JPS6120839A - バクテリアカウンタ - Google Patents
バクテリアカウンタInfo
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- JPS6120839A JPS6120839A JP59141414A JP14141484A JPS6120839A JP S6120839 A JPS6120839 A JP S6120839A JP 59141414 A JP59141414 A JP 59141414A JP 14141484 A JP14141484 A JP 14141484A JP S6120839 A JPS6120839 A JP S6120839A
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- JP
- Japan
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- bacteria
- substrate
- reaction product
- dust
- fluorescence
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
- C12M41/00—Means for regulation, monitoring, measurement or control, e.g. flow regulation
- C12M41/30—Means for regulation, monitoring, measurement or control, e.g. flow regulation of concentration
- C12M41/36—Means for regulation, monitoring, measurement or control, e.g. flow regulation of concentration of biomass, e.g. colony counters or by turbidity measurements
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Genetics & Genomics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はバクテリアカウンタに関するものであシ、特に
半導体製造等に用いられる超純水中のバクテリア量を精
確に測定するだめのバクテリアカウンタに関するもので
ある。
半導体製造等に用いられる超純水中のバクテリア量を精
確に測定するだめのバクテリアカウンタに関するもので
ある。
〈従来技術〉
水質検査においては測定水に含まれる・童クチリアの種
類等を検査することの他に、単位水量当シどの位の量の
バクテリアが存在するかを検査することが重要である。
類等を検査することの他に、単位水量当シどの位の量の
バクテリアが存在するかを検査することが重要である。
このバクテリアの量の検査は例え、ば医薬品等の製造に
おいて極めて少な込バクテリア景のみしか許容されない
場合や、半導体（特に超ＬＳＩ半導体）素子の製造にお
いて１ｃｃ当９１００個以下程度のバクテリアの量のみ
しか許容されない場合の如く超純水を必要とする分野に
おいては欠くことのできない検査であると言える。
おいて極めて少な込バクテリア景のみしか許容されない
場合や、半導体（特に超ＬＳＩ半導体）素子の製造にお
いて１ｃｃ当９１００個以下程度のバクテリアの量のみ
しか許容されない場合の如く超純水を必要とする分野に
おいては欠くことのできない検査であると言える。
従来、この単位水量当りのバクテリア量を検査する方法
としては、製造された超純水を採取し、この中に含まれ
るバクテリアを倍養して増殖した後、これをフィルタ濾
過されたバクテリアを染色し、しかるのち染色されたバ
クテリア量を顕微鏡によって観察して計数する方法が一
般的である。
としては、製造された超純水を採取し、この中に含まれ
るバクテリアを倍養して増殖した後、これをフィルタ濾
過されたバクテリアを染色し、しかるのち染色されたバ
クテリア量を顕微鏡によって観察して計数する方法が一
般的である。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、この種の検査法を用いると超純水の採取
からバクテリア量の計数まで１週間程度の時間を要する
ことがら、この検査によって水質の不適格が判明したと
してもこの検査期間中に製造された半導体素子等は不良
品となってしまい、その結果生産コストの上昇をまねい
てしまう恐れが大きい。
からバクテリア量の計数まで１週間程度の時間を要する
ことがら、この検査によって水質の不適格が判明したと
してもこの検査期間中に製造された半導体素子等は不良
品となってしまい、その結果生産コストの上昇をまねい
てしまう恐れが大きい。
更に、最近の半導体製造技術、特に超ＬＳＩの製造工程
においては、超純水中のバクテリアの許容含有量が１０
００ＣＣクシ１程度と、要求が格段に厳しくなってきて
いる。
においては、超純水中のバクテリアの許容含有量が１０
００ＣＣクシ１程度と、要求が格段に厳しくなってきて
いる。
本発明は、上述の従来技術及び現在の要求に鑑み、極め
て短時間で極々微量の測定水中のバクテリアを精確に検
知し得るバクテリアカウンタを提供することを目的とす
る。
て短時間で極々微量の測定水中のバクテリアを精確に検
知し得るバクテリアカウンタを提供することを目的とす
る。
く問題点を解決するための手段〉
かかる目的を達成する本発明は、アクリジンオレンジ等
の試薬が添加され、含有するバクテリアとの反応生成物
を生成させた超純水である測定水を半導体ウェハ等の基
板の表面へ噴射・供給する測定水供給手段と、前記反応
生成物を静電力により吸着するよう帯電される基板と、
前記反応生成物から蛍光を発生させるための励起光を前
記基板の表面の微少区域に照射して走査することにより
基板の全領域に励起光を照射するレーザと、前記蛍光を
受光する光電変換手段と、との光電変換手段が出方する
電気信号に。
の試薬が添加され、含有するバクテリアとの反応生成物
を生成させた超純水である測定水を半導体ウェハ等の基
板の表面へ噴射・供給する測定水供給手段と、前記反応
生成物を静電力により吸着するよう帯電される基板と、
前記反応生成物から蛍光を発生させるための励起光を前
記基板の表面の微少区域に照射して走査することにより
基板の全領域に励起光を照射するレーザと、前記蛍光を
受光する光電変換手段と、との光電変換手段が出方する
電気信号に。
よシ蛍光の検出回数を計数するカウンタとを有すること
を特徴とする。
を特徴とする。
〈実施例〉
以下本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。図
に示すように、測定水供給手段１には、例えば半導体製
造設備に導かれる超純水のライン２から弁３を介して超
純水の所定量が供給されるとともに、染色剤室４がら弁
５を介してアクリジンオレンジ若しくはその誘導体（例
えば３−アミノ−６−メドキシアクリソン等）が供給さ
れる。アクリジンオレンジ若シくハソの誘導体は測定水
中のバクテリアのＤＮＡ（蛋白質の核であるジオキシボ
・ニークリア・アシッド）と反応して反応生成物を生成
し、この生成物は励起光の照射によって蛍光を発する物
質となっている。かくて、測定水供給手段１はバクテリ
アとの反応生成物を含有する超純水を所定量貯留すると
ともに、この超純水を測定水として半導体ウェハ等の基
板７の表面へ噴射・供給するようになっている。このと
き基板７は前記反応生成物を静電力により吸着するよう
帯電される。基板７を帯電させるためには、半導体ウェ
ハでは、例えばこの基板７を載置しているスピンナ８を
回転することにより基板７を回転させれば良く、また、
前述の如く基板７に測定水を噴射するだけでも充分帯電
する。レーザ９は前記反応生成物から蛍光を発生させる
ための励起光を前記基板７の表面の微少区域に照射する
ものである。この場合の励起光の波長λｅは、例えば４
８８ ｎｍ とする。この波長λｅ の励起光が反応
生成物に照射されるとこの反応生成物は波長λｆ＝５３
０ ｎｒｎの蛍光を発する。また、このときレーザ９は
そのビームで基板７の全領域を走査するようになってい
る。これは、基板７が円形で且つスぎンナ８を回転させ
た場合には、例えばレーザ９を基板７の半径に沿って外
周側から中心に向かって移動せしめれば良い。
に示すように、測定水供給手段１には、例えば半導体製
造設備に導かれる超純水のライン２から弁３を介して超
純水の所定量が供給されるとともに、染色剤室４がら弁
５を介してアクリジンオレンジ若しくはその誘導体（例
えば３−アミノ−６−メドキシアクリソン等）が供給さ
れる。アクリジンオレンジ若シくハソの誘導体は測定水
中のバクテリアのＤＮＡ（蛋白質の核であるジオキシボ
・ニークリア・アシッド）と反応して反応生成物を生成
し、この生成物は励起光の照射によって蛍光を発する物
質となっている。かくて、測定水供給手段１はバクテリ
アとの反応生成物を含有する超純水を所定量貯留すると
ともに、この超純水を測定水として半導体ウェハ等の基
板７の表面へ噴射・供給するようになっている。このと
き基板７は前記反応生成物を静電力により吸着するよう
帯電される。基板７を帯電させるためには、半導体ウェ
ハでは、例えばこの基板７を載置しているスピンナ８を
回転することにより基板７を回転させれば良く、また、
前述の如く基板７に測定水を噴射するだけでも充分帯電
する。レーザ９は前記反応生成物から蛍光を発生させる
ための励起光を前記基板７の表面の微少区域に照射する
ものである。この場合の励起光の波長λｅは、例えば４
８８ ｎｍ とする。この波長λｅ の励起光が反応
生成物に照射されるとこの反応生成物は波長λｆ＝５３
０ ｎｒｎの蛍光を発する。また、このときレーザ９は
そのビームで基板７の全領域を走査するようになってい
る。これは、基板７が円形で且つスぎンナ８を回転させ
た場合には、例えばレーザ９を基板７の半径に沿って外
周側から中心に向かって移動せしめれば良い。
このときのビームが基板７に描く軌跡は螺旋状となる。
また、ビーム径は１？ａ１程度とする。光電変換手段で
ある光電子増倍管１０は波長５３０ｎｍの光、即ち励起
光の照射による反応生成物の蛍光を受光するものである
。一方、光電子増倍管１１は波長４８８ ｎｍの光、即
ち前記反応生成物を含むその他の塵芥が基板７の表面に
付着していることに起因する励起光の乱反射による光を
受光するものである。したがって、光電子増倍管１０は
バクテリアの存在を、また光電子増倍管１１はバクテリ
アを含むその他の塵芥の存在を検知しているといい得る
。光電子増倍管１０の出力信号である前記バクテリアの
存在を表わす電気信号はアンプ１２及びコンパレータ１
３を介してカウンタ１４に入力される。また、光電子増
倍管１１の出力信号である前記塵芥の存在を表わす電気
信号はアンプ１５及びコンパレータ１６を介してカウン
タ１７に入力される。このとき、コンパレータ１３ 、
１６”ＵＭ値以上の電気信号をカウンタ１４，１７に入
力するためのもので、これによりノイズが除去されてバ
クテリアの数及び塵芥の数に一対一に対応するパルスが
カウンタ１４，１７で計数される。なお、図中１８．１
９は集光系で、基板７の表面全体の元を光電子増倍管１
０，１１に集光させるためのものである。
ある光電子増倍管１０は波長５３０ｎｍの光、即ち励起
光の照射による反応生成物の蛍光を受光するものである
。一方、光電子増倍管１１は波長４８８ ｎｍの光、即
ち前記反応生成物を含むその他の塵芥が基板７の表面に
付着していることに起因する励起光の乱反射による光を
受光するものである。したがって、光電子増倍管１０は
バクテリアの存在を、また光電子増倍管１１はバクテリ
アを含むその他の塵芥の存在を検知しているといい得る
。光電子増倍管１０の出力信号である前記バクテリアの
存在を表わす電気信号はアンプ１２及びコンパレータ１
３を介してカウンタ１４に入力される。また、光電子増
倍管１１の出力信号である前記塵芥の存在を表わす電気
信号はアンプ１５及びコンパレータ１６を介してカウン
タ１７に入力される。このとき、コンパレータ１３ 、
１６”ＵＭ値以上の電気信号をカウンタ１４，１７に入
力するためのもので、これによりノイズが除去されてバ
クテリアの数及び塵芥の数に一対一に対応するパルスが
カウンタ１４，１７で計数される。なお、図中１８．１
９は集光系で、基板７の表面全体の元を光電子増倍管１
０，１１に集光させるためのものである。
かかる本実施例において超純水中のバクテリアをカウン
トする際には、先ず測定水供給手段１からバクテリアの
生成物を含む所定量の測定水を基板７の表面へ噴射・供
給する。この結果１反応生成物及び塵芥が基板７の表面
の静電気により吸着されて基板７の表面に残り、水分は
そのほとんどが排出される。この状態でレーザ９の励起
光を基板７の表面に照射すればバクテリアの存在を表わ
す蛍光及び塵芥の存在を表わす光が光電子増倍管ｉｏ
、ｉｌで夫々検知され、基板７の表面を全域に亘り走査
したときの前記光の検出回数をカウンタ１４，１７で計
数することによ！々クチリア及び塵芥の数を計数する。
トする際には、先ず測定水供給手段１からバクテリアの
生成物を含む所定量の測定水を基板７の表面へ噴射・供
給する。この結果１反応生成物及び塵芥が基板７の表面
の静電気により吸着されて基板７の表面に残り、水分は
そのほとんどが排出される。この状態でレーザ９の励起
光を基板７の表面に照射すればバクテリアの存在を表わ
す蛍光及び塵芥の存在を表わす光が光電子増倍管ｉｏ
、ｉｌで夫々検知され、基板７の表面を全域に亘り走査
したときの前記光の検出回数をカウンタ１４，１７で計
数することによ！々クチリア及び塵芥の数を計数する。
このことにより超純水の所定量中に含まれるバクテリア
の数のみならずこのバクテリアを含む塵芥の数を知るこ
とができる。
の数のみならずこのバクテリアを含む塵芥の数を知るこ
とができる。
このように本実施例では微細なレーザビームによりバク
チリア及び塵芥の数を１個１個カウントしているので、
０．２μｍ以上のバクテリア及び０．３μｍ以上の塵芥
を確実に検出し得、この結果超純水１００ＣＣ当＃）１
個のバクテリアであってもこれを検出することができる
。また、半導体ウェハは、通常硫酸→−過酸化水素水で
洗浄されている。このため、この状態では半導体ウェハ
にバクテリア及び塵芥等が付着している可能性が太きい
が、この状態で半導体ウニ／・に付着しているバクテリ
ア及び塵芥の数をカウンタ１４．１７で予め計数してお
いて、その後前述と同様の操作を行なうことにより・々
クチリア及び塵芥の数を計数し、両者の差をとれば測定
水である超純水中に含有されるバクテリア及び塵芥の数
を精確に検出することができる。
チリア及び塵芥の数を１個１個カウントしているので、
０．２μｍ以上のバクテリア及び０．３μｍ以上の塵芥
を確実に検出し得、この結果超純水１００ＣＣ当＃）１
個のバクテリアであってもこれを検出することができる
。また、半導体ウェハは、通常硫酸→−過酸化水素水で
洗浄されている。このため、この状態では半導体ウェハ
にバクテリア及び塵芥等が付着している可能性が太きい
が、この状態で半導体ウニ／・に付着しているバクテリ
ア及び塵芥の数をカウンタ１４．１７で予め計数してお
いて、その後前述と同様の操作を行なうことにより・々
クチリア及び塵芥の数を計数し、両者の差をとれば測定
水である超純水中に含有されるバクテリア及び塵芥の数
を精確に検出することができる。
く溌明の効果〉
以上実施例とともに具体的に説明したように本発明によ
れば、超純水を噴射・供給する基板は帯電しているので
、静電力によりバクチリアの反応生成物を基板上に確実
に吸着でき、更に前記反応生成した基板の表面を全域に
亘シ微細なレーザビームで走査しこのことによる蛍光の
検出回数によりバクチリアの数を検出することができる
。この結果、超純水１００ＣＣ当９１個のバクテリアで
あっても、これを精確且つ迅速に検出することができる
。
れば、超純水を噴射・供給する基板は帯電しているので
、静電力によりバクチリアの反応生成物を基板上に確実
に吸着でき、更に前記反応生成した基板の表面を全域に
亘シ微細なレーザビームで走査しこのことによる蛍光の
検出回数によりバクチリアの数を検出することができる
。この結果、超純水１００ＣＣ当９１個のバクテリアで
あっても、これを精確且つ迅速に検出することができる
。
図は本発明の実施例を概念的に示すブロック図である。
図面中、
１は超純水供給手段、
７は基板、
１０は光電子増倍管、
１４はカウンタである。
Claims (1)
- アクリジンオレンジ等の試薬が添加され、含有するバク
テリアとの反応生成物を生成させた超純水である測定水
を半導体ウェハ等の基板の表面へ噴射供給する測定水供
給手段と、前記反応生成物を静電力により吸着するよう
帯電される基板と、前記反応生成物から蛍光を発生させ
るための励起光を前記基板の表面の微少区域に照射して
走査することにより基板の全領域に励起光を照射するレ
ーザと、前記蛍光を受光する光電変換手段と、この光電
変換手段が出力する電気信号により蛍光の検出回数を計
数するカウンタとを有することを特徴とするバクテリア
カウンタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59141414A JPS6120839A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | バクテリアカウンタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59141414A JPS6120839A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | バクテリアカウンタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120839A true JPS6120839A (ja) | 1986-01-29 |
Family
ID=15291445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59141414A Pending JPS6120839A (ja) | 1984-07-10 | 1984-07-10 | バクテリアカウンタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120839A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6353447A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | Kirin Brewery Co Ltd | 微生物の計数法 |
| FR2628530A1 (fr) * | 1988-03-08 | 1989-09-15 | Chemunex Sa | Appareil et procede de detection et de numeration de particules fluorescentes, portees par un support solide |
| US5480804A (en) * | 1989-06-28 | 1996-01-02 | Kirin Beverage Corporation | Method of and apparatus for detecting microorganisms |
| WO2007005076A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | 3M Innovative Properties Company | Valve control system for a rotating multiplex fluorescence detection device |
| US7507575B2 (en) | 2005-04-01 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Multiplex fluorescence detection device having removable optical modules |
| US7709249B2 (en) | 2005-04-01 | 2010-05-04 | 3M Innovative Properties Company | Multiplex fluorescence detection device having fiber bundle coupling multiple optical modules to a common detector |
| CN107629954A (zh) * | 2017-11-10 | 2018-01-26 | 广东恒畅环保节能检测科技有限公司 | 一种菌落计数器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5074481A (ja) * | 1973-10-23 | 1975-06-19 | ||
| JPS57141536A (en) * | 1981-02-26 | 1982-09-01 | Kawasaki Steel Corp | Measuring method for grain size of granular body |
-
1984
- 1984-07-10 JP JP59141414A patent/JPS6120839A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5074481A (ja) * | 1973-10-23 | 1975-06-19 | ||
| JPS57141536A (en) * | 1981-02-26 | 1982-09-01 | Kawasaki Steel Corp | Measuring method for grain size of granular body |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6353447A (ja) * | 1986-08-25 | 1988-03-07 | Kirin Brewery Co Ltd | 微生物の計数法 |
| JPH0588417B2 (ja) * | 1986-08-25 | 1993-12-22 | Kirin Brewery | |
| FR2628530A1 (fr) * | 1988-03-08 | 1989-09-15 | Chemunex Sa | Appareil et procede de detection et de numeration de particules fluorescentes, portees par un support solide |
| JPH02504076A (ja) * | 1988-03-08 | 1990-11-22 | シュムネ | 微生物の検出計数装置および方法 |
| US5480804A (en) * | 1989-06-28 | 1996-01-02 | Kirin Beverage Corporation | Method of and apparatus for detecting microorganisms |
| US7507575B2 (en) | 2005-04-01 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Multiplex fluorescence detection device having removable optical modules |
| US7709249B2 (en) | 2005-04-01 | 2010-05-04 | 3M Innovative Properties Company | Multiplex fluorescence detection device having fiber bundle coupling multiple optical modules to a common detector |
| WO2007005076A1 (en) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | 3M Innovative Properties Company | Valve control system for a rotating multiplex fluorescence detection device |
| US7527763B2 (en) | 2005-07-05 | 2009-05-05 | 3M Innovative Properties Company | Valve control system for a rotating multiplex fluorescence detection device |
| US7867767B2 (en) | 2005-07-05 | 2011-01-11 | 3M Innovative Properties Company | Valve control system for a rotating multiplex fluorescence detection device |
| CN107629954A (zh) * | 2017-11-10 | 2018-01-26 | 广东恒畅环保节能检测科技有限公司 | 一种菌落计数器 |
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