JPS61203689A - レ−ザ発振装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、金属加工及びその他の分野で使用するレー
ザ発振装置に関するものであり、特にその発振管のレー
ザ光の出口窓のクリーニングに関するものである。

〔従来の技術〕

第７図は従来のレーザ発振装置を示す模式図で、（１）
はレーザ発振管、（２）は部分反射鏡からなるレーザ出
口窓、（３）は全反射鏡、（４）は集塵器である。

従来のレーザ発振装置では、レーザ光の出口にあるレー
ザ出口窓（２）や全反射鏡（３）は発振管（１）に固定
されており、発振管（１）に接続された集塵器（４）に
よって発振管（１）内の不純ガス分子をトラップし、間
接的に部分反射鏡（２）及び全反射鏡（３）の汚染を防
止していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のレーザ発振装置、特に短波長レーザなどで使用す
るレーザガスは光電作用によって多量の不純ガス分子を
生成し、この不純ガスがレーザ光の影響を受けてレーザ
出口窓（２）の内側や全反射鏡狭面（３）にレーザビー
ムと同形状の汚染を生じる。

この汚染は強力に付着しており、拭きとることは容易で
ない。これがレーザ出口窓（２）の透過率を減少させ、
その結果としてレーザ出力が低下するので、レーザ出口
窓（２）を適時取り替える必要がめる。

しかしながら取り替えの際には、発振管（１）内のレー
ザガスの処理や発振管（１）内への大気の侵入を避ける
などの工夫が必要となり、著しく作業効率をそこなうと
いう問題がめった。

また従来性なわれている集塵器（４）による不純ガＸ分
子の除去も、レーザ出口窓（２）の使用時間を伸すが、
コストが高くつく上汚染を完全になくすことはできなか
った。

この発明は、かかる問題点を改善するためになされたも
ので、上記レーザ発振管の密べいを保ちながら上記レー
ザ出口窓を回転成はスライドさせ、適時、新しい部分を
使うことによって、汚染によるレーザ光の散乱をさけ、
連続使用できるレーザ発振装置を得ることを目的とする
。

また、この発明は、レーザ出口窓の移動の際、これが当
接している部分との摩擦力を極力小さくし、円滑に回転
できることを目的とする。

〔問題点を解決する友めの手段〕

この発明に係るレーザ発振装置は、レーザ出口窓を発振
管に固定してしまうのではなく、磁性流体等をバッキン
グとする移動手段を備えた半透明窓の外側に透明窓を設
け、この間を圧力加減室として密ぺいするとともに、こ
れに圧力調節器を接続したものである。

〔作用〕

この発明においては、上記半透明窓を移動させることに
より、レーザ光が当って汚染が生じた部分を汚染されて
いない部分に取り替えられるから、従来より長い時間に
わたって連続使用できる。

またこの発明においては、上記圧力加減室内にはレーザ
光と反応しないガスを満すことにより、半透明窓及び透
明窓の汚染を防止するとともに。

この圧力を上記発振管の圧力とバランスさせることによ
り、上記半透明窓の移動を円滑に行なえる様にし友。

〔実施例〕

第１図は、この発明の一実施例を示す断面図である。図
において、レーザ発振管（１）内で発生したレーザ光は
、半透明窓（２）から圧力加減室（７）を通り抜け、さ
らに龜朶五透明窓（５）を抜けて右外側へ殉射される。

この時、半透明窓（２）の左内側及び全反射鏡（第７図
参照）の右内側面のうち、レーザ光の当る部分には光電
反応等による多量の不純ガス分子を吸着し、レーザ光の
発射を妨害する。そこで、半透明窓（２）等を適時移動
させるために、歯車α力、窓枠（９）、駆動モータ（６
）などを設けている。又この時バンキング（７）によっ
て内外のガスをシールしているが、その押え力は圧力調
節器（８）より圧力加減室（７）にレーザ発振管（１）
内の圧力とバランスするだけの圧力を与える様に構成さ
れている。

上記の様に構成したレーザ発振装置において、半透明窓
（２）は歯車ａ９によって３点又ｔｉ４点で支持されて
おり、このうちの１つを駆動モータ（６）に接続し、こ
れによって回転する。したがって、半透明窓（２）のレ
ーザ光の光路にあたる一部分が汚染されても、これを適
時回転させることにより、有効にレーザ出力を得ること
ができる。

また、圧力加減室（７）の圧力を圧力調節器（８）によ
ってレーザ発振管（１）の圧力とバランスさせることに
より、窓枠（９）とこれに当接するバッキング員との摩
擦力を小さくでき、半透明窓（２）の回転は容易となる
。−男手透明窓（２）の回転の必要がない時は。

圧力加減室（７）の圧力を圧力調節器（８）によって加
圧することにより、半透明窓（２）はバッキングα１に
押しつけられ、密閉を保つようになっている。この場合
、圧力加減室（７）には、レーザ光と反応しないガスが
つめられているので、この雰囲気にさらされている半透
明窓（２）及び基４÷透明窓（５）の表面は汚染される
ことはない。

なお、上記実施例はシール材に弾性を有するバッキング
叫を用いているが、これに磁性流体を用いることによっ
ても、同様の効果が得られる。

第２図は、磁性流体（ロ）をシール材として使用し九場
合の他の実施例を示すもので、磁性流体（６）は永久磁
石ａ４の磁力によって、鉄心（２）と窓枠（９）のすき
間にとどめられている。圧力加減室（７）の圧力は。

圧力調節器（８）によりレーザ発振管（１）内の圧力と
バランスを保つことによって、磁性流体（６）が一方に
おしつぶされるのを防止する。

第３図は磁性流体（２）が押しつぶされない条件のもと
で使用された場合の実施例を示し、この時、圧力加減室
に）が不要となるので極めて簡単な構毒となる。

第４図は半透明窓（２）をスライド式にしｔ場合の実施
例を示すものである。

第５図は、弾性を有するバッキングＱ（Ｉを窓枠（９）
の側に埋め込み、半透明窓（２）の移動と共に動くよう
にしである８これによって所期の目的を達成するのみな
らす、半透明窓（２）が回転式である場合よりもスライ
ド式の方が半透明窓（２）の面積を有効に使用できる利
点かめる。

半透明窓（２）は、圧力加減室（７）の圧力を圧力調節
器（８）により、レーザ発振管（１）内の圧力とバラン
スすることによって、バンキングαＱとレーザ発振管（
１）との摩擦力を小さくし、スライドが容易になされ、
ま次、圧力加減室（７）の圧力を高めることによって、
窓枠（９）はレーザ発振管（１）に押しつけられ、密閉
を保つことが出来る。

第６図は、上記実施例のバンキングα１を磁性流体（６
）Ｋ　１ｉｆｆ、き換えたもので、このようにしても同
様の効果が得られる。磁性流体（６）は、永久磁石（８
）の磁力によって鉄心（６）とレーザ発振管（１）のす
き間に保持され、密閉できる。半透明窓（２）は、駆動
モータ（６）により適宜スライドされる。

〔発明の効果〕

以上の様にこの発明によれば、レーザ光を取り出す半透
明窓（２）を動かすことにより、窓の汚染によるレーザ
光出力の低下を避けながら、長時間の連続発振がｃｆＪ
能でるる。

またこの発明は、半透明窓（２）と透明窓（５）の間に
圧力調節器（８）につながった圧力加減室（７）を設け
ることにより、半透明窓（２）の移動を容易にした。

さらに上記半透明窓（２）ヲ回転式からスライド式のも
のにすることによって、同一面積のもので比較した場合
、より有効に使用できる利点がある。

さらにまた摺動を要する反射窓（２）、（３）のバッキ
ング■の材料に磁性流体（ロ）を使用することにより摩
擦力を少くする効果がろる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図はこ
の発明の他の実施例を示す断面図、第３図はさらにこの
発明の別の実施例を示す断面図。 第４図は半透明窓の部分の実施例の斜視図、第５図、第
６図はこの発明の各々異なる実施例を示す断面図、第７
図は従来のレーザ発振装置の筐体部の断面図である。 図において、（１）はレーザ発振管％（２）は半透明窓
。 （５）は透明窓、（６）は駆動モータ、（７）は圧力加
減室、（８）は圧力調節器、（９）は窓枠、叫はバッキ
ング、Ｑカは歯車、（２）は磁性流体、（イ）は鉄心、
α４は永久磁石、（４）は集塵器である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　弁理士　木　村　三　朗 第　１　図 菊　２ｘ 第３図 第５図 第　６図 畳

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）レーザ発振管、このレーザ発振管のレーザ光出口
   の外側に設けられた圧力加減室、この圧力加減室の出口
   側に気密に配置された透明窓、この透明窓と上記レーザ
   光の出口との間に上記のレーザ光を横切つて移動可能に
   配置された半透明窓、この半透明窓と当接し上記レーザ
   光の出口と上記圧力加減室との間を気密に封止する弾性
   を有するパッキン、及び上記圧力加減室に接続され圧力
   を調節する圧力調節器を備えたレーザ発振装置。
2. （２）パッキンは磁性流体であることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載のレーザ発振装置。