JPS6122746Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は案内レール上を空気ベアリングに支
承されて摺動するテーブル、すなわち静圧すべり
案内面を有するテーブルを駆動するための、テー
ブルにブラケツトを介して取付けられ、かつテー
ブル駆動用のねじ軸に嵌合するナツトの機構に関
するものである。

従来はテーブルとナツトを接続する方法とし
て、ナツトをテーブルに固定したものと、軸方向
は高精度に滑り嵌合させ、ねじ中心が360゜自由
にねじの振れを許すことのできるものがあつた。
後者はねじの振れに左右されることなく高精度の
軸方向の伝達が可能に見えるが、軸方向の嵌合す
きまの誤差は除去することができなかつた。また
スラスト空気軸受を用いて軸方向に予圧をかけ、
誤差をなくすることはできても、その装置は大変
高価なものとなつた。

この考案は上記のような欠点を解決しようとす
るものであつて、ねじ軸に嵌合したナツトを、ナ
ツトを軸方向にのみ移動可能に滑り嵌合したナツ
ト本体内に設けたばねで軸方向に付勢すると共
に、テーブルの下面に固定したブラケツトの下部
に設けたナツト取付溝の滑り案内面にナツト本体
を上下方向に摺動可能にわずかの遊隙をもつて滑
り嵌合せしめ、ブラケツトの底面に両端を固定し
たラジアル方向にのみ撓みを許された板ばねの中
央部をナツト本体の底面に固定して、ナツトをテ
ーブルに接続した超精密送り用ねじ軸の嵌合ナツ
トに関するものである。

以下この考案の実施例を図面に基いて説明す
る。第１図第２図においてベース１上にライナー
２，３を介して２本の角形案内レール４，５が平
行に置かれ、数本のボルト６によりベース１に固
着されている。この角形案内レール４，５をそれ
ぞれ囲んで空気ベアリング７，８，９，１０が四
角筒状に組立てられ、その上板に当る空気ベアリ
ング１０にテーブル１１の下面が固着され、従つ
てテーブル１１は空圧により支承されて案内レー
ル上を軽く摺動可能となつている。また２本の案
内レール４，５の中間で、ベース１の両端に近く
ブラケツト１２，１３がベース１に固着されてい
て、このブラケツト１２，１３にはころがり軸受
を介してねじ軸１４が回転自在に支承されてい
る。ベース１の端面に取付けられたブラケツト１
５にはねじ軸１４を駆動するための電動機１６が
取付けられており、電動機１６の主軸１７とねじ
軸１４の端部１８はカツプリング１９で連結され
ている。ねじ軸１４に螺合しているナツト２０は
ナツト本体２１の嵌合穴２２内に滑り嵌合してお
り、ナツト本体２１の内部に組み込まれたコイル
ばね２３，２４によりねじ軸１４の軸線方向に一
方向へ付勢されていて、ねじ軸１４とナツト２０
との遊隙を除去している。ナツト本体２１にはナ
ツト２０の回り止めのための回り止めピン２５が
打込まれていて、ナツト２０の外径面に設けられ
た長溝２６内にはまり込み、軸方向に滑り嵌合し
ている。テーブル１１の下面にはブラケツト２７
が固着されている。このブラケツト２７は下方に
開放されたナツト取付溝３４を有し、取付溝にね
じ軸１４に平行に対向しかつ垂直な一対の滑り案
内面２８が設けられており、角形のナツト本体２
１は取付溝内に上面にすきま２９を設け、滑り案
内面２８，２８との間にはわずかな遊隙をもつて
挿入され上下方向に摺動できるようになつてい
る。ナツト本体２１の底面には板ばね３０ａが押
え金３１を用いてボルト締めにより固定されてお
り板ばねの両端部は押え金３２によりブラケツト
２７の底面に固定されている。この板ばね３０ａ
にはナツト本体２１が上下と左右のすべりすきま
の動き、即ちねじ軸に直角方向の動きができるよ
うに撓み可能なＵ形に突出した緩衝部３３ａ，３
３ａが形成されている。従つてナツト２０はナツ
ト本体２１板ばね３３ａブラケツト２７を経てテ
ーブル１１に接続されていることになる。板ばね
はねじ軸１４に直角方向に即ちねじ軸軸線と直交
する面の360゜半径方向に前記すきま２９の範囲
内でかつ前記滑り案内面２８，２８との間のわず
かな遊隙の範囲内で撓むことはできるが軸方向に
は撓むことがないので、ねじ軸の送に方向の伝達
量のみが、ナツト２０，ナツト本体２１、板ばね
３０ａ、ブラケツト２７を経て、テーブル１１に
伝えられる。緩衝部は第２図に示すようにＵ字形
３０ｂのほか第３図に示す緩衝部３３ｂのように
円筒状にしてもよいし、あるいは第４図に示す緩
衝部３３のように三角形にしてもよい。あるいは
更に他の形状にしてもよい。

この考案のナツト機構は以上に例示したよう
に、テーブル１１の移動がねじ１４の取付け精度
誤差に影響されないように、ナツト本体２１とブ
ラケツト２７の間の上部すきま２９や、ナツト本
体２１とすべり案内面２８との間のわずかなすき
まにより、ナツト本体２８がねじ軸１４軸線に直
交する面の360゜方向にねじ１４の半径方向誤差
によるねじ軸の振れを板ばね３０ａ，３０ｂ，３
０ｃの緩衝部３３ａ，３３ｂ，３３ｃで吸収する
ようにするラジアル方向の遊隙を有していること
と、又、テーブルの進み方向の駆動にはナツト２
０とねじ１４との噛合遊隙を除くためのナツトを
軸方向に付勢するコイルばね２３，２４が働き、
ナツト本体２１とテーブル１１に固着されたブラ
ケツト２７との接続には緩衝部３３ａ，３３ｂ，
３３ｃを設けた板ばね３０ａ，３０ｂ，３０ｃに
よつてテーブル１１はねじ軸１４の取付精度に影
響されることなく超精密ねじ送りが可能である。

以上の説明から明らかなようにこの考案による
と、静圧すべり案内面を有するテーブルの超精密
な送り駆動を行うのに、ねじ軸の振れが、テーブ
ルに無関係に作用し、しかも軸方向送りもナツト
をばねで付勢することによりギヤツプのない完全
な接続ができるというすぐれた効果を奏すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の要部を断面で現
した正面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第
３図、第４図はそれぞれ板ばねの他の実施例の斜
視図である。 １１……テーブル、１４……ねじ軸、２０……
ナツト、２１……ナツト本体、２２……ナツト嵌
合穴、２３，２４……ばね、２７……ブラケツ
ト、２８……滑り案内面、３０ａ，３０ｂ，３０
ｃ……板ばね、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ……緩衝
部、３４……ナツト取付溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 静圧すべり案内面を有するテーブルの駆動用ね
   じ軸に嵌合するナツトにおいて、テーブルの下面
   にねじ軸を跨いで下方に開放したナツト取付溝を
   有するブラケツトを固着し、該ナツト取付溝はね
   じ軸に平行な一対の垂直な滑り案内面を有し、内
   面にナツト嵌合穴を有するナツト本体をブラケツ
   トの滑に案内面とわずかの遊隙をもつて上下方向
   に摺動可能に滑合させ、両端をブラケツトの底面
   に固定した板ばねの中間部にナツト本体の底面を
   固定し、ナツト本体内に軸方向には移動可能では
   あるが回転不能に滑り嵌合したナツトをねじ軸と
   螺合せしめ、ナツトを軸方向に付勢するばねをナ
   ツト本体に内蔵すると共に、板ばねのナツト本体
   との固定部とブラケツトの両固定部の間に、ねじ
   軸軸線と直交する平面内で半径方向に前記わずか
   な遊隙の範囲内でかつ前記上下方向に摺動可能な
   範囲内でのみ、ナツト本体の移動を許す緩衝部を
   それぞれ形成してなるテーブル駆動用ねじ嵌合ナ
   ツト機構。