JPS6122675A - サ−モパイル用素子の製造方法 - Google Patents
サ−モパイル用素子の製造方法Info
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- JPS6122675A JPS6122675A JP59143687A JP14368784A JPS6122675A JP S6122675 A JPS6122675 A JP S6122675A JP 59143687 A JP59143687 A JP 59143687A JP 14368784 A JP14368784 A JP 14368784A JP S6122675 A JPS6122675 A JP S6122675A
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- JP
- Japan
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- thin films
- sintering
- thermopile
- films
- film
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/81—Structural details of the junction
- H10N10/817—Structural details of the junction the junction being non-separable, e.g. being cemented, sintered or soldered
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/01—Manufacture or treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はサーモパイル用素子の製造方法に関する。
従来、高温熱処理(シンタリング)を行うさいの基板は
金属、シリコン等の専ら耐熱性の大なるものに限られて
いて高価である。本発明は如上の点に鑑み有機フィルム
を使用し、且つ金属薄膜の拐料としてsb、Biなど低
融点のものを使用し、基板がマイラー膜であってもシン
タリングが可能である仁とを解明し、本発明に到達した
。
金属、シリコン等の専ら耐熱性の大なるものに限られて
いて高価である。本発明は如上の点に鑑み有機フィルム
を使用し、且つ金属薄膜の拐料としてsb、Biなど低
融点のものを使用し、基板がマイラー膜であってもシン
タリングが可能である仁とを解明し、本発明に到達した
。
即ち、本発明は有機フィルムを使用し、該フィルム上に
Sb、Biなど低融点の2種類以上の金属薄膜で必要パ
ターンを形成し、シンタリングすることによシ金属薄暎
間の融着接合を図シ、サーモパイル素子を安価に製造で
きるようにするにある。
Sb、Biなど低融点の2種類以上の金属薄膜で必要パ
ターンを形成し、シンタリングすることによシ金属薄暎
間の融着接合を図シ、サーモパイル素子を安価に製造で
きるようにするにある。
具体的にはマイラー(商標名)吸上にsb及びBi力ど
の薄膜による電気配線を施し、続いて180°〜225
°Cでシンタリングすることによシ、2種の薄膜の重な
り部分においてB1がsb中に拡散された状態となシ、
接合部は融着した状態となって、接合が確実に行われる
ものとなるのである。
の薄膜による電気配線を施し、続いて180°〜225
°Cでシンタリングすることによシ、2種の薄膜の重な
り部分においてB1がsb中に拡散された状態となシ、
接合部は融着した状態となって、接合が確実に行われる
ものとなるのである。
一般的に真空蒸着を行った場合、析出した金属薄膜は内
部に多くの格子欠陥を包蔵しており、析出後経時的に格
子欠陥が減少して行き、それに伴い金属薄膜の抵抗率も
経時的に変化し、安定性に問題を生じるものとなるが、
本発明の実施によ多結晶構造の変化を収束させて解決で
きるものとなり、事実上シンタリング後は一定の抵抗率
を示すものとなる。
部に多くの格子欠陥を包蔵しており、析出後経時的に格
子欠陥が減少して行き、それに伴い金属薄膜の抵抗率も
経時的に変化し、安定性に問題を生じるものとなるが、
本発明の実施によ多結晶構造の変化を収束させて解決で
きるものとなり、事実上シンタリング後は一定の抵抗率
を示すものとなる。
本発明は斯ぐして赤外線センサーとして安定性のあるサ
ーモパイ/L/を安価且つ容易に製造することのできる
ものであシ、また車を量で取扱い容易な製品となすこと
のできるものである。
ーモパイ/L/を安価且つ容易に製造することのできる
ものであシ、また車を量で取扱い容易な製品となすこと
のできるものである。
なお、本発明で使用さ九る有機フィルムはポリエチレン
テレフタレートのほかにポリイミドなども使用される。
テレフタレートのほかにポリイミドなども使用される。
Claims (1)
- (1)有機フィルム上にSb、Biなど低融点の2種類
以上の金属薄膜で必要パターンを形成し、シンタリング
することにより融着接合させることを特徴としたサーモ
パイル用素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59143687A JPS6122675A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | サ−モパイル用素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59143687A JPS6122675A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | サ−モパイル用素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6122675A true JPS6122675A (ja) | 1986-01-31 |
Family
ID=15344614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59143687A Pending JPS6122675A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | サ−モパイル用素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6122675A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5322144A (en) * | 1990-07-18 | 1994-06-21 | Otis Elevator Company | Active control of elevator platform |
US5329077A (en) * | 1991-10-24 | 1994-07-12 | Otis Elevator Company | Elevator ride quality |
US5367132A (en) * | 1993-05-27 | 1994-11-22 | Otis Elevator Company | Centering control for elevator horizontal suspension |
US5400872A (en) * | 1990-07-18 | 1995-03-28 | Otis Elevator Company | Counteracting horizontal accelerations on an elevator car |
US5524730A (en) * | 1991-03-13 | 1996-06-11 | Otis Elevator Company | Method and apparatus for storing sensed elevator horizontal displacement and acceleration signals |
US5544721A (en) * | 1991-03-13 | 1996-08-13 | Otis Elevator Company | Method and apparatus for adjusting an elevator car based on stored horizontal displacement and acceleration information |
US5635689A (en) * | 1995-02-17 | 1997-06-03 | Otis Elevator Company | Acceleration damping of elevator resonant modes and hydraulic elevator pump leakage compensation |
US5750945A (en) * | 1996-06-03 | 1998-05-12 | Otis Elevator Company | Active elevator hitch |
US6046398A (en) * | 1998-11-04 | 2000-04-04 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Micromachined thermoelectric sensors and arrays and process for producing |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50153880A (ja) * | 1974-05-31 | 1975-12-11 | ||
JPS5331985A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-25 | Seiko Epson Corp | Thermoelectric generator for wristwatches |
JPS5437694A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-20 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Thermo cell and its manufacture |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP59143687A patent/JPS6122675A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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JPS50153880A (ja) * | 1974-05-31 | 1975-12-11 | ||
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