JPS6119776A - 機械的摺動部の表面処理方法 - Google Patents
機械的摺動部の表面処理方法Info
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- JPS6119776A JPS6119776A JP13880084A JP13880084A JPS6119776A JP S6119776 A JPS6119776 A JP S6119776A JP 13880084 A JP13880084 A JP 13880084A JP 13880084 A JP13880084 A JP 13880084A JP S6119776 A JPS6119776 A JP S6119776A
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- Japan
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- surface treatment
- vessel
- amorphous silicon
- gas
- silicon film
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/24—Deposition of silicon only
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Compressor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、たとえば電動機器やエンジン等の機械的摺動
部の表面処理方法に関する。
部の表面処理方法に関する。
たとえば電動機器やエンジン等で動作する摺動部は、特
に高速運転に強いられ、摩耗が激しいため、従来、これ
らの＾連槽動部は本質的に摩耗し難い鋳鉄材料で構成さ
れていた。
に高速運転に強いられ、摩耗が激しいため、従来、これ
らの＾連槽動部は本質的に摩耗し難い鋳鉄材料で構成さ
れていた。
しかしながら、近年、コストダウンの要請により、これ
らの部分を一般鋼材、アルミダイキャスト等の材料に変
更して行く傾向にある。この場合、これらの材料は本質
的に硬度の大きいものではないから、特に摩耗の激しい
部分には何らかの表面処理を施す必要があるが、従来で
は、効果的な表面処理が行なえないという問題があった
。
らの部分を一般鋼材、アルミダイキャスト等の材料に変
更して行く傾向にある。この場合、これらの材料は本質
的に硬度の大きいものではないから、特に摩耗の激しい
部分には何らかの表面処理を施す必要があるが、従来で
は、効果的な表面処理が行なえないという問題があった
。
以下、この問題を、冷蔵庫やニアコンディショナーに用
いられるコンプレッサーを例として詳述する。
いられるコンプレッサーを例として詳述する。
第３図〜第５図はレシプロコンプレッサーの摺動部の一
例を示すものであり、図中１はシリンダである。このシ
リンダ１内には冷媒ガスの吸入・圧縮・吐出を行なうピ
ストン２が設けられ、このピストン２にはコンロッド３
が連結されている。
例を示すものであり、図中１はシリンダである。このシ
リンダ１内には冷媒ガスの吸入・圧縮・吐出を行なうピ
ストン２が設けられ、このピストン２にはコンロッド３
が連結されている。
このコンロッド３は、その先端部に設けた連結孔４の内
周面をｐａｐｉもしくはＰＢＰ２の燐青銅で形成し、こ
れに、油溝５を有する軸受６を圧入または鋳ぐるみで固
定したもので、この軸受６を上記ピストン２のビン７に
軸支している。そして、従来、上記ピストン２やコンロ
ッド３は、材料どして、たとえば鉄系を用いた場合は塩
浴リン酸被膜、Ａ１系を用いた場合はＴ−６処理等の表
面処理が施され、耐摩耗の対策がなされている。
周面をｐａｐｉもしくはＰＢＰ２の燐青銅で形成し、こ
れに、油溝５を有する軸受６を圧入または鋳ぐるみで固
定したもので、この軸受６を上記ピストン２のビン７に
軸支している。そして、従来、上記ピストン２やコンロ
ッド３は、材料どして、たとえば鉄系を用いた場合は塩
浴リン酸被膜、Ａ１系を用いた場合はＴ−６処理等の表
面処理が施され、耐摩耗の対策がなされている。
しかしながら、これらの処理が施されていても、コンプ
レッサーの起動直後のいわゆる無潤清状態では、シリン
ダ１内で圧縮される高圧高温ガスによって焼付け、カジ
リ、摩耗等の劣化が生じる。
レッサーの起動直後のいわゆる無潤清状態では、シリン
ダ１内で圧縮される高圧高温ガスによって焼付け、カジ
リ、摩耗等の劣化が生じる。
また、第６図はロータリーコンプレッサーの摺動部の一
例を示すもので、図中８はケーシングである。このケー
シング８内には偏心回転するローラ９が設けられ、また
、このローラ９に圧接してケーシング８内を高圧側１０
と低圧側１１とに区画するブレード１２．が設けられて
いる。なお、１３は吸入孔、１４は吐出孔である。そし
て、ローラ９が回転することにより、ブレード１２とケ
ーシング８とローラ９とによって囲まれた圧縮側（高圧
側１０）空間内の冷媒ガスが圧縮されて吐出されるよう
になっている。しかしながら、この種のコンプレッサー
では、ブレード１２の先端とローラ９の外周とが基本的
に線接触であるから、ブレード１２の先端部が最も摩耗
が激しい。このため、従来、このブレード１２の先端部
の耐摩耗性の向上のために、各種のブレード１２の形状
や、あるいは先端の処理の後にさらに先端の加工を行な
う等の提案がなされているが、ロータリーコンプレッサ
ーの場合、このブレード１２の精度がコンプレッサーの
能力そのものに影響を与えるものであり、未だ、本質的
な解決に至っていない。
例を示すもので、図中８はケーシングである。このケー
シング８内には偏心回転するローラ９が設けられ、また
、このローラ９に圧接してケーシング８内を高圧側１０
と低圧側１１とに区画するブレード１２．が設けられて
いる。なお、１３は吸入孔、１４は吐出孔である。そし
て、ローラ９が回転することにより、ブレード１２とケ
ーシング８とローラ９とによって囲まれた圧縮側（高圧
側１０）空間内の冷媒ガスが圧縮されて吐出されるよう
になっている。しかしながら、この種のコンプレッサー
では、ブレード１２の先端とローラ９の外周とが基本的
に線接触であるから、ブレード１２の先端部が最も摩耗
が激しい。このため、従来、このブレード１２の先端部
の耐摩耗性の向上のために、各種のブレード１２の形状
や、あるいは先端の処理の後にさらに先端の加工を行な
う等の提案がなされているが、ロータリーコンプレッサ
ーの場合、このブレード１２の精度がコンプレッサーの
能力そのものに影響を与えるものであり、未だ、本質的
な解決に至っていない。
さらに、第７図はレシプロコンプレッサーの摺動部の他
の例を示すもので、図中１５はいわゆるボールジヨイン
トピストン球座部である。これは、ロッド１６の先端に
設【ブられた球座１７とビスｉ・ン１８に設けられ上記
球座１７を受ける受は部１つとからなり、従来、この受
は部１つの内側部分には耐摩耗のためのたとえば液状窒
化処理等が施されている。しかしながら、処理後に、そ
の形状のために、内面に気泡が残存し易いという問題が
ある。
の例を示すもので、図中１５はいわゆるボールジヨイン
トピストン球座部である。これは、ロッド１６の先端に
設【ブられた球座１７とビスｉ・ン１８に設けられ上記
球座１７を受ける受は部１つとからなり、従来、この受
は部１つの内側部分には耐摩耗のためのたとえば液状窒
化処理等が施されている。しかしながら、処理後に、そ
の形状のために、内面に気泡が残存し易いという問題が
ある。
以上説明したように、特に、コンプレッサーの高速摺動
部では、総じて、その能力を４−分発揮するためには、
形状精度で最大３〜４μｍと小さいため、その部分に１
〜２μｍの均一な耐摩耗のための処理を施すのは、従来
、きわめて困難であり、かつ、それらの処理が必ずしも
充分なものではなかった。
部では、総じて、その能力を４−分発揮するためには、
形状精度で最大３〜４μｍと小さいため、その部分に１
〜２μｍの均一な耐摩耗のための処理を施すのは、従来
、きわめて困難であり、かつ、それらの処理が必ずしも
充分なものではなかった。
（発明の目的〕
本発明は上記事情にもとづいてなされたもので、その目
的とするところは、電動機器やエンジン等の数μＶ単位
の形状精度が要求される機械的摺動部にμは単位の均一
な表面処理が可能であり、かつ、充分な耐摩耗性を得る
ことができるようにした機械的摺動部の表面処理方法を
提供することにある。
的とするところは、電動機器やエンジン等の数μＶ単位
の形状精度が要求される機械的摺動部にμは単位の均一
な表面処理が可能であり、かつ、充分な耐摩耗性を得る
ことができるようにした機械的摺動部の表面処理方法を
提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、電動機器やエン
ジン等の機械的摺動部にアモルファスシリコン膜を着膜
したことを特徴とするものである。
ジン等の機械的摺動部にアモルファスシリコン膜を着膜
したことを特徴とするものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。
。
第１図は本発明に係る機械的摺動部分の表面処理方法を
実施するための成膜装置を示すもので、この図中２１は
反応容器である。この反応容器２１内には、底部に基台
２２が配置されているとともにその上方に対向電極２３
が配置されている。
実施するための成膜装置を示すもので、この図中２１は
反応容器である。この反応容器２１内には、底部に基台
２２が配置されているとともにその上方に対向電極２３
が配置されている。
また、基台２２にはヒータ２４が設けられ、基台２２上
に載置された被成膜部材２５を加熱するようになってい
る。また、上記対向電極２３には高周波電源等の放電生
起用型［２６がマツチングボックス２７を介して接続さ
れている。さらに、反応容器２１にはガス導入管２８お
よびガス排出管２９が接続され、このガス導入管２８に
はガス導入バルブ３０が、ガス排出管２９にはガス排出
バルブ３１がそれぞれ接続されている。なお、ガス排出
管２９は図示しないメカニカルブースターポンプおよび
回転ポンプに接続され、さらに、その後段には図示しな
い排ガス処理装置が接続されている。また、図中、３２
は絶縁体である。
に載置された被成膜部材２５を加熱するようになってい
る。また、上記対向電極２３には高周波電源等の放電生
起用型［２６がマツチングボックス２７を介して接続さ
れている。さらに、反応容器２１にはガス導入管２８お
よびガス排出管２９が接続され、このガス導入管２８に
はガス導入バルブ３０が、ガス排出管２９にはガス排出
バルブ３１がそれぞれ接続されている。なお、ガス排出
管２９は図示しないメカニカルブースターポンプおよび
回転ポンプに接続され、さらに、その後段には図示しな
い排ガス処理装置が接続されている。また、図中、３２
は絶縁体である。
しかして、真空の反応容器２１内の基台２２上に、被成
膜部材２５としてのコンプレッサーのステンレス製のコ
ンロッド２５ａをセットし、反応容器２１内を所定の真
空に減圧するとともに、ヒータ２４を稼動し、−コンロ
ッド２５ａを所定の温度に昇温する。そして、ガス導入
管２８より＄１（シリコン）を含むガス、または、必要
に応じてＳｉＨ＋（シラン）を含むガスとＣ（炭素）を
含むガスあるいはＮ（窒素）を含むガスとの混合ガスを
反応容器２１内に導入する。また、電源２６により高周
波電力を対向電極２３に印加する。ここで、マツチング
ボックス２７はグロー放電下での上記ガスのプラズマを
整合するものである。
膜部材２５としてのコンプレッサーのステンレス製のコ
ンロッド２５ａをセットし、反応容器２１内を所定の真
空に減圧するとともに、ヒータ２４を稼動し、−コンロ
ッド２５ａを所定の温度に昇温する。そして、ガス導入
管２８より＄１（シリコン）を含むガス、または、必要
に応じてＳｉＨ＋（シラン）を含むガスとＣ（炭素）を
含むガスあるいはＮ（窒素）を含むガスとの混合ガスを
反応容器２１内に導入する。また、電源２６により高周
波電力を対向電極２３に印加する。ここで、マツチング
ボックス２７はグロー放電下での上記ガスのプラズマを
整合するものである。
これにより、反応容器２１内で対向電極２３と基台２２
との間に３ｉを含むラジカルによるプラズマを生起し、
ａ−８ｔ（アモルファスシリコン）膜を成膜することが
できる。なお、このとき、これらプラズマは本質的に減
圧下の気相であるからフンロッド２５ａの摺動部分２５
ｂへ回り込んでａ−８ｔ膜を成膜することができる。
との間に３ｉを含むラジカルによるプラズマを生起し、
ａ−８ｔ（アモルファスシリコン）膜を成膜することが
できる。なお、このとき、これらプラズマは本質的に減
圧下の気相であるからフンロッド２５ａの摺動部分２５
ｂへ回り込んでａ−８ｔ膜を成膜することができる。
このような表面処理方法によれば、数μｍ単位の形状精
度が要求される機械的摺動部にμｍ単位の均一な表面処
理が可能であり、かつ、長時間の運転でも摩耗変形が少
なく優れた耐摩耗性を１ｑることができる。
度が要求される機械的摺動部にμｍ単位の均一な表面処
理が可能であり、かつ、長時間の運転でも摩耗変形が少
なく優れた耐摩耗性を１ｑることができる。
次に、具体的実施例について詳説する。
（実施例１）
先ず、真空の反応容器２１内の基台２２上にコンプレッ
サーのステンレス製のコンロッド２５ａをセットし、反
応容器２１内を１０４ ｔｏｒｒの真空に引いた。この
とき、ヒータ２４を稼動し、コンロッド２５ａを１５０
℃〜３５０℃の間の所定の温度に昇温した。
サーのステンレス製のコンロッド２５ａをセットし、反
応容器２１内を１０４ ｔｏｒｒの真空に引いた。この
とき、ヒータ２４を稼動し、コンロッド２５ａを１５０
℃〜３５０℃の間の所定の温度に昇温した。
ついで、ガス導入バルブ３０を開にしてガス導入管２８
より１００％のＳ ｉ Ｈ４ガスを１００ ｓ ｃ ｃ
Ｍの流量で反応容器２１内に導入した。なお、反応容器
２１内に導入されたＳ ｉ Ｈ４ガスはメカニカルブー
スターポンプおよび回転ポンプを通過した後排ガス処理
装置によって安全に大気へ廃棄される。
より１００％のＳ ｉ Ｈ４ガスを１００ ｓ ｃ ｃ
Ｍの流量で反応容器２１内に導入した。なお、反応容器
２１内に導入されたＳ ｉ Ｈ４ガスはメカニカルブー
スターポンプおよび回転ポンプを通過した後排ガス処理
装置によって安全に大気へ廃棄される。
ついで、反応容器２１内のガス圧が０，６ ｔＯｒｒに
なるようにガス排出バルブ３１を調整し、その後、電源
２６により周波数１３．５６ Ｈ２の高周波電力２００
Ｗを対向電極２３に印加した。ここで、マツチングボッ
クス２７はグロー放電下でのＳ ｉ Ｈ４のプラズマを
整合する。
なるようにガス排出バルブ３１を調整し、その後、電源
２６により周波数１３．５６ Ｈ２の高周波電力２００
Ｗを対向電極２３に印加した。ここで、マツチングボッ
クス２７はグロー放電下でのＳ ｉ Ｈ４のプラズマを
整合する。
これにより、反応容器２１内で対向！ｔ！１ｉ２３ど基
台２２どの間にＳｉＨ，５ｉｔ−１２，３ｉｔ−１３等
の３ｉを含むラジカルによるプラズマを生起し、ａ−３
ｉ膜の成膜を開始した。
台２２どの間にＳｉＨ，５ｉｔ−１２，３ｉｔ−１３等
の３ｉを含むラジカルによるプラズマを生起し、ａ−３
ｉ膜の成膜を開始した。
このとき、これらプラズマは本質的に減圧下の気相であ
るからコンロッド２５ａの摺動部分２５ｂへ回り込んて
ａ−３ｉ膜を成膜する。
るからコンロッド２５ａの摺動部分２５ｂへ回り込んて
ａ−３ｉ膜を成膜する。
ついで、１５分接電源２６を遮断し、ガス導入バルブ３
０を閉にして５ｉｔ−１４ガスの反応容器２１内への導
入を止め、ガス排出バルブ３１を全開にして反応容器２
１内を１０４ ｔｏｒｒの真空に引きなおした。
０を閉にして５ｉｔ−１４ガスの反応容器２１内への導
入を止め、ガス排出バルブ３１を全開にして反応容器２
１内を１０４ ｔｏｒｒの真空に引きなおした。
ついで、基台２２およびコンロッド２５ａの温度が１０
０℃以下になるのを持ってコンロッド２５ａを大気中へ
取り出した。
０℃以下になるのを持ってコンロッド２５ａを大気中へ
取り出した。
この場合、コンロッド２５ａの摺動部分２５ｂに成１１
１Ｊされたａ−３ｉ膜の膜圧は平均２μｍ±０゜５μｍ
であった。同様に、ステンレス製のビス１〜ンビンに上
記と同じ成膜条件で平均２μｍのａ−８ｉ ＩＩの成膜
を行なった。（サンプルａ）（実施例２） 反応容器２１内へＳＩＨ４８ＯｓｃｃＭ、ＮＨ３（アン
モニア） ８０ｓ ｃ ＣＭを導入した以外は、（実施
例１）と同じ条件で平均膜圧２μｍのａ−８ｉＮｘ；１
−（（水素化アモルファス窒化硅素）をコンロッド２５
ａの摺動部分２５ｂおよびピストンピンの表面に形成し
た。（サンプルｂ）（実施例３） 反応容器２１内へＳ ｉ Ｈ４８０ｓ ｃ ＣＭ 、
Ｃｌ−１４（メタン） ８０ｓｃ ＣＭを導入した以外
は、（実施例１）と同じ条ｆｌで平均膜圧２μｍのａ−
８ＩＣ；ト（（水素化アモルファス炭化硅素）庖コンロ
ッド２５ａの摺動部分２５ｂおよびピストンピンの表面
に形成した。く１ノン１ルＣ） しかしで、上記表面処理を行なったサンプルａ。
１Ｊされたａ−３ｉ膜の膜圧は平均２μｍ±０゜５μｍ
であった。同様に、ステンレス製のビス１〜ンビンに上
記と同じ成膜条件で平均２μｍのａ−８ｉ ＩＩの成膜
を行なった。（サンプルａ）（実施例２） 反応容器２１内へＳＩＨ４８ＯｓｃｃＭ、ＮＨ３（アン
モニア） ８０ｓ ｃ ＣＭを導入した以外は、（実施
例１）と同じ条件で平均膜圧２μｍのａ−８ｉＮｘ；１
−（（水素化アモルファス窒化硅素）をコンロッド２５
ａの摺動部分２５ｂおよびピストンピンの表面に形成し
た。（サンプルｂ）（実施例３） 反応容器２１内へＳ ｉ Ｈ４８０ｓ ｃ ＣＭ 、
Ｃｌ−１４（メタン） ８０ｓｃ ＣＭを導入した以外
は、（実施例１）と同じ条ｆｌで平均膜圧２μｍのａ−
８ＩＣ；ト（（水素化アモルファス炭化硅素）庖コンロ
ッド２５ａの摺動部分２５ｂおよびピストンピンの表面
に形成した。く１ノン１ルＣ） しかしで、上記表面処理を行なったサンプルａ。
ｂ、ｃを実際にコンプレッサーに組込んで試験運転を行
ない従来のものと摩耗変形量で比較したところ、第２図
に示す結果を得た。なお、第２図中、実線ａはサンプル
ミ１実線すはサンプルｂ、実線ＣはサンプルＣ１鎖線ｄ
は従来の表面処理を施したサンプルを示す。
ない従来のものと摩耗変形量で比較したところ、第２図
に示す結果を得た。なお、第２図中、実線ａはサンプル
ミ１実線すはサンプルｂ、実線ＣはサンプルＣ１鎖線ｄ
は従来の表面処理を施したサンプルを示す。
この結果から、本発明の表面処理を行なったコンロッド
２５ａおよびピストンピンは２０００時間の運転に対し
てもほとｌυど摩耗変形がないことが確認された。特に
、ａ−３ｉＣ：Ｈ膜はビッカース硬度が１５００以上と
堅いため、優れた耐摩耗材であることがわかった。
２５ａおよびピストンピンは２０００時間の運転に対し
てもほとｌυど摩耗変形がないことが確認された。特に
、ａ−３ｉＣ：Ｈ膜はビッカース硬度が１５００以上と
堅いため、優れた耐摩耗材であることがわかった。
なお、上記実施例では、コンブレラか−のピストンピン
とコンロッド２５ａの摺動部分にａ−８ｉ膜を着膜した
場合について説明したが、前述のロータリーコンプレッ
サーのブレードの先端部やボールジヨイントピストン球
座部にａ−３ｉ膜を着膜した場合にも上記実施例の場合
と同様に２μｍ±０．５μｍの均一さて表面処理するこ
とができ、かつ、長時間の運転に対しても摩耗変形が極
めて小さいことが確認されている。
とコンロッド２５ａの摺動部分にａ−８ｉ膜を着膜した
場合について説明したが、前述のロータリーコンプレッ
サーのブレードの先端部やボールジヨイントピストン球
座部にａ−３ｉ膜を着膜した場合にも上記実施例の場合
と同様に２μｍ±０．５μｍの均一さて表面処理するこ
とができ、かつ、長時間の運転に対しても摩耗変形が極
めて小さいことが確認されている。
また、コンブテツサー内の高速摺動部分の他に、エンジ
ン等のピストンやシリンダ等の高速摺動部分にａ−８ｉ
膜による表面処理を行なっても全く同様の効果が得られ
ることは勿論である。
ン等のピストンやシリンダ等の高速摺動部分にａ−８ｉ
膜による表面処理を行なっても全く同様の効果が得られ
ることは勿論である。
以上説明したように本発明によれば、電動機器やエンジ
ン等の機械的摺動部にアモルファスシリコン膜を着膜し
たから、電動機器やエンジン等の数μｍ単位の形状精度
が要求される機械的摺動部にμ児ず単位の均一な表面処
理が可能であり、かつ、充分な耐摩耗性を得ることがで
きる等の優れた効果を秦する。
ン等の機械的摺動部にアモルファスシリコン膜を着膜し
たから、電動機器やエンジン等の数μｍ単位の形状精度
が要求される機械的摺動部にμ児ず単位の均一な表面処
理が可能であり、かつ、充分な耐摩耗性を得ることがで
きる等の優れた効果を秦する。
第１図は本弁明に係る機械的摺動部分の表面処理方法を
実施するための成膜装置の一実施例を示す概略的構成図
、第２図は同方法で処理した機械的摺動部分の運転時間
と摩耗変形量との関係を示す図、第３図はレシプロコン
プレッサーのビス１〜ン部分を示？ｌ断面図、第４図は
同コンブレツザーのコンロツ］ミを示す正面図、第５図
は同コンロッドの軸受部分を示す断面図、第６図はロー
タリーコンプレツリーの圧縮室部分を示す断面図、第７
図は他のレシプロコンプレッサーのビス１〜２部分を示
す断面図である。 ２５ａ・・・コンロツ１〜．２５ｂ・・・摺動部′分。 出願入代］！ＩＦ人 弁理士 鈴江武彦第２図 覆整Ｂ８聞 第３図 ◇ 第４図 第５図
実施するための成膜装置の一実施例を示す概略的構成図
、第２図は同方法で処理した機械的摺動部分の運転時間
と摩耗変形量との関係を示す図、第３図はレシプロコン
プレッサーのビス１〜ン部分を示？ｌ断面図、第４図は
同コンブレツザーのコンロツ］ミを示す正面図、第５図
は同コンロッドの軸受部分を示す断面図、第６図はロー
タリーコンプレツリーの圧縮室部分を示す断面図、第７
図は他のレシプロコンプレッサーのビス１〜２部分を示
す断面図である。 ２５ａ・・・コンロツ１〜．２５ｂ・・・摺動部′分。 出願入代］！ＩＦ人 弁理士 鈴江武彦第２図 覆整Ｂ８聞 第３図 ◇ 第４図 第５図
Claims (4)
- （１）電動機器やエンジン等の機械的摺動部にアモルフ
ァスシリコン膜を着膜したことを特徴とする機械的摺動
部の表面処理方法。 - （２）アモルファスシリコン膜は減圧下でシリコンを含
むガスのグロー放電によって着膜したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の機械的摺動部の表面処理方
法。 - （３）アモルファスシリコン膜は炭素又は窒素の少なく
とも一方の原子を含むことを特徴とする特許請求の範囲
第１項または第２項記載の機械的摺動部の表面処理方法
。 - （４）電動機器は冷凍機器もしくは空気調和機器用のコ
ンプレッサーであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の機械的摺動部の表面処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13880084A JPS6119776A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 機械的摺動部の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13880084A JPS6119776A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 機械的摺動部の表面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119776A true JPS6119776A (ja) | 1986-01-28 |
| JPH0555597B2 JPH0555597B2 (ja) | 1993-08-17 |
Family
ID=15230523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13880084A Granted JPS6119776A (ja) | 1984-07-04 | 1984-07-04 | 機械的摺動部の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119776A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235564A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-10-20 | Toshiba Corp | 非単結晶シリコン膜を表面に処理した部材及びその表面処理方法 |
| US4797009A (en) * | 1986-09-30 | 1989-01-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dynamic pressure air bearing |
| JPS6473154A (en) * | 1987-12-28 | 1989-03-17 | Isuzu Motors Ltd | Structure of engine |
| JP2009084579A (ja) * | 2001-09-27 | 2009-04-23 | Toyota Central R&D Labs Inc | 高摩擦摺動部材 |
-
1984
- 1984-07-04 JP JP13880084A patent/JPS6119776A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61235564A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-10-20 | Toshiba Corp | 非単結晶シリコン膜を表面に処理した部材及びその表面処理方法 |
| US4797009A (en) * | 1986-09-30 | 1989-01-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Dynamic pressure air bearing |
| JPS6473154A (en) * | 1987-12-28 | 1989-03-17 | Isuzu Motors Ltd | Structure of engine |
| JP2009084579A (ja) * | 2001-09-27 | 2009-04-23 | Toyota Central R&D Labs Inc | 高摩擦摺動部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555597B2 (ja) | 1993-08-17 |
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