JPS6123026A - 清浄搬送装置 - Google Patents
清浄搬送装置Info
- Publication number
- JPS6123026A JPS6123026A JP14369484A JP14369484A JPS6123026A JP S6123026 A JPS6123026 A JP S6123026A JP 14369484 A JP14369484 A JP 14369484A JP 14369484 A JP14369484 A JP 14369484A JP S6123026 A JPS6123026 A JP S6123026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- truck
- valve
- chamber
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
- B65G51/04—Conveying the articles in carriers having a cross-section approximating that of the pipe or tube; Tube mail systems
- B65G51/08—Controlling or conditioning the operating medium
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェーハ等の清浄物の搬送装置の改良に関する
。
。
例えば従来のこの種搬送装置は、外気と遮断された搬送
路内を電動による自走台車に載せられたウェーハ容器が
外部よりの指令により移動搬送される方式のものがあっ
た。併し、この方法によると、上記走行にともなう発塵
要素が極めて多く、従って、これら発生塵埃がウェーハ
表面に付着する可能性・が高くなり、製品の品質に悪影
響を及ぼすことになる。これを防ぐため、搬送路内の上
部式高性能フィルタを設置し、濾過空気を常時垂直層流
にさせる必要があった。しかし、この方法によると設備
コヌト並びに設置面積の点から大きな問題があった。
路内を電動による自走台車に載せられたウェーハ容器が
外部よりの指令により移動搬送される方式のものがあっ
た。併し、この方法によると、上記走行にともなう発塵
要素が極めて多く、従って、これら発生塵埃がウェーハ
表面に付着する可能性・が高くなり、製品の品質に悪影
響を及ぼすことになる。これを防ぐため、搬送路内の上
部式高性能フィルタを設置し、濾過空気を常時垂直層流
にさせる必要があった。しかし、この方法によると設備
コヌト並びに設置面積の点から大きな問題があった。
本発明は上記欠点を除き、搬送路内における発塵を除ぐ
ことによりウェーハ等の品質を安定し、しかも、低コス
ト省設置面積で実現できる清浄搬送装置を提供すること
を目的とする。
ことによりウェーハ等の品質を安定し、しかも、低コス
ト省設置面積で実現できる清浄搬送装置を提供すること
を目的とする。
以下本発明を図面に示す一実施例にもとづいて説明する
。
。
第１図および第２図において、本発明は断面四角形の密
封気送管８０と、該気送管３０の畏さ方向に間隔をおい
て複数個設けられた気密室（第１密室１０．第２気密室
２０）と、前記気送管３゜内を搬送可能とされた容器台
車４０とを有する。
封気送管８０と、該気送管３０の畏さ方向に間隔をおい
て複数個設けられた気密室（第１密室１０．第２気密室
２０）と、前記気送管３゜内を搬送可能とされた容器台
車４０とを有する。
しかして、第１気密室１０は容器台車移載可能なる開口
部ｔＯａが取りつけられ、側面には、途中に高性能フィ
ルタ１６およびクリーンエアー人口弁１２を備えた＃気
管１１と、エアー出口弁Ｊ４を備えた排気管１Ｂとが開
口接続される。排気管１３には、前記エアー出口弁１４
の下流側に送風機１５が接続され、末端が作業室内に開
口されている。また、前記送風機１５の上流側には補助
企１７が接続され、途中に設けられた空気調整弁１８を
経て末端か第１気密室１ｏの上流側の気送管３０に開口
接続されている。
部ｔＯａが取りつけられ、側面には、途中に高性能フィ
ルタ１６およびクリーンエアー人口弁１２を備えた＃気
管１１と、エアー出口弁Ｊ４を備えた排気管１Ｂとが開
口接続される。排気管１３には、前記エアー出口弁１４
の下流側に送風機１５が接続され、末端が作業室内に開
口されている。また、前記送風機１５の上流側には補助
企１７が接続され、途中に設けられた空気調整弁１８を
経て末端か第１気密室１ｏの上流側の気送管３０に開口
接続されている。
第２気密室２０にも前記第１気密室１ｏと同じに給気管
２１、クリーンエアー人口弁２２、排気管２３、エアー
出目弁２４、送風機２５、高性能フィルタ２６および補
助管２７、空気調整弁２８等が設けられている。前記補
助管１７．２７の気送管８０への開口位置は概ね−、上
下流側気密室の中間部分とされる。
２１、クリーンエアー人口弁２２、排気管２３、エアー
出目弁２４、送風機２５、高性能フィルタ２６および補
助管２７、空気調整弁２８等が設けられている。前記補
助管１７．２７の気送管８０への開口位置は概ね−、上
下流側気密室の中間部分とされる。
気送管３０内には、前記第１．第２気密室１０．２０の
下流側壁と一致する位置に夫々起倒可能な第１．第２Ｍ
衝板８１，１１２が設けられる。該Ｍ衝板８１．８２は
下縁が片方側に枢支されてｈて、倒伏自在とされる。各
Ｍ衝板８１．８２の中中部にはゴムなどを用いた第１．
第２緩ｆ＃部材８１ａ、８２ａが装着されている。また
、前記第１、第２緩衝板８１．８２の下流側の気送管３
０内には、夫々、前記緩衝板と同様に起倒可能な第１、
第２仕切弁板８Ｂ、８４が設けられる。これら仕切弁板
は起立状態において、気送管３０内を空気遮断する。
下流側壁と一致する位置に夫々起倒可能な第１．第２Ｍ
衝板８１，１１２が設けられる。該Ｍ衝板８１．８２は
下縁が片方側に枢支されてｈて、倒伏自在とされる。各
Ｍ衝板８１．８２の中中部にはゴムなどを用いた第１．
第２緩ｆ＃部材８１ａ、８２ａが装着されている。また
、前記第１、第２緩衝板８１．８２の下流側の気送管３
０内には、夫々、前記緩衝板と同様に起倒可能な第１、
第２仕切弁板８Ｂ、８４が設けられる。これら仕切弁板
は起立状態において、気送管３０内を空気遮断する。
容器台車４０は第２図示の如く、前後方向（第２図左右
方向）からみて多角形状をなす本体４１の上下、左右面
に複数の車輪４２がとりつけられている。該車輪４２は
台車４０が気送管３０内を移動する際摺動回転可能とな
って因る。また、台車４０の進行方向前側（第１図右方
第２図右方）には前記気送管３０の断面形状に対応する
大きさの受圧板４８が装着される。前記車輪４２は回転
時塵埃の発生を防ぐため第３図示の如く、コロケ−７，
４２ａの内部にベアリングを介して樹脂製のコロ４２ｂ
がとりりけられてなる。容器の中にはウェーハ（図示せ
ず）が収容される。
方向）からみて多角形状をなす本体４１の上下、左右面
に複数の車輪４２がとりつけられている。該車輪４２は
台車４０が気送管３０内を移動する際摺動回転可能とな
って因る。また、台車４０の進行方向前側（第１図右方
第２図右方）には前記気送管３０の断面形状に対応する
大きさの受圧板４８が装着される。前記車輪４２は回転
時塵埃の発生を防ぐため第３図示の如く、コロケ−７，
４２ａの内部にベアリングを介して樹脂製のコロ４２ｂ
がとりりけられてなる。容器の中にはウェーハ（図示せ
ず）が収容される。
各気密室１０．２０よりも台車進行方向上流側における
気送管８０の下方に、肢管に向く複数の例えば電光管に
よるセンサー（本実施例では第１゜第２．第３．第４セ
ンサ５１．５２．５Ｊ１１．５４および６１，６２．６
８．６４の各４個）が所定間隔をおいて配置される。
気送管８０の下方に、肢管に向く複数の例えば電光管に
よるセンサー（本実施例では第１゜第２．第３．第４セ
ンサ５１．５２．５Ｊ１１．５４および６１，６２．６
８．６４の各４個）が所定間隔をおいて配置される。
次に作動状態を説明する。
第１図において、令弟１気密室１ｏから第２気密室２０
へ容器台車４０を移送するに際し、第１仕切弁板８Ｂが
開かれ、第２仕切板３４が閉じられる。また、第１緩衝
板３１け倒され、第２緩衝板８２が起立状態とされる。
へ容器台車４０を移送するに際し、第１仕切弁板８Ｂが
開かれ、第２仕切板３４が閉じられる。また、第１緩衝
板３１け倒され、第２緩衝板８２が起立状態とされる。
第１気密室１０のクリーンエアー人口弁１２が開かれ、
エアー出口弁１４が閉じられる。第２気密室２０のクリ
ーπアー人口弁２２が閉じられ、エア出口弁２４が開か
れる。この状態で送風機２５が駆動されると給気管１１
から高性能フィルタ１６を経たクリーンエアーが導入さ
れ、排気管２８から排気が行なわれる。これにより、第
２気密室２０内の負圧が強化され第１気密室１０内の負
圧が緩和されるので、第１気密室１０から第２気密室２
０への気流が発生し該気流が受圧板４３に作用して気密
容器台車４０を謁１気密室１０から第２気密室２０へと
押し進める。この容器台車４０の移動速度をセンサ６１
，６２．６８．６４が次々に感知すると、その速度に応
じて第２空気幅整弁２８や第２出目弁２４の開腹、或い
は送風機２５０回転速度が調節され、容器台車４０は第
２気密室２０に近づくにつれて減速される。即ち、各セ
ンサが容器台車４０の速度を感知すると、逐次に第２空
気調整弁２８の開度をあげて行き、逆にエアー出口弁２
４の開度を下げクリーンエアー人口弁２２の開度を上げ
てゆく。この調整は下流側センサーに至るに従い強化さ
れることになる。
エアー出口弁１４が閉じられる。第２気密室２０のクリ
ーπアー人口弁２２が閉じられ、エア出口弁２４が開か
れる。この状態で送風機２５が駆動されると給気管１１
から高性能フィルタ１６を経たクリーンエアーが導入さ
れ、排気管２８から排気が行なわれる。これにより、第
２気密室２０内の負圧が強化され第１気密室１０内の負
圧が緩和されるので、第１気密室１０から第２気密室２
０への気流が発生し該気流が受圧板４３に作用して気密
容器台車４０を謁１気密室１０から第２気密室２０へと
押し進める。この容器台車４０の移動速度をセンサ６１
，６２．６８．６４が次々に感知すると、その速度に応
じて第２空気幅整弁２８や第２出目弁２４の開腹、或い
は送風機２５０回転速度が調節され、容器台車４０は第
２気密室２０に近づくにつれて減速される。即ち、各セ
ンサが容器台車４０の速度を感知すると、逐次に第２空
気調整弁２８の開度をあげて行き、逆にエアー出口弁２
４の開度を下げクリーンエアー人口弁２２の開度を上げ
てゆく。この調整は下流側センサーに至るに従い強化さ
れることになる。
気密容器台車４０か第２気密室２０に達すると、該台車
は第２緩衝板３２にふれて停止する。
は第２緩衝板３２にふれて停止する。
高性能フィルタ１６．２６は室内から吸気される気体に
含まれる塵埃を濾過Ｌ７、気密室内を常に清浄状態に依
持するのに役立つ。
含まれる塵埃を濾過Ｌ７、気密室内を常に清浄状態に依
持するのに役立つ。
本発明は前記ウェーへのほか、医療用器具（特に手術機
具）や薬品中間原料製品等の清浄を要する物品の搬送に
も適用される。
具）や薬品中間原料製品等の清浄を要する物品の搬送に
も適用される。
次に実施例に示す、１本発明装置を用いて搬送を行ない
、気密室１０．２０および気送管３ｏ内を負圧に保った
場合と、実験的に正圧で搬送した場合のウェーハの汚染
度の比較試験を行ない次の結果を得た。
、気密室１０．２０および気送管３ｏ内を負圧に保った
場合と、実験的に正圧で搬送した場合のウェーハの汚染
度の比較試験を行ない次の結果を得た。
この場合の正圧とは第４図に示す様に送風機１５．２５
の吸込側と吐出側の接続を継ぎかえ、高性能フィルター
１６．２６を第１給気管１１、第２給気管２１に継ぎか
え、又−男気密室１０の端部をふさいで容器を正圧で搬
送可能な様にした。
の吸込側と吐出側の接続を継ぎかえ、高性能フィルター
１６．２６を第１給気管１１、第２給気管２１に継ぎか
え、又−男気密室１０の端部をふさいで容器を正圧で搬
送可能な様にした。
まず搬送前の状態を知る為にシリコンウェーへの２μ以
上の塵をクラス１０のクリーンルーム内で２００倍の顕
嶽鏡で３．秩序に１０視野測鎗したところＯであった。
上の塵をクラス１０のクリーンルーム内で２００倍の顕
嶽鏡で３．秩序に１０視野測鎗したところＯであった。
この試験片をクラス１０．０００以上の雰囲気の室内に
設置された本発明の装置を用いて搬送した場合、ウェー
ハ上の２μ以上の塵の付着個数は負圧における５個に対
して正圧では５０個以上認められた（２００倍顕微鏡観
察による無秩序な１０視野の合計）。
設置された本発明の装置を用いて搬送した場合、ウェー
ハ上の２μ以上の塵の付着個数は負圧における５個に対
して正圧では５０個以上認められた（２００倍顕微鏡観
察による無秩序な１０視野の合計）。
次に、クリーンルーム（クラス１００）の５ｇ囲気の室
に前記装置を設置し、搬送したのち２μ以上の塵の前記
ウェーハ上への付着数は負圧の場合０であったが、正圧
では８個確認された。（２００倍の顕餓鏡観察による無
秩序な１０視野の合計）。
に前記装置を設置し、搬送したのち２μ以上の塵の前記
ウェーハ上への付着数は負圧の場合０であったが、正圧
では８個確認された。（２００倍の顕餓鏡観察による無
秩序な１０視野の合計）。
さらにこの際容器台車の舟行前後の気送管内のクリーン
度を測定したところ、いずれもクラス１００を保ってい
た。
度を測定したところ、いずれもクラス１００を保ってい
た。
この試験結果によると、気密室、気送管内が正圧の場合
に比べて負圧とすることにより遥かに搬送物への汚染が
低いことが確認された。これは、通常圧（室内圧と同一
）のウェーハ容器に対し正圧で搬送する場合は容器の隙
間等から塵が入ってくる事を意味し、本発明によって初
めて＠器へ塵が外部より入らないように基本的に改良出
来たことを意味している。
に比べて負圧とすることにより遥かに搬送物への汚染が
低いことが確認された。これは、通常圧（室内圧と同一
）のウェーハ容器に対し正圧で搬送する場合は容器の隙
間等から塵が入ってくる事を意味し、本発明によって初
めて＠器へ塵が外部より入らないように基本的に改良出
来たことを意味している。
以上の如く本発明は一方気密室に送気し、他方気密室よ
り吸気することにより、−男気密室から他方気密室への
負圧による気流を発生させ、該気流によって容器台車を
前進移動させるようにし、さらに、これらの室の圧力が
権送谷器内圧力より低い為、気送管からの器への塵の入
りこみがきわめて少なくなった。又最適の車輪及び車輪
配置を容器に適用することにより、該台車が気送管内に
発グ＋ｊ塵作用を及ばず乍なく円滑に搬送される。
り吸気することにより、−男気密室から他方気密室への
負圧による気流を発生させ、該気流によって容器台車を
前進移動させるようにし、さらに、これらの室の圧力が
権送谷器内圧力より低い為、気送管からの器への塵の入
りこみがきわめて少なくなった。又最適の車輪及び車輪
配置を容器に適用することにより、該台車が気送管内に
発グ＋ｊ塵作用を及ばず乍なく円滑に搬送される。
大斜視図、第４図は実験装置の工程図である。
Claims (2)
- （１）気送管内で被搬送物を搬送する装置に於いて被搬
送物の出発点側が被搬送物に対し負圧となっており到着
点側が被搬送物に対し出発点側よりも、さらに負圧とな
っていることを特徴とする清浄搬送装置。 - （２）出発点側から流入される気体に対し高性能フィル
ター等で濾過処理したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の清浄搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14369484A JPS6123026A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 清浄搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14369484A JPS6123026A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 清浄搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6123026A true JPS6123026A (ja) | 1986-01-31 |
Family
ID=15344787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14369484A Pending JPS6123026A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | 清浄搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123026A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4826360A (en) * | 1986-03-10 | 1989-05-02 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Transfer system in a clean room |
| JP2011529836A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-15 | ピッカー・テクノロジーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 気送管を通してブドウの房又は他の果実のような全体的に非対称的な物体を搬送するシステム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5147788A (ja) * | 1974-10-23 | 1976-04-23 | Hitachi Ltd | Boorukapuserutoridashikiko |
| JPS5510353U (ja) * | 1978-07-03 | 1980-01-23 | ||
| JPS5656419A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Control of fixed-position stop of transferred article in conduit transport |
| JPS5918289A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-30 | Matsushita Seiko Co Ltd | 流体圧縮搬送装置 |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP14369484A patent/JPS6123026A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5147788A (ja) * | 1974-10-23 | 1976-04-23 | Hitachi Ltd | Boorukapuserutoridashikiko |
| JPS5510353U (ja) * | 1978-07-03 | 1980-01-23 | ||
| JPS5656419A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Control of fixed-position stop of transferred article in conduit transport |
| JPS5918289A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-30 | Matsushita Seiko Co Ltd | 流体圧縮搬送装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4826360A (en) * | 1986-03-10 | 1989-05-02 | Shimizu Construction Co., Ltd. | Transfer system in a clean room |
| JP2011529836A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-15 | ピッカー・テクノロジーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー | 気送管を通してブドウの房又は他の果実のような全体的に非対称的な物体を搬送するシステム |
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