JPS61192034A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS61192034A JPS61192034A JP3305185A JP3305185A JPS61192034A JP S61192034 A JPS61192034 A JP S61192034A JP 3305185 A JP3305185 A JP 3305185A JP 3305185 A JP3305185 A JP 3305185A JP S61192034 A JPS61192034 A JP S61192034A
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- JP
- Japan
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- thin film
- magnetic recording
- magnetic
- recording medium
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔１既 要〕
磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体の製造に際
し、保持基板としてビッカス硬度が少なくとも５００以
上の無機硬質基板を用い、該基板上に０．１〜０．５
Ｘ １Ｏ−２Ｔｏｒｒの範囲の酸素分圧を持つスパッタ
リング雰囲気によるスパッタリング手段と、還元・酸化
熱処理により、ｒ −Ｆｅ２０３磁性薄膜を形成し、耐
久性、磁気特性の良好な磁気記録媒体を得ることを可能
とする方法。
し、保持基板としてビッカス硬度が少なくとも５００以
上の無機硬質基板を用い、該基板上に０．１〜０．５
Ｘ １Ｏ−２Ｔｏｒｒの範囲の酸素分圧を持つスパッタ
リング雰囲気によるスパッタリング手段と、還元・酸化
熱処理により、ｒ −Ｆｅ２０３磁性薄膜を形成し、耐
久性、磁気特性の良好な磁気記録媒体を得ることを可能
とする方法。
本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体の
製造方法に係り、特に優れた耐衝撃性及び耐久性を有し
、かつ磁気特性の良好な磁気記録媒体の製造方法に関す
るものである。
製造方法に係り、特に優れた耐衝撃性及び耐久性を有し
、かつ磁気特性の良好な磁気記録媒体の製造方法に関す
るものである。
近年、磁気記録媒体の高記録密度化に伴って、スパッタ
リング法により高飽和磁化、高保磁力な連続磁性薄膜を
形成する磁気記録媒体の研究開発が盛んに行われ、既に
種々の構造及び製造方法が提案されている。
リング法により高飽和磁化、高保磁力な連続磁性薄膜を
形成する磁気記録媒体の研究開発が盛んに行われ、既に
種々の構造及び製造方法が提案されている。
この種の磁気記録媒体は、一般にアルマイト処理が施さ
れたアルミニウム等の非磁性基板上に、反応性スパッタ
リング法によってα−Ｆｅ２０，３からなる連続薄膜を
形成した後、このα−Ｆｅ２０３連続薄膜を還元・酸化
熱処理することによって、金属磁性膜よりも耐蝕性・耐
摩耗性の良いγ−Ｆｅ２０３磁性ＨＨＱが構成された磁
気記録媒体が知られている。
れたアルミニウム等の非磁性基板上に、反応性スパッタ
リング法によってα−Ｆｅ２０，３からなる連続薄膜を
形成した後、このα−Ｆｅ２０３連続薄膜を還元・酸化
熱処理することによって、金属磁性膜よりも耐蝕性・耐
摩耗性の良いγ−Ｆｅ２０３磁性ＨＨＱが構成された磁
気記録媒体が知られている。
しかし、上記のようにアルミニウム等からなる非磁性基
板を用いて構成された磁気記録媒体においては、該基板
が磁気記録再生ヘッドの媒体摺接面に比べて軟質である
ために、衝撃に弱（、損傷し易いことから、ヘッドクラ
ッシュによる障害が発生し易い問題がある。
板を用いて構成された磁気記録媒体においては、該基板
が磁気記録再生ヘッドの媒体摺接面に比べて軟質である
ために、衝撃に弱（、損傷し易いことから、ヘッドクラ
ッシュによる障害が発生し易い問題がある。
そこで、このような問題を解決するために、ガラス、セ
ラミックスなどの硬質基板を用いることが試みられてい
るが、これら硬質基板を用いて、従来と同様の製造工程
により該基板上に磁性薄膜を形成した構成の磁気記録媒
体にあっては、耐衝撃性、耐久性には優れるものの、記
録・再生特性が悪く、これらの改善が要望されている。
ラミックスなどの硬質基板を用いることが試みられてい
るが、これら硬質基板を用いて、従来と同様の製造工程
により該基板上に磁性薄膜を形成した構成の磁気記録媒
体にあっては、耐衝撃性、耐久性には優れるものの、記
録・再生特性が悪く、これらの改善が要望されている。
従来、上記したように反応性スパッタリング法を用いて
磁気記録媒体を製造する１つの方法としては、先ず、媒
体の保持体として好適な硬質基板について本発明者等が
実験検討した結果、ビッカス硬度が少なくとも５００以
上の強化ガラス、或いはセラミックス等からなる無機硬
質基板を適用することにより、磁気記録再生ヘッドとの
接触による損傷が著しく低減され、ヘッドクラッシュが
発生しにくいことが確認されたことに基づいて、例えば
上記強化ガラスからなる硬質基板上に、Ｆｅを主成分と
するターゲットを用いた反応性スパッタリング法によっ
てα−Ｆｅ２０３からなる連続Ｗｌ膜を形成し、このα
−Ｆｅ２０３連続薄膜を湿潤Ｈ２雰囲気中において熱処
理（還元）を行って、Ｆｅ３０４薄膜を形成する。
磁気記録媒体を製造する１つの方法としては、先ず、媒
体の保持体として好適な硬質基板について本発明者等が
実験検討した結果、ビッカス硬度が少なくとも５００以
上の強化ガラス、或いはセラミックス等からなる無機硬
質基板を適用することにより、磁気記録再生ヘッドとの
接触による損傷が著しく低減され、ヘッドクラッシュが
発生しにくいことが確認されたことに基づいて、例えば
上記強化ガラスからなる硬質基板上に、Ｆｅを主成分と
するターゲットを用いた反応性スパッタリング法によっ
てα−Ｆｅ２０３からなる連続Ｗｌ膜を形成し、このα
−Ｆｅ２０３連続薄膜を湿潤Ｈ２雰囲気中において熱処
理（還元）を行って、Ｆｅ３０４薄膜を形成する。
これに引続きＦｅ３０４薄膜を更に大気中において熱処
理（酸化）することによって、γ−Ｆｅ２０３磁性薄膜
が形成された磁気記録媒体を得ている。
理（酸化）することによって、γ−Ｆｅ２０３磁性薄膜
が形成された磁気記録媒体を得ている。
ところが、このような製造方法によって得られた磁気記
録媒体においては、耐衝撃性、耐久性については優れた
効果が発揮されるが、その反面、前記硬質基板上に磁性
薄膜を形成する方法に従来と同様の形成方法を通用する
と、前記硬質基板に対する磁性薄膜の膨張係数の整合差
に起因すると考察される、所謂該磁性薄膜に対する圧縮
、又は引張応力による応力歪付加の変化によって記録・
再生特性が、従来のアルミニウム等からなる非磁性基板
を用いた磁気記録媒体に比べてかなり低下する欠点があ
った。
録媒体においては、耐衝撃性、耐久性については優れた
効果が発揮されるが、その反面、前記硬質基板上に磁性
薄膜を形成する方法に従来と同様の形成方法を通用する
と、前記硬質基板に対する磁性薄膜の膨張係数の整合差
に起因すると考察される、所謂該磁性薄膜に対する圧縮
、又は引張応力による応力歪付加の変化によって記録・
再生特性が、従来のアルミニウム等からなる非磁性基板
を用いた磁気記録媒体に比べてかなり低下する欠点があ
った。
本発明はこのような問題点に鑑み、無機硬質基板上に、
Ｆｅを主成分とするターゲットを用いた反応性スパッタ
リング法によってα−Ｆｅ２０３からなる連続薄膜を形
成する際のスパッタリング雰囲気中の酸素分圧を、従来
よりも低く調整して該連続薄膜を被着形成する方法を用
いることにより、耐衝撃性、耐久性は勿論のこと、記録
・再生特性の良好な磁気記録媒体を提供することを目的
としている。
Ｆｅを主成分とするターゲットを用いた反応性スパッタ
リング法によってα−Ｆｅ２０３からなる連続薄膜を形
成する際のスパッタリング雰囲気中の酸素分圧を、従来
よりも低く調整して該連続薄膜を被着形成する方法を用
いることにより、耐衝撃性、耐久性は勿論のこと、記録
・再生特性の良好な磁気記録媒体を提供することを目的
としている。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
従って、以上の問題点は、スパッタリング雰囲気中の酸
素分圧を、従来の分圧よりも充分に低い０．１〜０．５
Ｘ １Ｏ−２Ｔｏｒｒの範囲に調整し、かかるスパッ
タリング雰囲気中で、ピンカス硬度が少なくとも５００
以上の無機硬質基板上に、Ｆｅを主成分とするターゲッ
トを用いたスパッタリング手段により、Ｆｅ酸化膜を形
成し、該Ｆｅ酸化膜を酸化・還元処理して磁性薄膜を形
成するようにした本発明による磁気記録媒体の製造方法
によって解決される。
素分圧を、従来の分圧よりも充分に低い０．１〜０．５
Ｘ １Ｏ−２Ｔｏｒｒの範囲に調整し、かかるスパッ
タリング雰囲気中で、ピンカス硬度が少なくとも５００
以上の無機硬質基板上に、Ｆｅを主成分とするターゲッ
トを用いたスパッタリング手段により、Ｆｅ酸化膜を形
成し、該Ｆｅ酸化膜を酸化・還元処理して磁性薄膜を形
成するようにした本発明による磁気記録媒体の製造方法
によって解決される。
即ち、媒体の保持体とする基板としては、損傷し難く、
かつ優れた耐衝撃性を有するビッカス硬度が少なくとも
５００以上の強化ガラス、或いはセラミックスなどから
なる無機硬質基板を用い、０．１〜０．５ Ｘ １Ｏ−
２Ｔｏｒｒの酸素（０２）分圧範囲を持つＡｒ−０２ス
パツタリング雰囲気中で前記無機硬質基板上に、Ｆｅを
主成分とするターゲットを用いた反応性スパッタリング
法によってα−Ｆｅ２０３からなる連続薄膜を形成し、
引続き該α−Ｆｅ２０３連続薄膜を酸化・還元処理して
γ−Ｆｅ２０３磁性薄膜を形成することにより、耐衝撃
性、耐久性は言うまでもなく、記録・再生特性の良好な
磁気記録媒体を得ることが可能となる。
かつ優れた耐衝撃性を有するビッカス硬度が少なくとも
５００以上の強化ガラス、或いはセラミックスなどから
なる無機硬質基板を用い、０．１〜０．５ Ｘ １Ｏ−
２Ｔｏｒｒの酸素（０２）分圧範囲を持つＡｒ−０２ス
パツタリング雰囲気中で前記無機硬質基板上に、Ｆｅを
主成分とするターゲットを用いた反応性スパッタリング
法によってα−Ｆｅ２０３からなる連続薄膜を形成し、
引続き該α−Ｆｅ２０３連続薄膜を酸化・還元処理して
γ−Ｆｅ２０３磁性薄膜を形成することにより、耐衝撃
性、耐久性は言うまでもなく、記録・再生特性の良好な
磁気記録媒体を得ることが可能となる。
（実施例〕
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図乃至第３図は本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法の一実施例を工程順に説明するための要部断面図であ
る。
法の一実施例を工程順に説明するための要部断面図であ
る。
先ず第１図に示すように例えばビッカス硬度が約７００
程度の表面硬化処理が施された強化ガラスからなる無機
硬質基板１上に、酸素（０２）分圧を０．３ Ｘ １Ｏ
−２ＴｏｒｒとしたＡｒ −０２ガス圧が０．６ Ｘｌ
０−２Ｔｏｒｒのスパッタリング雰囲気中で、Ｔｉ＝２
．５ａｔ％。
程度の表面硬化処理が施された強化ガラスからなる無機
硬質基板１上に、酸素（０２）分圧を０．３ Ｘ １Ｏ
−２ＴｏｒｒとしたＡｒ −０２ガス圧が０．６ Ｘｌ
０−２Ｔｏｒｒのスパッタリング雰囲気中で、Ｔｉ＝２
．５ａｔ％。
Ｃｏ＝１．Ｏａｔ％＋ Ｃｕ−０，５ａｔ％が含有され
たＦｅを主成分とするターゲットを用いた反応性スパッ
タリング法によりα−Ｆｅ２０３からなる連続溝１１１
２を形成する。
たＦｅを主成分とするターゲットを用いた反応性スパッ
タリング法によりα−Ｆｅ２０３からなる連続溝１１１
２を形成する。
次に、このａ−Ｆｅ２０３連続薄１Ｉｌｌ！２を−ｅｔ
Ｈ２雰囲気仲、約３５０℃程度で還元熱処理を行って第
２図に示すようにＦｅ３０４薄膜３を形成し、引続きこ
のＦｅ３０４薄ｙ／！３を更に空気中、約３５０℃で酸
化熱処理を行って第３図に示すようにγ−Ｆｅ２０３磁
性薄膜４とした磁気記録媒体を形成する。
Ｈ２雰囲気仲、約３５０℃程度で還元熱処理を行って第
２図に示すようにＦｅ３０４薄膜３を形成し、引続きこ
のＦｅ３０４薄ｙ／！３を更に空気中、約３５０℃で酸
化熱処理を行って第３図に示すようにγ−Ｆｅ２０３磁
性薄膜４とした磁気記録媒体を形成する。
このようにして得られた磁気記録媒体では、耐衝撃性、
耐久性は言うに及ばず、残留磁束密度Ｂｒ＝ ２３７０
Ｇ 、飽和磁束密度Ｂｓ＝３１１０Ｇ、角型比Ｓ−０
，７６と、従来のアルミニウムからなる基板を用いた磁
気記録媒体の磁気特性値と比較して遜色のない良好な特
性を得ることが出来た。
耐久性は言うに及ばず、残留磁束密度Ｂｒ＝ ２３７０
Ｇ 、飽和磁束密度Ｂｓ＝３１１０Ｇ、角型比Ｓ−０
，７６と、従来のアルミニウムからなる基板を用いた磁
気記録媒体の磁気特性値と比較して遜色のない良好な特
性を得ることが出来た。
因に、酸素（０２）分圧を０．１〜２．ＯＸｌ０−２Ｔ
ｏｒｒの範囲で変化させた各Ａｒ−０２スパツタリング
雰囲気中で、強化ガラスからなる無機硬質基板上にγ−
Ｆｅ２０１磁性薄膜を形成した各媒体試料を、振動試料
型磁力針（Ｖｉｂｒａｔｉｎｇ ｓｐｅｃｉｍｅｎ ｍ
ａｇｎｅｔｏｓｅｔｅｒ）によってＢ−Ｈ特性を測定し
た本発明例の結果と、従来の酸素（０２）分圧を１．０
〜２．ＯＸｌ０−２Ｔｏｒｒの範囲で変化させた各Ａｒ
０２スパツタリング雰囲気中で、強化ガラスからな
る無機硬質基板上にＴ−Ｆ６２０３磁性薄膜を形成した
各媒体試料を同様の磁力計によりＢ−Ｈ特性を測定した
比較例１の結果と、さらに従来の酸素（０２）分圧を１
．０〜２．０×１０’Ｔｏｒｒの範囲で変化させた各Ａ
ｒ−０２スパツタリング雰囲気中で、アルミニウムから
なる非磁性基板上にｒ −Ｆｅ２０３磁性薄膜を形成し
た各媒体試料を同様の磁力針によりＢ−Ｈ特性を測定し
た比較例１２の結果とを別表に示す。
ｏｒｒの範囲で変化させた各Ａｒ−０２スパツタリング
雰囲気中で、強化ガラスからなる無機硬質基板上にγ−
Ｆｅ２０１磁性薄膜を形成した各媒体試料を、振動試料
型磁力針（Ｖｉｂｒａｔｉｎｇ ｓｐｅｃｉｍｅｎ ｍ
ａｇｎｅｔｏｓｅｔｅｒ）によってＢ−Ｈ特性を測定し
た本発明例の結果と、従来の酸素（０２）分圧を１．０
〜２．ＯＸｌ０−２Ｔｏｒｒの範囲で変化させた各Ａｒ
０２スパツタリング雰囲気中で、強化ガラスからな
る無機硬質基板上にＴ−Ｆ６２０３磁性薄膜を形成した
各媒体試料を同様の磁力計によりＢ−Ｈ特性を測定した
比較例１の結果と、さらに従来の酸素（０２）分圧を１
．０〜２．０×１０’Ｔｏｒｒの範囲で変化させた各Ａ
ｒ−０２スパツタリング雰囲気中で、アルミニウムから
なる非磁性基板上にｒ −Ｆｅ２０３磁性薄膜を形成し
た各媒体試料を同様の磁力針によりＢ−Ｈ特性を測定し
た比較例１２の結果とを別表に示す。
この別表により明らかなように、γ−Ｆｅ２０３磁性薄
膜が形成された磁気記録媒体の磁気特性での、特に残留
磁束密度Ｂｒが２０００ＧａｕｓＳ以上、角型比Ｓが０
．７０以上とする最適基準に対して、本発明例ではその
特性値を充分に満足しており、良好な磁気記録・再生特
性を有する磁気記録媒体が得られた。
膜が形成された磁気記録媒体の磁気特性での、特に残留
磁束密度Ｂｒが２０００ＧａｕｓＳ以上、角型比Ｓが０
．７０以上とする最適基準に対して、本発明例ではその
特性値を充分に満足しており、良好な磁気記録・再生特
性を有する磁気記録媒体が得られた。
更に従来の比較例１及び比較例２と比較しても遜色のな
い特性が得られていることが確認できた。
い特性が得られていることが確認できた。
以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気記録
媒体の製造方法によれば、ビッカス硬度が少なくとも５
００以上の強化ガラス、或いはセラミ、カスなどからな
る無機硬質基板を用い、スパッタリング雰囲気中の酸素
分圧を、従来の分圧よりも充分に低い０．１〜０．５
Ｘ １Ｏ−２Ｔｏｒｒの範囲としたスパッタリング雰囲
気条件による反応性スパッタリング法を通用することに
より、耐久性及び磁気記録・再生特性の良好な磁気記録
媒体を容易に製造することが可能となる。
媒体の製造方法によれば、ビッカス硬度が少なくとも５
００以上の強化ガラス、或いはセラミ、カスなどからな
る無機硬質基板を用い、スパッタリング雰囲気中の酸素
分圧を、従来の分圧よりも充分に低い０．１〜０．５
Ｘ １Ｏ−２Ｔｏｒｒの範囲としたスパッタリング雰囲
気条件による反応性スパッタリング法を通用することに
より、耐久性及び磁気記録・再生特性の良好な磁気記録
媒体を容易に製造することが可能となる。
従って、この種の磁気記録媒体の製造に通用して極めて
有利である。
有利である。
第１図乃至第３図は本発明に係る磁気記録媒体の製造方
法の一実施例を工程順に説明 するための要部断面図である。 第１図乃至第３図において、 ■は無機硬質基板、２はα−Ｆｅ２０３連続薄膜、３は
Ｆｅ３０４薄膜、４は１−Ｆｅ２０３磁性Ｗｉ膜をそれ
ぞれ示す。 別 表 第１図 第２図 第３図
法の一実施例を工程順に説明 するための要部断面図である。 第１図乃至第３図において、 ■は無機硬質基板、２はα−Ｆｅ２０３連続薄膜、３は
Ｆｅ３０４薄膜、４は１−Ｆｅ２０３磁性Ｗｉ膜をそれ
ぞれ示す。 別 表 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- ０．１〜０．５×１０＾−＾２Ｔｏｒｒの範囲の酸素分
圧を有するスパッタリング雰囲気中で、ビッカス硬度が
少なくとも５００以上の無機硬質基板上に、Ｆｅを主成
分とするターゲットを用いたスパッタリング手段により
、Ｆｅ酸化膜を形成し、該Ｆｅ酸化膜を酸化・還元処理
してＦｅ磁性薄膜を形成するようにしたことを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3305185A JPS61192034A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3305185A JPS61192034A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61192034A true JPS61192034A (ja) | 1986-08-26 |
Family
ID=12375966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3305185A Pending JPS61192034A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61192034A (ja) |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP3305185A patent/JPS61192034A/ja active Pending
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