JPS61214455A - 混成集積回路装置 - Google Patents

混成集積回路装置

Info

Publication number
JPS61214455A
JPS61214455A JP60057348A JP5734885A JPS61214455A JP S61214455 A JPS61214455 A JP S61214455A JP 60057348 A JP60057348 A JP 60057348A JP 5734885 A JP5734885 A JP 5734885A JP S61214455 A JPS61214455 A JP S61214455A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating substrate
low melting
semiconductor chip
metallic plate
point solder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60057348A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuichi Ikeda
池田 保一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP60057348A priority Critical patent/JPS61214455A/ja
Publication of JPS61214455A publication Critical patent/JPS61214455A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/36Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/14Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
    • H01L23/142Metallic substrates having insulating layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体チップから発生する熱による悪影響
をなくした混成集積回路装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来、高出力の性能を要求される混成集積回路装置の構
造は、第2図(a)、  (b)K示すようK。
放熱のための金属板(一般には銅を使用、メッキ仕様は
省略)1の上に、半導体チップ4を搭載した熱伝導性の
絶縁性基板(一般にはBeO) 2と、周辺回路形成用
の絶縁性基板(一般にはA I 10B )3とを、融
点が約180℃以下のpb−s1系の低融点半田6にて
接合した構造となっている。なお、5は前記半導体チッ
プ4の電極と、絶縁性基板2上の電極とを接続した金属
細線である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
このような構造においては、娼出カの半導体チップ4か
ら発生する熱損失のため、熱伝導性の絶縁性基板2と金
属板1とを接合しているPb −Sn・ 系の低融点半
田6に悪影響を及ぼし、最終的には半田クランク、界面
はく離等に至ることが環境試験により判明している。
このため、製品の用途として使用環境が非常に厳しい場
合や、宇宙用等のように高信頼度を要求される場合多大
の問題点があった。
この発明は、このような問題点を解消するためkなされ
たもので、高信頼性の混成果槓回路装置を提供するもの
である。
〔問題点を解決するだめの手段〕
この発明に係る混成集積回路装置は、半導体チップを搭
載した絶縁性基板を接合するろう材KAg−Cuろ5材
を用い、周辺回路形成用の絶縁性基板を接合するろう材
1c Pb −Sn系の低融点半田を用いたものである
〔作用〕
この発明においては、半導体チップから発生する熱損失
のために%Pb −Sn系の低融点半田に熱による悪影
響を与えることがない。
〔実施例〕
第1図(a)、  (b)はこの発明の一実施例を示す
混成集積回路装置の平面図およびA−A娠忙よる断面図
である。この発明の特徴は、熱伝導性の絶縁性基板2と
金属板1の接合材をAg −Cuろ5材7によって接合
し、周辺回路形成用の118縁性基板3と金属板1との
接合は基板われ防止のため、従来どおりのPb−8n系
の低融点半田6を採用したことである。
すなわち、第1図(a)、  (b)に示すように、放
熱用の金属板1上に半導体チップ4が搭載された熱伝導
性の絶縁性基板2を金属板10所定部分を突出させた凸
部1a上にAg−Cuろう材7により接合し、周辺回路
形成用の絶縁性4叡3を従来と同様KPb−8n系の低
融点半田6を使用しズ接合したものである。
上記のような構造の採用により、第1表のようなパラメ
ータを持つ混成集積回路装置くおいて、ヒートショック
テスト(−40℃〜+125℃、各30+)の結果、従
来の構造の混成集積回路装置は、約200サイクルにて
不良発生の可能性を持つが、この発明による構造のもの
は、1000サイクルをクリアする結果を得ている。
第  1  表 〔発明の効果〕 この発明は以上説明したとおり、半導体チップが搭載さ
れた絶縁性基板を放熱のための金属板にAg −Cuろ
5材を用い″C接合し、周辺回路形成用の絶縁性基板を
Pb −Sn系の低融点半田を用いて接合したので、半
導体チップから発生される熱による悪影響を低融点半田
に与えることがな(なり、高信頼性の高出力混成系、積
回路装置の提供がcq能となる利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
a41図(a)、  (b)はこの発明の一実施例を示
す混成集積回路装置の平面図およびA−A’lR面図、
第2図(a)、  (b)は従来の混成集積回路装置を
示す平面図およびB−8断面図である0 図において、1は金属板、2は熱伝導性の絶縁性基板、
3は周辺回路形成用の絶縁性基板、4は半導体チップ、
5は金属細線、6はPb7Sn系の低融点半田、7はA
g −Cuろ5材である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分な示す◎ 第1図 (a) 7’Ag−Cuろう材

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  放熱のための金属板の上に半導体チツプがそれぞれ搭
    載される所要数の熱伝導性の絶縁性基板と、周辺回路形
    成用の所要数の絶縁性基板を接合した混成集積回路装置
    において、前記半導体チツプが搭載される絶縁性基板を
    Ag−Cuろう材によりそれぞれ接合し、前記周辺回路
    形成用の絶縁性基板を低融点半田にてそれぞれ接合した
    ことを特徴とする混成集積回路装置。
JP60057348A 1985-03-19 1985-03-19 混成集積回路装置 Pending JPS61214455A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60057348A JPS61214455A (ja) 1985-03-19 1985-03-19 混成集積回路装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60057348A JPS61214455A (ja) 1985-03-19 1985-03-19 混成集積回路装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61214455A true JPS61214455A (ja) 1986-09-24

Family

ID=13053067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60057348A Pending JPS61214455A (ja) 1985-03-19 1985-03-19 混成集積回路装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61214455A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0637076A2 (en) * 1993-07-29 1995-02-01 Motorola, Inc. Electronic circuit assembly with improved heatsinking

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0637076A2 (en) * 1993-07-29 1995-02-01 Motorola, Inc. Electronic circuit assembly with improved heatsinking
EP0637076A3 (en) * 1993-07-29 1995-08-30 Motorola Inc Electronic circuit arrangement with improved heat dissipation.

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63246851A (ja) 半導体装置の保持器および集積回路をプラスチック・パッケージの内部に収納する方法
JPS62202548A (ja) 半導体装置
JPS622587A (ja) ハイパワ−用混成集積回路
JPH03195053A (ja) インバータ装置
JPS61214455A (ja) 混成集積回路装置
JP2003318330A (ja) セラミック回路基板
KR0183010B1 (ko) 반도체장치
JP2007042848A (ja) 配線基板、電気素子装置並びに複合基板
JPH0666362B2 (ja) フィルムキャリアテープ
JP2014187180A (ja) 半導体装置用接合体、パワーモジュール用基板及びパワーモジュール
JPH0358537B2 (ja)
JPH0278265A (ja) リードフレームおよびそのリードフレームを使用した複合半導体装置
JPS63155734A (ja) 半導体チツプの実装方法
JPS6276588A (ja) 混成集積回路装置
JPH0572751B2 (ja)
JP2879503B2 (ja) 面実装型電子回路装置
JPH0319258Y2 (ja)
JPS61225827A (ja) 半導体素子の実装構造
JPH01100957A (ja) ハイブリッドic
JP2570889B2 (ja) Lsi用ケース
JPH01215027A (ja) 金属ベースはんだ付部の構造
JPS6126224B2 (ja)
JPS63308944A (ja) 半導体装置
JPS6236385B2 (ja)
JPH11195725A (ja) 半導体装置およびその製造方法