JPS61206714A

JPS61206714A - 送り装置

Info

Publication number: JPS61206714A
Application number: JP4610985A
Authority: JP
Inventors: Toru Kamata; 徹鎌田; Kazuo Asakawa; 浅川　和雄; Nobuhiko Onda; 信彦恩田; Tadashi Akita; 正秋田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1985-03-08
Filing date: 1985-03-08
Publication date: 1986-09-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔目次〕概要産業上の利用分野従来の技術発明が解決しようとする問題点問題点を解決するための手段（第１図）作用実施例（ａ）実施例全体構成の説明（第２図、第３図）（ｂｌ
ｌポールネジり機構の構成の説明（第４図、第５図）（０１ボールネジ送り機構の動作の説明（第６図、第７
図）（ｄ）組立ロボットへの通用例の説明（第８図）発明の
効果〔概要〕ボールネジ等の回転直進機構によって送り動作を行う送
り装置におけるゴミ、グリス等の外部への飛散を防止す
る装置であって、回転直進機構とそれによって送られる
可動部を覆うカバーと、カバー内を排気する排気手段と
を設けることにより、カバー内に発生するゴミ、グリス
が外部へ飛散することを防止するものである。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、例えばボールネジ送り機構等の回転直進機構
を用いた送り装置において、回転部の回転により生ずる
ゴミ、グリス等が外部へ飛散することを防止することの
できる送り装置に関し、特にクリーンルーム内の作業に
用いて好適な送り装置に関する。

一般に送り装置としては、動作が安定で且つ位置決め精
度の高いボールネジ送り機構が広く用いられている。

このようなボールネジ送り機構は、ボールネジと、ボー
ルネジを回転する駆動源と、ボールネジと係合するナツ
トを有する可動部とを備えており、ボールネジの回転に
より可動部をボールネジに沿って直進送りするものであ
る。

この可動部には被送り部材が支持され、例えばロボット
においては、ハンドの送りや、作業される部品等の送り
に利用される。

〔従来の技術〕

このようなボールネジ送り機構には一般に内部に異物が
落下すること及び人手が触れることを防止する意味でカ
バーが設けられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕一方、生産工程の自動化に伴ない種々の送り装置が利用
されている。特に、近年Ｌ　Ｓ　Ｉ　　（ＬａｒｇｅＳ
ｃａｌｅｄ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃ１ｒｃｕｉｔ　
）の生産や磁気ディスク装置の生産の如く、クリーンル
ーム内のロボットの一部として送り装置を用いることが
望まれている。

クリーンルーム内では極端にゴミ等の飛散をきらい、極
めて清潔な環境が要求され、このような環境が維持され
ないと、十分な生産が困難となる。

しかしながら、ボールネジ送り機構は、可動部を有する
故にホコリ、ゴミ、金属粉が生じ易い上に、ボールネジ
やベアリング等のグリス付着物が回転により飛散しやす
く、従来の如く単なるカバーを設けるだけでは、ホコリ
、グリス、金属粉等が外部へ飛散し、クリーンルーム内
を汚染するという問題があり、安価で安定な送り動作を
行うボールネジ送り機構をクリーンルーム内で用いるこ
とができなかった。

本発明は、ボールネジ送り機構の動作によって生ずるホ
コリ、グリス等が外部へ飛散されることを防止しうる送
り装置の飛散防止装置を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手Ｉ＆）第１図は本発明の原理説明図である。

図中、１はボールネジ送り機構であり、１０はその可動
部であり、ボールネジと係合するナツトを有するもの、
１１はボールネジであり、図示しない駆動源により回転
され、可動部１０をボールネジ１１に沿って直進送りす
るもの、１２．１３はガイドであり、可動部１０の下部
両端をガイドするもの、４は被送り部材であり、可動部
１０に支持され、例えば物品搭載台で構成され、物品が
搭載されるもの、２ａ、２ｂ、２ｃはカバーであり、可
動部１０及びボールネジ１１を覆うもの、３は排気管で
あり、真空ポンプ等の排気手段に接続されカバー２ａ、
２ｂ、２Ｃ内を排気するものである。

このカバー２ａ、２ｂ、２Ｃは、ボールネジ１１の回転
によって生ずる飛散物（例えばグリス）が外部へ飛散し
ないように構成されている。

尚、上述の例では、ボールネジ１１を回転する場合で説
明しているが、ナンド側を回転するようにしてもよい。

〔作用〕

本発明では、カバー２ａ、２ｂ、２ｃがボールネジ１１
の回転により生ずる飛散物が外部へ飛散しないように構
成し、飛散を防止するとともに、内部のゴミやグリスを
排気管３によって強制排気して、内部からゴミ、グリス
等が外部へ流出しないようにしている。

一般に、ボールネジ１１やベアリングの回転による遠心
力でグリス等が回転の接線方向へ飛び出すごとから、第
１図（Ｂ）の如く、ボールネジ１１やベアリングの回転
の接線方向の延長線は必ずカバー内面に到るようにカバ
ー’ｌａ、　２ｂ、２Ｃを構成することによって、回転
の遠心力による飛散物の外部への直接飛散を防止できる
。又、強制排気によって図の矢印ａ　ｓ　ｂ　、Ｃ％　
ｄの如くカバーの間から空気がカバー内部に流入し排気
管３より排気されるから、外部から内部への気流を生ぜ
しめ、内部のゴミ、グリス等は排気管３により外部へ流
出しないで回収される。

〔実施例〕

（ａ）実施例構成の説明。

第２図は本発明の一実施例全体構成図、第３図は第２図
構成の内部構成図である。

図中、第１図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあり、１４は駆動モータであり、ボールネジ１１
を回転させるもの、１５ａはモータ支持板であり、駆動
モータが取付けられるもの、１５ｂ、１５ｃはベアリン
グハウジングであり、ボールネジ１１の両端をベアリン
グで支えるもの、１６はベアリングカバーであす、ベア
リンクハウジング１５ｃのベアリングを覆うもの、１７
はカップリングであり、モータ１４の軸とボールネジ１
１とを結合するもの、１８はフラットケーブルであり、
可動部ＩＱと図示しない制御回路とを電気的に接続する
もの、２ｄ、２ｅは側板であり、Ｌ字形のカバー２ａ、
２ｃが取付けられるもの、２０．２１．２２．２３．２
４．２５．２６はチューブ継手であり、所定の間隔を置
いて側板２ｅに設けられ、カバー内と連通ずるもの、３
ｏ、３１．３２．３３．３４．３５．３６は排気チュー
ブであり、各々一端がチューブ継手２０〜２６に接続さ
れ、他端は真空ポンプに接続されるものである。

５０は搬送ベルトであり、後述する物品搭載台（パレッ
ト）を搬送するための歯溝が形成されているもの、５１
．５２はレールであり、搬送ベルト５０によって搬送さ
れるパレットのためのレールである。

第３図に示す如く、ボールネジ１．１は一対のベアリン
グハウジング１５ｂ、１５Ｃ間にベアリングで支持され
て設けられ、且つカップリング１７を介しモータ１４の
軸に連結されている。従って、モータ１４の駆動によっ
てボールネジ１１が回転し１．可動部１０がガイド１２
．１３にガイドされて、一対のベアリングハウジング１
５ｂ、１５Ｃ間を移動する。

このボールネジ１１及び可動部１０は側板２ｄ、２ｅに
設けられたカバー２３．２Ｃ及びハウジング１５ｂ、１
５Ｃ間に設けられたセンターカバー２ｂで覆われており
、両端はベアリングハウジング１５ｂ、１５ｃで閉鎖さ
れている。

従って、これらカバー２ａ％　２ｂ％　２Ｃ％側板２ｄ
、２ｅ、ベアリングハウジング１５ｂ、１５Ｃによって
ボールネジ１１及び可動部１０は四方及び上部が覆われ
、下方はフロア（床）であるから、ボールネジ１１及び
ガイド１２．１３上のグリス及び内部のホコリが外部へ
飛散せず、又、第１図（Ｂ）で説明した如くボールネジ
１１の回転に対する接線方向の延長は全てカバー２　ａ
ｓ　２　ｂｓ２Ｃ及び側板２ｄ、２ｅに行きつき、回転
による飛散物の外部への直接飛散も防止できる。

一方、係る内部は側板２ｅに設けられたチューブ継手２
０〜２６を介し排気チューブ３０〜３６により真空ポン
プに連通しており、常時真空ポンプによって内部排気が
行われ、外部から内部への気流をつくり、発生したホコ
リ、グリス、金属粉等の外部への流出を防ぐ。即ち、排
気によって内部圧力を下げ、ゴミ、グリス等の流出を防
ぐことができる。

又、排気チューブ２０〜２６を複数設けることによって
、可動部１０の高速移動による内部の圧力分布の変動に
よって、可動部１０より発生するグリス等の分布が激し
く変化し、瞬間的に高圧力になっても、複数の分散した
場所で排気することで、外部へ気流が発生することを防
いでいる。

更に、排気チューブ３０〜３６を側板２ｅに、例えばボ
ールネジ１１及びリニアベアリングの高さに設け、発生
源であるボールネジ１１及びベアリング等のグリス付着
物から近距離に設けて、グリス等が拡散する前に吸引す
る効果を増している。

又、ベアリングもカバー１６で覆い、モータ１４もカバ
ーで覆うことによってこれらが外部に露出することなく
、グリス等の飛散防止を高めている。

後述する如くこのボールネジ送り機構１の可動部１０は
、パレットを支持し、パレットを送り、パレット上の搭
載物への作業のため所望の位置に位置決めされるもので
あり、パレットは搬送ベルト５０によってレール５１．
５２に沿って送り機構１まで搬送された後、可動部１０
で支持され、ボールネジ送り機構で所望の位置に位置決
めされる。

（ｂ）ボールネジ送り機構の構成の説明。

第４図は第３図構成のボールネジ送り機構の詳細構成図
であり、第４図（Ａ）はその斜視図、第４図（Ｂ）は第
４図（Ａ）のＡ−Ａ’断面図である。

図中、第３図で示したものと同一のものは同一の記号で
示してあり、１００は可動フレームであり、後述する各
部を支持するためのもの、１０１．１０２．１０３．１
０４は各々ピンガイドであり、解放型リニアベアリング
で構成され、可動フレーム１００上の四隅に設けられる
もの、１０５．１０６．１０７．１０８はリニアベアリ
ングであり、可動フレーム１００下部の四隅に設けられ
、ガイド１２．１３と係合する移動ガイドの役目を果た
すもの、１０９はナツトであり、ボールネジ１１と係合
するべく、フレーム１００に設けられるもの、１１１．
１１２．１１３．１１４は各々ピンであり、各々ピンガ
イド１０１．１０２．１０３．１０４に上下動可能には
め合わされるもの、１１５．１１６はピン支持ぼりであ
り、中央にナツト１１５ａ、１１６ａを有し、各々ピン
１１１と１１３．１１２と１１４と両端で連結して支持
するもの、１１７．１１８は走行レールであり、ピンガ
イド１０１〜１０４の両側に設けられ、後述するパレッ
トの走行のためのもの、１２０．１２１はピン駆動ボー
ルネジであり、ピン支持ぼり１１５．１１６のナツト１
１５ａ、１１６ａと係合して、回転によりピン支持ばり
１１５．１１６を上下動せしめ、これによってピン１１
１〜１１４を上下動するもの、１２２はピン駆動モータ
であり、モータ固定部１２６ａ、１２６ｂによってフレ
ーム１００の下部に固定され、ジヨイント１２４によっ
てピン駆動ボールネジ１２０と連結され、ピン駆動ボー
ルネジ１２０を回転させるもの、１２８はフラットケー
ブル用コネクタであり、フラットケーブル１８の接続の
ためのものである。尚、ピン駆動ボールネジ１２１に対
してもフレーム１００下部にモータ固定部１２７ａ、１
２７ｂによって固定されたピン駆動モータ１２３にジヨ
イント１２５によって連結される。

従って、可動部１０は、フレーム１００のナツト１０９
がボールネジ１１に係合し、ボールネジ１１の回転によ
って直進するとともに、フレーム１００下部のリニアベ
アリング１０５，１０６がガイド１２．１３と係合して
、直進動作を円滑にガイドする。又、フレーム１００下
部のピン駆動モータ１２２．１２３の回転によってピン
支持ばり１１５．１１６を上下動し、これによってピン
１１１〜１１４が上下動する。これによって搬送ベルト
５０’Ｃより搬送されているパレット４をとらえ（キャ
ッチし）、ベルト５０から解放し、またベルト５０へ戻
すようにする。

第５図は、係るパレット４の詳細構成図である。

図中、第４図で示したものと同一のものは同一の記号で
示されており、４０はパレットフレームであり、後述す
るパレット板を支持するためのもの、４１ａ〜４１ｄは
テーバ穴であり、パレットフレーム４０の四隅に設けら
れ、ピン１１１〜１１４と係合するテーパを持つ穴で構
成されるもの、４２ａ〜４２ｄはパレット固定用アング
ルであり、パレットフレーム４０の四隅に設けられ、パ
レット４が可動部１０にとらえられた時に可動部１０の
走行レール１１７．１１８と係合してパレット４を可動
部１０上で固定するためのもの、４３ａ〜４３ｄは車輪
であり、パレットフレーム４０の四隅にパレット固定用
アングル４２８〜４２ｄとの間に設けられ、レール５１
．５２上をパレットフレーム４０が走行するためのもの
、４４８〜４４ｄは間隔管であり、パレットフレーム４
０とパレット固定用アングル４２８〜４２ｄとの間隔を
保ち、車輪４３ａ〜４３ｄの回転を保証するためのもの
、４５ａ〜４５ｄはボルトであり、パレット固定用アン
グル４２ａ〜４２ｄを間隔管４４ａ〜４４ｄを介しパレ
ットフレーム４０に取付けるためのもの、４６ａ〜４６
ｄはパレット板固定用ネジ穴であり、パレット板をパレ
ットフレーム４０に取付けるためのもの、４７はパレッ
ト板であり、物品が搭載されるもの、４８はベルト結合
金臭であり、パレット板４７の側部に設けられ、搬送ベ
ルト５０の歯溝と係合することによって、搬送ベルト５
０によるパレット４の搬送を行わしめるものである。

従っテ、パレット４は、パレット板４７のベルト結合金
具４８によって搬送ベルト５０と結合して、且つ車輪４
３ａ〜４３ｄによってレール５１．５２上を搬送ベルト
５０によって走行し、且つパレットフレーム４０のテー
バ穴４１ａ〜４１ｄにピン１１１〜１１４が係合してパ
レットフレーム４０が持ち上げられ、可動部１０にパレ
ット４がとらえられ、搬送ベルト５０とベルト結合金具
４８との係合が解かれ、ボールネジ送りが可能となる。

（Ｃｌボールネジ送り機構の動作の説明。

第６図は第４図及び第５図構成の動作説明図、第７図は
第６図におけるボールネジ送り機構の送り動作説明図で
ある。

第２図及び第３図で説明した如く、搬送ベルト５０は常
時図の左方向に移動しており、パレット４はベルト結合
金具４８が搬送ベル）５０の歯溝と係合しているから、
この係合によりパレット４はレール５１．５２上を第６
図（Ａ）の如く走行して搬送が行われる。

一方、可動部１０は第４図（Ａ）の如くモータ１４側で
ある右端に位置し、パレット４の到着を待つ。

更に、パレット４が搬送ベルト５０によって搬送され、
可動部１０の待期位置に到達し、可動部１０のレール１
１７．１１８上を走行する。

パレット４が可動部１０の所定位置に搬送されたことを
可動部１０に設けられた図示しないセンサーが検出する
と、ピン駆動モータ１２２．１２３が駆動され、ビン駆
動ボールネジ１２０．１２１を回転させてピン支持ばり
１１５．１１６を上昇せしめる。これによってビン支持
ばり１１５．１１６の両側に設けられたピン１１１〜１
１４が上昇する。

このため、第６図（Ｂ）及び第７図に示す如くピン１１
１〜１１４がパレット４のパレットフレーム４０のテー
パ穴４１２〜４１ｄに挿入し、パレットフレーム４０全
体を持ち上げ、パレット板４７のベルト結合金具４８を
搬送ベルト５０から離し、接触を解除する。これととも
に、パレット固定用アングル４２ａ〜４２ｄが第７図の
如く可動部１０のレール１１７．１１８の下面に接触し
、又車輪４４ａ　〜４４ｄはレール１１７．１１８上か
ら離れる。

これによってパレット４は可動部１０上に支持固定され
る。この時ビン１１１〜１１４の先端がテーパ状に形成
されているため、ピン１１１〜１１４のチー）マ穴４１
ａ〜４１ｄへの挿入に時間差が生じて位置決め誤差が生
じても、これを吸収できる。又、パレット４のテーバ穴
４１ａ〜４１ｄに同率のテーパ形状を設けることにより
、ピン１１１〜１１４との間で水平方向に安定したパレ
ット４の保持ができる。

このようにしてパレット４が可動部１０上に保持された
後、第６図（Ｃ）の如く位置決めモータ１４が回転し、
ボールネジ１１を回転せしめて可動部１０をガイド１２
．１３に沿った所望の位置に位置決めする。例えば、作
業ロボットの位置にパレットの各部を位置決めし、その
部へ部品等の取付は又はパレット上の部品の取出しを行
わしめる。この作業ロボットを後述する如く第８図の垂
直方向（Ｙ方向）及び上下方向（Ｚ方向）の駆動ロボッ
トとすると、可動部１０の移動はＸ方向となり、ロボッ
トのＸ方向移動を行うことになり、これによってロボッ
トはパレット４、即ち、それに搭載された部品の各部に
位置決めが可能となる。

例えば、第７図の如（パレット板４７上の治具４９の弾
性材４９ａ上に設けられた磁気ディスク板６０のハンド
による取り出しが行われる。尚、６１はスペーサーであ
り、磁気ディスク板６０の間隔を保つものである。

このようにして作業が終了すると、位置決めモータ１４
の回転により、可動部１０をベアリングハウジング１５
ｃ側である左端に移動せしめる。

次に、ピン駆動モータ１２２．１２３を逆回転せしめ、
ピン支持ばり１１５．１１６を下降せしめ、ピン１１１
〜１１４を下降させる。これによってパレット４は下降
し、パレットフレーム４０のテーバ穴４１ａ〜４１ｄと
ピン１１１〜１１４との保合が解除され、車輪４３ａ〜
４３ｄがレール１１７．１１８に復帰し、パレット固定
用アングル４２ａ　〜４２ｄのレール１１７．１１８下
面との接触解除が行われ、パレット４は可動部１０上で
フリー状態となる。従って、パレット４のベルト結合金
具４８が搬送ベルト５０の歯溝と係合して、パレット４
は再び搬送ベルト５０によってレール５１．５２上を図
の左方に搬送される。

その後、可動部１０はモータ１４によって第６図（Ａ）
の右端の位置に戻され次のパレットの到着を待つ。

このようにして、ボールネジ送り機構１は搬送ベルト５
０で送られてくるパレット４をキャッチし、搬送ベルト
５０から解放し、所定の位置へ位置決めを行い、ロボッ
トの作業に供し、作業終了後、再び搬送ベル）５０にパ
レット４を戻してパレット４を解放する。

上述の実施例ではベルトコンベアのラインを止めないで
、次々とパレットを流してボールネジ送り機構１で位置
決めを行うことにより、生産ラインにロボットを容易に
組込める。

この実施例の外に、搬送ベルト５０、レール５１．５２
を設けず、ボールネジ送り電橋１のみを用いて、人手に
より可動部１０にパレット４をセットしてボールネジ送
りによる位置決めを行ってもよく、更に予じめ可動部４
にパレット４を固定しておいてもよく、これらの場合ピ
ンの上下動機構は設けなくてもよい。

（ｄ）組立ロボットへの通用例の説明。

第８図は本発明を適用した組立ロボットの構成図である
。

図中、ｌａ、ｌｂはボールネジ送り機構（以下Ｘ軸モジ
ュールと称す）であり、前述のボールネジ送り機構１と
同一のもの、２０．２１は各々カバーであり、前述のカ
バー２ａ、２ｂ、２Ｃと同一のものであり、各々Ｘ軸モ
ジュールｌａ、ｌｂを覆うもの、３ａ、３ｂは排気チュ
ーブであり、前述の排気チューブ３と同一のものであり
、各々カバー２０．２１内を排気するもの、４ａ、４ｂ
はパレットであり、前述のパレット４と同一のものであ
り、５０ａ、５０ｂは搬送ベルトであり、前述の搬送ベ
ルト５０と同一のものである。７は門型Ｙ軸モジュール
であり、２軸モジユール（後述）をＹ軸方向に駆動する
もの、７０．７１は支持部であり、門型ロボットの支持
を行うもの、７２はＹ軸モータであり、２軸モジユール
を図示しないボールネジによってＹ軸方向に駆動するも
の、７３はＹ軸カバー用ジャバラであり、Ｙ軸モジュー
ルのベア′リング、ボールネジを覆い、グリス等の飛散
を防止するためのもの、７４．７５は排気チューブであ
り、Ｙ軸カバー用ジャバラ７３内を両側から排気するも
の、７６はコネクタボックスであり、電気的接続のため
のものである。

８は２軸モジユールであり、Ｙ軸モジュール７によって
Ｙ軸方向に駆動されるとともに後述するＺ軸アームをＺ
軸方向に駆動するもの、８０はＺ軸モータであり、Ｚ軸
アームを図示しないボールネジによってＺ軸方向に駆動
するもの、８１はＺ軸ブロックであり、Ｙ軸上−タ７２
のボールネジと係合し、Ｙ軸方向に移動し、且つ２軸モ
ータ８０及びＺ軸ボールネジを支持するもの、８２はＺ
軸アームであり、Ｚ軸モータ８０によってボールネジを
介しＺ軸方向に駆動されるもの、８３はＺ軸カバーであ
り、Ｚ軸を覆うもの、８４はγ軸モータであり、２軸ア
ーム８２に取付けられ、吸着ハンド（後述）をＺ軸回り
のγ軸に回転させるもの、８５は力センサであり、吸着
ハンドへ付与される４方向の外力を検出するもの、８６
は真空吸着ハンドであり、吸着面を有し、真空吸着によ
って部品を把持するもの、８７は力センサであり、板バ
ネで構成され、２軸アーム８２に取付けられ、電動ドラ
イバ（後述）を支持し、電動ドライバに付与される一方
向の外力を検出するもの、８８は電動ドライバであり、
ねじ締め動作を行うものである。

この例では、Ｚ軸モジュール８を有する門型のＹ軸モジ
ュール７に対し２つのライン（搬送ベルト５０ａ、５０
ｂ）が設けられ、Ｙ軸モジエール７の位置にＸ軸モジュ
ールｌａ、ｌｂが設けられテオリ、Ｘ軸モジュール１ａ
には組立用のパレット４ａが、Ｘ軸モジュール１ｂには
部品用のバレン）４ｂが搬送ベルト５０ａ、５０ｂによ
ってセットされる０例えば、磁気ディスク装置の組立て
の例では、パレット４ａには組立ベースであるディスク
エンクロージ中（以下ベースと称す）６２が搭載され、
パレット４ｂには部品である前述の磁気ディスク６０と
、スペーサー６３と、スピンドルモータ６４と、クラン
パ６５と、取付けねじ６６とが搭載される。

パレット４ａ、４ｂは搬送ベルト５０ａ、５０ｂによっ
て搬送され、Ｘ軸モジュールｌａ、ｌｂに前述の如く支
持される。

そして、部品パレット４ｂはＸ軸モジュール１ｂによっ
てＸ軸方向に位置決めされ、吸着ハンド８６がＹ軸方向
に位置決めされ、Ｚ軸方向に駆動されて部品バレン）４
ｂ上の部品を吸着取り出し、Ｘ軸モジュール１ａによっ
てＸ軸方向に位置決めされたパレット４ａ上のベース６
２に取付ける。

一方電動ドライバ８８は同様に部品バレン）４ｂの取付
けねじを吸着取り出し、パレット４ａのベース６２等に
ねじ締めを行う。

例えば、前述の磁気ディスク装置の組立てでは、吸着ハ
ンド８６が先づパレット４ｂのスピンドルモータ６４を
吸着取り出し、パレット４ａのベース６２に取付け、次
に電動ドライバ８８がパレット４ｂの、取付けねじ６６
を吸着取り出し、バレン）４ａ上でスピンドルモータ６
４をベース６２にねじ締め固定し、次に吸着ハンド８６
がパレット４ｂから磁気ディスク６０、スペーサー６３
の順で吸着取り出し、パレット４ａ上のベース６２に取
付けられたスピンドルモータ６４のスピンドルに磁気デ
ィスク６０、スペーサー６３をはめ込む。

最後に吸着ハンド８６がパレット４ｂのクランパ６５を
吸着取り出し、パレット４ａ上のスピンドルモータ６４
のスピンドル上にはめ込み、電動ドライバ８８が同様に
取付けねじ６６によってクランパ６５をスピンドルにね
じ締め固定して組立てを完了する。

このように組立てが完了すると、各パレット４ａ、４ｂ
はＸ軸モジュールｌａ、ｌｂによって搬送ベル）５０ａ
、５０ｂに戻され、搬送が行われる。

このようなＹ軸及びＺ軸モジュール７．８においても、
ジャバラ７３や排気チューブ７４．７５によってそのボ
ールネジ送り機構の飛散防止が丘われ、又Ｚ軸モータ８
０．ｒ軸モータ８４にもカバーが施され、飛散物の外部
への飛散防止が行われる。

磁気ディスク装置の如き起端密度を要するものは、クリ
ーンルーム内で組立てられるので、作業を行うこれらモ
ジュール全てが飛散防止構造が取られ、クリーンルーム
内に金属粉やグリスが飛散することを防いでいる。

以上本発明を一実施例により説明したが、本発明は本発
明の主旨に従い種々の変形が可能であり、本発明からこ
れらを排除するものではない。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明によれば、送り機構内部の回
転、移動によるボールネジやリニアベアリング等から生
ずるグリス、金属粉等が直接外部へ飛散することが防止
できるという効果を奏し、更に排気によって外部からの
気流を生ぜしめ、グリス、金属粉等が内部圧力の変化で
外部へ流出することも防止できるという効果を奏し、外
部へ内部から飛散物が流出することを完全に防止でき、
特にクリーンルーム内の作業に係る安価で動作の安定し
ているボールネジ送り機構の使用を可能とし、作業自動
化に寄与するところが大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図、第２図は本発明の一実施例全体構成図、第３図は第２図
構成における内部構成図、第４図は第３図構成のボール
ネジ送り機構の詳細構成図、第５図は第４図構成のためのパレットの詳細構成図、第６図は第４図及び第５図構成の動作説明図、第７図は
第６図における送り動作説明図、第８図は本発明の適用
例としての組立ロボット構成図である。図中、１・−・ボ−ルネジ送り機構、２　ａ　ｓ　　２　ｂ　、　　’ｌ　ｃ−−−カバー、
３−排気チューブ（排気手段）、１０−可動部、１１−ボールネジ。

Claims

【特許請求の範囲】被送り部材を支持する可動部を回転直進機構により一方
向送りして被送り部材を送る送り装置であって、該回転直進機構及び該可動部を該回転直進機構の回転に
より生ずる飛散物が外部へ飛散しないように覆うカバー
部と、該カバー部内を排気する排気手段とを設けたことを特徴
とする送り装置。