JPS61211931A - マイクロ波管の製造方法 - Google Patents
マイクロ波管の製造方法Info
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- JPS61211931A JPS61211931A JP5032985A JP5032985A JPS61211931A JP S61211931 A JPS61211931 A JP S61211931A JP 5032985 A JP5032985 A JP 5032985A JP 5032985 A JP5032985 A JP 5032985A JP S61211931 A JPS61211931 A JP S61211931A
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- JP
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- electron beam
- electron gun
- electrode
- electron
- anode
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野）
本発明は、進行波管、クライストロン、ジャーイＯト０
ン、その他の電子ビーム直進形マイクロ波管の製造方法
に係わり、とくにその電子銃構体と遅波回路のような高
周波作用部構体との電子ビーム路中心軸を精密に合致さ
せ得る組立方法に関する。
ン、その他の電子ビーム直進形マイクロ波管の製造方法
に係わり、とくにその電子銃構体と遅波回路のような高
周波作用部構体との電子ビーム路中心軸を精密に合致さ
せ得る組立方法に関する。
〔発明の技術的背ｇＡおよびその問題点〕このような電
子ビーム直進形マイクロ波管の製造にあたっては、電子
銃構体の一部を構成するセラミック円筒とこれにろう接
しやすいコバール（商品名）製の電子銃部接合リングと
を予め気密ろう接しておくが、このろう接工程を経ると
比較的薄いコバール製接合リングがわ、ずがながら変形
することが避けられない。
子ビーム直進形マイクロ波管の製造にあたっては、電子
銃構体の一部を構成するセラミック円筒とこれにろう接
しやすいコバール（商品名）製の電子銃部接合リングと
を予め気密ろう接しておくが、このろう接工程を経ると
比較的薄いコバール製接合リングがわ、ずがながら変形
することが避けられない。
電子銃部セラミック円筒に気密ろう接されたこの接合リ
ングが変形していると、この接合リングに遅波回路構体
側の電子ビーム導入電極を合致させて気密溶接した場合
、電子銃構体の電子ビーム路と遅波回路構体の電子ビー
ム路との中心軸が正確に合致せず、遅波回路の電子ビー
ム透過率が低下し、またこれを精密に調整し得ない不都
合が生じる。とくに各部の寸法がきわめて小さい例えば
１０Ｇ Ｈｚ以上の周波数帯用のこの種マイクロ波管で
は、わずかな電子ビーム路の偏心も許されない。
ングが変形していると、この接合リングに遅波回路構体
側の電子ビーム導入電極を合致させて気密溶接した場合
、電子銃構体の電子ビーム路と遅波回路構体の電子ビー
ム路との中心軸が正確に合致せず、遅波回路の電子ビー
ム透過率が低下し、またこれを精密に調整し得ない不都
合が生じる。とくに各部の寸法がきわめて小さい例えば
１０Ｇ Ｈｚ以上の周波数帯用のこの種マイクロ波管で
は、わずかな電子ビーム路の偏心も許されない。
本発明は、以上の事情に鑑みなされたもので、電子銃構
体の電子ビーム路と高周波作用部槽体の電子ビーム路と
の中心軸を、容易に且つ正確に合致させて組立て得るマ
イクロ波管の製造方法を提供するものである。
体の電子ビーム路と高周波作用部槽体の電子ビーム路と
の中心軸を、容易に且つ正確に合致させて組立て得るマ
イクロ波管の製造方法を提供するものである。
（発明の概要〕
本発明は、まず電子銃構体についてその加速陽極のない
陽極支持筒の基準となる例えば周面および間口上端面を
衝にしてカソード、ウニネル１ル電極を位置合わせし、
真空容器の一部をなすセラミック円筒の下端部に接合さ
れた接合リングに固定し、次に同じく陽極支持筒を衝に
して電子銃部接合リングの被接合部を、高周波作用部槽
体側の電子ビーム導入電極の被接合部に合致する寸法に
切削加工し、しかる後、この加工した電子銃部接合リン
グと電子ビーム導入電極とを合致させて気密接合するこ
とを特徴とするマイクロ波管の製造方法である。
陽極支持筒の基準となる例えば周面および間口上端面を
衝にしてカソード、ウニネル１ル電極を位置合わせし、
真空容器の一部をなすセラミック円筒の下端部に接合さ
れた接合リングに固定し、次に同じく陽極支持筒を衝に
して電子銃部接合リングの被接合部を、高周波作用部槽
体側の電子ビーム導入電極の被接合部に合致する寸法に
切削加工し、しかる後、この加工した電子銃部接合リン
グと電子ビーム導入電極とを合致させて気密接合するこ
とを特徴とするマイクロ波管の製造方法である。
これによって、電子銃構体のカソード、ウェネルト電極
、加速陽極の電子ビーム通過孔を含む電子ビーム路と、
高周波作用部槽体側の電子ビーム導入孔、ヘリックス遅
波回路等の電子ビーム路との中心軸を、容易に且つ正確
に合致させて組立てることができる。
、加速陽極の電子ビーム通過孔を含む電子ビーム路と、
高周波作用部槽体側の電子ビーム導入孔、ヘリックス遅
波回路等の電子ビーム路との中心軸を、容易に且つ正確
に合致させて組立てることができる。
以下図面を参照してその実施例を説明する。なお同一部
分は同一符号であられす。
分は同一符号であられす。
第１図は、本発明をヘリックス遅波回路型進行波管に適
用した場合の進行波管装置の完成図を示している。図中
の各符号はそれぞれ次の構成要素をあられしている。す
なわち、（６０）は電子銃構体、（則）は高周波作用部
槽体、（１１）はカソード、（１２）はカソード支持筒
、（１３）はウェネルト電極、（１４）は陰極保持筒、
（１５）は接合フランジ、（１５ａ）はその接合円筒部
、（１６）はセラミックリング、（１１）は接合リング
、（１７ａ）はその接合円筒部、（１８）はヒータリー
ド、（２１）は加速陽極、（２２）は陽極支持筒、（２
３）はその通気孔、（２４）は陽極端子リング、（２５
）、（２６）は各々セラミック円筒、（２１）は電子銃
部接合リング、（２８）はその接合用円筒部、（２９）
は補強リング、（３１）はへリックス、（３２）はへリ
ックス支持棒、（３３）はパイプ状真空容器、（３４）
はリング状永久磁石、（３５）はシムリング、（３６）
は固定バンド、（３７）は伝熱スペーサ、（３８）は入
力同軸線路、（３９）は伝熱板、（４０）は放熱基台、
（４１）はポールピース、（４２）は電子ビーム導入電
極、（４３）はその接合用円筒部、（４４）は電子ビー
ム導入孔、（Ａ）はアーク溶接部、（Ｂ）はろう接部を
あられしている。
用した場合の進行波管装置の完成図を示している。図中
の各符号はそれぞれ次の構成要素をあられしている。す
なわち、（６０）は電子銃構体、（則）は高周波作用部
槽体、（１１）はカソード、（１２）はカソード支持筒
、（１３）はウェネルト電極、（１４）は陰極保持筒、
（１５）は接合フランジ、（１５ａ）はその接合円筒部
、（１６）はセラミックリング、（１１）は接合リング
、（１７ａ）はその接合円筒部、（１８）はヒータリー
ド、（２１）は加速陽極、（２２）は陽極支持筒、（２
３）はその通気孔、（２４）は陽極端子リング、（２５
）、（２６）は各々セラミック円筒、（２１）は電子銃
部接合リング、（２８）はその接合用円筒部、（２９）
は補強リング、（３１）はへリックス、（３２）はへリ
ックス支持棒、（３３）はパイプ状真空容器、（３４）
はリング状永久磁石、（３５）はシムリング、（３６）
は固定バンド、（３７）は伝熱スペーサ、（３８）は入
力同軸線路、（３９）は伝熱板、（４０）は放熱基台、
（４１）はポールピース、（４２）は電子ビーム導入電
極、（４３）はその接合用円筒部、（４４）は電子ビー
ム導入孔、（Ａ）はアーク溶接部、（Ｂ）はろう接部を
あられしている。
そこで、本発明の組立手順は次の通りである。
まず第２図に示す如く、電子銃構体（蚊）の真空容器の
一部を構成する２個の絶縁セラミック円筒（２５）、（
２６）に、コバール（商品名）製の電子銃部接合リング
（２７） 、陽極端子リング（２４）、接合リング（１
１）をそれぞれ気密ろう接する。そして陽極端子リング
（２４）に陽極支持筒（２２）を溶接し固定する。
一部を構成する２個の絶縁セラミック円筒（２５）、（
２６）に、コバール（商品名）製の電子銃部接合リング
（２７） 、陽極端子リング（２４）、接合リング（１
１）をそれぞれ気密ろう接する。そして陽極端子リング
（２４）に陽極支持筒（２２）を溶接し固定する。
次に第３図に示す如く、陽極支持ＷＵ（２２）の基準と
なる位置例えば加速陽極が固定される開口端部の内周面
（Ｐ）、および上端開口面（Ｑ）を衝にして、予め組立
てであるカソード（１１）およびウェネルト電極（１３
）の組立構体の中心軸（０）を位置合わせし、接合フラ
ンジ（１５）、および接合リング（１７）の各接合円筒
部（１５ａ）、（１７ａ）を嵌合させ、各先端をアーク
溶接電極（５１）により全周を気密溶接する。
なる位置例えば加速陽極が固定される開口端部の内周面
（Ｐ）、および上端開口面（Ｑ）を衝にして、予め組立
てであるカソード（１１）およびウェネルト電極（１３
）の組立構体の中心軸（０）を位置合わせし、接合フラ
ンジ（１５）、および接合リング（１７）の各接合円筒
部（１５ａ）、（１７ａ）を嵌合させ、各先端をアーク
溶接電極（５１）により全周を気密溶接する。
次に同図に示すように、同じく陽極支持筒（２２）の各
基準面（Ｐ）、（Ｑ）を衝にして、電子状部接合リング
（２７）の上端面（Ｓ）および外周面（Ｒ）を、高周波
作用部構体（７０）側の電子ビーム導入電極（４２）の
被接合部、接合用円筒部（４３）に合致する寸法になる
ように、切削加工する。
基準面（Ｐ）、（Ｑ）を衝にして、電子状部接合リング
（２７）の上端面（Ｓ）および外周面（Ｒ）を、高周波
作用部構体（７０）側の電子ビーム導入電極（４２）の
被接合部、接合用円筒部（４３）に合致する寸法になる
ように、切削加工する。
次に第４図に示す如く、ｌ！ｉ極支持筒（２２）の開口
端部に加速陽極（２１）を矢印（Ｃ）で示すように数箇
所スポット溶接して固定する。このようにして電子銃構
体（６ｇ）を製作する。これによって電子銃構体の電子
ビーム路中心軸は、その加速陽極のビーム通過孔、およ
び電子状部接合リングの被接合部の中心軸が、高周波作
用部槽体のビーム路中心軸に正確に関係づけられた組立
構体となる。
端部に加速陽極（２１）を矢印（Ｃ）で示すように数箇
所スポット溶接して固定する。このようにして電子銃構
体（６ｇ）を製作する。これによって電子銃構体の電子
ビーム路中心軸は、その加速陽極のビーム通過孔、およ
び電子状部接合リングの被接合部の中心軸が、高周波作
用部槽体のビーム路中心軸に正確に関係づけられた組立
構体となる。
そして電子状部接合リング（２７）に、予め別途組立て
ておいた遅波回路部すなわち高周波作用部槽体（７０）
の電子ビーム導入電極（４２）を、各々の接合用円筒部
（２８）、（４３）を密に嵌合し、且つ上端面（Ｓ）と
電子ビーム導入電極（４２）の面（Ｔ）とを合致させて
組合わせ、各先端の全周を気密にへりアーク溶接する。
ておいた遅波回路部すなわち高周波作用部槽体（７０）
の電子ビーム導入電極（４２）を、各々の接合用円筒部
（２８）、（４３）を密に嵌合し、且つ上端面（Ｓ）と
電子ビーム導入電極（４２）の面（Ｔ）とを合致させて
組合わせ、各先端の全周を気密にへりアーク溶接する。
なお高周波作用部槽体（則）側の電子ビーム導入電極（
４２）は、ステンレス類で比較的厚肉に形成することが
できるので、ビーム蕗中心軸に対する被接合面の寸法精
度は十分高く形成しておくことが可能である。しかし必
要により、予め高周波作用部槽体の組立の最終段階で、
電子ビーム導入電極の被接合部を精密加工しておいても
よい。そして電子銃構体（６０）側の電子状部接合リン
グの被接合部の面を前述のようにそれに合致させて切削
加工する。したがってまた電子状部接合リングは切削加
工をするためのわずか余分の厚さをもたせておく。
４２）は、ステンレス類で比較的厚肉に形成することが
できるので、ビーム蕗中心軸に対する被接合面の寸法精
度は十分高く形成しておくことが可能である。しかし必
要により、予め高周波作用部槽体の組立の最終段階で、
電子ビーム導入電極の被接合部を精密加工しておいても
よい。そして電子銃構体（６０）側の電子状部接合リン
グの被接合部の面を前述のようにそれに合致させて切削
加工する。したがってまた電子状部接合リングは切削加
工をするためのわずか余分の厚さをもたせておく。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、まず電子銃構体について
その加速陽極のない陽極支持筒を衝にしてカソード、ウ
ェネルト電極を位置合わせし、真空容器の一部をなすセ
ラミック円筒に接合された接合リングに固定し、次に同
じく陽極支持筒を函にして電子状部接合リングの被接合
部を、高周波作用部構体側の電子ビーム導入電極の被接
合部に合致する寸法に切削加工し、しかる後、この加工
した電子状部接合リングと電子ビーム導入電極との各被
接合部を合致させて気密接合する方法であるため、電子
銃構体のカソード、ウェネルト電極、加速陽極の電子ビ
ーム通過孔を含む電子ビーム路と、高周波作用部構体側
の電子ビーム導入孔、ヘリックス遅波回路等の電子ビー
ム路との中心軸を、容易に且つ正確に合致させて組立て
ることができる。
その加速陽極のない陽極支持筒を衝にしてカソード、ウ
ェネルト電極を位置合わせし、真空容器の一部をなすセ
ラミック円筒に接合された接合リングに固定し、次に同
じく陽極支持筒を函にして電子状部接合リングの被接合
部を、高周波作用部構体側の電子ビーム導入電極の被接
合部に合致する寸法に切削加工し、しかる後、この加工
した電子状部接合リングと電子ビーム導入電極との各被
接合部を合致させて気密接合する方法であるため、電子
銃構体のカソード、ウェネルト電極、加速陽極の電子ビ
ーム通過孔を含む電子ビーム路と、高周波作用部構体側
の電子ビーム導入孔、ヘリックス遅波回路等の電子ビー
ム路との中心軸を、容易に且つ正確に合致させて組立て
ることができる。
そして本発明は、とくに各部の寸法がきわめて小さい寸
法となる数Ｇ Ｈｚ以上の周波数で動作するマイクロ波
管の組立に好適する。
法となる数Ｇ Ｈｚ以上の周波数で動作するマイクロ波
管の組立に好適する。
第１図は本発明の一実施例による進行波管装置の完成図
を示す要部縦断面図、第２図乃至第５図は本発明製造方
法の各工程順にしたがって示す要部断面図である。 （並）・・・電子銃構体、 （７ｇ）・・・高周波作用部槽体、 （１１）・・・カソード、（１３）・・・つ１ネルｌ−
１極、（２１）・・・加速陽極、（２２）・・・陽極支
持筒、（２５）、（２６）・・・セラミック円筒、（２
１）・・・電子状部接合リング、 （２８）・・・接合用円筒部、 （４２）・・・電子ビーム導入孔電極、（４３）・・・
接合用円筒部、（Ａ）・・・溶接部、（Ｂ）・・・ろう
接部。
を示す要部縦断面図、第２図乃至第５図は本発明製造方
法の各工程順にしたがって示す要部断面図である。 （並）・・・電子銃構体、 （７ｇ）・・・高周波作用部槽体、 （１１）・・・カソード、（１３）・・・つ１ネルｌ−
１極、（２１）・・・加速陽極、（２２）・・・陽極支
持筒、（２５）、（２６）・・・セラミック円筒、（２
１）・・・電子状部接合リング、 （２８）・・・接合用円筒部、 （４２）・・・電子ビーム導入孔電極、（４３）・・・
接合用円筒部、（Ａ）・・・溶接部、（Ｂ）・・・ろう
接部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 カソード（１１）、ウェネルト電極（１３）、陽極支持
筒（２２）に保持された加速陽極（２１）、各電極を支
持する電極端子が気密接合された複数個のセラミック円
筒（２５）、（２６）、これらセラミック円筒に気密接
合された電子銃部接合リング（２７）を備える電子銃構
体（￥６０￥）と、この電子銃構体の電子ビーム下流に
接続される高周波作用部構体（￥７０￥）の電子ビーム
導入電極（４２）とを気密溶接するマイクロ波管の製造
方法において、 まず加速陽極（２１）のない陽極支持筒（２２）を衝に
してカソード（１１）、ウェネルト電極（１３）を位置
合わせしてセラミック円筒（２６）の下端部に接合され
た接合リングに固定し、次に同じく陽極支持筒（２２）
を衝にして電子銃部接合リング（２７）の被接合部を、
電子ビーム導入電極（４２）の被接合部に合致する寸法
に切削加工し、 しかる後、電子銃部接合リング（２７）と電子ビーム導
入電極（４２）とを合致させて気密接合することを特徴
とするマイクロ波管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5032985A JPS61211931A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | マイクロ波管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5032985A JPS61211931A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | マイクロ波管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61211931A true JPS61211931A (ja) | 1986-09-20 |
Family
ID=12855869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5032985A Pending JPS61211931A (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 | マイクロ波管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61211931A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121355U (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-05 |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP5032985A patent/JPS61211931A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63121355U (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-05 | ||
| JPH0614392Y2 (ja) * | 1987-01-31 | 1994-04-13 | 日本電気株式会社 | 大電力マイクロ波管 |
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