JP2596494Y2 - 検査装置用照明装置 - Google Patents
検査装置用照明装置Info
- Publication number
- JP2596494Y2 JP2596494Y2 JP1993011820U JP1182093U JP2596494Y2 JP 2596494 Y2 JP2596494 Y2 JP 2596494Y2 JP 1993011820 U JP1993011820 U JP 1993011820U JP 1182093 U JP1182093 U JP 1182093U JP 2596494 Y2 JP2596494 Y2 JP 2596494Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- light
- opening
- base
- inspection object
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は検査対象の像をとらえる
検査用カメラに組み合わせる照明装置に関する。
検査用カメラに組み合わせる照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】検査対象の像をカメラでとらえて検査を
行う手法は、現在では広汎に利用されている。電子回路
基板製造工程では、特にその使用例が多い。このような
検査手法において、画像認識性能を左右するのが照明装
置である。光の方向により認識率が異なることから、実
用化されている照明装置では、様々な位置に発光体を配
置し、検査対象に応じ切り換え使用(あるいは同時使
用)することが多い。特開昭64−20402号公報、
特開平2−268260号公報、特開平4−16670
9号公報等にその例を見ることができる。
行う手法は、現在では広汎に利用されている。電子回路
基板製造工程では、特にその使用例が多い。このような
検査手法において、画像認識性能を左右するのが照明装
置である。光の方向により認識率が異なることから、実
用化されている照明装置では、様々な位置に発光体を配
置し、検査対象に応じ切り換え使用(あるいは同時使
用)することが多い。特開昭64−20402号公報、
特開平2−268260号公報、特開平4−16670
9号公報等にその例を見ることができる。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】焦点距離の関係から、
検査用カメラと検査対象との距離を大きくとれない場合
がある。そのような空間的制約にもかかわらず、多様な
モ−ドで検査対象を照明できる装置を提供しようとする
ものである。
検査用カメラと検査対象との距離を大きくとれない場合
がある。そのような空間的制約にもかかわらず、多様な
モ−ドで検査対象を照明できる装置を提供しようとする
ものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本考案では、中央に開口
を有するフラットなベ−スに2種類の発光体を装着す
る。その一は、ベ−スの外周部に配置された複数個の第
1発光体で、その光軸は検査対象を指向する。その二は
第1発光体の内側に配置された複数個の第2発光体で、
その光軸はベ−ス中心を指向する。この第2発光体から
の光は、開口の外側のミラ−面により検査対象方向に方
向転換させられる。開口と検査用カメラの間にはハ−フ
ミラ−を置き、このハ−フミラ−に第3発光体の光を照
射する。
を有するフラットなベ−スに2種類の発光体を装着す
る。その一は、ベ−スの外周部に配置された複数個の第
1発光体で、その光軸は検査対象を指向する。その二は
第1発光体の内側に配置された複数個の第2発光体で、
その光軸はベ−ス中心を指向する。この第2発光体から
の光は、開口の外側のミラ−面により検査対象方向に方
向転換させられる。開口と検査用カメラの間にはハ−フ
ミラ−を置き、このハ−フミラ−に第3発光体の光を照
射する。
【0005】
【作用】第1、第2発光体からの光は各々異なる角度か
ら検査対象に当る。第3発光体からの光は、ハ−フミラ
−で反射されて検査用カメラの光軸方向から検査対象に
当る。検査対象によって反射された光は、ハ−フミラ−
を通って検査用カメラに入る。
ら検査対象に当る。第3発光体からの光は、ハ−フミラ
−で反射されて検査用カメラの光軸方向から検査対象に
当る。検査対象によって反射された光は、ハ−フミラ−
を通って検査用カメラに入る。
【0006】
【実施例】図に基づき一実施例を説明する。1は水平に
支持した検査対象で、ここでは電子回路基板を想定して
いる。2は検査対象の上に配置した検査用カメラであ
る。検査用カメラ2のレンズ筒3に照明装置10を固定
する。
支持した検査対象で、ここでは電子回路基板を想定して
いる。2は検査対象の上に配置した検査用カメラであ
る。検査用カメラ2のレンズ筒3に照明装置10を固定
する。
【0007】照明装置10は、レンズ筒3を受け入れ固
定するブロック11と、ブロック11に連結したベ−ス
12とを備える。ベ−ス12はフラットな円盤形状をし
ており、中央には検査用カメラ2の視野を開く円形の開
口13を有する。
定するブロック11と、ブロック11に連結したベ−ス
12とを備える。ベ−ス12はフラットな円盤形状をし
ており、中央には検査用カメラ2の視野を開く円形の開
口13を有する。
【0008】べ−ス12の外周部には発光ダイオ−ドか
らなる第1発光体14を複数個、環状に配置する。第1
発光体14の各々の光軸は、検査対象1の、検査視野に
含まれる個所を指向する。第1発光体14の内側には、
発光ダイオ−ドからなる複数個の第2発光体15を環状
に配置する。第2発光体15の光軸は検査対象1ではな
くベ−ス12の中心を指向する。開口13の外側には環
状であり且つ傾斜したミラ−面16が設けられ、このミ
ラ−面16が第2発光体15からの光を検査対象1の方
向に方向転換させる。
らなる第1発光体14を複数個、環状に配置する。第1
発光体14の各々の光軸は、検査対象1の、検査視野に
含まれる個所を指向する。第1発光体14の内側には、
発光ダイオ−ドからなる複数個の第2発光体15を環状
に配置する。第2発光体15の光軸は検査対象1ではな
くベ−ス12の中心を指向する。開口13の外側には環
状であり且つ傾斜したミラ−面16が設けられ、このミ
ラ−面16が第2発光体15からの光を検査対象1の方
向に方向転換させる。
【0009】開口13と検査用カメラ2との間にはハ−
フミラ−17を45°の角度で配置する。検査対象1の
像はハ−フミラ−17を介して検査用カメラ2に取り込
まれることになる。18はハ−フミラ−17と向かい合
わせに45°の角度で配置されたミラ−、19はミラ−
18の上に配置された第3発光体である。第3発光体1
9は高輝度タイプの発光ダイオ−ドからなる。
フミラ−17を45°の角度で配置する。検査対象1の
像はハ−フミラ−17を介して検査用カメラ2に取り込
まれることになる。18はハ−フミラ−17と向かい合
わせに45°の角度で配置されたミラ−、19はミラ−
18の上に配置された第3発光体である。第3発光体1
9は高輝度タイプの発光ダイオ−ドからなる。
【0010】第1、第2、第3発光体14、15、19
とも、必要に応じ各種の色の発光ダイオ−ドを取り混ぜ
て使用する。20は照明装置10の制御装置である。
とも、必要に応じ各種の色の発光ダイオ−ドを取り混ぜ
て使用する。20は照明装置10の制御装置である。
【0011】上記装置の動作は次のようになる。第1発
光体14に点灯すると、そこからの光は検査対象1を斜
めから照らす。第2発光体15に点灯すると、そこから
の光はミラ−面16で反射され、検査対象1をより垂直
に近い角度から照らす。第3発光体19に点灯すると、
そこからの光はミラ−18とハ−フミラ−17で反射さ
れ、検査対象1を真上から、つまり検査用カメラ2の光
軸方向から照らす落射照明となる。制御装置20は3種
類の発光体を単独で、あるいは2種類づつ組み合わせ
て、あるいは3種類同時に、点灯させる。すなわち全部
で7通りの照明モ−ドが可能である。照明モ−ドの選択
は、予め定めたプログラムにより行う。画像認識結果を
フィ−ドバックして直ちに最適モ−ドを選択させること
も可能である。
光体14に点灯すると、そこからの光は検査対象1を斜
めから照らす。第2発光体15に点灯すると、そこから
の光はミラ−面16で反射され、検査対象1をより垂直
に近い角度から照らす。第3発光体19に点灯すると、
そこからの光はミラ−18とハ−フミラ−17で反射さ
れ、検査対象1を真上から、つまり検査用カメラ2の光
軸方向から照らす落射照明となる。制御装置20は3種
類の発光体を単独で、あるいは2種類づつ組み合わせ
て、あるいは3種類同時に、点灯させる。すなわち全部
で7通りの照明モ−ドが可能である。照明モ−ドの選択
は、予め定めたプログラムにより行う。画像認識結果を
フィ−ドバックして直ちに最適モ−ドを選択させること
も可能である。
【0012】
【考案の効果】本考案では、第1発光体と第2発光体に
より異なる角度からの斜め照明を、第3発光体とハ−フ
ミラ−により同軸落射照明を、それぞれ得るものである
が、ハ−フミラ−のため空間的にゆとりのない場所に置
く第2発光体に関しては、厚みをとる斜め配置をやめて
ベ−ス中心を向いた配置とし、その光をミラ−面で反射
して検査対象に当てるようにしたので、全体として厚み
を節約した、コンパクトな構成とすることができた。
より異なる角度からの斜め照明を、第3発光体とハ−フ
ミラ−により同軸落射照明を、それぞれ得るものである
が、ハ−フミラ−のため空間的にゆとりのない場所に置
く第2発光体に関しては、厚みをとる斜め配置をやめて
ベ−ス中心を向いた配置とし、その光をミラ−面で反射
して検査対象に当てるようにしたので、全体として厚み
を節約した、コンパクトな構成とすることができた。
【図1】照明装置の断面図である。
【図2】発光体の配置を示す、部分的に破断した照明装
置の下面図である。
置の下面図である。
1 検査対象 2 検査用カメラ 10 照明装置 12 ベ−ス 13 開口 14 第1発光体 15 第2発光体 16 ミラ−面 17 ハ−フミラ− 19 第3発光体
Claims (1)
- 【請求項1】 下記要素を備えた検査装置用照明装置。 a.検査用カメラの視野を開く開口を中央に有するフラ
ットなベ−ス。 b.前記ベ−スの外周部に配置され、各々の光軸が、前
記開口の延長上に存在する検査対象を指向するよう設定
された複数個の第1発光体。 c.前記第1発光体の内側に配置され、各々の光軸がベ
−ス中心を指向するよう設定された複数個の第2発光
体。 d.前記開口の外側に設けられ、前記第2発光体からの
光を検査対象方向に方向転換させるミラ−面。 e.開口と前記検査用カメラの間に設けられ、検査対象
の像を検査用カメラに入射させるハ−フミラ−。 f.前記ハ−フミラ−に光を照射し、検査対象に対し検
査用カメラと同軸の落射光を与える第3発光体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993011820U JP2596494Y2 (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 検査装置用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993011820U JP2596494Y2 (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 検査装置用照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0672046U JPH0672046U (ja) | 1994-10-07 |
JP2596494Y2 true JP2596494Y2 (ja) | 1999-06-14 |
Family
ID=11788425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993011820U Expired - Lifetime JP2596494Y2 (ja) | 1993-03-17 | 1993-03-17 | 検査装置用照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2596494Y2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6239554B1 (en) * | 1999-12-30 | 2001-05-29 | Mitutoyo Corporation | Open-loop light intensity calibration systems and methods |
JP3686329B2 (ja) * | 2000-08-22 | 2005-08-24 | シーシーエス株式会社 | 表面検査用照明装置及び表面検査装置 |
JP4745489B2 (ja) * | 2000-08-30 | 2011-08-10 | イビデン株式会社 | 外観検査装置及びそれを用いたプリント配線板の外観検査方法 |
JP4564677B2 (ja) * | 2001-02-13 | 2010-10-20 | キリンテクノシステム株式会社 | 発光ダイオード照明光源 |
JP4122187B2 (ja) * | 2002-08-08 | 2008-07-23 | 松下電器産業株式会社 | 照明装置、及びこれを備えた認識装置並びに部品実装装置 |
JP2005274538A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Algol:Kk | 検査対象物の外観を検査する装置 |
JP4601473B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2010-12-22 | 国立大学法人信州大学 | 検査対象物の外観を検査する装置 |
JP4588525B2 (ja) * | 2005-05-02 | 2010-12-01 | 株式会社ミツトヨ | 画像プローブ |
KR101311251B1 (ko) * | 2010-11-12 | 2013-09-25 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사장치 |
SG193900A1 (en) * | 2011-04-18 | 2013-11-29 | Ismeca Semiconductor Holding | An inspection device |
AU2016325558B2 (en) * | 2015-09-24 | 2021-09-23 | The University Of South Alabama | Iilumination device for spectral imaging |
JP2017167222A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | マイクロネット株式会社 | 顕微鏡用照明装置、顕微鏡用照明装置を備える顕微鏡、顕微鏡用照明装置を備える顕微鏡システム |
-
1993
- 1993-03-17 JP JP1993011820U patent/JP2596494Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0672046U (ja) | 1994-10-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |