JPS61235059A - アモルフアス金属部材の製作方法 - Google Patents
アモルフアス金属部材の製作方法Info
- Publication number
- JPS61235059A JPS61235059A JP9401485A JP9401485A JPS61235059A JP S61235059 A JPS61235059 A JP S61235059A JP 9401485 A JP9401485 A JP 9401485A JP 9401485 A JP9401485 A JP 9401485A JP S61235059 A JPS61235059 A JP S61235059A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- amorphous metal
- projecting parts
- amorphous
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はアモルファス金属部材の製作方法に係り、特に
、メツシュ状のものや、多数の孔或いはスリットの開い
ているアモルファス金属部材とりわけ薄板状部材を製作
することができるアモルファス金属部材の製作方法に関
するものである。
、メツシュ状のものや、多数の孔或いはスリットの開い
ているアモルファス金属部材とりわけ薄板状部材を製作
することができるアモルファス金属部材の製作方法に関
するものである。
［従来の技術］
アモルファス金属は、周知のように、結晶化さ名、てい
かい百半配列１こ和０１１性のないガラスのような構造
を有する金属であり、一般の結晶質金属にはみられない
物理的、化学的特性を有している。
かい百半配列１こ和０１１性のないガラスのような構造
を有する金属であり、一般の結晶質金属にはみられない
物理的、化学的特性を有している。
例えば、高硬度である、靭性が高い、耐食性に優れる、
透磁率が高いなどの特徴を有している。そめため、アモ
ルファス金属性のフィルターやストレーナエレメントの
提供が期待されている。
透磁率が高いなどの特徴を有している。そめため、アモ
ルファス金属性のフィルターやストレーナエレメントの
提供が期待されている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、アモルファス金属は極めて高硬度である
と共に、耐食性が高く、しかも変形は転移の運動ではな
くて原子の粘性流動的移動で生じるなどの特徴の故に、
従来の打ち抜きや刃物による切削によっては、所定の細
かい孔やスリットを形成することができなかった。
と共に、耐食性が高く、しかも変形は転移の運動ではな
くて原子の粘性流動的移動で生じるなどの特徴の故に、
従来の打ち抜きや刃物による切削によっては、所定の細
かい孔やスリットを形成することができなかった。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、所望の大きさもしくは分布を有する孔或いは
スリットを備えたアモルファス金属の板状部材とりわけ
薄い箔等の部材を製作するための方法を提供することを
目的としており、この孔もしくはスリットに対応した凸
部を有する金属又は樹脂製の型を用いる。そしてこの型
の表面にスバッタリング等の蒸着法によって、アモルフ
ァス金属をコーティングし、次いでこの凸部の先端を研
磨、切削等の方法により削除することにより、この凸部
先端に付着していた蒸着膜をも除去する。然る後、型を
溶解除去することにより、所望形状の孔、スリット等が
形成されたアモルファス金属部材が得られる。
スリットを備えたアモルファス金属の板状部材とりわけ
薄い箔等の部材を製作するための方法を提供することを
目的としており、この孔もしくはスリットに対応した凸
部を有する金属又は樹脂製の型を用いる。そしてこの型
の表面にスバッタリング等の蒸着法によって、アモルフ
ァス金属をコーティングし、次いでこの凸部の先端を研
磨、切削等の方法により削除することにより、この凸部
先端に付着していた蒸着膜をも除去する。然る後、型を
溶解除去することにより、所望形状の孔、スリット等が
形成されたアモルファス金属部材が得られる。
［作用］
本発明においては、型の表面に形成された凸部に倣った
所望形状の孔又はスリットを容易に形成することができ
る。この凸部は、成形もしくは加工の容易な金属或いは
樹脂の型面上に形成されるものであるので、微細なもの
或いは複雑な形状のものをも精度よく形成することがで
き、従って所望の形状の孔やスリットを所望の分布によ
って形成されているアモルファス金属の部材を製作する
ことが可能とされる。
所望形状の孔又はスリットを容易に形成することができ
る。この凸部は、成形もしくは加工の容易な金属或いは
樹脂の型面上に形成されるものであるので、微細なもの
或いは複雑な形状のものをも精度よく形成することがで
き、従って所望の形状の孔やスリットを所望の分布によ
って形成されているアモルファス金属の部材を製作する
ことが可能とされる。
［実施例］
以下図面を参照して実施例について説明する。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例方法を説明する
図である。
図である。
まず、所定の凸部２を有する型ｌを用意し、この型ｌの
上にスパッタリング等の蒸着法によってアモルファス金
属３を蒸着させる６次に、第３図に示すように、凸部２
の先端を切削等の方法で削除する。そうすると、凸部２
の先端に付着されていたアモルファス金属も除去され、
結局凸部２の間の部分に付着されていたアモルファス金
属だけが型ｌの表面に残留することになる。そこで、こ
の型ｌを酸等を用いて溶解除去すると、第４図に示すよ
うな多数の孔４が形成されているアモルファス金属部材
５が得られる。
上にスパッタリング等の蒸着法によってアモルファス金
属３を蒸着させる６次に、第３図に示すように、凸部２
の先端を切削等の方法で削除する。そうすると、凸部２
の先端に付着されていたアモルファス金属も除去され、
結局凸部２の間の部分に付着されていたアモルファス金
属だけが型ｌの表面に残留することになる。そこで、こ
の型ｌを酸等を用いて溶解除去すると、第４図に示すよ
うな多数の孔４が形成されているアモルファス金属部材
５が得られる。
第１図の型ｌにおいて、凸部２を正方形状のものとすれ
ば、第４図に示すように、この正方形状の孔４を有する
アモルファス金属部材５が得られる。また、凸部２をそ
の他の形状の多角形、円形、楕円形、線形のものとすれ
ば、それぞれこの形状に倣った孔が穿設されたアモルフ
ァス金属部材を得ることができる。（第５図は円形の孔
６を有するアモルファス金属部材７を示している。） 更に、凸部２を設けるパターンや凸部２の数を調節する
ことにより、任意の分布となるように孔やスリットをあ
けることができる。
ば、第４図に示すように、この正方形状の孔４を有する
アモルファス金属部材５が得られる。また、凸部２をそ
の他の形状の多角形、円形、楕円形、線形のものとすれ
ば、それぞれこの形状に倣った孔が穿設されたアモルフ
ァス金属部材を得ることができる。（第５図は円形の孔
６を有するアモルファス金属部材７を示している。） 更に、凸部２を設けるパターンや凸部２の数を調節する
ことにより、任意の分布となるように孔やスリットをあ
けることができる。
本発明において、型１としては、これを適当な腐食液に
よって溶解除去することができる材質のもの例えば、ア
ルミニウム、アルミニウム合金等の酸に溶解し易く、且
つ加工が容易で安価なものが好ましく、その他、有機溶
剤に溶は易い合成樹脂などをも用いることができる。
よって溶解除去することができる材質のもの例えば、ア
ルミニウム、アルミニウム合金等の酸に溶解し易く、且
つ加工が容易で安価なものが好ましく、その他、有機溶
剤に溶は易い合成樹脂などをも用いることができる。
この型ｌの上にアモルファス金属を蒸着させる方法は、
スパッタリングや真空蒸着法等の気相蒸着法によればよ
い、蒸着させるアモルファス金属の膜厚は任意であり、
本発明においては極めて薄い例えば数１００Ａ程度のも
のから、ｍｍ単位の厚手のものまで得ることができる。
スパッタリングや真空蒸着法等の気相蒸着法によればよ
い、蒸着させるアモルファス金属の膜厚は任意であり、
本発明においては極めて薄い例えば数１００Ａ程度のも
のから、ｍｍ単位の厚手のものまで得ることができる。
なお、この形成する膜厚に応じて、凸部２の高さを調整
すればよい。
すればよい。
凸部２の先端を削除する方法としては、機械的な切削、
研磨等の方法が挙げられる。また、型１を溶解除去させ
る方法としては、型ｌを適当な腐食液に浸漬すればよい
、この腐食液としては、型１が金属である場合には酸を
用いればよく（なお金属がアルミニウムである場合には
アルカリをも用いることができる。）、型１が合成樹脂
である場合には、各種の有機溶剤を用いることができる
。
研磨等の方法が挙げられる。また、型１を溶解除去させ
る方法としては、型ｌを適当な腐食液に浸漬すればよい
、この腐食液としては、型１が金属である場合には酸を
用いればよく（なお金属がアルミニウムである場合には
アルカリをも用いることができる。）、型１が合成樹脂
である場合には、各種の有機溶剤を用いることができる
。
上記実施例においては、型ｌは板状のものとされている
が、型を筒状のものとし、筒の周面に凸部２を設け、こ
の周面にアモルファス金属を蒸着させるようにしてもよ
い。このようにすれば、第６図に示すように、円筒形状
のアモルファス金属部材８を得ることができる。また、
同様にして球状、回転楕円体状、角柱状、立方体形状、
多角形体形状等各種形状のアモルファス金属部材を製造
できることは゛明らかである。
が、型を筒状のものとし、筒の周面に凸部２を設け、こ
の周面にアモルファス金属を蒸着させるようにしてもよ
い。このようにすれば、第６図に示すように、円筒形状
のアモルファス金属部材８を得ることができる。また、
同様にして球状、回転楕円体状、角柱状、立方体形状、
多角形体形状等各種形状のアモルファス金属部材を製造
できることは゛明らかである。
［効果］
以上詳述した通り１本発明のアモルファス金属部材の製
作方法によれば、任意形状又は分布の孔やスリットを有
するアモルファス金属部材を容易にしかも精度よく製作
することが可能である。
作方法によれば、任意形状又は分布の孔やスリットを有
するアモルファス金属部材を容易にしかも精度よく製作
することが可能である。
第１図ないし第６図は本発明方法を説明する概略的な図
であり、第１図ないし第３図の各図は断面図、第４図な
いし第６図の各図は斜視図である。 １・・・・・・型、 ２・・・・・・凸部、３・
・・・・・蒸着されたアモルファス金属、４．６・・・
・・・孔、 ５．７．８・・・・・・アモルファス金属部材。 代理人 弁理士 重 野 剛 ］ 第２図 第３図
であり、第１図ないし第３図の各図は断面図、第４図な
いし第６図の各図は斜視図である。 １・・・・・・型、 ２・・・・・・凸部、３・
・・・・・蒸着されたアモルファス金属、４．６・・・
・・・孔、 ５．７．８・・・・・・アモルファス金属部材。 代理人 弁理士 重 野 剛 ］ 第２図 第３図
Claims (1)
- （１）所定の凸部を有する金属又は樹脂製の型にアモル
ファス金属を蒸着させ、次いでこの凸部の先端を削除し
て該凸部先端に蒸着されていたアモルファス金属を除去
し、次いでこの型を腐食液によって溶解除去する工程を
有するアモルファス金属部材の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9401485A JPS61235059A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | アモルフアス金属部材の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9401485A JPS61235059A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | アモルフアス金属部材の製作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61235059A true JPS61235059A (ja) | 1986-10-20 |
| JPH0562024B2 JPH0562024B2 (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=14098635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9401485A Granted JPS61235059A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | アモルフアス金属部材の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61235059A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4867223A (en) * | 1987-11-13 | 1989-09-19 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Method and apparatus for forming a metal sheet having a concave-convex profile by chemical vapor deposition |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7130282B1 (ja) * | 2021-12-03 | 2022-09-05 | 日本遮熱株式会社 | 全遮熱外装構造 |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP9401485A patent/JPS61235059A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4867223A (en) * | 1987-11-13 | 1989-09-19 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Method and apparatus for forming a metal sheet having a concave-convex profile by chemical vapor deposition |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0562024B2 (ja) | 1993-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5383512A (en) | Method for fabricating a substrate having spaced apart microcapillaries thereon | |
| US4844778A (en) | Membrane with perforations, method for producing such a membrane and separating device comprising one or more of such membranes | |
| US7018092B2 (en) | Spiral spring for time measuring device | |
| CN1134719C (zh) | 计时件标度板和计时件标度板的制作方法 | |
| US5543108A (en) | Method of making microstructured bodies of plastic material | |
| KR100857613B1 (ko) | 극미세패턴을 원하는 형상과 크기로 형성할 수 있는전주마스터 및 그의 제조 방법과 이를 이용한 전자파차폐메쉬 및 스트라이프 전극이 부가된 필름 및 그의 제조 방법 | |
| CN106744657A (zh) | 一种三维GeSn微纳尺度悬臂结构的制备方法 | |
| JPS61235059A (ja) | アモルフアス金属部材の製作方法 | |
| EP0146796A2 (en) | Process for the fabrication of thin film magnetic transducer gaps by lift-off | |
| EP0836540B1 (de) | Verfahren zur herstellung von formeinsätzen | |
| CN106249323B (zh) | 一种微透镜阵列模具和其制造方法 | |
| US4713150A (en) | Process for preparing a part for color anodization | |
| CN111748829B (zh) | 三节拍式液基金属离子源电沉积微增材制造方法 | |
| US6251248B1 (en) | Microfabrication process for making microstructures having high aspect ratio | |
| JP2004218002A (ja) | ベース材からの剥離面を利用した精密金属部品の製造方法 | |
| US20110284384A1 (en) | Electroformed cornercube retroreflector | |
| CN109097727A (zh) | 掩膜版及其制作方法以及显示装置 | |
| JPS61235060A (ja) | アモルフアス金属部材の製作方法 | |
| EP1568803B1 (en) | Electroforming method for producing objects with a high degree of accuracy | |
| JPS6455307A (en) | Production of acicular powder | |
| JP3492449B2 (ja) | めっき方法およびめっき装置 | |
| JP3304331B2 (ja) | 高いアスペクト比を有する微細構造物の製造方法 | |
| JP3703007B2 (ja) | ナノ構造薄膜の形成方法 | |
| JPS6363158B2 (ja) | ||
| SU1740489A1 (ru) | Способ газотермического формовани |