JPS6121312B2 - - Google Patents
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- JPS6121312B2 JPS6121312B2 JP17582480A JP17582480A JPS6121312B2 JP S6121312 B2 JPS6121312 B2 JP S6121312B2 JP 17582480 A JP17582480 A JP 17582480A JP 17582480 A JP17582480 A JP 17582480A JP S6121312 B2 JPS6121312 B2 JP S6121312B2
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- JP
- Japan
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- plating solution
- electrodialysis
- tank
- chemical copper
- copper plating
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- Expired
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
- B01D61/44—Ion-selective electrodialysis
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Urology & Nephrology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、化学銅めつき液を電気透析によつて
再生する場合に、電気透析槽内にある化学銅めつ
き液が分解して金属銅が析出するのを防止する方
法と装置に関するものである。
再生する場合に、電気透析槽内にある化学銅めつ
き液が分解して金属銅が析出するのを防止する方
法と装置に関するものである。
従来、化学銅めつき液は再生することなく廃棄
処理されてきた。一方、我々は、化学銅めつき液
を劣化させることなく連続的に再生する技術を考
え出した。その基本となるものは、めつき液中に
蓄積する有害イオンを電気透析槽において透析，
除去するものである。しかし、化学銅めつき液
は、酸化、還元の両物質を含んでいる。一般に還
元剤として用いられるホルムアルデヒド如きは、
電気透析する際にもその還元力を完全に失なわ
ず、絶縁性の電気透析槽内部や配管中に金属銅を
析出させる傾向を有している。このようなめつき
反応の駆動力を失なわせるには、めつき液を冷却
するのが普通であるが、冷却のみでは不完全であ
り、特に電気透析槽内部にめつき液が滞留する場
合にイオン交換膜にめつきが析出する現象、所謂
分解が生じるのを防ぐことができなかつた。
処理されてきた。一方、我々は、化学銅めつき液
を劣化させることなく連続的に再生する技術を考
え出した。その基本となるものは、めつき液中に
蓄積する有害イオンを電気透析槽において透析，
除去するものである。しかし、化学銅めつき液
は、酸化、還元の両物質を含んでいる。一般に還
元剤として用いられるホルムアルデヒド如きは、
電気透析する際にもその還元力を完全に失なわ
ず、絶縁性の電気透析槽内部や配管中に金属銅を
析出させる傾向を有している。このようなめつき
反応の駆動力を失なわせるには、めつき液を冷却
するのが普通であるが、冷却のみでは不完全であ
り、特に電気透析槽内部にめつき液が滞留する場
合にイオン交換膜にめつきが析出する現象、所謂
分解が生じるのを防ぐことができなかつた。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、電気透析装置を作動させない時でも、この
装置内に存在する化学銅めつき液が分解して金属
銅を析出させない方法と装置と提供するにある。
くし、電気透析装置を作動させない時でも、この
装置内に存在する化学銅めつき液が分解して金属
銅を析出させない方法と装置と提供するにある。
本発明の特徴は、化学銅めつき液を電気透析槽
で再生する際、電気透析を行なう、行なわないに
拘ず、電気透析槽内に冷却され、かつ空気の飽和
した化学銅めつき液を常時循環させることにあ
る。
で再生する際、電気透析を行なう、行なわないに
拘ず、電気透析槽内に冷却され、かつ空気の飽和
した化学銅めつき液を常時循環させることにあ
る。
冷却温度は、40℃以下で化学銅めつき液が氷結
しない温度、実用的には40℃〜０℃である。
しない温度、実用的には40℃〜０℃である。
以下本発明を実施例により詳細に説明する。
本発明の実施例を図のフローシートに従つて説
明する。化学銅めつき槽１よりポンプ２によつて
化学銅めつき液を冷却器３に導入しめつき液温度
を下げ循環槽４に送入する。循環槽４には外部よ
り５の空気吹込みパイプにより常時空気を吹込み
化学銅めつき液に空気を飽和させることができ
る。冷却し、空気を飽和させためつき液は、ポン
プ６で電気透析槽７に送り有害蓄積イオンを排除
する。めつき液から除去された有害イオンは、濃
縮槽８よりポンプ９で電気透析槽７に導かれた濃
縮液中に濃縮され、濃縮槽へ循環する。電気透析
されためつき液は三方バルブ１０を経由してめつ
き槽１へ還流する。以上が電気透析時のめつき液
の流路である。
明する。化学銅めつき槽１よりポンプ２によつて
化学銅めつき液を冷却器３に導入しめつき液温度
を下げ循環槽４に送入する。循環槽４には外部よ
り５の空気吹込みパイプにより常時空気を吹込み
化学銅めつき液に空気を飽和させることができ
る。冷却し、空気を飽和させためつき液は、ポン
プ６で電気透析槽７に送り有害蓄積イオンを排除
する。めつき液から除去された有害イオンは、濃
縮槽８よりポンプ９で電気透析槽７に導かれた濃
縮液中に濃縮され、濃縮槽へ循環する。電気透析
されためつき液は三方バルブ１０を経由してめつ
き槽１へ還流する。以上が電気透析時のめつき液
の流路である。
電気透析槽の運転を中止したときは、めつき液
が電気透析槽内に滞留するの防ぐため、電気透析
停止の際には三方バルブ１０の方向を変え、めつ
き液が循環槽４，ポンプ６，電気透析槽７，三方
バルブ１０，循環槽４の循環系路を形成させる。
このとき圧力調整のため濃縮液の循環系路は作動
している必要がある。
が電気透析槽内に滞留するの防ぐため、電気透析
停止の際には三方バルブ１０の方向を変え、めつ
き液が循環槽４，ポンプ６，電気透析槽７，三方
バルブ１０，循環槽４の循環系路を形成させる。
このとき圧力調整のため濃縮液の循環系路は作動
している必要がある。
以上に示したフローシートに従つて化学銅めつ
き液を再生した結果は次のようである。化学銅め
つき液には次の組成のものを用いた。
き液を再生した結果は次のようである。化学銅め
つき液には次の組成のものを用いた。
CuSO45H2O……13ｇ
EDTA2Na…………40ｇ
37％ホルマリン…………３ml
NaOH…………………PHを12.3とする量
エトキシ界面活性剤……100mg
αα′ジピリジル………20mg
K2S……………………0.05mg
水…………………………１とする量
このめつき液を70℃に保ち、めつき負荷1d
m2／でめつきを行いながら電気透析槽（旭ガラ
ス(株)製Du−O6型：陽イオン交換膜，陰イオン交
換膜はそれぞれ旭ガラス(株)製CMV，AMV11対）
で電気透析を行なつた。めつき液を40℃以下に冷
却し循環槽で十分空気を吹込んでから4A／ｄm2
の電流密度で電気透析した。このような再生を２
時間毎に１時間づつ行いながら、電気透析を停止
中には前述したように循環槽と電気透析槽をめつ
き液を循環して電気透析槽内に金属銅が析出する
のを防止した。総計50時間に至るまで連続的にめ
つきを行つた後にも電気透析内部には全く金属銅
が析出せず、本発明が極めて有効な方法であるこ
とが明らかとなつた。
m2／でめつきを行いながら電気透析槽（旭ガラ
ス(株)製Du−O6型：陽イオン交換膜，陰イオン交
換膜はそれぞれ旭ガラス(株)製CMV，AMV11対）
で電気透析を行なつた。めつき液を40℃以下に冷
却し循環槽で十分空気を吹込んでから4A／ｄm2
の電流密度で電気透析した。このような再生を２
時間毎に１時間づつ行いながら、電気透析を停止
中には前述したように循環槽と電気透析槽をめつ
き液を循環して電気透析槽内に金属銅が析出する
のを防止した。総計50時間に至るまで連続的にめ
つきを行つた後にも電気透析内部には全く金属銅
が析出せず、本発明が極めて有効な方法であるこ
とが明らかとなつた。
以上述べたごとく、本発明によれば、化学銅め
つき液を電気透析で再生する際、めつき液の自然
分解による透析槽の機能低下、特にイオン交換膜
へ金属銅が析出することによる膜の破壊を防止す
ることが可能となり、高価な電気透析法を安全に
運転できるようになつた効果は測り知れないもの
がある。
つき液を電気透析で再生する際、めつき液の自然
分解による透析槽の機能低下、特にイオン交換膜
へ金属銅が析出することによる膜の破壊を防止す
ることが可能となり、高価な電気透析法を安全に
運転できるようになつた効果は測り知れないもの
がある。
図は本発明の装置のフローシートである。
３……冷却器、４……循環槽、５……空気吹込
みパイプ。
みパイプ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 化学銅めつき液の有害イオンを除去する電気
透析装置において、電気透析装置の運転を停止す
る間にも電気透析装置内に化学銅めつき液を循環
させ、液を滞留させないことを特徴とする化学銅
めつき液の分解防止方法。 ２ 電気透析装置内を循環させる化学銅めつき液
が、めつき温度以下に冷却され、かつ空気を飽和
したものであることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の化学銅めつき液の分解防止方法。 ３ 化学銅めつき槽より電気透析槽に至る経路に
冷却器およびめつき液に電気を飽和させる部分を
そなえ、かつ電気透析槽を経ためつき液が電気透
析槽の運転時には化学銅めつき槽へ還流され、運
転停止時には空気を飽和する部分に還流されて電
気透析槽内にめつき液の滞留を防ぐようにしたこ
とを特徴とする化学銅めつき液の分解防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17582480A JPS57101659A (en) | 1980-12-15 | 1980-12-15 | Method and apparatus for preventing decomposition of chemical copper plating liquid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17582480A JPS57101659A (en) | 1980-12-15 | 1980-12-15 | Method and apparatus for preventing decomposition of chemical copper plating liquid |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57101659A JPS57101659A (en) | 1982-06-24 |
| JPS6121312B2 true JPS6121312B2 (ja) | 1986-05-26 |
Family
ID=16002858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17582480A Granted JPS57101659A (en) | 1980-12-15 | 1980-12-15 | Method and apparatus for preventing decomposition of chemical copper plating liquid |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57101659A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235567A (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-20 | Chuo Seisakusho:Kk | めっき液の濾過装置 |
-
1980
- 1980-12-15 JP JP17582480A patent/JPS57101659A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57101659A (en) | 1982-06-24 |
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