JPS61228691A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61228691A JPS61228691A JP6931885A JP6931885A JPS61228691A JP S61228691 A JPS61228691 A JP S61228691A JP 6931885 A JP6931885 A JP 6931885A JP 6931885 A JP6931885 A JP 6931885A JP S61228691 A JPS61228691 A JP S61228691A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- voltage
- temperature
- output
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガスレーザ装置、特にレーザ出力の安定化を
図ったガスレーザ装置に関する。
図ったガスレーザ装置に関する。
従来、ガスレーザ装置では光出力の安定化を図るため、
レーザ出力の一部を検出してそれが一定になるようにレ
ーザ管の放電々流を制御する帰還回路が用いられている
。すなわち、第３図に示すように直流電源１の一つの出
力端をレーザ管９のカンード１０に接続し、他端をトラ
ンジスタ２を通してレーザ管９のアノード１１に接続す
る。そして、レーザ光１２の二部のレーザ光１３を光検
出器６で検出し抵抗５の両端に現われる出力電圧と、基
準電源４との差電圧を比較増幅器３で増幅シ、トランジ
スタ２のベースに供給し、差電圧が０になるように制御
している。
レーザ出力の一部を検出してそれが一定になるようにレ
ーザ管の放電々流を制御する帰還回路が用いられている
。すなわち、第３図に示すように直流電源１の一つの出
力端をレーザ管９のカンード１０に接続し、他端をトラ
ンジスタ２を通してレーザ管９のアノード１１に接続す
る。そして、レーザ光１２の二部のレーザ光１３を光検
出器６で検出し抵抗５の両端に現われる出力電圧と、基
準電源４との差電圧を比較増幅器３で増幅シ、トランジ
スタ２のベースに供給し、差電圧が０になるように制御
している。
上述した従来のガスレーザ装置においては、光検出器６
の周囲温度が上昇し、光検出器６の温度が上昇し念場合
、光検出器６の光検出感度も上昇し、レーザ光１３が変
化しなくてもレーザ光１３が増加したかのように光検出
器６の出力電圧が増加する。そして基準電源４と光検出
器６の出力電圧との差電圧も増加するので、差電圧が０
になるように比較増幅器３とトランジスタ２が動作し、
レーザ管９の放電電流を減少させるため、レーザ光□２
は減少し、第４図のような動作特性となる。
の周囲温度が上昇し、光検出器６の温度が上昇し念場合
、光検出器６の光検出感度も上昇し、レーザ光１３が変
化しなくてもレーザ光１３が増加したかのように光検出
器６の出力電圧が増加する。そして基準電源４と光検出
器６の出力電圧との差電圧も増加するので、差電圧が０
になるように比較増幅器３とトランジスタ２が動作し、
レーザ管９の放電電流を減少させるため、レーザ光□２
は減少し、第４図のような動作特性となる。
本発明の目的は、温度変化があってもレーザ出力が一定
になるように制御するガスレーザ装ａｔ−提供すること
にある０ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、ガスレーザ管と、レーザ電源と、レーザ光の
一部を検出する光検出器と、一定の電圧を発生する基準
電源と、基準電源電圧と光検出器の出力電圧との差電圧
を増幅する増幅回路と、こ。
になるように制御するガスレーザ装ａｔ−提供すること
にある０ 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、ガスレーザ管と、レーザ電源と、レーザ光の
一部を検出する光検出器と、一定の電圧を発生する基準
電源と、基準電源電圧と光検出器の出力電圧との差電圧
を増幅する増幅回路と、こ。
の増幅電圧をレーザ電源にフィードバックし、放電電流
を制御してレーザ出力を一定に維持するガスレーザ装置
において、光検出器を光学窓付き恒温槽内に設置し、光
検出器が周囲温度の影響を受けないようにしたことを特
徴とする。
を制御してレーザ出力を一定に維持するガスレーザ装置
において、光検出器を光学窓付き恒温槽内に設置し、光
検出器が周囲温度の影響を受けないようにしたことを特
徴とする。
次に図面により本発明の詳細な説明する０第１図は本発
明の一実施例を示す概略図である０直流電源１の一つの
出力端をレーザ管９のカノード１０に接続し、他端をト
ランジスタ２を通してレーザ管９のアノード１１に接続
すると、レーザ管は放電し、ミラー７．７′が構成する
光共振器との相互作用でレーザ光１２が発振する。セし
てレーザ光１２の一部のレーザ光１３は光検出器６で検
出され抵抗５０両端の出力電圧となる。基準電圧源４と
の差電圧を比較増幅器３で増幅しトランジスタ２のベー
スに供給し、差電圧がＯになるように制御している。ま
た、光検出器６は光学窓１４を具備した恒温槽１５内に
設置され、光検出器６に接触又は近接させた温度検出器
１７の検出電圧によシ、恒温槽ヒータ１６を加熱するヒ
ータ電源１９を制御する温度制御回路１８によシ、光検
出器６の温度は一定に保たれる。そして、ガスレーザ装
置の周囲温度が変化しても光検出器６の温度は変化せず
一定に保たれ、光検出感度も一定に保たれる。従って、
レーザ出力ｒ２は第２図のように一定に保たれる。
明の一実施例を示す概略図である０直流電源１の一つの
出力端をレーザ管９のカノード１０に接続し、他端をト
ランジスタ２を通してレーザ管９のアノード１１に接続
すると、レーザ管は放電し、ミラー７．７′が構成する
光共振器との相互作用でレーザ光１２が発振する。セし
てレーザ光１２の一部のレーザ光１３は光検出器６で検
出され抵抗５０両端の出力電圧となる。基準電圧源４と
の差電圧を比較増幅器３で増幅しトランジスタ２のベー
スに供給し、差電圧がＯになるように制御している。ま
た、光検出器６は光学窓１４を具備した恒温槽１５内に
設置され、光検出器６に接触又は近接させた温度検出器
１７の検出電圧によシ、恒温槽ヒータ１６を加熱するヒ
ータ電源１９を制御する温度制御回路１８によシ、光検
出器６の温度は一定に保たれる。そして、ガスレーザ装
置の周囲温度が変化しても光検出器６の温度は変化せず
一定に保たれ、光検出感度も一定に保たれる。従って、
レーザ出力ｒ２は第２図のように一定に保たれる。
以上説明したように本発明は、ガスレーザ装置の周囲温
度に変化があってもレーザ出力を一定に保つことができ
るガスレーザ装置を提供できる。
度に変化があってもレーザ出力を一定に保つことができ
るガスレーザ装置を提供できる。
第１図は本発明のガスレーザ装置を示すプ筒ツク図、第
２図は本発明のガスレーザ装置の動作特性図、第３図は
従来のガスレーザ装置を示すブロック図、第４図は従来
のガスレーザ装置の動作特性図である。 ｌ・・・・・・直流電源、２・・・・・・トランジスタ
、３・旧・・比較増幅器、４・・・・・・基準電源、５
・・・・・・出力抵抗、６・・・・・・光検出器、７，
７′・・・・・・光共振器、８・・・・・・ビームスプ
リフタ、９・・・・・・ガスレーザ管、１０・・・・・
・カンード、１１・旧・・アノード、１２．１３・・・
・・・レーザ光、１４・・・・・・光学窓、１５・・・
・・・恒温槽、１６・・・・・・ヒータ、１７・・・・
・・温度検出器、１８・・・・・・温度制御回路、１９
・・・・・・ヒータ電源。 第２図
２図は本発明のガスレーザ装置の動作特性図、第３図は
従来のガスレーザ装置を示すブロック図、第４図は従来
のガスレーザ装置の動作特性図である。 ｌ・・・・・・直流電源、２・・・・・・トランジスタ
、３・旧・・比較増幅器、４・・・・・・基準電源、５
・・・・・・出力抵抗、６・・・・・・光検出器、７，
７′・・・・・・光共振器、８・・・・・・ビームスプ
リフタ、９・・・・・・ガスレーザ管、１０・・・・・
・カンード、１１・旧・・アノード、１２．１３・・・
・・・レーザ光、１４・・・・・・光学窓、１５・・・
・・・恒温槽、１６・・・・・・ヒータ、１７・・・・
・・温度検出器、１８・・・・・・温度制御回路、１９
・・・・・・ヒータ電源。 第２図
Claims (1)
- レーザ出力光の一部を光検出器で検出し、その出力電圧
と基準電圧とを比較し差電圧を増幅してレーザ電源にフ
ィードバックし、レーザ出力を一定に維持するガスレー
ザ装置において、前記光検出器を光学窓付恒温槽に入れ
たことを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6931885A JPS61228691A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6931885A JPS61228691A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61228691A true JPS61228691A (ja) | 1986-10-11 |
Family
ID=13399086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6931885A Pending JPS61228691A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61228691A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866722A (en) * | 1988-03-25 | 1989-09-12 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Metal vapor laser device stabilizing system |
-
1985
- 1985-04-02 JP JP6931885A patent/JPS61228691A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4866722A (en) * | 1988-03-25 | 1989-09-12 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Metal vapor laser device stabilizing system |
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