JPS61191932A - 光フアイバ圧力センサ - Google Patents
光フアイバ圧力センサInfo
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- JPS61191932A JPS61191932A JP3026985A JP3026985A JPS61191932A JP S61191932 A JPS61191932 A JP S61191932A JP 3026985 A JP3026985 A JP 3026985A JP 3026985 A JP3026985 A JP 3026985A JP S61191932 A JPS61191932 A JP S61191932A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- optical fiber
- pressure
- pressure sensor
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L11/00—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00
- G01L11/02—Measuring steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by means not provided for in group G01L7/00 or G01L9/00 by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は光ファイバを用いた反射型の圧力センサに係
り、特に反射面を有し圧力を受けて撓むダイアフラムを
有底筒体状とした光ファイバ圧力センサに関する。
り、特に反射面を有し圧力を受けて撓むダイアフラムを
有底筒体状とした光ファイバ圧力センサに関する。
［従来の技術］
第５図、第６図に従来の光ファイバを用いた圧力センサ
を示す。この構造の圧力センサは細径に作り易いため、
カテーテル先端型血圧計などの用途として研究開発され
ている。第５図の圧力センサは、多モード動作の送光フ
ァイバ１と受光ファイバ２とをそれぞれ多数本用いたも
ので、これら送・受光ファイバ１．２を束ねたものの圧
力検出端部がスリーブ３に収められている。スリーブ３
の外周には、送・受光ファイバ１．２の圧力検出端に対
向して設けられる円盤状のダイアフラム４を支持するた
めの内筒５ど外筒６が嵌挿されている。ダイアフラム４
の周縁部は内筒５の先端と外筒６先端の内フランジ部と
の間に挾持された状態で接着剤により接着固定されるか
、或いは溶接止めされている。また、第６図の圧力セン
サは、送光ファイバ１と受光ファイバ２とを各１本ずつ
用いたもので、送・受光ファイバ１．２はフェルール７
により保持されでおり、フェルール７の外周には第５図
と同一構成にて内筒５．外筒６が設けられると共にこれ
らによりダイアフラム４が固定支持されている。
を示す。この構造の圧力センサは細径に作り易いため、
カテーテル先端型血圧計などの用途として研究開発され
ている。第５図の圧力センサは、多モード動作の送光フ
ァイバ１と受光ファイバ２とをそれぞれ多数本用いたも
ので、これら送・受光ファイバ１．２を束ねたものの圧
力検出端部がスリーブ３に収められている。スリーブ３
の外周には、送・受光ファイバ１．２の圧力検出端に対
向して設けられる円盤状のダイアフラム４を支持するた
めの内筒５ど外筒６が嵌挿されている。ダイアフラム４
の周縁部は内筒５の先端と外筒６先端の内フランジ部と
の間に挾持された状態で接着剤により接着固定されるか
、或いは溶接止めされている。また、第６図の圧力セン
サは、送光ファイバ１と受光ファイバ２とを各１本ずつ
用いたもので、送・受光ファイバ１．２はフェルール７
により保持されでおり、フェルール７の外周には第５図
と同一構成にて内筒５．外筒６が設けられると共にこれ
らによりダイアフラム４が固定支持されている。
上記圧力センサの動作原理を第７図により説明すると、
送光ファイバ１からの出射光はファイバ間口数によって
定まる拡がり角θＣで拡がり、ダイアフラム４の送・受
光ファイバ１，２に対向する反射面で反射されて受光フ
ァイバ２に入射する。
送光ファイバ１からの出射光はファイバ間口数によって
定まる拡がり角θＣで拡がり、ダイアフラム４の送・受
光ファイバ１，２に対向する反射面で反射されて受光フ
ァイバ２に入射する。
受光ファイバ２への入射光量は、図示のように、ダイア
フラム４による受光ファイバ２の像８に対して送光ファ
イバ１からの直進光が入射する最として考えることがで
きる。圧力Ｐが加わってダイアフラム４が撓むと、ファ
イバ端面からダイアフラム４までの距！！！ｉｇが変化
するので、像８の位置（ファイバ端面からの距離２Ｑ）
も変化する。その結果、＠８への入射光量が変化し、し
たがって受光ファイバ２への入射光量が変化する。この
受光ファイバ２の入射光量の変化から、逆に圧力Ｐがわ
かる。この動作原理は、送光ファイバ１．受光ファイバ
２がそれぞれ多数本の第５図の圧力センナでも同様であ
る。なお、ダイアフラム４を撓み易くするために、第８
図に示すように、ダイアフラム４の周縁部にエツチング
により環状の溝９を形成したものもある。
フラム４による受光ファイバ２の像８に対して送光ファ
イバ１からの直進光が入射する最として考えることがで
きる。圧力Ｐが加わってダイアフラム４が撓むと、ファ
イバ端面からダイアフラム４までの距！！！ｉｇが変化
するので、像８の位置（ファイバ端面からの距離２Ｑ）
も変化する。その結果、＠８への入射光量が変化し、し
たがって受光ファイバ２への入射光量が変化する。この
受光ファイバ２の入射光量の変化から、逆に圧力Ｐがわ
かる。この動作原理は、送光ファイバ１．受光ファイバ
２がそれぞれ多数本の第５図の圧力センナでも同様であ
る。なお、ダイアフラム４を撓み易くするために、第８
図に示すように、ダイアフラム４の周縁部にエツチング
により環状の溝９を形成したものもある。
［発明が解決しようとする問題点］
円盤状のダイアフラム４は、普通、内筒５と外筒６との
間に接着剤により固定されるが、接着剤は一般に有機物
であるため、温度や湿度により伸縮し圧力センサの不安
定性の要因となる。即ち、温度・湿度の変化によってフ
ァイバ端面とダイアフラム４との間の距ｌ！１ｌｉ９が
変化し、これが見かけの圧力変化となり、測定誤差とな
る。
間に接着剤により固定されるが、接着剤は一般に有機物
であるため、温度や湿度により伸縮し圧力センサの不安
定性の要因となる。即ち、温度・湿度の変化によってフ
ァイバ端面とダイアフラム４との間の距ｌ！１ｌｉ９が
変化し、これが見かけの圧力変化となり、測定誤差とな
る。
これに対し、ダイアフラム４を溶接により固定する方法
では温度・湿度の変化に対して安定である。溶接法とし
ては、圧接、超音波振動溶接、し−ザビーム溶接、リン
グウェルド（通電発熱による溶接）などが考えられる。
では温度・湿度の変化に対して安定である。溶接法とし
ては、圧接、超音波振動溶接、し−ザビーム溶接、リン
グウェルド（通電発熱による溶接）などが考えられる。
ところが、圧接ではダイアフラム４が薄肉（十数ミクロ
ン−数十ミクロン）であるため押圧によりダイアフラム
４が破断し易く適用が困難である。また、超音波振動溶
接では被溶接面相互を超音波振動ですり合わせるため、
精密位置合せが困難である。レーザビーム溶接、リング
ウェルドでは以上の問題はなく、特にレーザビーム溶接
は有望な加工法であるが、溶接部分が発熱する。この熱
によりダイアフラム４に歪みが発生するが、円盤状のダ
イアフラム４の周縁部の溶接部分と中心部の感圧部分と
が極めて接近しているので、ダイアフラム４の溶接部分
の歪みによってダイアフラム４の撓み一圧力特性にヒス
テリシスその他の不安定性が生じてしまう。
ン−数十ミクロン）であるため押圧によりダイアフラム
４が破断し易く適用が困難である。また、超音波振動溶
接では被溶接面相互を超音波振動ですり合わせるため、
精密位置合せが困難である。レーザビーム溶接、リング
ウェルドでは以上の問題はなく、特にレーザビーム溶接
は有望な加工法であるが、溶接部分が発熱する。この熱
によりダイアフラム４に歪みが発生するが、円盤状のダ
イアフラム４の周縁部の溶接部分と中心部の感圧部分と
が極めて接近しているので、ダイアフラム４の溶接部分
の歪みによってダイアフラム４の撓み一圧力特性にヒス
テリシスその他の不安定性が生じてしまう。
［発明の目的］
この発明は以上の従来技術の問題点を解消すべく創案さ
れたちのであり、この発明の目的は、温度・湿度に対し
て安定であると共にダイアフラムの熱歪みによるヒスプ
リシスや感泣低下がない＾安定・高感度の光ファイバ圧
力センサを提供することにある。
れたちのであり、この発明の目的は、温度・湿度に対し
て安定であると共にダイアフラムの熱歪みによるヒスプ
リシスや感泣低下がない＾安定・高感度の光ファイバ圧
力センサを提供することにある。
［発明の概要］
上記の目的を達成するために、この発明は、送光用およ
び受光用の光ファイバの圧力検出端部を包囲して設けら
れた筒状体と、筒状体の先端に冠看されるように有底筒
体状に形成されその内底部に上記光ファイバの圧力検出
端部に対向させて反射面を有するダイアフラムとを備え
てなるものである。
び受光用の光ファイバの圧力検出端部を包囲して設けら
れた筒状体と、筒状体の先端に冠看されるように有底筒
体状に形成されその内底部に上記光ファイバの圧力検出
端部に対向させて反射面を有するダイアフラムとを備え
てなるものである。
［実施例］
以下に、この発明の実施例を添付図面に従って詳述する
。
。
第１図において、１，２は多モード動作の送光ファイバ
、受光ファイバであり、送光ファイバ１と受光ファイバ
２の圧力検出端部はフェルール７により保持されている
。送光ファイバ１の他端側には光源が、また受光ファイ
バ２の他端側には光／電気変換器、電圧計などが設置さ
れている（図示省略）。フェルール７の外周には、筒状
体としての内筒５が嵌挿されている。内［５はフェルー
ル７先端よりわずかに突出されており、内筒５の先端に
はその先端間口を被って有底筒体状ないしキャップ状の
ダイアフラム１０が冠着されている。
、受光ファイバであり、送光ファイバ１と受光ファイバ
２の圧力検出端部はフェルール７により保持されている
。送光ファイバ１の他端側には光源が、また受光ファイ
バ２の他端側には光／電気変換器、電圧計などが設置さ
れている（図示省略）。フェルール７の外周には、筒状
体としての内筒５が嵌挿されている。内［５はフェルー
ル７先端よりわずかに突出されており、内筒５の先端に
はその先端間口を被って有底筒体状ないしキャップ状の
ダイアフラム１０が冠着されている。
ダイアフラム１０は送・受光ファイバ１．２に適宜離間
して対向する底部１０ａと、内筒５の外周に被せられる
筒部１０ｂとからなる。送・受光ファイバ１．２に対向
する底部１０ａの内面、特に中心感圧部は反射面となっ
ている。また、筒部１０ｂの長さｈのうち、その裾部分
Ｗにおいて筒部１０ｂと内筒５とは溶接により、或いは
接着剤により固定されている。また、内筒５とフェルー
ル７との固定は溶接、接着剤などによって行なう。
して対向する底部１０ａと、内筒５の外周に被せられる
筒部１０ｂとからなる。送・受光ファイバ１．２に対向
する底部１０ａの内面、特に中心感圧部は反射面となっ
ている。また、筒部１０ｂの長さｈのうち、その裾部分
Ｗにおいて筒部１０ｂと内筒５とは溶接により、或いは
接着剤により固定されている。また、内筒５とフェルー
ル７との固定は溶接、接着剤などによって行なう。
なお、第３図に示すように、その先端に内フランジを有
する外筒６でダイアフラム１０の外側を被うようにして
もよい。このようにすると、ダイアフラム１０に直接他
の物体が当たることを避けることができると共に、ダイ
アフラム１０が何らかの原因で内筒５から剥離したとし
てもダイアフラム１０の脱落を防止することができる。
する外筒６でダイアフラム１０の外側を被うようにして
もよい。このようにすると、ダイアフラム１０に直接他
の物体が当たることを避けることができると共に、ダイ
アフラム１０が何らかの原因で内筒５から剥離したとし
てもダイアフラム１０の脱落を防止することができる。
外筒６の裾部分Ｕにおいて外筒６と内筒５とは溶接や接
着剤により互いに固定される。
着剤により互いに固定される。
上記のようにダイアフラム１０が有底筒体状をなしその
筒部１０ｂ、特に裾部分Ｗにおいて溶接等により固定さ
れるので、圧力Ｐにより撓む底部１０ａと筒部１０ｂの
溶接部分とがｈ−ｗだけ離れる。このため、溶接時の熱
が底部１０ａに伝わりにくくなり、底部１０ａの熱によ
る歪みを防止することができる。また、溶接幅Ｗを充分
にとることができるので、ダイアフラム１０を内筒５に
強固に固定でき、温度変化等によりダイアフラム１０と
内筒５との位置関係が変化するようなこともない。また
、ダイアフラム１０と内筒５とを接着剤で固定する場合
にも、従来の円盤状のダイアフラムを用いた圧力センサ
に比し、接着面積を大きくできるので接着強度が高く、
ダイアフラム１０の温度や湿度に対する安定性も高い。
筒部１０ｂ、特に裾部分Ｗにおいて溶接等により固定さ
れるので、圧力Ｐにより撓む底部１０ａと筒部１０ｂの
溶接部分とがｈ−ｗだけ離れる。このため、溶接時の熱
が底部１０ａに伝わりにくくなり、底部１０ａの熱によ
る歪みを防止することができる。また、溶接幅Ｗを充分
にとることができるので、ダイアフラム１０を内筒５に
強固に固定でき、温度変化等によりダイアフラム１０と
内筒５との位置関係が変化するようなこともない。また
、ダイアフラム１０と内筒５とを接着剤で固定する場合
にも、従来の円盤状のダイアフラムを用いた圧力センサ
に比し、接着面積を大きくできるので接着強度が高く、
ダイアフラム１０の温度や湿度に対する安定性も高い。
第２図には有底筒体状のダイアフラム１０の製造方法の
一例を示す。底部に窪み１２を有する円柱状の型１１は
金属またはプラスチック製であり、切削加工・射出成形
・ダイカスト等により製造する。型ホルダ１３により型
１１を支持してメッキ槽または蒸着装置内に入れる。そ
して、無電界または電界メッキ、真空蒸着、イオンビー
ムスパッタ等の方法により、型１１の表面にダイアフラ
ム１０を形成する。ダイアフラム形成後、蒸着装置等か
ら型１１を取り出し、金属型の場合には化学的溶解によ
り、プラスチック型の場合には熱溶解等により、型１１
を溶かし去り、ダイアフラム１０を得る。型１１を射出
成形・ダイカスト等で製造しこれにメッキ法または蒸着
法によりダイアフラム１０を形成しているので、ダイア
フラム１０の形状・寸法のばらつきを解消できる。型１
１の窪み１２は、型１１の溶解を容易にするためのもの
である。
一例を示す。底部に窪み１２を有する円柱状の型１１は
金属またはプラスチック製であり、切削加工・射出成形
・ダイカスト等により製造する。型ホルダ１３により型
１１を支持してメッキ槽または蒸着装置内に入れる。そ
して、無電界または電界メッキ、真空蒸着、イオンビー
ムスパッタ等の方法により、型１１の表面にダイアフラ
ム１０を形成する。ダイアフラム形成後、蒸着装置等か
ら型１１を取り出し、金属型の場合には化学的溶解によ
り、プラスチック型の場合には熱溶解等により、型１１
を溶かし去り、ダイアフラム１０を得る。型１１を射出
成形・ダイカスト等で製造しこれにメッキ法または蒸着
法によりダイアフラム１０を形成しているので、ダイア
フラム１０の形状・寸法のばらつきを解消できる。型１
１の窪み１２は、型１１の溶解を容易にするためのもの
である。
また、ダイアフラム１０の底部１０ａを、第４図に示す
ように、その中央の感圧部分を平面とすると共に周縁部
に環状の波状のベロー部１４を形成するようにしてもよ
い。このようにすると、中央の感圧部はその温度・湿度
等による圧力誤差を増すことな〈従来のまま安定に維持
できると共に周縁部の撓みをベロー部１４により大きく
することができ、ダイアフラム１０の圧力感度を向上す
ることができる。このベロー部１４を有するダイアフラ
ム１０は、上記の型１１を用いたメッキ・、４Ｗ等の方
法によれば、型１１の形状に従ってダイアフラム１０が
形成されるので比較的容易に製造できる。また、型１１
を成型・ダイカスト等の方法で製造すれば、ダイアフラ
ム１０の寸法・形状の再現性は十分に確保できる。
ように、その中央の感圧部分を平面とすると共に周縁部
に環状の波状のベロー部１４を形成するようにしてもよ
い。このようにすると、中央の感圧部はその温度・湿度
等による圧力誤差を増すことな〈従来のまま安定に維持
できると共に周縁部の撓みをベロー部１４により大きく
することができ、ダイアフラム１０の圧力感度を向上す
ることができる。このベロー部１４を有するダイアフラ
ム１０は、上記の型１１を用いたメッキ・、４Ｗ等の方
法によれば、型１１の形状に従ってダイアフラム１０が
形成されるので比較的容易に製造できる。また、型１１
を成型・ダイカスト等の方法で製造すれば、ダイアフラ
ム１０の寸法・形状の再現性は十分に確保できる。
なお、上記実施例では送光ファイバ１と受光ファイバ２
とを各１本ずつ用いた例を示したが、第５図に示すよう
な送光ファイバ１と受光ファイバ２とをそれぞれ多数本
用いたちのにも適用できるのは勿論である。また、本発
明の圧力センサの動作原理は第７図で説明したと同様の
ものである。
とを各１本ずつ用いた例を示したが、第５図に示すよう
な送光ファイバ１と受光ファイバ２とをそれぞれ多数本
用いたちのにも適用できるのは勿論である。また、本発
明の圧力センサの動作原理は第７図で説明したと同様の
ものである。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、この発明によれば次の
ようイ１優れた効果を発揮する。
ようイ１優れた効果を発揮する。
（１） 有底筒体状のダイアフラムを光ファイバの圧
力検出端部を包囲する筒状体に冠着するようにしたので
、ダイアフラムの筒部と筒状体を溶接固定する場合に、
溶接時の熱がダイアフラムの底部に伝達されにくく底部
の熱による歪みを防止でき、歪みによるヒステリシスや
感度低下を防止できる。またダイアフラムの筒部と筒状
体とを接着剤で固定する場合にも、従来に比較して接着
面積を大ぎく採ることができ、接着強度が高く温度・湿
度に対して安定である。
力検出端部を包囲する筒状体に冠着するようにしたので
、ダイアフラムの筒部と筒状体を溶接固定する場合に、
溶接時の熱がダイアフラムの底部に伝達されにくく底部
の熱による歪みを防止でき、歪みによるヒステリシスや
感度低下を防止できる。またダイアフラムの筒部と筒状
体とを接着剤で固定する場合にも、従来に比較して接着
面積を大ぎく採ることができ、接着強度が高く温度・湿
度に対して安定である。
（υ ダイアフラムの底部の周縁部に環状のベロー部を
形成すれば、中央の感圧部分の温度変化等による安定性
を維持しつつダイアフラムの撓み性を増大でき、センサ
の圧力感度を更に向上することができる。
形成すれば、中央の感圧部分の温度変化等による安定性
を維持しつつダイアフラムの撓み性を増大でき、センサ
の圧力感度を更に向上することができる。
（３） 有底筒体状のダイアフラムは、これを射出成
形・ダイカスト等で製造した型にメッキ・蒸着等の方法
で形成した後、型を化学溶解または熱溶解で除去するこ
とにより容易にしかも形状・寸法のばらつきがなく再現
性よく四産できる。
形・ダイカスト等で製造した型にメッキ・蒸着等の方法
で形成した後、型を化学溶解または熱溶解で除去するこ
とにより容易にしかも形状・寸法のばらつきがなく再現
性よく四産できる。
第１図は本発明に係る圧力センサの一実施例を示す縦断
面図、第２図は同圧力センサのダイアフラムの製造方法
の一例を示す側断面図、第３図は本発明の圧力センサの
他の実施例を示す縦断面図、第４図は本発明に用いられ
るダイアフラムの他の実施例を示す側断面図、第５図。 第６図は従来の光ファイバを用いた圧力センサの縦断面
図、第７図は光ファイバを用いた反射型圧力センサの動
作原理を説明する説明図、第８図は従来のダイアフラム
の他の例を示す側断面図である。 図中、１は送光ファイバ、２は受光ファイバ、３はスリ
ーブ、４はダイアフラム、５は内筒、６は外筒、７はフ
ェルール、８はダイアフラムによる受光ファイバの像、
９は溝、１０はダイアフラム、１０ａは底部、１０ｂは
筒部、１１は型、１２は窪み、１３は型ホルダ、１４は
べ〇一部、Ｐは圧力である。 第２図 第６図 第７図 第８図
面図、第２図は同圧力センサのダイアフラムの製造方法
の一例を示す側断面図、第３図は本発明の圧力センサの
他の実施例を示す縦断面図、第４図は本発明に用いられ
るダイアフラムの他の実施例を示す側断面図、第５図。 第６図は従来の光ファイバを用いた圧力センサの縦断面
図、第７図は光ファイバを用いた反射型圧力センサの動
作原理を説明する説明図、第８図は従来のダイアフラム
の他の例を示す側断面図である。 図中、１は送光ファイバ、２は受光ファイバ、３はスリ
ーブ、４はダイアフラム、５は内筒、６は外筒、７はフ
ェルール、８はダイアフラムによる受光ファイバの像、
９は溝、１０はダイアフラム、１０ａは底部、１０ｂは
筒部、１１は型、１２は窪み、１３は型ホルダ、１４は
べ〇一部、Ｐは圧力である。 第２図 第６図 第７図 第８図
Claims (3)
- （１）送光用および受光用の光ファイバの圧力検出端部
を包囲して設けられた筒状体と、筒状体の先端に冠着さ
れるように有底筒体状に形成されその内底部に上記光フ
ァイバの圧力検出端部に対向させて反射面を有するダイ
アフラムとを備えたことを特徴とする光ファイバ圧力セ
ンサ。 - （２）上記ダイアフラムの上記筒状体に止着される筒部
が筒状体に溶接により固定されていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の光ファイバ圧力センサ。 - （３）上記ダイアフラムの底部がその周縁部に環状のベ
ロー部を有していることを特徴とする特許請求の範囲第
１項または第２項記載の光ファイバ圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3026985A JPS61191932A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 光フアイバ圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3026985A JPS61191932A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 光フアイバ圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61191932A true JPS61191932A (ja) | 1986-08-26 |
Family
ID=12298980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3026985A Pending JPS61191932A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 光フアイバ圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61191932A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63226318A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | 東芝テック株式会社 | 電動調理器 |
| WO2001075411A1 (fr) * | 2000-04-04 | 2001-10-11 | Showa Denko K.K. | Film de detection et capteur optique utilisant ce film de detection |
| JP2010511146A (ja) * | 2006-11-27 | 2010-04-08 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 少なくとも２つの光ファイバを有する光圧力センサ |
| JP2010233883A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Nippon Zeon Co Ltd | カテーテル |
| WO2011008559A1 (en) * | 2009-06-29 | 2011-01-20 | University Of Massachusetts Lowell | Optical fiber pressure sensor with uniform diaphragm and method of fabricating same |
| US9587976B2 (en) | 2011-02-17 | 2017-03-07 | University Of Massachusetts | Photoacoustic probe |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP3026985A patent/JPS61191932A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63226318A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | 東芝テック株式会社 | 電動調理器 |
| JPH0574367B2 (ja) * | 1987-03-16 | 1993-10-18 | Tokyo Electric Co Ltd | |
| WO2001075411A1 (fr) * | 2000-04-04 | 2001-10-11 | Showa Denko K.K. | Film de detection et capteur optique utilisant ce film de detection |
| JP2010511146A (ja) * | 2006-11-27 | 2010-04-08 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | 少なくとも２つの光ファイバを有する光圧力センサ |
| JP2010233883A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Nippon Zeon Co Ltd | カテーテル |
| WO2011008559A1 (en) * | 2009-06-29 | 2011-01-20 | University Of Massachusetts Lowell | Optical fiber pressure sensor with uniform diaphragm and method of fabricating same |
| US9528893B2 (en) | 2009-06-29 | 2016-12-27 | University Of Massachusetts | Optical fiber pressure sensor with uniform diaphragm and method of fabricating same |
| US10281348B2 (en) | 2009-06-29 | 2019-05-07 | Univeresity of Massachusetts | Optical fiber pressure sensor with uniform diaphragm and method of fabricating same |
| US9587976B2 (en) | 2011-02-17 | 2017-03-07 | University Of Massachusetts | Photoacoustic probe |
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