JPS61192364A - 噴霧流を用いて対象物に被膜を形成する方法およびこの方法を実施するための装置 - Google Patents

噴霧流を用いて対象物に被膜を形成する方法およびこの方法を実施するための装置

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JPS61192364A
JPS61192364A JP61029833A JP2983386A JPS61192364A JP S61192364 A JPS61192364 A JP S61192364A JP 61029833 A JP61029833 A JP 61029833A JP 2983386 A JP2983386 A JP 2983386A JP S61192364 A JPS61192364 A JP S61192364A
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    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B5/00Electrostatic spraying apparatus; Spraying apparatus with means for charging the spray electrically; Apparatus for spraying liquids or other fluent materials by other electric means
    • B05B5/025Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns
    • B05B5/03Discharge apparatus, e.g. electrostatic spray guns characterised by the use of gas, e.g. electrostatically assisted pneumatic spraying

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  • Heterocyclic Carbon Compounds Containing A Hetero Ring Having Oxygen Or Sulfur (AREA)
  • Medicines Containing Material From Animals Or Micro-Organisms (AREA)
  • Electrostatic Spraying Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、空気圧で霧化された材料より成る噴霧流そし
て静液圧霧化による材料より成る噴霧流を用いる対象物
の層形成法であるが、その際、噴霧流と対象物とは相関
的に作動せしめられる方法ならびにこの方法の実施のた
めの霧化装置に関する。
(従来の技術及び発明が解決しようとする問題点) 既に知られている霧化装置(US−PS3927833
)においては、3つの霧化ヘッドが隣接して配置され、
それらの軸はひとつの角度で相互に並んでいる。外側の
霧化ヘッドにより第一の材料が液圧で、そして、中間の
霧化ヘッドにより第二の材料が圧搾空気で霧化される。
その他の出口から粒状材料及び繊維材料が導入される。
共通の制御装置のレバーの操作により全部の放出装置を
同時に作動せしめることが可能である。
しかし、このやり方では非常に不均一な層形成となる。
なぜなら、隣接して生じる3つの噴霧流のそれぞれは、
まわりから空気をとりこむからである。それ故に、隣接
せる噴霧流の間において、それぞれ空気クッションが形
成され、これが混合体の均等性と吹きつけ表面の緊密度
を劣化さセるのである。混合体について言えば、中心面
に対して対称的な模様ができる。組合ゼられた噴霧流は
中心面の方向に拡大する。塗装効果は霧化装置と工作物
との間の水平相関連動の場合、垂直相関連動の場合より
も著しく異なる。さらに、混合体の均等性と吹きつけ表
面の緊密性は霧化装置と工作物との間の距離によって大
きく左右される。しかも、その霧化装置は大きく、重い
。それは手で持てないし、また霧化ヘッドをつけて中空
室に入れることは出来ない。
また、空気圧により霧化された材料から成る噴霧流だけ
を放出することが出来る噴射または噴霧式ピストルの形
態の霧化装置も知られている(DIE−PS64771
3)。この装置の霧化ヘッドは、低圧で材料が導入され
得る材料ノズルを備え、霧化に充分である圧力で空気が
導入され得る、材料ノズルを囲む霧化空気ノズルを備え
、そして噴霧流に対し付加的に影響を与える補助空気の
放出のための出口を備える空気圧霧化機構をもつ。その
うえ、材料及び空気に対する弁を管制する手動操作レバ
ーをもつ制御装置がある。
ここでは、空気は共通の空気弁を介して、霧化空気ノズ
ルと補助空気出口に導かれる。調整可能の絞り弁が、霧
化空気と補助空気との割合の調整を可能にしている。こ
の空気圧霧化作用は微細な液滴をもつ噴霧流をもたらす
がこの噴霧流は限定された膜厚のみをもたらす。高めて
強化しようとすると、霧化は著しく劣化する。これは、
空気圧によって高められた空気量によって補正はできる
が、しかし噴霧が強くたちこめることによる問題が生じ
る。
さらに、霧化が液圧によってのみ行われる霧化装置が知
られている(PR−PS2127874)。この装置で
は、たしかに大きい膜厚が一作業工程で達成される。し
かし、厳しく限定され廷噴霧流のために好ましくないオ
ーバーラツプが生じる。
ノズルの幾何学上、使用条件も層形成材料も最初から定
常的に規定されるため、作業上の柔軟性が少ない。使用
中の分量調整などは不可能である。より小さいサイズの
ノズルを使うことによって材料の浸透を低減させようと
すると、目詰まりを惹起する。浸透低減を圧力を低下さ
せて行おうとすると、粗い霧化となってしまう。
この静液圧霧化を噴霧流形成もしくは僅少な二次霧化作
用をもたらす補助空気と組み合わせて行うことが出来る
。それによって太き目の微細液滴を得ることが可能であ
るが、しかし、静液圧霧化の本来の欠点は無くなるもの
ではない。
空気圧霧化の場合のような均一に微細な膜は゛得られな
いのである。
静電気応用の霧化装置では、高圧電極によって帯電され
た液滴をアースされた工作物の方へと誘導される。これ
は包括付着をもたらし、特に精巧な部品の層形成を改善
する。この空気圧−静電霧化では、静電作用を高めるた
めに、小さい液滴の運動エネルギを減少させる。これは
、工作物の深部、例えばエンジンのハウジングの冷却フ
ィンの間への浸透を妨げる(ファラディ効果)し、また
ヘリ部の上塗りを妨げる。静液圧−静電霧化装置では大
きい運動エネルギーの液滴がつくられ、この液滴は中空
空間への侵入が可能である。静電効果をより有効に応用
するための材料圧力の低減は粗い霧化を招来することに
なる。
(問題点を解決するための手段・作用・効果)本発明の
課題は、従来よりも格段の違いをもった均一な成層を達
成するという前提を満足させろうような当初に記述した
方法を提案することにある。
この課題は、本発明により、ひとつの噴霧流を中空流と
成し、他の噴霧流を前者によって囲まれる核流とするこ
とによって達成される。
ひとつの噴霧流が他のひとつの噴霧流をとり囲むのであ
るから、均一な混合を得ることは非常に容易である。な
ぜならば、これらの噴霧流の間には引き込まれる空気の
クッションが形成されないからである。また、核流が丸
い流れであろうが、あるいは偏平な流れであろうが関係
なく、緊密な吹きつけ相が得られる。丸い流れを用いた
場合は、まさに点対称関係が達成され、そこにおいては
、塗装面の均一性は霧化装置と工作物との間の相関連動
によって全く左右されない。霧化装置と工作物との間の
距離も広い範囲で変更でき、それが良い結果を得ること
になんら妨げとならない。
とくに、複雑な構造の表面でも均一な層形成をI与るこ
と可能である。中程度の仕上がりの膜厚も可能である。
この場合の霧散効果も僅かである。同様に霧散作用によ
る膜の被害も少ない。
オーバーランプ箇所ではソフトな境界が得られる。精密
を期すべき箇所では、それぞれ必要な噴霧特性の調整な
らびに分量調節が作業中でも実施できる。
さらに、この霧化装置は小型軽量、手動式のピストル形
にでも設計することが出来る。霧化ヘッドも小さく、中
空空間に導入できる。
中空流と核流とは同一の材料で構成する可能性がある。
このことは全く新しい成層の可能性をもたらすものであ
る。
さて、中空流と核流とは交互に発生させることが出来る
。これは、層形成材料をかなり深い中空空間の中にまで
到達さゼなければならないような箇所だけに静液圧霧化
を適用し、その他の箇所には空気圧霧化を用いればよい
ことを意味する。
しかし、中空流と核流とを同時に発生させると、空気圧
で霧化された材料と静液圧で霧化された材料との間の選
ばれた比率によって生ずる新しい分子スペクトルが得ら
れる。従って、両方の霧化作用の特徴を利用して最適の
層形成を達成することが可能である。この場合、シネレ
シス効果を生じ、深部の表面の層形成には、例えば単独
の層形成の場合の70%の代わりに30%だけというよ
うに、はんの僅かの割合の静液圧霧化材料が必要とされ
るだけとなるが、これば静液圧霧化によるエネルギーに
富む液滴が空気圧により霧化された液滴の大部分を深部
にまで引っ張って行くからである。この現象は特に静電
応用の場合に顕著である。
各噴霧流を同時に用いると霧化作用が補完し合い平均的
な膜厚が得られる。しかも静液圧霧化にも拘わらすオー
バラップには柔らかい移行部が得られる。
静液圧霧化材料が全霧化材料の20−40%、とりわけ
30%であれば、特に好都合である。その場合は平均的
に噴霧特性の最適組成が得られ、これが非常に異なる構
造の表面に対し均一な層形成をもたらすのである。
中空流と核流とを異なる材料で構成せしめることもしば
しば利点をもたらす。例えば、最適な霧化を得るために
、異なる粘性の材料とする。
また、特定の表面効果を得るために異なる顔料を入れる
ことも可能である。また、ふたつの材料が一緒になって
始めて所定の層形成材質が生まれるような性質を双方の
材料に与えることも可能である。特に強調したいことは
、中空流と核流とを2成分ラッカーのような2成分材料
のうちの一成分をとりだして、それぞれの成分とするこ
とも可能である。
この関連において、この両方の噴霧流の大部分が対象物
において出会う前に混合してしまうようにすれば好都合
である。そうすれば、それらの分子が対象物の表面に前
後して到着するよりは、はるかに良い結果の混合体が得
られる。
好ましい実施例としては、核流を静液圧霧化材料で、中
空流を空気圧霧化材料で構成することである。核流は中
空流によって大気の侵入から守られているので、確定的
な霧化特性が得られる。中空流が外側において周辺空気
と混合される限り、これは試みて値打ちのある方法とい
える。なぜならば、静液圧霧化で出現する鋭い移行部に
代わって層形成におけるオーバラップの可能性をもつ柔
らかい移行部が得られるからにほかならない。
多くの場合、核流により小さい噴霧流を与え、中空流に
より大きい噴霧流を与えることもまた利点がある。この
場合、二つの分離された流域が生じるが、それらの内の
内側の方は液滴の深部への浸透を助長し、外側の方はそ
の他の残る表面の層形成をもたらしつつ、液滴の静電気
帯電においては工作物周囲への艮好な包括被覆を可能と
する。
噴霧流の分子に静電気を帯電させることは特別の利点を
もたらす。周知のとおり、帯電は分子の大部分が層形成
されるべき対象物の表面に定着するように作用する。し
かし静電場が深部にまで達するには限界があるので、空
気圧霧化と静電電荷とにおいて深部まで完全に層形成す
ることばこれまで実際には不可能であった。
本発明による方法を実施するための、対象物の層形成を
おこなう霧化装置は、材料が低い圧力で導入され得る第
一材料ノズルと、その材料ノズルをとり囲み、空気が霧
化に充分な圧力で導入され得るところの、霧化空気ノズ
ルとをもつ空気圧霧化機構と、また場合によっては、噴
霧流に対し補助的に影響を及ぼす補助空気の放出のため
の空気出口とを備えるひとつの構成単位をもち、さらに
材料が霧化に充分な圧力で導入され得る第二材料ノズル
をもち、かつまた両方の霧化機構の操作を行うための材
料及び空気のための弁を備える制御装置をもっているが
、そこにおいて両方の材料ノズルが共通の霧化ヘッドに
おいて装着さていること、そして第一材料ノズルが第二
材料ノズルをとり巻く環ノズルであり、さらに環状の霧
化空気ノズルによって囲まれていることを特徴としてい
る。
両方の霧化機構は相互にほぼ同心に配設されている。そ
れら霧化機構は同時に操作されることにより二つの噴霧
流間の良い混合をもたらす。
そして交互に操作した場合は類似の形状の噴霧流が発生
する。そしてまた、静液圧霧化にしばしば用いられるス
リット形の材料ノズルを環状霧化空気ノズルと組合せる
ことも可能である。
この場合、同時操作により中空流の円錐形状は扇形の核
流によって変形せしめられる。
制御装置は、静液圧霧化機構が操作されたとき、霧化空
気または補助空気の合弁あるいはその両方の弁が開かれ
ているような構造にすると好都合である。そうすると空
気圧霧化のために用いられる空気出口を静液圧霧化にも
利用できるからである。
両方の霧化機構を介して同一の材料を放射しなければな
らない場合は、第一材料ノズルへの導管が、調節可能の
絞り弁あるいは圧力レギュレターなどの減圧機器を介し
て第二材料ノズルへの導管と連結されていることが望ま
しい。そうすれば材料に対する圧力源を唯ひとつだけと
することが出来る。
第二材料ノズルへの導管への供給は圧力制御式ポンプに
よることが得策である。そうすることにより静液圧力を
コンスタントな値に保つことが出来、必要によってはそ
の圧力高低を調節することが出来る。
特に有利であるのは、霧化ヘッドが材料の静電荷のため
の電極を備えることである。この組合せは、複雑な表面
で静電場に対して遮蔽されているような箇所へも静電霧
化材料が到達するので、非常に均一な層形成を実現する
のである。
制御装置の合弁は、手もしくは補助手段、すなわち空気
圧方式、油圧方式、電磁方式、または同様の方法で操作
が可能である。合弁はそれぞれ独立的に制御することも
出来る。しかし、少なくとも、部分部分で連結すれば便
利である。
とりわけ制御装置には、第一作動位置では一方の霧化機
構だけを、第二作動位置では他方の霧化機構だけを操作
するような操作エレメントを備えることが可能である。
それに代わる実施例としては、制御装置に第一作動位置
にて一方の霧化機構だけを、第二作動位置にて両方の霧
化機構を同時に操作する操作エレメントを設けることで
ある。
(実施例) 本発明を、以下、図面に示される好ましい実施例により
より詳しく説明する。
第1図は本発明による霧化装置の部分縦断面図、第2図
はその霧化装置の前面図、第3図は第1図の装置の霧化
ヘッドの縦断面図、第4図は第1図から第3図の霧化装
置の作動の制御装置を示す図面、そして第5図は変化さ
せた制御装置を示す図面である。
第1図から第4図の霧化装置は、ハウジング3に固定さ
れた霧化ヘッド2を持つピストル1の形状を有する。こ
のハウジングは装置を保持する取っ手4と吊り下げるた
めのフック5を有する。
第3図に認められるように、霧化ヘッドは、環状の第一
材料ノズル7とこれをとりまく環状霧化空気ノズル8と
をもつ空気圧霧化機構6、ならびに第一材料ノズル7の
中心に設けられる第二材料ノズル10をもつ静液圧霧化
機構9を持っている。さらに、隆起部11と12とにお
いて、付属空気出口13が互いに向かい合って設けられ
る。この霧化機構を構成するために、霧化ヘッド2に属
するブロック14の前面側に、パツキン盤15を介在さ
せ、分配体16が存在する。この分配体は、隆起部11
及び12を支承する前面板17とともにキャンプねしユ
ニット18によってブロック14にしっかりと保持され
る。分配体の中には、ノズル本体20を支える挿入体1
9がねし込まれており、そのノズル本体20はその周辺
をもって分配体16とともに第一材料ノズル7を形成す
るとともに、中央において第二材料ノズル10を備えて
いる。
外側の第一材料導管21は、軸方向孔22と材料弁23
、ならびに分配体16における軸方向孔24とを介して
、第一材料ノズル7と連絡している。
外側の第二材料導管25は、軸方向孔26と材料弁27
とを介して、第二材料ノズル10と連絡している。すべ
り弁29によりコン]・ロールされるところの、取っ手
4を通る空気導管28は、軸方向孔30を介し、一方に
おいて分配体16の孔31を通って、分配体と前面板1
7との間に形成される霧化空気ノズル8と連絡しており
、他方において調整絞り弁32と分配体16のもうひと
つの孔33とを通って付属空気出口13と連絡している
材料弁23はパツキン35により後ろに引かれている操
作ロッド34により、また材料弁27はパツキン37に
より後ろにひ引かれている操作ロッド36により操作可
能である。制御装置Sには手で操作可能のエレメント3
8が属しており、このエレメントは、タペット39を介
し空気弁29を、ビン40を介し材料弁23を、“そし
てもうひとつのビン41を介し材料弁27を動かす。操
作ニレメン38は軸42を中心に揺動可能である。もど
しばね43.44.45は、タペット39及びビン40
と41とを、操作エレメント38における定常位置に配
置せしめる。回転可能のビン46で弁の固定が可能であ
る。
第4図は制御装置Sの回路図と共に霧化へ・ノド2を示
す。コンプレッサー47は圧搾空気を圧力レギュレータ
48を介して空気導管28に、そして第二の圧力レギュ
レータ49を介して材料ポンプ50のモータに送る。材
料ポンプは容器51から材料を吸入し、それを圧力管5
2を介して、一方において外側材料導管25に、他方に
おいて調整絞り弁53を介し外側材料導管21に送る。
操作エレメント38は静止位置Iをもつ。第一作動位置
IIにおいては、材料弁27が開いているだけである。
それゆえ第二材料ノズル10が酢液圧霧化のために充填
される。第二作動位置IIIにおいて、さらに空気弁2
9と材料弁23とが開口せしめられるので、静液圧霧化
に加えて空気圧霧化も起こる。したがって、発生する噴
霧流は、二種類の霧化作用によって摂生せしめられた液
滴により構成される分子スペクトルを有する。
上述した装置は、ふたつの相互に分離された流域が発生
するように構成できる。例えば、第二材料ノズル10か
ら出る内側の噴霧流が30°の開き角度をもち、他方、
第一材料ノズル7及び霧化空気ノズル8によって発生せ
しめられる外側の中空円錐状の噴霧流は70°の開き角
度をもつ。しかし両方の噴霧流は互いに混じり合うよう
な角度を選ぶことも可能である。
第5図の実施例においては、第4図に対する対応部分が
1(10ずつ増やされた番号で、他の制御装置Sが示さ
れる。この実施例においては、全部の材料導管及び空気
導管が、それぞれ自己の弁によって遮蔽可能である。第
一材料ノズル107に対して第一材料弁154、第二材
料ノズル110に対して第二材料155 、i化空気ノ
ズル108に対して第一空気弁156、そして補助空気
出口113に対して第二空気弁157がある。全ての弁
は制御配管を通じて、操作エレメント138によって制
御可能の制御ボックスに連結されている。静止位置Iで
は全部の弁が閉まっている。
第一作動位置■では全部の弁が開いている。第三作動位
置■では弁155と157とが開いている。
従って、空気圧霧化あるいは静液圧霧化を片方だけ、あ
るいは両方同時に選択的に適用することが自由自在にで
きる。いずれの場合も噴霧流を形成するために補助空気
が放出される。場合によっては、ここにも絞り弁132
に、ふたつの異なる絞り抵抗を接続できるように、自動
切り替え装置設けることが出来る。
運転圧力は、与えられた条件、特に霧化すべき材料によ
って設定する。空気圧霧化は、空気圧20と40との間
で発生させることができる。静液圧霧化は材料圧力30
と3(10から5(10barまでの間において生しう
る。静液圧霧化の間、比較的低い材料圧力のときは、か
なり大きいbarの圧力、例えば5barの充分な量の
補助空気を流入させるものとする。
絞り弁32.132及び53.153の代わりに適切な
圧力レギュレータを利用してもよい。材料ノズル10の
構造はスリットもしくは孔のどちらかを選ぶことができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による霧化装置の部分縦断面図、第2図
はその霧化装置の前面図、第3図は第1図の装置の霧化
ヘッドの縦断面図、第4図は第1図から第3図の霧化装
置の作動の制御装置を示す図面、そして第5図は変化さ
せた制御装置を示す図面である。 2・・・霧化ヘッド、6・・・空気圧霧化機構、7・・
・第一材料ノズル、8・・・環状霧化空気ノズル、9・
・・静液圧霧化機構、10・・・第二材料ノズル、13
・・・付属空気出口、21・・・第一材料導管、23.
27・・・材料弁、25・・・第二材料導管、■・・・
静止位置、■・・・第一作動位置、■・・・作動位置、
S・・・制御装置。

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、空気圧によって霧化される材料から成るひとつ
    の噴霧流と静液圧によって霧化される材料から成るひと
    つの噴霧流による対象物の層形成法で、その際、噴霧流
    と対象物とが相関的に動かされるような方法において、
    一方の噴霧流が中空流として、他方の噴霧流が前者によ
    って囲まれる核流として発生せしめられることを特徴と
    する。
  2. (2)、中空流と核流とが同一の材料から成ることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載の噴霧流による対
    象物の層形成法。
  3. (3)、中空流と核流とが交互に発生せしめられること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第2項に記載の
    噴霧流による対象物の層形成法。
  4. (4)、中空流と核流とが同時に発生せしめられること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第2項に記載の
    噴霧流による対象物の層形成法。
  5. (5)、静液圧霧化による材料の占める割合が、霧化さ
    れた材料全体において20−40%、好ましくは約30
    %であることを特徴とする特許請求の範囲第4項に記載
    の噴霧流による対象物の層形成法。
  6. (6)、中空流と核流とが異なる材料から成ることを特
    徴とする特許請求の範囲第4項乃至第5項に記載の噴霧
    流による対象物の層形成法。
  7. (7)、中空流と核流とが、それぞれ、2成分材料のひ
    とつの成分から成ることを特徴すとる特許請求の範囲第
    6項に記載の噴霧流による対象物の層形成法。
  8. (8)、核流が静液圧霧化の材料から成り、中空流が空
    気圧霧化の材料から成ることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項乃至第7項に記載の噴霧流による対象物の層形
    成法。
  9. (9)、核流が小さい方の噴霧角度を持ち、中空流が大
    きい方の噴霧角度を持つことを特徴とする特許請求の範
    囲第8項に記載の噴霧流による対象物の層形成法。
  10. (10)、噴霧流の分子は静電荷せしめられることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項乃至第9項に記載の噴霧
    流による対象物の層形成法。
  11. (11)、材料が低圧で導入され得る第一材料ノズルと
    、空気が霧化に充分な圧力によって導入され得る材料ノ
    ズルを囲む霧化空気ノズルとを備える空気圧霧化機構と
    、そして、場合によっては、噴霧流に補助的影響を与え
    る補助空気の放出のための空気出口とを有するひとつの
    構成単位を備え、また、材料が霧化に充分な圧力で導入
    され得る第二材料ノズルを持つ静液圧霧化機構を備え、
    そしてまた、二つの霧化機構の操作のための、材料及び
    空気に対する弁をもつ制御装置を備える装置において、
    両方の材料ノズル7、10が、ひとつの共通の霧化ヘッ
    ド2に設けられること、そして第一材料ノズル7が第二
    材料ノズル10を囲む環ノズルであり、さらに環状の霧
    化空気ノズル8によって囲まれていることを特徴とする
    噴霧流による対象物の層形成法を実施するための対象物
    の層形成のための装置。
  12. (12)、制御装置Sは、静液圧霧化機構9の操作の際
    、霧化空気および/もしくは補助空気用の弁29、15
    6、157が開いているように構成されることを特徴と
    する特許請求の範囲第11項に記載の対象物の層形成の
    ための装置。
  13. (13)、第一材料ノズル7への導管21が減圧装置5
    3、153を介して第二材料ノズル10への導管25と
    連結されていることを特徴とする特許請求の範囲第11
    項乃至第12項に記載の対象物の層形成のための装置。
  14. (14)、第二材料ノズル10への導管25は圧力作動
    ポンプ50を備えることを特徴とする特許請求の範囲第
    11項乃至第13項に記載の対象物の層形成のための装
    置。
  15. (15)、霧化ヘッドは材料の静電充電のための電極を
    備えることを特徴とする特許請求の範囲第11項乃至第
    14項に記載の対象物の層形成のための装置。
  16. (16)、制御装置Sは、第一作動位置IIにおいて一方
    の霧化機構のみを作動せしめ、第二作動位置IVにおいて
    他の霧化機構のみを作動せしめるところの操作エレメン
    ト138を備えることを特徴とする特許請求の範囲第1
    1項乃至第15項に記載の対象物の層形成のための装置
  17. (17)、制御装置Sは、第一作動位置IIにおいて、ひ
    とつの霧化機構を作動せしめ、第二作動位置IIIにおい
    て、両方の霧化機構を共に作動せしめるところの操作エ
    レメント38、138を備えることを特徴とする特許請
    求の範囲第11項乃至第16項に記載の対象物の層形成
    のための装置。
JP61029833A 1985-02-19 1986-02-12 噴霧流を用いて対象物に被膜を形成する方法およびこの方法を実施するための装置 Expired - Lifetime JPH069664B2 (ja)

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