JPS6122161B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、液圧動作するアクチユエータの変位
制御機構、詳しくはオン・オフ形電磁弁をパルス
幅変調PWM方式でオン・オフ制御して、前記電
磁弁に接続するアクチユエータを動作させると共
に、前記アクチユエータの変位量をフイードバツ
クさせて前記アクチユエータを目標値の任意の変
化に追従させる如くした変位制御機構に関する。

（従来の技術及び発明が解決しようとする問題
点） 従来、アクチユエータの変位量を制御する場
合、昭和51年１月30日発行の「油圧技術便覧」第
424頁乃至第443頁に記載されているように、一般
には、電気油圧サーボ弁が用いられている。これ
ら油圧サーボ弁は、スプール形式とし、かつ、ノ
ズルフラツパや、高精度加工される案内弁が用い
られているため、内部もれが生じたり、制御流体
に混入する塵埃による影響を受け易い問題があつ
たし、また、流量特性も１段の線形特性となつて
いて、流量の応範囲な制御が行ない難く、大流量
でアクチユエータの変位を高速とした場合高精度
な変位制御が行なえない問題もあつた。

また一方、オン・オフ形電磁弁を用い、該電磁
弁を、パルス幅変調方式でオン・オフ制御し、前
記電磁弁の開閉時間の割合を変えて流量を制御
し、前記電磁弁に接続するアクチユエータを動作
させると共に、前記アクチユエータの変位量をフ
イードバツクさせて前記アクチユエータを目標値
の任意な変化に追従させるようにしたものも提案
されている。

所が、以上の如くオン・オフ電磁弁を用いて、
パルス幅変調方式で変位制御を行なう場合、前記
した油圧サーボ弁における塵埃に対する問題は解
消できるが、広範囲な流量制御が行ない難い問題
及びアクチユエータを大流量で高速作動させなが
ら、高精度な変位制御が行なえない問題に対して
は解決できないのである。

本発明は、以上の如き問題に鑑み発明したもの
で、目的は、パルス幅変調方式でオン・オフ制御
する電磁弁を２段作動方式とし、かつ、前記電磁
弁を構成するパイロツト弁のパイロツト流れも流
量制御に利用することにより、流量特性を２段特
性として広範囲な流量制御を可能とし、しかも、
大流量でアクチユエータを高速作動させながら、
高精度な変位制御も行なえるようにする点にあ
る。

（問題点を解決するための手段） 本発明の構成を図面に基づいて説明すると、高
圧ポート（ｂまたはａ）と、低圧ポート（ａまた
はｂ）及びこれら各ポートｂ，ａに連通する弁室
３ａをもつた弁本体３の前記弁室３ａに、前記両
ポートｂ，ａ間を開閉するシート形の主弁１を移
動自由に内装し、この主弁１に、該主弁１を前記
両ポート間の閉鎖位置へ押動させる第１の作用面
ｆ１と、前記両ポート間の連通位置へ押動させる
第２の作用面ｅとを形成し、前記第２の作用面ｅ
に前記高圧ポート（ｂまたはａ）の高圧流体を作
用させ、前記第１の作用面ｆ１に、絞り通路１３
を介して前記高圧ポート（ｂまたはａ）の高圧流
体を作用させる一方、前記第１作用面ｆ１の加圧
室ｆをパイロツト路１１を介して前記低圧ポート
（ａまたはｂ）に連通させると共にソレノイド
SOLに連動連結し、前記パイロツト通路１１を
開閉するシート形パイロツト弁２を設け、更に、
前記主弁１に、前記パイロツト弁２の開動作に伴
なう前記パイロツト通路１１のパイロツト流れに
より、前記絞り通路１３前後の差圧が所定圧力以
上になつたときに該主弁１を開動作させ、かつ、
この所定圧力未満で前記主弁１を閉動作させる主
弁開閉手段を設けて成る電磁弁Ｖをアクチユエー
タＣの流入路または流出路に介装する一方、前記
アクチユエータＣの変位量を設定する入力器２０
と前記アクチユエータＣの変位量を検出する検出
器２４と、前記ソレノイドSOLに接続するパル
ス幅変調器２３と、前記入力器２０と検出器２４
との出力をもとに前記パルス幅変調器２３を介し
て前記ソレノイドSOLにパルス幅変調信号を出
力し、前記パイロツト弁２をオン・オフ制御して
前記パイロツト通路１１のパイロツト流れを制御
する制御手段とを備えているものである。

（作 用） 前記入力器２０と検出器２４との出力信号を基
に、前記制御手段が前記パイロツト弁２のソレノ
イドSOLにパルス幅変調信号を出力するもので
あり、このパルス幅変調信号のデユテイが小さく
（Ｏに近く）、このため前記パイロツト弁２の開度
が小さく、そのパイロツト通路１１の流通量も少
なくなり、従つて、前記絞り通路１３の流通量も
少なくその前後差圧が前記所定差圧未満である場
合には、前記主弁開閉手段が前記主弁１を閉動作
させるので、前記高圧ポート（ｂまたはａ）から
低圧ポート（ａまたはｂ）への流れは、前記絞り
通路１３→加圧室ｆ→パイロツト通路１１を介し
た流れのみとなり、従つて、前記デユテイの変化
に対するポート間流量の変化量が、前記主弁１が
開動作している時に比して著るしく小さくなるの
であり、この結果、前記アクチユエータＣの微動
制御がきわめて正確にできるのである。一方、前
記パルス幅変調信号のデユテイが大きく（１に近
く）、このため前記パイロツト通路１１を流れる
パイロツト流量が多く、従つて、前記絞り通路１
３の流量も多く該通路１３の前後差圧が前記所定
圧力以上になつた場合には、前記主弁開閉手段の
作用により前記主弁１が開動作して、前記高圧ポ
ート（ｂまたはａ）、低圧ポート（ａまたはｂ）
間にはパイロツト流れに加えて、前記主弁１を介
した流れが生じて、その流量が著るしく増大され
るのであり、この結果、前記アクチユエータＣを
迅速に動作制御できるのである。

以上の如く前記パルス幅変調信号のデユテイの
大小変化により、前記電磁弁Ｖ内の前記各ポート
ａ，ｂ間の流れを、パイロツト流れのみと、該流
れに主弁１を介した流れを付加した流れとに変更
して、流量制御を２段階にできるので、前記アク
チユエータＣを前記信号に基づいて前記主弁１の
動作のみで制御する場合に比して、動作速度の小
さい領域での制御をより正確に行なえるのであ
る。

しかも、前記主弁１及びパイロツト弁２の何れ
をも漏れの少ないシート形弁としたので、前記ア
クチユエータＣの動作速度の小さい領域での該ア
クチユエータＣの制御を一層正確に行なうことが
できるのである。

（実施例） 次に本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。

第１図に示したものは、アクチユエータとして
片ロツド式のシリンダＣを用いると共に、該シリ
ンダＣのヘツド側室に接続する一つの負荷ポート
Ａと、油圧源となるポンプPMに接続するタンク
ポートＰ及びタンクTKに接続するタンクポート
Ｔとの３つのポートを備えた３ポート構成とし、
かつ、２つの電磁弁V₁，V₂を用いて、これら電
磁弁V₁，V₂のうち、一方の電磁弁V₁の後記する
低圧ポートａをタンクポートＴに、高圧ポートｂ
を前記負荷ポートＡに接続すると共に、他方の電
磁弁V₂の低圧ポートａを、前記負荷ポートＡに
高圧ポートｂをチエツク弁CHを介してポンプポ
ートＰに接続し、そして前記チエツク弁CHの上
流側のポンプポートＰを、前記シリンダＣのロツ
ド室に接続する一方、前記各電磁弁V₁，V₂を、
後記するパルス変調方式の制御機構Ｓによりオ
ン・オフ制御する如く成したものである。

前記電磁弁V₁，V₂は、何れも同じ構成とする
もので、第２図及び第３図に示した如く、主弁１
とソレノイドSOLをもつたパイロツト弁２とに
より構成して２段作動方式とするのである。

前記主弁１及びパイロツト弁２は、第２図に示
した如くシート形弁を用い、前記主弁１を、弁室
３ａと低圧ポートａ及び高圧ポートｂをもつた弁
本体３の前記弁室３ａに移動自由に内装すると共
に、前記パイロツト弁２を、前記主弁１の内腔部
ｆ内に、ガイド４を介して移動自由に内装するの
であり、前記パイロツト弁２の背部にプランジヤ
５を取付け、該プランジヤ５を前記ソレノイド
SOLに対応させて電磁石を構成し、かつ、この
プランジヤ５の背部即ち、前記内腔部ｆと連通す
る背面にスプリング６を設けて前記パイロツト弁
２及び主弁１を前記低圧ポートａの方向に付勢す
るのである。

また、以上の構成において、前記弁室３ａと低
圧ポートａとの間の段部に、主弁シート１０を形
成すると共に、前記主弁１の頂部に、小径なパイ
ロツト通路１１を設けて、該通路１１の背部にパ
イロツトシート１２を形成し、前記通路１１を介
して前記パイロツト弁２の二次側即ち、前記主弁
１の内腔部ｆを、前記主弁１の二次側即ち、前記
低圧ポートａに連通する如く成すのである。

そして、前記主弁１の頂部近くには、肩部を設
けて、この肩部と頂部との間に環状室１４を形成
し、この環状室１４を前記高圧ポートｂに連通す
ると共に、前記頂部近くの側面には、前記高圧ポ
ートｂを、前記環状室１４を介して前記主弁１の
内腔部ｆに連通する絞り通路１３を設けるのであ
る。

尚、第２図において７は、前記プランジヤ５を
内装すると共に、前記ソレノイドSOLを保持す
るプランジヤケースで、前記弁本体３に螺着して
いる。また８は、前記プランジヤケース７を螺着
保持する本発明制御装置のベースフレームであ
る。

しかして、前記主弁１の前記内腔部ｆ側の面に
は、前記絞り通路１３の二次側圧力が該弁１を閉
鎖位置に押動させる方向に働く第１の作用面ｆ１
を形成していると共に、前記主弁１の前記環状室
１４との対向部には、前記絞り通路１３の一次側
圧力が該弁１を前記両ポート間の連通位置即ち開
位置方向に働く第２の作用面ｅを形成している。

しかも、前記第１の作用面ｆ１の有効作用面積
を前記第２の作用面ｅのそれよりも大きく設定し
て、前記絞り通路１３の前後差圧が所定圧力未満
では前記主弁１が閉位置を保持する一方、前記前
後差圧が前記所定圧力以上になると該弁１が開方
向に動作するようにしている。

尚、以下前記内後部ｆを前記第１の作用面ｆ１
の加圧室という。

かくして、前記第１及び第２の作用面ｆ１，ｅ
が前記弁１を開閉制御する主弁開閉手段として機
能するのである。

尚、前記主弁開閉手段は、前記第１及び第２の
作用面ｆ１，ｅの有効面積を同一にする一方、前
記スプリング６の押圧力を利用して、前記絞り通
路１３の前後差圧が前記所定圧力未満のときには
前記主弁１を閉鎖位置に動作させ、前記前後差圧
が前記所定圧力以上の場合には前記主弁１を開位
置に動作させるようになしてもよい。

第２図及び第３図に示したものは、前記低圧ポ
ートａを、第１図に示した電磁弁V₁の如くタン
クポートＴ又は、電磁弁V₂の如く負荷ポートＡ
に接続し、また高圧ポートｂを第１図に示した電
磁弁V₁の如く負荷ポートＡ又は電磁弁V₂の如く
ポンプポートＰにそれぞれ接続して用いるのであ
つて、前記ソレノイドSOLがオンして前記パイ
ロツト弁２及び該パイロツト弁２の動作に応動し
て動作する主弁１が動作するときの流体流れは、
第２図及び第３図に示した実線矢印の通りとな
る。

しかして、前記ソレノイドSOLへの通電がオ
フの場合、前記スプリング６の押圧力により前記
パイロツト弁２がパイロツトシート１２に、ま
た、前記主弁１が主弁シート１０にそれぞれ押圧
され、前記低圧ポートａと高圧ポートｂとは遮断
され、流体の流れはない。

即ち、前記高圧ポートｂは、前記した如く負荷
ポートＡ又はポンプポートＰに接続され、タンク
ポートＴ又は負荷ポートＡに接続される前記低圧
ポートａより圧力が高く、前記パイロツト弁２が
閉じているとき、前記主弁１の加圧室ｆ内の圧力
は、前記高圧ポートｂと同圧となつて、前記主弁
１の第１の作用面ｆ１に作用しているため、この
第１の作用面ｆ１が第２の作用面ｅよりも大であ
るから、前記スプリング６の力と相俟つて前記主
弁１は閉鎖状態に維持されるのである。

このとき、前記主弁１及びパイロツト弁２は何
れもシート形状を用いるから内部洩れが生ずるこ
とはない。

この状態で、前記ソレノイドSOLを後記する
パルス幅変調方式の制御機構Ｓをもとにオン動作
させると、前記プランジヤ５がスプリング６に抗
して吸引されて、先ず前記パイロツト弁２が開動
作するのである。

そして、このパイロツト弁２の開動作で前記パ
イロツト通路１１が開いてパイロツト流れが生ず
るのであり、このパイロツト流の継続により、前
記主弁１の加圧室ｆの内部圧力が、低圧側の前記
低圧ポートａの圧力と等しくなり、換言すると、
絞り通路１３により前記環状室１４と前記加圧室
ｆとの間に圧力差が生ずることになり、この圧力
差により前記主弁１が前記スプリング６に抗して
開き、パイロツト流の他に主弁流れが生ずるので
あつて、前記したパイロツト流と共に２段作動す
るのである。

しかも、前記パイロツト流れは、前記パイロツ
ト通路１１を介して主弁１の二次側即ち、前記低
圧ポートａに流れて、前記高圧ポートｂから低圧
ポートａに流れる流量制御に関与するものであつ
て、前記主弁流れと共に流量特性を２段特性に制
御できるのである。

従つて、前記シリンダＣの動作をコントロール
する流量を広範囲に調整できるし、また、小流量
制御は、前記パイロツト弁２の動作で行なえるか
ら、換言すると、小形高応答のパイロツト弁２で
小容量制御が行なえるから、前記シリンダＣを大
流量で高速に作動させた後も、高精度な変位制御
が行なえるのである。

次に以上の如く構成する電磁弁V₁，V₂のオ
ン・オフ制御を行なう制御機構Ｓについて説明す
る。

この制御機構Ｓは、第１図及び第４図に示した
如く、目標値を入力し、入力信号を出力する入力
器２０と、入力信号と後記するフイードバツク系
からの帰還信号との偏差εを検出して出力する偏
差出力器２１と前向きゲインの増幅器２２及び、
偏差信号に対応したデユテイにパルス幅を変調す
るパルス幅変調器２３、前記シリンダＣの変位量
を検出する検出器２４並びに該検出器２４に接続
するフイードバツク系に介装する帰還増幅器２５
とから成るもので、前記パルス幅変調器２３の出
力端を、前記パイロツト弁２に付設するソレノイ
ドSOLに接続し、パルス幅変調波（PWM波）に
より前記パイロツト弁２の開閉時間の割合を変
え、前記した電磁弁V₁，V₂の平均流量を制御す
るのである。

しかして、前記帰還増幅器２５、偏差出力器２
１及び増幅器２２により本発明におけるパイロツ
ト流れを制御する制御手段を構成している。

前記パルス幅変調波（PWM波）は、前記偏差
信号波により制御されるもので、前記入力信号
Xi、帰還信号Ｘとの偏差（ε＝Xi−Ｘ）が大き
い場合には、即ち前記偏差信号波の振幅が大きい
ときには、第５図の如くパルス幅t₀は大きく制御
され、また、振幅が小さくなるとパルス幅t₀が小
さくなるのである。

尚、前記パルス幅変調波（PWM波）のパルス
位置及び周期t₁は一定であり、従つて、パルス幅
t₀の変化に応じ、換言すると前記偏差に応じデユ
テイ（t₀／t₁）も変化するのである。

また、前記パルス幅t₀は、ソレノイドSOLのオ
ン時間に相当し、このオン時間の変化で流量制御
が行なえるものであるから、パルス幅変調による
デユテイの変化に対する流量の変化は、前記した
電磁弁V₁，V₂の構成から明らかな通り、第６図
に示した２段特性となる。

つまり、パルス幅が小さく、デユテイが小さい
場合は、前記パイロツト弁２のみが動作し、前記
主弁１の動作は生じない。従つて、この領域にお
いてはデユテイの変化に対する流量変化も小さく
なり、高精度な流量制御が可能となるのである。

また、前記パルス幅が大きくなり、デユテイが
所定以上になると、前記パイロツト弁２の動作
で、前記主弁１の動作が始まるため、流量は、前
記パイロツト流と主弁流との加算合計となり、デ
ユテイの変化に対する流量変化が大きくなり、大
流量への応答性を高めながら、大流量による前記
シリンダＣの高速作動を可能にするのである。

本発明変位制御機構は以上の如く構成するもの
で、次に第１図及び第４図をもとにその作用を説
明する。

第１図に示した状態は、前記電磁弁V₁，V₂の
ソレノイドSOLがオフの状態であつて、前記シ
リンダＣのピストンPSは、所定位置に停止して
いる。

この状態で前記シリンダＣのピストンPSを第
１図において左動させる場合には、タンクポート
Ｔに接続の電磁弁V₁に通電し、また、右動させ
る場合には、前記ポンプポートＰに接続の電磁弁
V₂に通電するのである。

そして、前記電磁弁V₁又はV₂への通電は、前
記入力器２０に、前記シリンダＣにおけるピスト
ンPSを変位させる任意の目標値を入力すること
により行なうのである。

前記ピストンPSの停止位置に対する目標値の
変位量が大きい場合には、偏差信号も大きくな
り、大きなデユテイで前記パイロツト弁２のソレ
ノイドSOLがオン・オフ制御され、前記主弁１
も動作して、前記ピストンPSはパイロツト流れ
と主弁流れとが加算された大流量で高速に作動す
ることになる。

この作動は、フイードバツクされ、偏差が小さ
くなるに従つて、パイロツト幅変調波（PWM
波）のパルス幅t₀も小さくなり、デユテイも小さ
くなるのであつて、偏差εが小さくなると、前記
主弁１は閉じ、パイロツト弁２のみが、前記パル
ス幅変調波（PWM波）によつてオン・オフ制御
され、パイロツト流れのみで流量制御が行なわれ
ることになる。

従つて、前記した如く主弁流れにパイロツト流
れを加算した大流量で、前記ピストンPSを高速
に作動できながら、この高速作動後は、パイロツ
ト流れのみで流量制御できるから、換言すると小
形で高応答のパイロツト弁２で小流量制御が行な
えるから、高精度な変位制御が可能となるのであ
る。

一方、二つの電磁弁V₁，V₂への電気通電が断
たれたときやポートPMが停止しているか、又は
アンロードしてpC制御しているとき、前記シリ
ンダＣは静止して所定の位置に保持される。

尚、以上説明した第１図の実施例は、一つの負
荷ポートＡのみをもつ３ポート構成とし、二つの
電磁弁V₁，V₂を用いたものであるが、第７図の
如く二つの負荷ポートＡ，Ｂを設けた４ポート構
成とし、４つの電磁弁V₁〜V₄を用いてもよい。

この場合、シリンダＣのピストンPSを左動さ
せるには、電磁弁V₁〜V₃に通電し、右動させる
には電磁弁V₂，V₄に通電すればよい。

第７図においてCHはチエツク弁である。

また、第２図及び第３図に示した電磁弁は、ポ
ートａに、低圧側のタンクポートＴ又は、負荷ポ
ートＡを接続し、ポートｂに高圧側の負荷ポート
Ａ又はポンプポートＰに接続する如く成したが、
第８図の如く逆の場合でもよい。即ち、ポートａ
を高圧ポートとして、又ポートｂを低圧ポートと
して作用させるようにしてもよい。

この場合、第８図の高圧ポートａと主弁１の背
方加圧室ｆとの間に絞り１３を設け、低圧ポート
ｂと、主弁１の背方加圧室ｆとの間にパイロツト
通路１１を設けて、このパイロツト通路１１の開
閉をパイロツト弁２で行なう如く成すのである。

更に、前記タンクポートＴに接続する前記電磁
弁V₁又はV₄は、第９図の如く変更することもで
きる。

第９図に示した電磁弁V₁（電磁弁V₄も同じ）
は、前記パイロツト通路１１に、チエツク弁３１
と絞り３２とを並設したチエツク付パイロツトチ
ヨーク３０を介装し、また、前記絞り通路１３と
チエツク弁４１を並設し、前記絞り通路１３とチ
エツク弁４１とによりチエツク付パイロツトチヨ
ーク４０を形成したものである。

斯く構成することにより、前記ポンプPMが停
止しているか又はアンロードしてPC制御してい
るとき、前記シリンダＣのピストンPSが何らか
の原因で動作し、そのヘツド室又はロツド室が負
圧になつても、タンクポートＴを介して自吸でき
る。

即ち、前記ヘツド室又はロツド室が負圧になる
と、前記チエツク弁４１を介して前記主弁１の背
方内腔部ｆも負圧となり、前記ソレノイドSOL
のオン・オフとは無関係に前記主弁１を前記スプ
リング６に抗して開動作させられるのであり、こ
の開動作によりタンクポートＴを介して、タンク
TK内の流体は第９図点線矢印の如く自動的に吸
引させられるのである。尚、第９図における実線
矢印は、ソレノイドSOLに通電したとき、タン
クポートＴに向つて流れる通常流れである。

（発明の効果） 以上の如く本発明は、パルス幅変調方式でオ
ン・オフする電磁弁を、主弁とソレノイドをもつ
パイロツト弁とにより構成して２段作動方式と
し、しかも、パイロツト弁の二次側を主弁の二次
側に連通してパイロツト流れを利用して流量制御
を行なう如くし、パルス幅変調によるデユテイの
変化に対する流量の変化特性を２段特性とし、し
かも、前記主弁及びパイロツト弁を共に漏れのき
わめて小さいシート形としたから、小流量から大
流量に亘る広範囲な流量制御が可能となり、しか
も、大流量によりアクチユエータを高速作動させ
た後、このアクチユエータの変位量の最終制御
は、小形高応答のパイロツト弁で行なえるから、
高精度な変位制御も行なえるのである。

その上、主弁は、パイロツト弁の作動に応動し
て流体的に動作するので、換言するとチエツク弁
と同様の動作を行なうので応答性を良好にできる
し、また、油圧サーボ弁の如くノズルフラツパや
案内弁を用いないので塵埃に対する影響を最少限
に抑制できるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略説明図、
第２図は電磁弁の一例を示す断面図、第３図はそ
の概略図、第４図はパルス幅変調方式による制御
機構の概略説明図、第５図はアクチユエータの変
位とパルス幅との関係を示す説明図、第６図はデ
ユテイと流量との関係を示す流量特性図、第７図
は本発明の別の実施例を示す概略説明図、第８図
及び第９図は電磁弁の他の実施例を示す第３図に
対応した概略図である。 １……主弁、２……パイロツト弁、３……弁本
体、３ａ……弁室、１１……パイロツト通路、１
３……絞り通路、２０……入力器、２３……パル
ス幅変調器、２４……検出器、SOL……ソレノ
イド、V₁〜V₄……電磁弁、Ｃ……シリンダ、ｆ
……加圧室、ｆ１……第１の作用面、ｅ……第２
の作用面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 高圧ポート（ｂまたはａ）と、低圧ポート
   （ａまたはｂ）及びこれら各ポートｂ，ａに連通
   する弁室３ａをもつた弁本体３の前記弁室３ａ
   に、前記両ポートｂ，ａ間を開閉するシート形の
   主弁１を移動自由に内装し、この主弁１に、該主
   弁１を前記両ポート間の閉鎖位置へ押動させる第
   １の作用面ｆ１と、前記両ポート間の連通位置へ
   押動させる第２の作用面ｅとを形成し、前記第２
   の作用面ｅに前記高圧ポート（ｂまたはａ）の高
   圧流体を作用させ、前記第１の作用面ｆ１に、絞
   り通路１３を介して前記高圧ポート（ｂまたは
   ａ）の高圧流体を作用させる一方、前記第１作用
   面ｆ１の加圧室ｆをパイロツト通路１１を介して
   前記低圧ポート（ａまたはｂ）に連通させると共
   にソレノイドSOLに連動連結し、前記パイロツ
   ト通路１１を開閉するシート形パイロツト弁２を
   設け、更に、前記主弁１に、前記パイロツト弁２
   の開動作に伴なう前記パイロツト通路１１のパイ
   ロツト流れにより、前記絞り通路１３前後の差圧
   が所定圧力以上になつたときに該主弁１を開動作
   させ、かつ、この所定圧力未満で前記主弁１を閉
   動作させる主弁開閉手段を設けて成る電磁弁Ｖを
   アクチユエータＣの流入路または流出路に介装す
   る一方、前記アクチユエータＣの変位量を設定す
   る入力器２０と前記アクチユエータＣの変位量を
   検出する検出器２４と、前記ソレノイドSOLに
   接続するパルス幅変調器２３と、前記入力器２０
   と検出器２４との出力をもとに前記パルス幅変調
   器２３を介して前記ソレノイドSOLにパルス幅
   変調信号を出力し、前記パイロツト弁２をオン・
   オフ制御して前記パイロツト通路１１のパイロツ
   ト流れを制御する制御手段とを備えていることを
   特徴とするアクチユエータの変位制御機構。