JPS61207905A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JPS61207905A JPS61207905A JP60048269A JP4826985A JPS61207905A JP S61207905 A JPS61207905 A JP S61207905A JP 60048269 A JP60048269 A JP 60048269A JP 4826985 A JP4826985 A JP 4826985A JP S61207905 A JPS61207905 A JP S61207905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- illumination means
- optical
- light
- itv camera
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体装置を組立てるボンディング装置などく
好適な位置検出装置の改良に関する。
好適な位置検出装置の改良に関する。
ＩＣ，ＬＳＩなどの半導体部品の電極とリードフレーム
や回路基板とを配線するワイヤボンディング装置や回路
基板にチップ部品を固着するチップマウント装置など、
いわゆるボンディング装置が半導体装置の製造に多用さ
れている。これらの数置は自動化されているとともに高
速、高精度が要求され、従って自動位置決めのための位
置検出装置は極めて重要である。一般の位置検出装置に
つき略述すると、第３図に示すように結像面を内蔵した
カメラ本体（１）およびレンズ（２） 、 （３１をも
りた光学鏡筒（４）からなるＩＴＶカメラ（５）と、ノ
馬−７ミラー（６）。
や回路基板とを配線するワイヤボンディング装置や回路
基板にチップ部品を固着するチップマウント装置など、
いわゆるボンディング装置が半導体装置の製造に多用さ
れている。これらの数置は自動化されているとともに高
速、高精度が要求され、従って自動位置決めのための位
置検出装置は極めて重要である。一般の位置検出装置に
つき略述すると、第３図に示すように結像面を内蔵した
カメラ本体（１）およびレンズ（２） 、 （３１をも
りた光学鏡筒（４）からなるＩＴＶカメラ（５）と、ノ
馬−７ミラー（６）。
光源（７）からなる第１の照明手段（８）と、数個の光
源顛および収束レンズαυからなる第２の照明手段（１
２などから構成されている。そして１例えばリードフレ
ーム（１３，ＩＣチップ（１４）からなる被検出部（１
５１に第１の照明手段（８）からレンズ（２）を透って
被検出部任９を照明するとともに、第２゛の照明手段α
２から直接被検出部ｕ四を照明してＩＴＶカメラ（５）
で撮像するようになっている。また第４図に示すものは
第２の照明手段αりとして光７アイパーα樽を用いたも
のもある。これらはいずれもほぼ光軸α■に沿った方向
から照射する第１の照明手段（８） Ｋ 、光軸（１９
に対し斜め方向から照射する第２０照明手段α２を付加
して多方向からの十分な反射光で撮像がなされるように
なっている。
源顛および収束レンズαυからなる第２の照明手段（１
２などから構成されている。そして１例えばリードフレ
ーム（１３，ＩＣチップ（１４）からなる被検出部（１
５１に第１の照明手段（８）からレンズ（２）を透って
被検出部任９を照明するとともに、第２゛の照明手段α
２から直接被検出部ｕ四を照明してＩＴＶカメラ（５）
で撮像するようになっている。また第４図に示すものは
第２の照明手段αりとして光７アイパーα樽を用いたも
のもある。これらはいずれもほぼ光軸α■に沿った方向
から照射する第１の照明手段（８） Ｋ 、光軸（１９
に対し斜め方向から照射する第２０照明手段α２を付加
して多方向からの十分な反射光で撮像がなされるように
なっている。
しかるに、第２の照明手段は１個所もしくは２〜３個所
から照射するので、とかく被検出部α９に影ができやす
く、また光源や光ファイバの取付は位置がわずかにずれ
ても画像が変シ、安定性に欠けるという不都合があった
。
から照射するので、とかく被検出部α９に影ができやす
く、また光源や光ファイバの取付は位置がわずかにずれ
ても画像が変シ、安定性に欠けるという不都合があった
。
本発明は上述の不都合を解決するためになされたもので
、影による悪影響を少なくして安定した位置決めができ
る位置検出装置を提供することを目的とする。
、影による悪影響を少なくして安定した位置決めができ
る位置検出装置を提供することを目的とする。
本発明はＩＴＶカメラを用いて被検出部を撮像してその
位置を検出する位置検出装置において、被検出部をＩＴ
Ｖカメラの光軸に沿った方向から照明する第１の照明手
段の他に上記光軸に対し斜めの方向から照明する第２の
照明手段を設けこれの照射部をＩＴＶカメラの光軸を中
心とする円環状に形成して円環全周からほぼ均一に照射
するようにしたものである。
位置を検出する位置検出装置において、被検出部をＩＴ
Ｖカメラの光軸に沿った方向から照明する第１の照明手
段の他に上記光軸に対し斜めの方向から照明する第２の
照明手段を設けこれの照射部をＩＴＶカメラの光軸を中
心とする円環状に形成して円環全周からほぼ均一に照射
するようにしたものである。
以下１本発明の詳細を第１図および第２図て示す一実施
例により説明する。本実施例はワイヤポンディング装置
に適用したものである。なお本実施例は第３図に示す従
来例とは第２の照明手段のみが相違し、他は１−１ぼ同
様なので同様な部分については同一符号を付して略述す
る。ＩＴＶカメラ（５）はカメラ本体（１）と光学鏡筒
（４）とからなっていて光学鏡筒（４）の内部には上下
にレンズ（２）、（３！が設けられていて、ハーフミラ
−（６）と光源（７）とからなる第１の照明手段（８）
が側方に突出して設けられている。
例により説明する。本実施例はワイヤポンディング装置
に適用したものである。なお本実施例は第３図に示す従
来例とは第２の照明手段のみが相違し、他は１−１ぼ同
様なので同様な部分については同一符号を付して略述す
る。ＩＴＶカメラ（５）はカメラ本体（１）と光学鏡筒
（４）とからなっていて光学鏡筒（４）の内部には上下
にレンズ（２）、（３！が設けられていて、ハーフミラ
−（６）と光源（７）とからなる第１の照明手段（８）
が側方に突出して設けられている。
第２の照明手段Ｑυにつき述べると、これは光源を内蔵
した光源本体＠と、光学鏡筒（４）の下端部に取付けら
れたハウジングシ１と、一端部が光源本体四に連結され
、他端部がハウジング＠に固定された光ファイバー束ｒ
２蜀と、ハウジングＣＪ３）の下端に敢付けられた収束
レンズ（ハ）などから構成されている。
した光源本体＠と、光学鏡筒（４）の下端部に取付けら
れたハウジングシ１と、一端部が光源本体四に連結され
、他端部がハウジング＠に固定された光ファイバー束ｒ
２蜀と、ハウジングＣＪ３）の下端に敢付けられた収束
レンズ（ハ）などから構成されている。
各部につき述べると、光源本体（ａは内部は図示してな
いが、光源としての白熱電球と、これらの点灯器具と、
光ファイバ束＠に白熱電球の光を入射させる接続具など
が収納されている。）１ウジング（ハ）は有底円筒状に
形成されていて、開口側を下方にして光学碗部（４）の
下端部に光軸０９と同心に取付けられている。光７アイ
バ束Ｑ４は複数本の光７プイパを束ねて構成されていて
、一端部は上述したように図示しない接続具により白熱
電球に対向してその光が入射されるように表っもお）、
他端部はハウジング（至）内に光軸（１９と同心をなす
円環状の照射部＠を形成するように各党７アイバの端面
（至）を下向きに密接分散して取付けられている。収束
レンズ（ハ）ハ周知のコンデンサレンズで光ファイバ束
（財）の端面（至）、・・・からの光軸を集めて被検出
部α９を照射するようＫなっている。ま九収束レンズ（
ハ）の中央部は透孔（２５ａ）が設けられて円環状をな
し。
いが、光源としての白熱電球と、これらの点灯器具と、
光ファイバ束＠に白熱電球の光を入射させる接続具など
が収納されている。）１ウジング（ハ）は有底円筒状に
形成されていて、開口側を下方にして光学碗部（４）の
下端部に光軸０９と同心に取付けられている。光７アイ
バ束Ｑ４は複数本の光７プイパを束ねて構成されていて
、一端部は上述したように図示しない接続具により白熱
電球に対向してその光が入射されるように表っもお）、
他端部はハウジング（至）内に光軸（１９と同心をなす
円環状の照射部＠を形成するように各党７アイバの端面
（至）を下向きに密接分散して取付けられている。収束
レンズ（ハ）ハ周知のコンデンサレンズで光ファイバ束
（財）の端面（至）、・・・からの光軸を集めて被検出
部α９を照射するようＫなっている。ま九収束レンズ（
ハ）の中央部は透孔（２５ａ）が設けられて円環状をな
し。
ＩＴＶカメラ（５）の撮像に支障のないよう釦なってい
る。なお図示しないが、上述の構成の他に、 ＩＴＶカ
メラからの信号を処理して制御装置に検出信号を送る処
理回路などが設けられている。
る。なお図示しないが、上述の構成の他に、 ＩＴＶカ
メラからの信号を処理して制御装置に検出信号を送る処
理回路などが設けられている。
次に作用につき述べる。第１照明手段（８）からの光は
ハーフミラ−（６）により反射してほぼ光軸ｔＬＩに沿
って被検出部四に至シ１反射してカメラ本体（１）Ｋ入
る。一方第２照明手段Ｑりからの光は光ファイバ（財）
を通り１円環状の照射部（５）に至り、全周面からほぼ
均一に発し九九は収束レンズＣＩ！５１に入）被検出部
ａ９を全外周から斜めに均一に照明する。
ハーフミラ−（６）により反射してほぼ光軸ｔＬＩに沿
って被検出部四に至シ１反射してカメラ本体（１）Ｋ入
る。一方第２照明手段Ｑりからの光は光ファイバ（財）
を通り１円環状の照射部（５）に至り、全周面からほぼ
均一に発し九九は収束レンズＣＩ！５１に入）被検出部
ａ９を全外周から斜めに均一に照明する。
以上詳述したように１本発明の位置検出装置は。
第２の照明手段をＩＴＶカメラの光軸を中心とする円環
状の照射部により被検出部を全外周から照明するように
したので、不所望な影の発生が防止され、安定し次位置
検出ができるという効果を奏するものである。
状の照射部により被検出部を全外周から照明するように
したので、不所望な影の発生が防止され、安定し次位置
検出ができるという効果を奏するものである。
なお本実施例においては光ファイバを用いて照射部を構
成したが、これに限定されず、他の光学的手段を用いて
もよい。またワイヤボンディングに限らず他のＩＴＶカ
メラを用いた位置検出に適用してもよい。
成したが、これに限定されず、他の光学的手段を用いて
もよい。またワイヤボンディングに限らず他のＩＴＶカ
メラを用いた位置検出に適用してもよい。
は従来例の要部断面構成図、第を図は他の従来例を示す
要部断面構成図である。 （２）、（３１：し ンズ、 （５） ： Ｉ
ＴＶカメラ。 （８）：第１の照明手段、霞：被検出部。 ｔ２ｎ ：光 軸、（２υ：第２の照明手段。 （至）：光ファイバ、 （ハ）：収束レンズ。 （２）：照射部。 ＠二元ファイバの端面。
要部断面構成図である。 （２）、（３１：し ンズ、 （５） ： Ｉ
ＴＶカメラ。 （８）：第１の照明手段、霞：被検出部。 ｔ２ｎ ：光 軸、（２υ：第２の照明手段。 （至）：光ファイバ、 （ハ）：収束レンズ。 （２）：照射部。 ＠二元ファイバの端面。
Claims (3)
- （１）ＩＴＶカメラを有し被検出部をほぼ上記ＩＴＶカ
メラの光軸に沿った方向から照射する第１の照明手段お
よび上記光軸に対し斜めの方向から照射する第２の照明
手段により照明して上記ＩＴＶカメラにより撮像し上記
被検出部の位置を検出する位置検出装置において、上記
第２の照明手段の照射部は上記ＩＴＶカメラの光軸を中
心とする円環状に形成されていて円環全周からほぼ均一
に照射することを特徴とする位置検出装置。 - （２）照射部は複数個の光ファイバの端面を並束して環
状に構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の位置検出装置。 - （３）照射部は光ファイバの端面に対設した環状の収束
レンズを有することを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60048269A JPS61207905A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60048269A JPS61207905A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61207905A true JPS61207905A (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=12798715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60048269A Pending JPS61207905A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61207905A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0534508U (ja) * | 1991-10-16 | 1993-05-07 | 富士写真光機株式会社 | 光学測定器 |
| JPH09211560A (ja) * | 1992-11-30 | 1997-08-15 | Nec Corp | 簡易型照明ユニット |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP60048269A patent/JPS61207905A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0534508U (ja) * | 1991-10-16 | 1993-05-07 | 富士写真光機株式会社 | 光学測定器 |
| JPH09211560A (ja) * | 1992-11-30 | 1997-08-15 | Nec Corp | 簡易型照明ユニット |
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