JPS61217426A

JPS61217426A - 合流装置

Info

Publication number: JPS61217426A
Application number: JP5836885A
Authority: JP
Inventors: Tsuneichi Odaka; 小高　庸市
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-03-25
Filing date: 1985-03-25
Publication date: 1986-09-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は合流装置、たとえば、電子部品の特性測定を行
なうオートハンドラに適用して有効な合流装置に関する
。

〔背景技術〕

半導体装置等の電子部品の特性検査は、一般にハンドラ
（オートハンドラとも称す。）と呼ばれる装置が使用さ
れている。たとえば、ＩＣハンドラは、工業調査会発行
［電子材料Ｊ　１９８３年別冊号、昭和５７年１１月１
５日発行、Ｐ１９９〜Ｐ２Ｏ３に記載されているように
多くの種類がある。これらのＩＣハンドラにあっては、
ＩＣ等の半導体装置は順次測定部に送り込まれて特性検
査が行われ、その後分類装置によって分類されるように
なっている。

ところで、このようなテスティングにおいて、メモリー
等の電子部品は、測定時間（テストタイム）が長いが、
ＴＴＬ　（１−ランジスタ・トランジスタ・ロジック）
のようなディシイタルＩＣ等の電子部品はテストタイム
が、たとえば、０．４秒と極めて短くなってきている。

このため、テストタイムの短い電子部品のテスティング
にあっては、高価なテスターを待機させることなく稼働
させることによって、スループットの向上を図ることが
検討されている。

従来、前記文献にも記載されているように、スループッ
ト向上のために、２個（ディシイタルＩＣ用ハンドラ）
あるいは８個（ＥＰ−ＲＯＭ用ハンドラ）の電子部品を
同時に測定する多数個同時処理化が試みられている。

ところで、このようなハンドラにあっては、分類後の電
子部品数の把握および収納状態の整理のため、−列に統
合して収容する必要がある。

しかし、これらのハンドラにあっては、分類および統合
を兼ねていることもあることから、測定後の電子部品を
１個ずつ迎えに行き、これを所定の位置に運ぶ、いわゆ
る個別処理であるため、装置能力の大幅な向上が望み難
い。

〔発明の目的〕

本発明の目的は多数個同時合流処理が可能な合流装置を
提供することにある。

本発明の他の目的は高速合流処理が可能な合流装置を提
供することにある。

本発明の他の目的は高速合流分類処理が可能なオートハ
ンドラを提供することにある。

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、本発明の合流装置は、６列の搬送レーンの出
口部分に、これら搬送レーンを横切る方向に延在する６
本の移送レーンを配し、この移送レーンに設けた収容レ
ール内にストッパを利用してそれぞれ半導体装置を一時
停止させた後、総ての移送レーンの一方向への移動によ
って、各収容レールが下方の合流レールの受取口の上方
延長線上になるようにし、半導体装置がストッパーから
外れることを利用して前記合流レール内の受取口内に自
重落下させ、各半導体装置を合流レール内に合流させる
。また、前記移動レールが搬送レーンから半導体装置を
受け取る位置にあるとき、前記合流レールと一本の搬送
レーンとを連結するような通過レールが各移動レールに
設けられているため、搬送レーンから半導体装置を受け
取る時点で連通状態にある搬送レーンの半導体装置は合
流レールに移る。したがって、別々の搬送レーンから送
り込まれた半導体装置は、１個が先行するが、残りの半
導体装置は同時に合流処理されるため、合流時間が短縮
され、テスターの待機時間が短くなり、測定時間が短縮
され、スループット向上が達成できる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例によるオートハンドラにおけ
る合流装置の概要を示す一部の断面図、第２図は同じく
平面図、第３図は同じく合流装置部分を示す断面図、第
４図は被分類物であるデュアルインライン形の半導体装
置の斜視図、第５図は前記半導体装置を収容するマガジ
ンの一部を示す斜視図である。

本発明の合流装置は、たとえば、ＩＣハンドラの合流部
分に適用される。この実施例ではデュアルインライン形
の半導体装置の測定分類について説明する。

このデュアルインライン形の電子部品（半導体装置）１
は、第４図に示されるように、パッケージ２の両側部か
らそれぞれ下方に折れ曲がったす−ド３を突出させた構
造となっていて、第５図に示すようなマガジン（スティ
ックマガジン）４に一列に並べて収容されて管理される
。電子部品（半導体装置）１はパッケージ２の下面がマ
ガジン４の内部中央の台座部５に載り、両側のリード３
は台座部５の両側に拡がるリード収容空間６に納まるよ
うになっている。

このような半導体装置１が収容されたマガジン４はオー
トハンドラの供給部に多数並べて配設される。マガジン
４内の半導体装置１は、第３図に示されるように、供給
部７に供給される。この供給部７には、特に限定はされ
ないが、並行に６本の供給レーン（レール）８が設けら
れていて、前記半導体装置１はこの供給レーン８内にそ
れぞれ供給される。前記供給レーン８　（第２図参照）
は前記マガジン４と同様に半導体装置１のパッケージ２
部分を支えるようになっている。また、前記、供給部７
はハンドラの測定部９に半導体装１工を案内するように
なっている。また、特に図示しないが、供給レーン８は
常用の部品個別送り機構が設けられていて、−個ずつ半
導体装置１を測定部９に送るようになっている。測定部
９では半導体装置１のリード３の先端が図示しない測定
端子に接触し、半導体装置１の特性測定が行われる。測
定部９の下方には測定部９から並列に自重によって滑動
した半導体装置ｌをそれぞれ独立して案内するガイドレ
ール１０を有するガイド１１が設け　−られている。ま
た、このガイド１１の延長線上には分配機構１２の分配
器１３が連続して設けられている。この分配器１３には
前記ガイドレール１０に対応して６個の分配レール１４
が設けられている。この分配レール１４は半導体装置１
が通過できるようになっている。また、この分配器１３
にはそれぞれの分配レール１４内に入った半導体装置１
を一時的に停止させるストッパー１５がそれぞれ配設さ
れる。このストッパー１５は分配器１３の上部外面に配
設されたエアーシリンダ１６のロンドからなり、エアー
シリンダ１Ｇの’ＯＦＦ”動作時、分配器１３の外壁を
貫通して半導体装置１の通過域に突出し、分配レール１
４内に入ってきた半導体装置１を停止させるようになっ
ている。したがって、エアーシリンダ１６の”ＯＮ”動
作時は、ストッパー１５は引っ込み、ストッパー１５に
よって停止されていた半導体装置１が分配レール１４内
を通過するようになっている。

一方、前記分配器１３は上下方向、より厳密に言うなら
ば、前記供給レーン８のレーン延在方向に直交する上下
方向に二段に亘って昇降できるように、両端にガイド軸
１７が慴動自在に取り付けられている。また、前記分配
器１３は図示しない昇降機構によって上下動するように
なっている。

また、前記分配器１３の下方、すなわち、分配器１３の
延長方向には前記供給部７の供給レーン８にそれぞれ対
応した分類レーン１８を有する分類部１９が三段に亘っ
て配設されている。分類部ｌ・９は説明の便宜上最上段
をＡ分類、中断を８分類。

最下段をＣ分類と称し、第３図においては、それぞれＡ
、Ｂ、Ｃで示されている。へ分類の分類レーン１８は前
記供給レーン８の延長上に位置している。そして、前記
分配器１３が一段下がると、この分配器１３の分配レー
ル１４は、８分類の分類レーン１８に対面し、さらに一
段分配器１３が下がるとＣ分類の分類レーン１８に対面
する。したがって、分配器１３が停止した時点で所望の
ストッパー１５を“ＯＮ”動作させると、“ＯＮ”動作
された箇所の分配レール１４内に入っている半導体装置
１は、分配レール１４に対面する分類レーン１８内に入
り、分類が成される。各分類レーン１８内に入った半導
体装置１は分類レーン１８に案内され、自重落下滑動し
て、第１図に示されるように、合流装置に移る。

合流装置は第１図に示されるような、構造のものが３段
重なった構造となっている。これは、へ分類、Ｂ分類、
Ｃ分類の半導体装置をそれぞれ一本の合流レールに合流
させる必要があることによるものである。この合流装置
では、分類部１９の分類レーン１８は合流処理する際に
は、電子部品（半導体装置）１供給側ともなることから
、分類レーン１８を搬送レーンとも称することにする。

搬送レーンＩ８は、この実施例では左寄りの２本の出口
端が同一高さ位置となるとともに、左から３木目の搬送
レーン１８から右側に寄る搬送レーン１８は一段ずつそ
の出口端が長く　（下方）に位置している。なお、説明
の便宜上、６本の搬送レーン１８に左から右に向かって
、１．　　ｎ、　ＩＩＩ。

ＩＶ、　Ｖ、　ＶＩなる番号をそれぞれ付けることにす
る。

搬送レーン１８の１．■なる搬送レーン１８の出口端に
はＩ、　　Ｕの搬送レーン１８に亘って延在する記号ａ
で示す移送レール２０が設けられている。また前記移送
レール２０の左端部分にはＩの搬送レーン１８に対応し
て半導体装置１が通過可能な通過レール２１が設けられ
るとともに、■の搬送レーン１８に対応して半導体装置
１が収容可能な収容レール２２が設けられている（この
位置を受取状態と称する。）。また、このａなる移送レ
ール２０の下にはストッパー２３が配設されている。こ
のストッパー２３は前記Ｉなる搬送レーン１８の延長線
上部分に半導体装置１が通過できる通過孔２４が設けら
れる以外はａなる移送レール２０の下面部分を塞ぐよう
になっている。また、このａなる移送レール２０は矢印
で示すように、隣り合うあう搬送レーン１８のピッチ分
だけ左に移動制御されるようになっている。（左に移動
した状態を合流状態と称す。）したがって、合流動作に
よって、ａなる移送レール２０は左に１ピツチ移動する
。この結果、ａなる搬送レーン１８の右端側の収容レー
ル２２はストッパー２３の通過孔２４と一致するため、
収容レール２２内の半導体装置１は通過孔２４を通って
下方に落下する。

また、前記ａなる移送レール２０の下方には順次す、　
　ｃ、　　ｄ、　　ｅなる移送レール２０が並行に並ぶ
とともに、ｂ、　　ｃ、　　ｄ、　　ｅの移送レール２
０の下にはそれぞれストッパー２５．２６．２７．２８
が配設されている。そして、前記すなる移送レール２０
は■の搬送レーン１８から■の搬送レーン１８に亘って
延在し、前記ａなる移送レール２０と同様に左端に通過
孔２４が設けられ、右端には■の搬送レーン１８から送
り込まれる半導体装置１を一時的に収容する収容レール
２２が設けられている。また、前記Ｃなる移送レール２
０はＩの搬送レーン１８から■の搬送レーン１８に亘っ
て延在し、前記ａなる移送レール２０と同様に左端に通
過孔２４が設けられ、右端には■の搬送レーン１８から
送り込まれる半導体装置１を一時的に収容する収容レー
ル２２が設けられている。また、前記ｄなる移送レール
２０はＩの搬送レーン１８から■の搬送レーン１８に亘
って延在し、前記ａなる移送レール２０と同様に左端に
通過孔２４が設けられ、右端には■の搬送レーン１８か
ら送り込まれる半導体装置１を一時的に収容する収容レ
ール２２が設けられている。また、前記ｅなる移送レー
ル２０はＩの搬送レーン１８から■の搬送レーン１８に
亘って延在し、前記ａなる移送レール２０と同様に左端
に通過孔２４が設けられ、右端には■の搬送レーン１８
から送り込まれる半導体装置１を一時的に収容する収容
レール２２が設けられている。なお、前記ストッパー２
５〜２日は対応するｂの移送レール２０の長手方向全長
に亘って延在するとともに、左端には前記ストッパー２
３と同様に■の搬送レーン１８から送り出された半導体
装置１がそれぞれ通過できるようになっている。すなわ
ち、各移送レール２０が受取状態にあるときは、各通過
孔２４は一列に並ぶため、■の搬送レーン１８から送り
出された半導体装置１はａ、　　ｂ、　　ｃ、　　ｄ、
　　ｅと連る移送レール２０の通過孔２４を通過して下
方に落ちる。そして、この半導体装置１はｅなる移送レ
ール２０の下に配設された合流レール２９の上端部分の
受取口３０内に入る。また、受取状態に′ある各移送レ
ール２０は対応する搬送レーン１８から自重で搬送レー
ン１８内を滑動落下して来る半導体装置１をそれぞれの
収容レール２２内に受け取り、ストッパー２３．２５，
２６，２７．２８の作用によって停止させる。また、各
移送レール２０は左側に移動して合流状態になり、各移
送レール２０の収容レール２２はＩなる搬送レーン１８
と合流レール２９との間に一列に並ぶようになっている
。すなわち、ｂなる移送レール２０は左側に２ピッチ分
移動して合流状態となり、Ｃなる移送レール２０は左側
に３ピッチ分移動して合流状態となり、ｄなる移送レー
ル２０は左側に４ピンチ分移動して合流状態となり、ｅ
なる移送レール２０は左側に５ピンチ分移動して合流状
態となる。この結果ａ〜ｅの移送レール２０が同時に°
合流動作して合流状態になると、各移送レール２０の収
容レール２２内に収容されていた半導体装置１は、スト
ッパー２３．２５，２６，２７．２８の各通過孔２４に
臨むため（ストッパーの開状態〉、各半導体装置１は合
流レール２９内に一列に合流して入り込む。分類はＡ分
類、８分類、Ｃ分類と三段となっているため、それぞれ
に区分された半導体装置１は各合流レール２９内にそれ
ぞれ合流して流れ込む。

このようなオートハンドラにあっては、測定部９で測定
された半導体装置１が、分配器１３が分配レール１４内
に停止した時点で、へ分類に収容される必要のある半導
体装置１が入っている分配レール１４のエアーシリンダ
１６が’ＯＮ″動作し、分配レール１４内の半導体装置
１がＡ分類の分類レーン１８内に分類収容される。その
後、分配器１３は一段降下し、この位置で８分類に収容
される必要のある半導体装置１が入っている分配レール
１４のエアーシリンダ１６が“ＯＮ”動作し、分配レー
ル１４内の半導体装置１が８分類の分類レーン１８内に
分類収容される。８分類の分類収容が終ると、再び０分
類に収容される必要のある半導体装置１が入っている分
配レール１４のエアーシリンダ１６が“ＯＮ”作動し、
分配レール１４内の半導体装置１がＣ分類の分類レーン
Ｌ８内に分類収容される。その後、分配器１３は最上段
に移行し、次の半導体装置１を受け取る態勢に入る。ま
た、分類レーン（搬送レーン）１８に゛移行したＡ分類
、８分類、Ｃ分類の半導体装置１にあって、■なる搬送
レーン１８内の半導体装置１は移送レール２０が受取状
態にあることから各移送レール２０の通過孔２４を通過
して合流レール２９内に移動する。また、残りの■〜■
の搬送レーン１８内の半導体装置１は一時的にａ　−”
−ｅの移送レール２０の収容レール２２内に入り、その
後の全部の移送レール２０の合流動作によって■の搬送
レーン１８と合流レール２９との間に位置し、−列に並
んで合流レール２９内に入る。また、合流動作後は、各
移送レール２０は右側にそれぞれ復帰して受取状態に戻
り次の半導体装置１を受け取る態勢に入る。この合流の
一連の動きは、実際には数秒と極めて短時間である。

（効果〕（１）本発明によれば、合流装置は各レーンにある半導
体装置を同時に合流できるため、１回の合流動作に掛か
る時間は、半導体装置１個当たりに換算すれば、大幅に
短くなり、分類後の合流の高速化が達成できるという効
果が得られる。

（２）上記（１）より、本発明によれば、半導体装置の
合流の高速化から、多数の半導体装置を同時に測定して
もテスターの待ち時間が少なくでき、稼働率の向上から
特性選別のスループットが向上するという効果が得られ
る。

（３）上記（１）および（２）により、本発明によれば
、多数の半導体装置を同時に測定できることと、測定後
の分類それに続く合流も多数の半導体装置を同時に処理
できるため、特性分類の高速化が達成できるとともに、
特性分類のコストも低減できるという相乗効果が得られ
る。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。すなわち、実施例では６
列の半導体装置１を一列に合流する合流処理について説
明したが、さらに８列あるいはそれ以上多い半導体装置
の合流処理も可能である。

また、合流機構は、第６図に示されるように、各移送レ
ール２０が受取状態にあっても、Ｉなる搬送レーン１８
はａ　−＝　ｆなる移送レール２０の通過孔２４は合流
レール２９の受取口３０上には一敗しない構造とし、総
ての移送レール２０の収容レール２２にＩ〜■の搬送レ
ーン１８から送り出された収容レール２２を一時的に収
容し、移送レール２０の合流動作によって、収容レール
２２の総ての半導体装置１が一列となって、合流レール
２９内に入るようにすれば、半導体装置１の同時合流処
理が達成でき前記実施例同様な効果が得られる。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるデュアルインライン
形のＩＣハンドラにおける半導体装置の合流技術に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、たとえば、フラット形の半導体装置等信の構造
の電子部品の特性分類における分類後の半導体装置の一
列に統合する技術にも適用できる。

本発明は少なくとも物品の一列に合流させる合流技術に
適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるオートハンドラにおけ
る合流装置の概要を示す一部の断面図、第２図は同じく
平面図、第３図は同じく合流装置部分を示す断面図、第４図は被
分類物であるデュアルインライン形の半導体装置の斜視
図、第５図は前記半導体装置を収容するマガジンの一部を示
す斜視図、第６図は本発明の他の実施例による合流装置の一部を示
す断面図である。１・・・半導体装置、２・・・パッケージ、３・・・リ
ード、４・・・マガジン、５・・・台座部、６・・・リ
ード収容空間、７・・・供給部、８・・・シュート、９
・・・測定部、１０・・・ガイドレール、１１・・・ガ
イド、１２・・・分配機構、１３・・・分配器、１４・
・・分配レール、１５・・・ストッパー、１６・・・エ
アーシリンダ、１７・・・ガイド軸、１８・・・分類レ
ーン（搬送レーン）、１９・・・分類部、２０・・・移
送レール、２１・・・通過レール、２２・・・収容レー
ル、２３・・・ストッパー、２４・・・通過孔、２５，
２６．２７．２８・・・スト第　　１　　図第　　２　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、物品を案内する複数の搬送レーンと、前記搬送レー
ンの出口位置に配設されるとともに搬送レーンを横切る
方向に沿って延在する複数の移動レールと、前記所定の
搬送レーンから送り込まれる物品を受け取るように移動
レールに設けられた収容レールと、前記収容レールに設
けられたストッパーと、前記移動レールの下部に物品の
受取口を臨ませた一本の合流レールと、からなり、前記
各収容レール内の物品は移動レールの移動に伴って前記
合流レールの受取口側に移動しかつ、ストッパーの開状
態により前記受取口内に移動して合流レール内に移動す
るようになっていることを特徴とする合流装置。２、前記移動レールに設けられた収容レール内に停止さ
れた物品は、この移動レールよりも下方に他の移動レー
ルがあるときは、下方の移動レールの収容レール内を通
過して合流レール内に移動することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の合流装置。３、前記移動レールには通過レールが設けられ、各移動
レールが前記搬送レーンから物品を受取る位置にあると
き、前記合流レールと一本の搬送レーンとは前記各移動
レールの通過レールによって連結され、この搬送レーン
の物品は前記各通過レールを通って合流レールに移動可
能となっていることをことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の合流装置。