JPH0562024B2 - - Google Patents
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- JPH0562024B2 JPH0562024B2 JP9401485A JP9401485A JPH0562024B2 JP H0562024 B2 JPH0562024 B2 JP H0562024B2 JP 9401485 A JP9401485 A JP 9401485A JP 9401485 A JP9401485 A JP 9401485A JP H0562024 B2 JPH0562024 B2 JP H0562024B2
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Landscapes
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はアモルフアス金属部材の製作方法に係
り、特に、メツシユ状のものや、多数の孔或いは
スリツトの開いているアモルフアス金属部材とり
わけ薄板状部材を製作することができるアモルフ
アス金属部材の製作方法に関するものである。
り、特に、メツシユ状のものや、多数の孔或いは
スリツトの開いているアモルフアス金属部材とり
わけ薄板状部材を製作することができるアモルフ
アス金属部材の製作方法に関するものである。
［従来の技術］
アモルフアス金属は、周知のように、結晶化さ
れていない原子配列に規則性のないガラスのよう
な構造を有する金属であり、一般の結晶質金属に
はみられない物理的、化学的特性を有している。
例えば、高硬度である、靭性が高い、耐食性に優
れる、透磁率が高いなどの特徴を有している。そ
のため、アモルフアス金属性のフイルターやスト
レーナエレメントの提供が期待されている。
れていない原子配列に規則性のないガラスのよう
な構造を有する金属であり、一般の結晶質金属に
はみられない物理的、化学的特性を有している。
例えば、高硬度である、靭性が高い、耐食性に優
れる、透磁率が高いなどの特徴を有している。そ
のため、アモルフアス金属性のフイルターやスト
レーナエレメントの提供が期待されている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、アモルフアス金属は極めて高硬
度であると共に、耐食性が高く、しかも変形は転
移の運動ではなくて原子の粘性流動的移動で生じ
るなどの特徴の故に、従来の打ち抜きや刃物によ
る切削によつては、所定の細かい孔やスリツトを
形成することができなかつた。
度であると共に、耐食性が高く、しかも変形は転
移の運動ではなくて原子の粘性流動的移動で生じ
るなどの特徴の故に、従来の打ち抜きや刃物によ
る切削によつては、所定の細かい孔やスリツトを
形成することができなかつた。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、所望の大きさもしくは分布を有する
孔或いはスリツトを備えたアモルフアス金属の板
状部材とりわけ薄い箔等の部材を製作するための
方法を提供することを目的としており、この孔も
しくはスリツトに対応した凸部を有する金属又は
樹脂製の型を用いる。そしてこの型の表面にスパ
ツタリング等の蒸着法によつて、アモルフアス金
属をコーテイングし、次いでこの凸部の先端を研
磨、切削等の方法により削除することにより、こ
の凸部先端に付着していた蒸着膜をも除去する。
然る後、型を溶解除去することにより、所望形状
の孔、スリツト等が形成されたアモルフアス金属
部材が得られる。
孔或いはスリツトを備えたアモルフアス金属の板
状部材とりわけ薄い箔等の部材を製作するための
方法を提供することを目的としており、この孔も
しくはスリツトに対応した凸部を有する金属又は
樹脂製の型を用いる。そしてこの型の表面にスパ
ツタリング等の蒸着法によつて、アモルフアス金
属をコーテイングし、次いでこの凸部の先端を研
磨、切削等の方法により削除することにより、こ
の凸部先端に付着していた蒸着膜をも除去する。
然る後、型を溶解除去することにより、所望形状
の孔、スリツト等が形成されたアモルフアス金属
部材が得られる。
［作用］
本発明においては、型の表面に形成された凸部
に倣つた所望形状の孔又はスリツトを容易に形成
することができる。この凸部は、成形もしくは加
工の容易な金属或いは樹脂の型面上に形成される
ものであるので、微細なもの或いは複雑な形状の
ものをも精度よく形成することができ、従つて所
望の形状の孔やスリツトを所望の分布によつて形
成されているアモルフアス金属の部材を製作する
ことが可能とされる。
に倣つた所望形状の孔又はスリツトを容易に形成
することができる。この凸部は、成形もしくは加
工の容易な金属或いは樹脂の型面上に形成される
ものであるので、微細なもの或いは複雑な形状の
ものをも精度よく形成することができ、従つて所
望の形状の孔やスリツトを所望の分布によつて形
成されているアモルフアス金属の部材を製作する
ことが可能とされる。
［実施例］
以下図面を参照して実施例について説明する。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例方法を
説明する図である。
説明する図である。
まず、所定の凸部２を有する型１を用意し、こ
の型１の上にスパツタリング等の蒸着法によつて
アモルフアス金属３を蒸着させる。次に、第３図
に示すように、凸部２の先端を切削等の方法で削
除する。そうすると、凸部２の先端に付着されて
いたアモルフアス金属も除去され、結局凸部２の
間の部分に付着されていたアモルフアス金属だけ
が型１の表面に残留することになる。そこで、こ
の型１を酸等を用いて溶解除去すると、第４図に
示すような多数の孔４が形成されているアモルフ
アス金属部材５が得られる。
の型１の上にスパツタリング等の蒸着法によつて
アモルフアス金属３を蒸着させる。次に、第３図
に示すように、凸部２の先端を切削等の方法で削
除する。そうすると、凸部２の先端に付着されて
いたアモルフアス金属も除去され、結局凸部２の
間の部分に付着されていたアモルフアス金属だけ
が型１の表面に残留することになる。そこで、こ
の型１を酸等を用いて溶解除去すると、第４図に
示すような多数の孔４が形成されているアモルフ
アス金属部材５が得られる。
第１図の型１において、凸部２を正方形状のも
のとすれば、第４図に示すように、この正方形状
の孔４を有するアモルフアス金属部材５が得られ
る。また、凸部２をその他の形状の多角形、円
形、楕円形、線形のものとすれば、それぞれこの
形状に倣つた孔が穿設されたアモルフアス金属部
材を得ることができる。（第５図は円形の孔６を
有するアモルフアス金属部材７を示している。） 更に、凸部２を設けるパターンや凸部２の数を
調節することにより、任意の分布となるように孔
やスリツトをあけることができる。
のとすれば、第４図に示すように、この正方形状
の孔４を有するアモルフアス金属部材５が得られ
る。また、凸部２をその他の形状の多角形、円
形、楕円形、線形のものとすれば、それぞれこの
形状に倣つた孔が穿設されたアモルフアス金属部
材を得ることができる。（第５図は円形の孔６を
有するアモルフアス金属部材７を示している。） 更に、凸部２を設けるパターンや凸部２の数を
調節することにより、任意の分布となるように孔
やスリツトをあけることができる。
本発明において、型１としては、これを適当な
腐食液によつて溶解除去することができる材質の
もの例えば、アルミニウム、アルミニムウ合金等
の酸に溶解し易く、且つ加工が容易で安価なもの
が好ましく、その他、有機溶剤に溶け易い合成樹
脂などをも用いることができる。
腐食液によつて溶解除去することができる材質の
もの例えば、アルミニウム、アルミニムウ合金等
の酸に溶解し易く、且つ加工が容易で安価なもの
が好ましく、その他、有機溶剤に溶け易い合成樹
脂などをも用いることができる。
この型１の上にアモルフアス金属を蒸着させる
方法は、スパツタリングや真空蒸着法等の気相蒸
着法によればよい。蒸着させるアモルフアス金属
の膜厚は任意であり、本発明においては極めて薄
い例えば数100Å程度のものから、mm単位の厚手
のものまで得ることができる。なお、この形成す
る膜厚に応じて、凸部２の高さを調整すればよ
い。
方法は、スパツタリングや真空蒸着法等の気相蒸
着法によればよい。蒸着させるアモルフアス金属
の膜厚は任意であり、本発明においては極めて薄
い例えば数100Å程度のものから、mm単位の厚手
のものまで得ることができる。なお、この形成す
る膜厚に応じて、凸部２の高さを調整すればよ
い。
凸部２の先端を削除する方法としては、機械的
な切削、研磨等の方法が挙げられる。また、型１
を溶解除去させる方法としては、型１を適当な腐
食液に浸漬すればよい。この腐食液としては、型
１が金属である場合には酸を用いればよく（なお
金属がアルミニウムである場合にはアルカリをも
用いることができる。）、型１が合成樹脂である場
合には、各種の有機溶剤を用いることができる。
な切削、研磨等の方法が挙げられる。また、型１
を溶解除去させる方法としては、型１を適当な腐
食液に浸漬すればよい。この腐食液としては、型
１が金属である場合には酸を用いればよく（なお
金属がアルミニウムである場合にはアルカリをも
用いることができる。）、型１が合成樹脂である場
合には、各種の有機溶剤を用いることができる。
上記実施例においては、型１は板状のものとさ
れているが、型を筒状のものとし、筒の周面に凸
部２を設け、この周面にアモルフアス金属を蒸着
させるようにしてもよい。このようにすれば、第
６図に示すように、円筒形状のアモルフアス金属
部材８を得ることができる。また、同様にして球
状、回転楕円体状、角柱状、立方体形状、多角形
体形状等各種形状のアモルフアス金属部材を製造
できることは明らかである。
れているが、型を筒状のものとし、筒の周面に凸
部２を設け、この周面にアモルフアス金属を蒸着
させるようにしてもよい。このようにすれば、第
６図に示すように、円筒形状のアモルフアス金属
部材８を得ることができる。また、同様にして球
状、回転楕円体状、角柱状、立方体形状、多角形
体形状等各種形状のアモルフアス金属部材を製造
できることは明らかである。
［効果］
以上詳述した通り、本発明のアモルフアス金属
部材の製作方法によれば、任意形状又は分布の孔
やスリツトを有するアモルフアス金属部材を容易
にしかも精度よく製作することが可能である。
部材の製作方法によれば、任意形状又は分布の孔
やスリツトを有するアモルフアス金属部材を容易
にしかも精度よく製作することが可能である。
第１図ないし第６図は本発明方法を説明する概
略的な図であり、第１図ないし第３図の各図は断
面図、第４図ないし第６図の各図は斜視図であ
る。 １……型、２……凸部、３……蒸着されたアモ
ルフアス金属、４，６……孔、５，７，８……ア
モルフアス金属部材。
略的な図であり、第１図ないし第３図の各図は断
面図、第４図ないし第６図の各図は斜視図であ
る。 １……型、２……凸部、３……蒸着されたアモ
ルフアス金属、４，６……孔、５，７，８……ア
モルフアス金属部材。
Claims (1)
- １ 所定の凸部を有する金属又は樹脂製の型にア
モルフアス金属を蒸着させ、次いでこの凸部の先
端を削除して該凸部先端に蒸着されていたアモル
フアス金属を除去し、次いでこの型を腐食液によ
つて溶解除去する工程を有するアモルフアス金属
部材の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9401485A JPS61235059A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | アモルフアス金属部材の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9401485A JPS61235059A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | アモルフアス金属部材の製作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61235059A JPS61235059A (ja) | 1986-10-20 |
| JPH0562024B2 true JPH0562024B2 (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=14098635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9401485A Granted JPS61235059A (ja) | 1985-04-10 | 1985-04-10 | アモルフアス金属部材の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61235059A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7130282B1 (ja) * | 2021-12-03 | 2022-09-05 | 日本遮熱株式会社 | 全遮熱外装構造 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3837442A1 (de) * | 1987-11-13 | 1989-05-24 | Matsushita Electric Works Ltd | Verfahren und vorrichtung zum herstellen eines metallblattes mit einer profilierten oberflaeche durch chemische gasphasenabscheidung |
-
1985
- 1985-04-10 JP JP9401485A patent/JPS61235059A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7130282B1 (ja) * | 2021-12-03 | 2022-09-05 | 日本遮熱株式会社 | 全遮熱外装構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61235059A (ja) | 1986-10-20 |
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