A Pending JPS61236603A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | 非酸化物粉末の連続合成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61236603A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5888107A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-26 | Denki Kagaku Kogyo Kk | α型窒化珪素の連続製造法 |
JPS58151311A (ja) * | 1982-03-04 | 1983-09-08 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 珪素系窒化物の製造方法 |
JPS59120222A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-11 | Ibiden Co Ltd | 非酸化性ガスの精製方法 |
JPS59152210A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-08-30 | Hitachi Ltd | アルゴンの回収方法 |
JPS59202380A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-16 | 大同酸素株式会社 | アルゴン回収方法 |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP60076139A patent/JPS61236603A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5888107A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-26 | Denki Kagaku Kogyo Kk | α型窒化珪素の連続製造法 |
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JPS59202380A (ja) * | 1983-04-30 | 1984-11-16 | 大同酸素株式会社 | アルゴン回収方法 |
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