JPS61191912A - 偏心量測定方法及び装置 - Google Patents
偏心量測定方法及び装置Info
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- JPS61191912A JPS61191912A JP3223085A JP3223085A JPS61191912A JP S61191912 A JPS61191912 A JP S61191912A JP 3223085 A JP3223085 A JP 3223085A JP 3223085 A JP3223085 A JP 3223085A JP S61191912 A JPS61191912 A JP S61191912A
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- Japan
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- eccentricity
- central axis
- center axis
- ferrule
- circular section
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
厳1」−先殻月IL
本発明は、断面円形部分を有する物体の該部分の中心軸
よりの該物体における端面円形部の中心軸の偏心lを測
定する方法及び装置に関するものである。
よりの該物体における端面円形部の中心軸の偏心lを測
定する方法及び装置に関するものである。
来の 術及び間 。
例えば、外形が円筒形であり、端面に円形孔を有する加
工物に於いては、該円筒の中心軸よりの該円形孔の中心
軸の距離即ち孔の偏心量の加工誤差許容値が極めて小さ
いものがある。例えば光ファイバの接続に用いられるフ
ェルール等である。
工物に於いては、該円筒の中心軸よりの該円形孔の中心
軸の距離即ち孔の偏心量の加工誤差許容値が極めて小さ
いものがある。例えば光ファイバの接続に用いられるフ
ェルール等である。
第4a図にその様なフェルールの断面図を、第4C図に
フェルールをファイバに装着した状態の断面図を示す。
フェルールをファイバに装着した状態の断面図を示す。
接続すべき一方の光ファイバのジャケット(Fl)及び
ファイバ素線(F5)(クラッド(F2)及びコア(F
3))がフェルール(1)の孔(1D)内に挿入され、
続いてファイバ素線のみが円形孔(1B)内に挿入され
、端面(1C)で切断される。他方の光ファイバについ
ても同様にされ、2個のフェルールを端面(1C)で突
き合せ、適当手段によって両方の円筒面(1A)を固定
して、2本の光ファイバは接続される。
ファイバ素線(F5)(クラッド(F2)及びコア(F
3))がフェルール(1)の孔(1D)内に挿入され、
続いてファイバ素線のみが円形孔(1B)内に挿入され
、端面(1C)で切断される。他方の光ファイバについ
ても同様にされ、2個のフェルールを端面(1C)で突
き合せ、適当手段によって両方の円筒面(1A)を固定
して、2本の光ファイバは接続される。
しかしながら、接続されたコア(F3)の端面(F4)
が互いに僅かの距離でもずれていると、光信号の接続損
失が大きくなる(例えば、コア径10μmのファイバで
は、1μmのずれによって約0.8dbの接続損失が生
ずる)。 従って、第4b図に示す孔(1B)の径、並
びに円筒面(1A)の中心軸(01)と孔(1B)の中
心軸(02)とのずれ(偏心I!1(δ))(第4a図
では両者は一致している。)の工作精度は極めて高度の
ものが要求される。例えば上記のフェルールでは、円筒
外径:2.499−1±0.00111、孔径: 0.
125mm4:0.0011、孔(7)許容偏心量±O
,OO1+mという規格で加工されなければならない。
が互いに僅かの距離でもずれていると、光信号の接続損
失が大きくなる(例えば、コア径10μmのファイバで
は、1μmのずれによって約0.8dbの接続損失が生
ずる)。 従って、第4b図に示す孔(1B)の径、並
びに円筒面(1A)の中心軸(01)と孔(1B)の中
心軸(02)とのずれ(偏心I!1(δ))(第4a図
では両者は一致している。)の工作精度は極めて高度の
ものが要求される。例えば上記のフェルールでは、円筒
外径:2.499−1±0.00111、孔径: 0.
125mm4:0.0011、孔(7)許容偏心量±O
,OO1+mという規格で加工されなければならない。
従って、フェルールは加工後の検査によって孔径及び偏
心量を測定して加工不良品を除く必要がある。尚、説明
上、第4b図の偏心量(δ)は実際のものより他の寸法
に比して大きく描いて誇張している。この説明上の誇張
は他の図面でも必要に応じて行なわれている。
心量を測定して加工不良品を除く必要がある。尚、説明
上、第4b図の偏心量(δ)は実際のものより他の寸法
に比して大きく描いて誇張している。この説明上の誇張
は他の図面でも必要に応じて行なわれている。
また、光ファイバそのものにおいても、ファイバ素線中
のコアが偏心している場合もあるので、フェルールをフ
ァイバに装着した状態、換言すれば、第4C図に示すよ
うにファイバ素線(F5)をフェル−ルの孔〈1B)に
挿入した状態でのフェルールの円筒面(1A)の中心軸
(01)とコア(F3)の端面(F4)の中心軸(03
)との関係に関しても上と同様の問題がある。それ故、
ファイバ接続前に、上述の状態においてフェルールの円
筒面の中心軸(ol)よりのコアの中心軸(o3)の偏
心量を求め許容値以下であることを確認する必要がある
。
のコアが偏心している場合もあるので、フェルールをフ
ァイバに装着した状態、換言すれば、第4C図に示すよ
うにファイバ素線(F5)をフェル−ルの孔〈1B)に
挿入した状態でのフェルールの円筒面(1A)の中心軸
(01)とコア(F3)の端面(F4)の中心軸(03
)との関係に関しても上と同様の問題がある。それ故、
ファイバ接続前に、上述の状態においてフェルールの円
筒面の中心軸(ol)よりのコアの中心軸(o3)の偏
心量を求め許容値以下であることを確認する必要がある
。
この様な孔等の偏心量の従来の測定に於いては、物体を
平盤に設けられた■字形溝内に置いて、回転5A置に設
けられた把持手段によって把持して、該物体を回転させ
、孔等の在る端面を光学顕微鏡又はテレビモニタ等で人
が観察して、孔等の動きに基づいて偏心量を測定するこ
とが行なわれている。この方法では、回転の中心軸と円
筒の中心軸とが完全に一致していることが必要である。
平盤に設けられた■字形溝内に置いて、回転5A置に設
けられた把持手段によって把持して、該物体を回転させ
、孔等の在る端面を光学顕微鏡又はテレビモニタ等で人
が観察して、孔等の動きに基づいて偏心量を測定するこ
とが行なわれている。この方法では、回転の中心軸と円
筒の中心軸とが完全に一致していることが必要である。
しかしながら、把持装置による物体の把持の仕方が物体
を把持する毎に微妙に異なるので、物体を取り替える毎
に回転の中心軸と円筒の中心軸とを一致させる作業即ち
芯合せを測定前に行なわなければならない。或いは、こ
の作業を、物体に電気マイクロメータの測定子を接触さ
せ、物体を回転させてメータよりの信号に応じて把持装
置を調節して芯合せをするようにすることも行なわれて
いる。
を把持する毎に微妙に異なるので、物体を取り替える毎
に回転の中心軸と円筒の中心軸とを一致させる作業即ち
芯合せを測定前に行なわなければならない。或いは、こ
の作業を、物体に電気マイクロメータの測定子を接触さ
せ、物体を回転させてメータよりの信号に応じて把持装
置を調節して芯合せをするようにすることも行なわれて
いる。
しかし、いずれの方法によっても、芯合せの作業には熟
練した技術と比較的長時間を要し、更に芯合せ後の偏心
Im定自体も孔等の端面の位置を顕微鏡又はテレビモニ
タで観察し、画面に設けられた目盛を利用して端面の位
置の変化を測定するので熟練さと長時間を要するもので
ある。従って、測定全体に要する時間は、例示のフェル
ールの場合、1個当り約1〜5分間を要するものであり
、従来の方法は大量加工される製品の検査には適合しな
いものである。孔の内面に測定子を接触させて、前述の
電気マイクロメータのように該測定子の変位量を電気信
号に変換して偏心量を測定することも行なわれているが
、例示のフェルールの如き孔径が微小な場合は、測定子
を孔内面に接触させること自体が困雌であり、前記のコ
ア端面の偏心量測定には適用不可能である。
練した技術と比較的長時間を要し、更に芯合せ後の偏心
Im定自体も孔等の端面の位置を顕微鏡又はテレビモニ
タで観察し、画面に設けられた目盛を利用して端面の位
置の変化を測定するので熟練さと長時間を要するもので
ある。従って、測定全体に要する時間は、例示のフェル
ールの場合、1個当り約1〜5分間を要するものであり
、従来の方法は大量加工される製品の検査には適合しな
いものである。孔の内面に測定子を接触させて、前述の
電気マイクロメータのように該測定子の変位量を電気信
号に変換して偏心量を測定することも行なわれているが
、例示のフェルールの如き孔径が微小な場合は、測定子
を孔内面に接触させること自体が困雌であり、前記のコ
ア端面の偏心量測定には適用不可能である。
更には、従来の方法の中には、芯合せが行なわれた後に
孔等の偏心量を求めるには、孔等の径の実測値が既知で
なければ測定することが出来ないものがあり、偏心邑測
定前に孔等の径を他の適宜手一段で求めておき、その値
と孔等の回転中心軸よりのずれとを比較しなければ偏心
量を測定することが出来ない場合もあった。
孔等の偏心量を求めるには、孔等の径の実測値が既知で
なければ測定することが出来ないものがあり、偏心邑測
定前に孔等の径を他の適宜手一段で求めておき、その値
と孔等の回転中心軸よりのずれとを比較しなければ偏心
量を測定することが出来ない場合もあった。
本発明の目的は、従来技術の前記諸欠点を解消し、断面
円形部分を有する物体の該断面円形部分の中心軸よりの
該物体における端面円形部の中心軸の偏心量を測定でき
、その測定においては回転中心軸と断面円形部分中心軸
との相対位置関係とは無関係に測定を行なうことができ
、被測定物体が変わる毎に芯合せをする必要がなく、円
形部径の大きさに拘わりなく、測定が短時間に行なわれ
る偏心m測定方法及び装置を提供することである。
円形部分を有する物体の該断面円形部分の中心軸よりの
該物体における端面円形部の中心軸の偏心量を測定でき
、その測定においては回転中心軸と断面円形部分中心軸
との相対位置関係とは無関係に測定を行なうことができ
、被測定物体が変わる毎に芯合せをする必要がなく、円
形部径の大きさに拘わりなく、測定が短時間に行なわれ
る偏心m測定方法及び装置を提供することである。
同 点を解決するための手段
本発明の上記目的は、
断面円形部分を有する物体の該断面円形部分の中心軸よ
りの該物体における円形部の中心軸の偏心量を測定する
方法にして、 該断面円形部分と測定手段との相対角度を変化させる過
程、 各相対角度における該断面円形部分中心軸の平面座標を
求める過程、 該円形部の像を形成させて各相対角度における該円形部
中心軸の平面座標を求める過程、及び前記求められた断
面円形部分中心軸の各平面座標と円形部中心軸の各平面
座標より前記偏心量を求める過程 を含むことを特徴とする前記偏心量を測定する方法、並
びに 前記偏心−を測定する装置にして、 該断面円形部分の位置又は位置及び大きざを求めるため
の手段、 該手段と該物体との相対角度を変化させる手段、各相対
角度における該断面円形部分中心軸の平面座標を求める
手段、 該円形部の像を形成させて各相対角度における該円形部
中心軸の平面座標を求める手段、及び前記求められた断
面円形部分中心軸の各平面座標と該円形部中心軸の各平
面座標より前記偏心量を求める手段 を備えたことを特徴とする前記偏心量を測定する装置に
よって達成される。
りの該物体における円形部の中心軸の偏心量を測定する
方法にして、 該断面円形部分と測定手段との相対角度を変化させる過
程、 各相対角度における該断面円形部分中心軸の平面座標を
求める過程、 該円形部の像を形成させて各相対角度における該円形部
中心軸の平面座標を求める過程、及び前記求められた断
面円形部分中心軸の各平面座標と円形部中心軸の各平面
座標より前記偏心量を求める過程 を含むことを特徴とする前記偏心量を測定する方法、並
びに 前記偏心−を測定する装置にして、 該断面円形部分の位置又は位置及び大きざを求めるため
の手段、 該手段と該物体との相対角度を変化させる手段、各相対
角度における該断面円形部分中心軸の平面座標を求める
手段、 該円形部の像を形成させて各相対角度における該円形部
中心軸の平面座標を求める手段、及び前記求められた断
面円形部分中心軸の各平面座標と該円形部中心軸の各平
面座標より前記偏心量を求める手段 を備えたことを特徴とする前記偏心量を測定する装置に
よって達成される。
第1図は、本発明装置の構成例を示すブロック図であり
、第2図は本発明方法の1例のフローチャートである。
、第2図は本発明方法の1例のフローチャートである。
本発明をより詳細に説明する。
本発明による被測定物体は、少なくとも一部に断面円形
の部分を有するものであり、測定器による測定領域外の
形状は測定に支障がないものであれば如何なる形状でも
よい。尚、本明細書においては、「円形」とは実質上円
形であることを意味するものとし、[物体における円形
部」とは、該物体に設けられた円形孔、円形凹所等の該
物体における三次元的形状部に限らず、物体面に描かれ
た円形図形等の二次元的形状並びに前記円形孔等の中に
配された他の物体の円形形状部分をも含むものである。
の部分を有するものであり、測定器による測定領域外の
形状は測定に支障がないものであれば如何なる形状でも
よい。尚、本明細書においては、「円形」とは実質上円
形であることを意味するものとし、[物体における円形
部」とは、該物体に設けられた円形孔、円形凹所等の該
物体における三次元的形状部に限らず、物体面に描かれ
た円形図形等の二次元的形状並びに前記円形孔等の中に
配された他の物体の円形形状部分をも含むものである。
物体と測定手段との相対角度を変化させるものとしては
、回転装置に該物体を取り付けて該物体を回転させるも
のであってもよいし、測定手段を回転装置に取り付けて
該物体の回りを回転させるものであってもよい。
、回転装置に該物体を取り付けて該物体を回転させるも
のであってもよいし、測定手段を回転装置に取り付けて
該物体の回りを回転させるものであってもよい。
断面円形部分中心軸の平面座標を求めるものとしては、
通常光、レーザ光、電磁波又は放射線等を物体に照射し
て、該物体によって該照射が遮蔽、吸収又は散乱される
量に基づいて得られる該断面円形部分の位置又は位置及
び大きさに関するデータ、或いは測定手段の測定部と物
体間の磁界強度又は静電容量等の電磁気量の変化に基づ
いて測定部と物体との距離に関するデータを非接触的に
得るものであり、コンピュータ等の演算処理手段により
該データを処理して各相対角度における該中心軸の平面
座標を求めるようにされているのが好ましい。照射によ
って測定するデータとしては、後述の実施例の如く断面
円形部分の定位置からの距離及び該断面円形部分の側面
^ざを測定するのが適当である。所望の測定精度、回折
効果による測定誤差及び物体の材質等を考慮して適宜の
方法を選択することが出来る。物体と測定部とが非接触
の状態でデータが得られるものとする場合は、物体表面
に傷が付かないという利点がある。前記照射線等は測定
領域を一時に照射されるように或いは測定領域を順次に
走査されるものであってもよい。測定部と物体間の距離
のデータを得るものである場合は、測定部を複数とし、
各測定部間の距離をも用いて演算処理するのが好適であ
る。
通常光、レーザ光、電磁波又は放射線等を物体に照射し
て、該物体によって該照射が遮蔽、吸収又は散乱される
量に基づいて得られる該断面円形部分の位置又は位置及
び大きさに関するデータ、或いは測定手段の測定部と物
体間の磁界強度又は静電容量等の電磁気量の変化に基づ
いて測定部と物体との距離に関するデータを非接触的に
得るものであり、コンピュータ等の演算処理手段により
該データを処理して各相対角度における該中心軸の平面
座標を求めるようにされているのが好ましい。照射によ
って測定するデータとしては、後述の実施例の如く断面
円形部分の定位置からの距離及び該断面円形部分の側面
^ざを測定するのが適当である。所望の測定精度、回折
効果による測定誤差及び物体の材質等を考慮して適宜の
方法を選択することが出来る。物体と測定部とが非接触
の状態でデータが得られるものとする場合は、物体表面
に傷が付かないという利点がある。前記照射線等は測定
領域を一時に照射されるように或いは測定領域を順次に
走査されるものであってもよい。測定部と物体間の距離
のデータを得るものである場合は、測定部を複数とし、
各測定部間の距離をも用いて演算処理するのが好適であ
る。
円形部像を形成させ、円形部中心軸平面座標を求めるも
のとしては、測定手段の測定部に該円形部と実質上等価
な或いは拡大又は縮小像が得られるものであればよく、
イメージセンサ等により多像のデータを直接的に得るも
のであってもよいし、lfi像管等により像を一旦電気
信号に変換し、その信号の配列に基づいて多像のデータ
を得るものであってもよい。得られる像が微小なもので
ある場合には、適宜の像拡大:手段を設けることが好ま
しい。多像のデータは前記の場合と同様にコンピュータ
等の演算処理手段によって処理されて、各所定角度にお
ける円形部中心軸平面座標が求められる。
のとしては、測定手段の測定部に該円形部と実質上等価
な或いは拡大又は縮小像が得られるものであればよく、
イメージセンサ等により多像のデータを直接的に得るも
のであってもよいし、lfi像管等により像を一旦電気
信号に変換し、その信号の配列に基づいて多像のデータ
を得るものであってもよい。得られる像が微小なもので
ある場合には、適宜の像拡大:手段を設けることが好ま
しい。多像のデータは前記の場合と同様にコンピュータ
等の演算処理手段によって処理されて、各所定角度にお
ける円形部中心軸平面座標が求められる。
コンピュータ等の演算処理手段によって、求められだ円
形断面中心軸と円形部中心軸の各平面座標を合成して両
中心軸間の距離が計算され、偏心量が求められる。
形断面中心軸と円形部中心軸の各平面座標を合成して両
中心軸間の距離が計算され、偏心量が求められる。
LL
以下、本発明方法の実施例を該方法を実施する装置例と
ともに添附口面を用いて説明する。本実施例の測定装置
は、光フアイバコネクター用フェルールの孔の偏心量を
測定するものである。
ともに添附口面を用いて説明する。本実施例の測定装置
は、光フアイバコネクター用フェルールの孔の偏心量を
測定するものである。
第3図は本実施例¥1RIiの全体を示す概略説明図で
ある。第3図の下部は測定装置の側面を示し、上部はそ
の平面図を示している。本実施例に於いては、各部はイ
ンターフェイスボックス(18)を介してコンピュータ
(10)に接続されており、後述の様にコンピュータ(
10)により各部が制御され、測定データは該コンピュ
ータに送られて処理される。コンピュータ(10)には
測定装置の各部を制御するプログラム及び偏心量を計算
するプログラムが記憶されている。
ある。第3図の下部は測定装置の側面を示し、上部はそ
の平面図を示している。本実施例に於いては、各部はイ
ンターフェイスボックス(18)を介してコンピュータ
(10)に接続されており、後述の様にコンピュータ(
10)により各部が制御され、測定データは該コンピュ
ータに送られて処理される。コンピュータ(10)には
測定装置の各部を制御するプログラム及び偏心量を計算
するプログラムが記憶されている。
フェルール(1)は、エアスピンドル(2)のチャック
(2a)とその押え(2b)によって図の様に即ちエア
スピンドルの回転中心軸(0)とフェルールの円筒中心
軸(OI)とが実質的に平行になる様に把持される(第
5a図及び第5b図参照)。ここで重要なことは、両中
心軸の位I!関係とは無関係に測定は行なわれ得るとい
うことである。換言すれば、両中心軸は完全に一致して
いる必要はなく、偏心131定前に芯合せをする必要が
ないのである。何らかの原因によって、平行でないII
l定が行なわれても、本実施例によれば後述の様に被測
定物体の円径のばらつきの測定も行ない得るので円径不
良としてチェックされる。測定装置の本体はベース(1
6)上に固設されている。エアスピンドル(2)及びパ
ルスモータ(3)はXYZステージ(17)上に設けら
れており、被測定物体(本実施例ではフェルール)の寸
法が大巾に変るような場合には、ステージ(17)によ
り位Im節される。フートスイッチ(15)は、操作員
によってフェルールのチャックへの装着が確認された後
、測定開始の信号をコンピュタ(10)に入力するため
のものである。フェルールの装着が自動的に行なわれる
場合は、スイッチ(15)に代えて適宜の装着確認手段
が設けられる。
(2a)とその押え(2b)によって図の様に即ちエア
スピンドルの回転中心軸(0)とフェルールの円筒中心
軸(OI)とが実質的に平行になる様に把持される(第
5a図及び第5b図参照)。ここで重要なことは、両中
心軸の位I!関係とは無関係に測定は行なわれ得るとい
うことである。換言すれば、両中心軸は完全に一致して
いる必要はなく、偏心131定前に芯合せをする必要が
ないのである。何らかの原因によって、平行でないII
l定が行なわれても、本実施例によれば後述の様に被測
定物体の円径のばらつきの測定も行ない得るので円径不
良としてチェックされる。測定装置の本体はベース(1
6)上に固設されている。エアスピンドル(2)及びパ
ルスモータ(3)はXYZステージ(17)上に設けら
れており、被測定物体(本実施例ではフェルール)の寸
法が大巾に変るような場合には、ステージ(17)によ
り位Im節される。フートスイッチ(15)は、操作員
によってフェルールのチャックへの装着が確認された後
、測定開始の信号をコンピュタ(10)に入力するため
のものである。フェルールの装着が自動的に行なわれる
場合は、スイッチ(15)に代えて適宜の装着確認手段
が設けられる。
第5a図は本実施例の概略構成図である。以下の説明の
便宜のために、第5a図に示す様にエアスピンドル(2
)の回転中心軸(01)の方向をX軸方向、回転中心軸
に直角で水平方向をY軸方向、垂直方向をZ軸方向とす
る。
便宜のために、第5a図に示す様にエアスピンドル(2
)の回転中心軸(01)の方向をX軸方向、回転中心軸
に直角で水平方向をY軸方向、垂直方向をZ軸方向とす
る。
エアスピンドル(2)、はエアークリンユニット(5)
より供給されるクリーンエアによって支承されており、
フェルール(1)を把持したチャック(2a)をパルス
モータ(3)によって図中の矢印(REV)の方向に高
精度に回転させるものである。空気圧が低下すると圧力
センサ(6)によって検知され、測定装置の運転が停止
される。
より供給されるクリーンエアによって支承されており、
フェルール(1)を把持したチャック(2a)をパルス
モータ(3)によって図中の矢印(REV)の方向に高
精度に回転させるものである。空気圧が低下すると圧力
センサ(6)によって検知され、測定装置の運転が停止
される。
エアスピンドルの回転中心軸(01)の回りには後述の
孔位置測定において光を通す為にX軸方向の貫通孔が形
成されている。フェルールの両側には測定精度が0.1
〜1μmである公知のレーザ測定器(7)の投光側(7
a)及び受光側(7b)が回転中心軸と直角(Y軸方向
)にそれぞれ配されており、レーザ光測定領域中にフェ
ルールの円筒面(1A)が入るようにされている(第5
C図参照)。フェルールの下方にはレーザ光(7C)を
遮断できるレーザマスク板(7d)を設ける。
孔位置測定において光を通す為にX軸方向の貫通孔が形
成されている。フェルールの両側には測定精度が0.1
〜1μmである公知のレーザ測定器(7)の投光側(7
a)及び受光側(7b)が回転中心軸と直角(Y軸方向
)にそれぞれ配されており、レーザ光測定領域中にフェ
ルールの円筒面(1A)が入るようにされている(第5
C図参照)。フェルールの下方にはレーザ光(7C)を
遮断できるレーザマスク板(7d)を設ける。
この状態において、フェルールを回転させると、円筒中
心軸(01)と孔中心軸(02)は第6図のような軌跡
を描く。このとき、コンピュータ(10)によりパルス
モータ(3)を制御して1回転を4分割する、即ち、フ
ェルールを任意の位置より90°ずつ回転させるように
する。フェルールが90’回転した状態において、測定
器の受光側(7b)に到達するレーザ光の山と円筒(1
A)により遮断されたレーザ光の量との関係から円筒の
直径(DI )を測定する(第5d図参照)。
心軸(01)と孔中心軸(02)は第6図のような軌跡
を描く。このとき、コンピュータ(10)によりパルス
モータ(3)を制御して1回転を4分割する、即ち、フ
ェルールを任意の位置より90°ずつ回転させるように
する。フェルールが90’回転した状態において、測定
器の受光側(7b)に到達するレーザ光の山と円筒(1
A)により遮断されたレーザ光の量との関係から円筒の
直径(DI )を測定する(第5d図参照)。
その後測定モードを切り換えて、レーザ光が該円筒とレ
ーザマスク板(7d)とによって遮断される距離即ち円
筒と板との垂直方向(Z軸方向)の距離(G1)を測定
する(第5e図参照)。同様にして、180°、270
’ 、及び3600の各回転角度に於いて同様の測定を
行ない直径(D2〜D、)及び距離(G 2〜G、)を
測定する。それらの関係を第7図に示す。得られた測定
データは、レーザ表示器(19)に表示され、BCDに
変換され、コンピュータ(10)に送られて次の処理が
行なわれる。
ーザマスク板(7d)とによって遮断される距離即ち円
筒と板との垂直方向(Z軸方向)の距離(G1)を測定
する(第5e図参照)。同様にして、180°、270
’ 、及び3600の各回転角度に於いて同様の測定を
行ない直径(D2〜D、)及び距離(G 2〜G、)を
測定する。それらの関係を第7図に示す。得られた測定
データは、レーザ表示器(19)に表示され、BCDに
変換され、コンピュータ(10)に送られて次の処理が
行なわれる。
■円筒径のばらつきの計算
測定された直径(D+〜DA)の中で最大のものをQm
ax、最小のものをQ winとすると、円筒径のばら
つきは次式で計算される。
ax、最小のものをQ winとすると、円筒径のばら
つきは次式で計算される。
円筒径のばらつき−Qmax −Qmin■円筒外径の
計算 外径=(DI +D2 +D3 +Dt ) /4■4
回転角度における円筒中心軸とマスク板との垂直方向の
距離(Z+〜Z、)を下式によりそれぞれ求める。
計算 外径=(DI +D2 +D3 +Dt ) /4■4
回転角度における円筒中心軸とマスク板との垂直方向の
距離(Z+〜Z、)を下式によりそれぞれ求める。
Z+ =G+ +D+ /2
Z2−G2 +D2 / 2
Za−Ga +03 /2
24−G4+Dム/2
■偏心量計算上の中心位置座標(Zo )を下式により
求める。
求める。
Zo = (Z+ +Z2 +Z3 +Zt )/4■
第8図の関係から各回転角度における中心軸の平面座標
(a−d)を求める。
第8図の関係から各回転角度における中心軸の平面座標
(a−d)を求める。
a=((Z−Zo)、(Z+−Zo))b= ((Z+
−Zo )、(Z2−Zo ))C−((2220)
、(Za 20))d−((Za−Zo)、(Za
Zo))次に孔の中心軸の座標を求める。エアスピン
ドル(2)の後方には照明装[(4)が配されており、
該照明装置よりの光はエアスピンドルに設けられている
前述の貫通孔を通ってフェルール(1)に向かうように
されている。フェルールの前方即ちX軸方向には、拡大
手段として顕微111(8)を備えたイメージセンサ(
9)が配されている。従って、該光によるフェルールの
孔(1B)の像(1b)が該センサ内に形成される。物
体の端面(1C)と顕微鏡(8)との間の距離が物体を
替える毎に変化するような場合には、顕微鏡には自動焦
点装置を備えておくのが好ましい。イメージセンサ(9
)の概略構成を第9図に示す。イメージセンサ(9)は
測定対象(この場合フェルールの孔及びその近傍のフェ
ルール端面)の像を顕微鏡で拡大しく例えば100倍)
、ラインセンサ(9a)上に像を投影する。ラインセン
サ〈9a)は受光ダイオード等の撮像素子を直線状に配
列したものであり、各素子は投影された像からの明暗に
応じたデジタルビデオ信号を制御回路(9b)を介して
発生する。この信号をカウンタ(9C)で計数してデー
タをコンピュータ(10)に送る。
−Zo )、(Z2−Zo ))C−((2220)
、(Za 20))d−((Za−Zo)、(Za
Zo))次に孔の中心軸の座標を求める。エアスピン
ドル(2)の後方には照明装[(4)が配されており、
該照明装置よりの光はエアスピンドルに設けられている
前述の貫通孔を通ってフェルール(1)に向かうように
されている。フェルールの前方即ちX軸方向には、拡大
手段として顕微111(8)を備えたイメージセンサ(
9)が配されている。従って、該光によるフェルールの
孔(1B)の像(1b)が該センサ内に形成される。物
体の端面(1C)と顕微鏡(8)との間の距離が物体を
替える毎に変化するような場合には、顕微鏡には自動焦
点装置を備えておくのが好ましい。イメージセンサ(9
)の概略構成を第9図に示す。イメージセンサ(9)は
測定対象(この場合フェルールの孔及びその近傍のフェ
ルール端面)の像を顕微鏡で拡大しく例えば100倍)
、ラインセンサ(9a)上に像を投影する。ラインセン
サ〈9a)は受光ダイオード等の撮像素子を直線状に配
列したものであり、各素子は投影された像からの明暗に
応じたデジタルビデオ信号を制御回路(9b)を介して
発生する。この信号をカウンタ(9C)で計数してデー
タをコンピュータ(10)に送る。
照明装置(4)の光によるフェルールの孔(1B)の像
は顕微鏡で拡大されて、第10図のようにラインセンサ
(9a)に投影される。この時、孔の中は光が通るため
「明」となり、他の部分は「暗」となった化機(1b)
が得られる。イメージセンサからはカウンタ出力データ
として第10図に示すA(Oピット位置より化機端迄の
ビット数)とB(化機と交差するピット数)が得られる
。
は顕微鏡で拡大されて、第10図のようにラインセンサ
(9a)に投影される。この時、孔の中は光が通るため
「明」となり、他の部分は「暗」となった化機(1b)
が得られる。イメージセンサからはカウンタ出力データ
として第10図に示すA(Oピット位置より化機端迄の
ビット数)とB(化機と交差するピット数)が得られる
。
本実施例では、ラインセンサの素子間の距離(ピッチ)
が13μmのものを使用したので、顕微鏡の倍率が10
0倍のときは、1ビツトは13μm/100−0.13
μmに相当する。2048ビツトのものを使用したとき
にはその全長は13μmX2048−26.624mm
1.:相当スル。
が13μmのものを使用したので、顕微鏡の倍率が10
0倍のときは、1ビツトは13μm/100−0.13
μmに相当する。2048ビツトのものを使用したとき
にはその全長は13μmX2048−26.624mm
1.:相当スル。
前述の円筒径の測定と同じ回転角度において、各回転角
度毎に上2のA及びBを測定する。第11図に各回転角
度における孔とイメージセンサとの関係の例を示す。
度毎に上2のA及びBを測定する。第11図に各回転角
度における孔とイメージセンサとの関係の例を示す。
コンピュータ(10)に送られたA及びBのデータに基
づいて次の計算を行なう。
づいて次の計算を行なう。
■イメージセンサのOピット位置と各回転角度における
孔の中心軸とのY軸方向の距離(Y+〜YA)を計算す
る。
孔の中心軸とのY軸方向の距離(Y+〜YA)を計算す
る。
Y+ −A+ +8+ /2
Y2−A2 +82 / 2
Ya−A3+83 /2
Ya =At +Ba / 2
■計算上の中心位置座標(Yo )を計算する。
Yo = (Y+ 十Y、、+Y3 +Y4 )/4■
第12図の関係から各回転角度における孔の中心軸の座
標(e−h)を求める。
第12図の関係から各回転角度における孔の中心軸の座
標(e−h)を求める。
e−((Y+ YO)、(YO−Ya))f=((Y
2 Yo)、(Yo−Y+))Q−((Ya −Yo
)、(Yo −Y2 ))h−((Yt Yo)、(
Yo−Ya))前記■で求められた円筒中心軸座標(a
−d)及び■で得られた孔中心軸座標(e−h)から偏
心f!i(δ)を求める。(a〜d)及び(e−h)の
データを合成したものを第13図に示す。各回転角度に
おける偏心量(61〜δ4)は、各回転角度における円
筒中心軸座標と孔中心軸座標との間の距離を計算するこ
とによって求められる。
2 Yo)、(Yo−Y+))Q−((Ya −Yo
)、(Yo −Y2 ))h−((Yt Yo)、(
Yo−Ya))前記■で求められた円筒中心軸座標(a
−d)及び■で得られた孔中心軸座標(e−h)から偏
心f!i(δ)を求める。(a〜d)及び(e−h)の
データを合成したものを第13図に示す。各回転角度に
おける偏心量(61〜δ4)は、各回転角度における円
筒中心軸座標と孔中心軸座標との間の距離を計算するこ
とによって求められる。
求める偏心m(δ)は上の61〜δ4の平均値として得
られる。
られる。
δ−(δ1+δ2+δ3+δL)/4
斯くして得られた偏心量(δ)の値は、テレビモニタ(
14)に表示される。先に求めた円筒径のばらつき及び
円筒径の値も同時にモニタに表示するようにしてもよい
。δ等の得られた各位が許容値を越えるものであるなら
ば、そのフェルールは不良品として適宜に処理される。
14)に表示される。先に求めた円筒径のばらつき及び
円筒径の値も同時にモニタに表示するようにしてもよい
。δ等の得られた各位が許容値を越えるものであるなら
ば、そのフェルールは不良品として適宜に処理される。
更に、一連の測定における各測定値をコンピュータに記
憶させ、各種の統計データ(不良個数、不良率、平均δ
値、破準偏差)等をコンピュータによって求めて、テレ
ビモニタ(14)又はプリンタ(13)によって出力す
ることも出来る。また、孔@(lb)をビデオカメラ(
11)によっても撮影し、その像とコンピュータ(10
)よりの各種データとを合成ユニット(12)で合成し
てモニタ(14)で監視するようにしてもよい。
憶させ、各種の統計データ(不良個数、不良率、平均δ
値、破準偏差)等をコンピュータによって求めて、テレ
ビモニタ(14)又はプリンタ(13)によって出力す
ることも出来る。また、孔@(lb)をビデオカメラ(
11)によっても撮影し、その像とコンピュータ(10
)よりの各種データとを合成ユニット(12)で合成し
てモニタ(14)で監視するようにしてもよい。
本実施例の装置によって例示のフェルールを測定した場
合、その精度は0.001mmであり、測定に要する時
間は約10秒/個であった。
合、その精度は0.001mmであり、測定に要する時
間は約10秒/個であった。
本実施例の装置では同じ回転角度に於いては、円筒径測
定と化機測定とを同時に測定して全体の測定時間を短く
するようにしている。しかしながら、本発明に於いては
、両方の測定を必ずしも同一の回転角度で行なう必要は
ない。換言すれば、第1回目の円筒径測定をα0の回転
角度で行ない、以下3回の円筒径測定をα+906、
α+180°及びα+270°で行ない、同様に第1回
目の化機測定をβ0 (ここでα≠β)で、第2〜4回
目をβ+906、β+1806、β+2706で行なっ
ても、αとβとの差に基づく座標の補正計算を行なうこ
とによって同様の結果が得られる。
定と化機測定とを同時に測定して全体の測定時間を短く
するようにしている。しかしながら、本発明に於いては
、両方の測定を必ずしも同一の回転角度で行なう必要は
ない。換言すれば、第1回目の円筒径測定をα0の回転
角度で行ない、以下3回の円筒径測定をα+906、
α+180°及びα+270°で行ない、同様に第1回
目の化機測定をβ0 (ここでα≠β)で、第2〜4回
目をβ+906、β+1806、β+2706で行なっ
ても、αとβとの差に基づく座標の補正計算を行なうこ
とによって同様の結果が得られる。
αとβとの差はパルスモータ(3)の回転角度より求め
られる。
られる。
上記の実施例に於いては、計算上の中心位置Yo及びZ
oを求め、この中心位置を用いて各中心軸の平面座標を
計算するようにしているが、各中心軸の平面座標の計算
を回転中心軸の位置を用いてするようにすることもでき
る。この場合は、前記の■及び■の中心位置の計算をす
る必要はなく、予め求められコンピュータに記憶されて
いる回転中心軸の位置を用いて各中心軸の座標が計算さ
れる。しかし、チャック(2a)と両方の測定手段(本
実施例の場合、レーザ測定器(7)とイメージセンサ(
9))との相対位置関係が、温度変化等に基因して極く
僅か変動するため、例示のような極めて高精度の測定を
必要とする場合には、実施例のように測定毎に計算上の
中心位置を求めることによって、前記の位置関係の変動
に関わりなく偏心mを求めるのが好ましい。
oを求め、この中心位置を用いて各中心軸の平面座標を
計算するようにしているが、各中心軸の平面座標の計算
を回転中心軸の位置を用いてするようにすることもでき
る。この場合は、前記の■及び■の中心位置の計算をす
る必要はなく、予め求められコンピュータに記憶されて
いる回転中心軸の位置を用いて各中心軸の座標が計算さ
れる。しかし、チャック(2a)と両方の測定手段(本
実施例の場合、レーザ測定器(7)とイメージセンサ(
9))との相対位置関係が、温度変化等に基因して極く
僅か変動するため、例示のような極めて高精度の測定を
必要とする場合には、実施例のように測定毎に計算上の
中心位置を求めることによって、前記の位置関係の変動
に関わりなく偏心mを求めるのが好ましい。
本実施例では、1回転を4分割即ち90’ずつフェルー
ルを回転させて測定している。そのため第8図及び第1
2図に示す関係が得られるのであるが、それに限らず、
40分割即ち3606/4n(ここでnは1以上の整数
)ずつ回転させて測定するようにしても同様の関係が得
られる。測定時間の関係で、nの値は1〜3程度とする
のが適当であるが、n−1としても実用上充分な精度の
測定を行ない得る。nの値の設定は、コンピュータ(1
0)に接続されたキーボード(20)より行なわれる。
ルを回転させて測定している。そのため第8図及び第1
2図に示す関係が得られるのであるが、それに限らず、
40分割即ち3606/4n(ここでnは1以上の整数
)ずつ回転させて測定するようにしても同様の関係が得
られる。測定時間の関係で、nの値は1〜3程度とする
のが適当であるが、n−1としても実用上充分な精度の
測定を行ない得る。nの値の設定は、コンピュータ(1
0)に接続されたキーボード(20)より行なわれる。
更に、フェルールの各回転角度を270°、450″等
としても、換言すれば、mX360’/4n(ここでm
は3以上の奇、数)ずつ回転させるようにしても、上と
同様の結果が当然得られる。
としても、換言すれば、mX360’/4n(ここでm
は3以上の奇、数)ずつ回転させるようにしても、上と
同様の結果が当然得られる。
この場合には、それぞれ異なった少なくとも4a個の回
転角度に於いて円筒径及び化機の測定が行なわれる。
転角度に於いて円筒径及び化機の測定が行なわれる。
フェルールを光ケーブルに装着した状態(第4C図参照
)での円筒中心軸(0+ )よりのコア中心軸(04)
の偏心量も前記の実施例と同様にして求められる。この
場合には、ケーブルの他端に光を照射するようにすれば
、コア内を光が伝送されてコア端面(F4)の鮮明な像
が得られるので測定に有利である。また、フェルールを
1回転以上回転させて測定する場合には、接続されてい
るケーブルによって回転に支障が生ずる場合もあるので
、前記の実施例とは反対にフェルールを固定し、両方の
測定部を適宜の回転手段上に載せて回転させるのが好ま
しい。
)での円筒中心軸(0+ )よりのコア中心軸(04)
の偏心量も前記の実施例と同様にして求められる。この
場合には、ケーブルの他端に光を照射するようにすれば
、コア内を光が伝送されてコア端面(F4)の鮮明な像
が得られるので測定に有利である。また、フェルールを
1回転以上回転させて測定する場合には、接続されてい
るケーブルによって回転に支障が生ずる場合もあるので
、前記の実施例とは反対にフェルールを固定し、両方の
測定部を適宜の回転手段上に載せて回転させるのが好ま
しい。
前記実施例においては、フェルールをmX360’/4
aずつ回転させて測定を行なっているが、測定時の回転
角度はそれらに限らず任意の角度で測定を行なうことが
できる。但し、円筒径測定及び化機測定はそれぞれ少な
くとも3個以上の相対角度で行なわなければなければな
らない。以下に任意の角度で測定する場合を説明する。
aずつ回転させて測定を行なっているが、測定時の回転
角度はそれらに限らず任意の角度で測定を行なうことが
できる。但し、円筒径測定及び化機測定はそれぞれ少な
くとも3個以上の相対角度で行なわなければなければな
らない。以下に任意の角度で測定する場合を説明する。
この場合も、測定装置は前記実施例と同様のものを使用
することができる。また、測定手順も略同様であるので
、同一の記号及び参照符号を使用して要点のみを説明す
る。第14図はフェルールを任意の角度回転させた場合
の第7図と同様の図である。測定開始時のフェルール(
1)の円筒中心軸と計算上の座標軸(ZO)とのなす角
度をαとする。αの値は任意であり、後に計算によって
求められる。この位置(S)よりコンピュタ(10)の
指令によりチャックを任意の角度θ1だけ回転させると
、フェルールの円筒は計算上の座標においても同様にG
1だけ回転する。この位置においてG1及びDlを測定
し、続いて、α+θ2及びα+θ3 (G2及びG3の
値は任意)においてG2及びD2 、G3及びD3をそ
れぞれ測定する。得られた測定データは同様にコンピュ
ータ(10)に送られて次の処理が行なわれる。
することができる。また、測定手順も略同様であるので
、同一の記号及び参照符号を使用して要点のみを説明す
る。第14図はフェルールを任意の角度回転させた場合
の第7図と同様の図である。測定開始時のフェルール(
1)の円筒中心軸と計算上の座標軸(ZO)とのなす角
度をαとする。αの値は任意であり、後に計算によって
求められる。この位置(S)よりコンピュタ(10)の
指令によりチャックを任意の角度θ1だけ回転させると
、フェルールの円筒は計算上の座標においても同様にG
1だけ回転する。この位置においてG1及びDlを測定
し、続いて、α+θ2及びα+θ3 (G2及びG3の
値は任意)においてG2及びD2 、G3及びD3をそ
れぞれ測定する。得られた測定データは同様にコンピュ
ータ(10)に送られて次の処理が行なわれる。
■各回転角度に円筒中心軸とマスク板との垂直方向の距
離(Z+〜Za )を求める。
離(Z+〜Za )を求める。
Z+ =G+ +D+ /2
Z2−G2 +02 /2
Z3−G3 +03 / 2
@αを求める。
計算上の座標原点より円筒中心軸迄の距離をRとすると
第14図より、 R−sin(a−θ+ )=Z+ −Zo (1
)R−sin(a−G2)−Z2 Zo (2
)R−sin(α−03)=Z3 Zo (3)
の関係が得られる。
第14図より、 R−sin(a−θ+ )=Z+ −Zo (1
)R−sin(a−G2)−Z2 Zo (2
)R−sin(α−03)=Z3 Zo (3)
の関係が得られる。
(1) −(2)より
(2)−(3)より
(4)のRと(5)のRは実質上等しいのでtin(a
−43−) −tin(α−02) zips(α−
02)−1111Cα−03)(6)より α−1ag″′″1 @Rを求める。
−43−) −tin(α−02) zips(α−
02)−1111Cα−03)(6)より α−1ag″′″1 @Rを求める。
(1)より
OZ oを求める。
(1)より
Zo −Z+−R−sin(α−G1)■各回転角度に
おける円筒中心軸の平面座標(a〜C)を求める。
おける円筒中心軸の平面座標(a〜C)を求める。
a −(R−cos (a−θ+)、Z+ Zo)b
=(R−cos(α−G2)、Z2 Zo)c−(R
−cos (α−θs)、Z3 Zo)次に、前記と同
様にして孔中心軸の平面座標を求める。第15図は前記
実施例の第11図と同様の図である。βは測定開始時に
おける孔中心軸と計算上の座標軸とのなす角度であり、
前述のαに対応するものである。
=(R−cos(α−G2)、Z2 Zo)c−(R
−cos (α−θs)、Z3 Zo)次に、前記と同
様にして孔中心軸の平面座標を求める。第15図は前記
実施例の第11図と同様の図である。βは測定開始時に
おける孔中心軸と計算上の座標軸とのなす角度であり、
前述のαに対応するものである。
[相]ラインセンサのOビット位置と各回転角度におけ
る孔中心軸とのY軸方向の距離(Y +〜Y3 )を計
算する。
る孔中心軸とのY軸方向の距離(Y +〜Y3 )を計
算する。
Y+ =A+ +8+ /2
Y2−A2 +82 /2
Ya =A3+83 /2
■βを求める。
計算上の座標原点より孔中心軸迄の距離をrとすると第
15図より、 r−cos (β−θ+>−Y+ Yo (8
)r−cos(β−G2)=Y2 Yo (9
)r−cos(β−G3)−Ya Yo (10
)の関係が得られる。
15図より、 r−cos (β−θ+>−Y+ Yo (8
)r−cos(β−G2)=Y2 Yo (9
)r−cos(β−G3)−Ya Yo (10
)の関係が得られる。
(8)−(9)より
(0S(β−01)−”(/’/−02)(9)−(1
0)より tax(β−(12)−tax(μm03)(11)の
rと(11)のrは実質上等しいので tax(β−01) e01cβ−02) CI2!
(β−02)−(01Cμm03)(13)より β呵an ’ @rを求める。
0)より tax(β−(12)−tax(μm03)(11)の
rと(11)のrは実質上等しいので tax(β−01) e01cβ−02) CI2!
(β−02)−(01Cμm03)(13)より β呵an ’ @rを求める。
(8)より
@Yoを求める。
(8)より
Yo =Y* −r−CO8(β−01)[相]各回
転角度における円筒中心軸の平面座標(e〜Q)を求め
る。
転角度における円筒中心軸の平面座標(e〜Q)を求め
る。
e−(Y+ Yo、r−sin(β−01))f=(
Y2 Yo、r−5in(β−θ2))Q=(Y3 Y
o、r−8in(β−θ3))前記実施例と同様にして
、各回転角度(θ1〜θ3)における偏心量(61〜δ
3)は、各回転角度における円筒中心軸座[(a−C)
と孔中心軸座標(e−1との間の距離を計算することに
よって求められる。
Y2 Yo、r−5in(β−θ2))Q=(Y3 Y
o、r−8in(β−θ3))前記実施例と同様にして
、各回転角度(θ1〜θ3)における偏心量(61〜δ
3)は、各回転角度における円筒中心軸座[(a−C)
と孔中心軸座標(e−1との間の距離を計算することに
よって求められる。
δ1−
δ2−
δ3−
求める偏心量(δ)上の61〜δ、の平均値として得ら
れる。
れる。
δ−(δ、+δ2+δ3)/3
上記の各実施例においては、コンピュータ(10)によ
りパルスモータ(3)を制御して所定の又は任意の角度
だけフェルールを回転させ、その角度における各測定デ
ータをコンピュータ(10)で処理することができる。
りパルスモータ(3)を制御して所定の又は任意の角度
だけフェルールを回転させ、その角度における各測定デ
ータをコンピュータ(10)で処理することができる。
また、回転角度検出装置をエアスピンドル(2)に設け
、チャックを連続的に回転させ、検出された回転角度信
号と各測定データとを連続的にコンピュータに送り、所
定の又は任意の角度信号が得られた時の測定データより
計算するようにしてもよい。
、チャックを連続的に回転させ、検出された回転角度信
号と各測定データとを連続的にコンピュータに送り、所
定の又は任意の角度信号が得られた時の測定データより
計算するようにしてもよい。
従って、本発明に依れば、断面円形部分を有する物体の
該断面円形部分の中心軸よりの該物体における端面円形
部の中心軸の偏心量を測定でき、その測定においては回
転中心軸と断面円形部分中心軸との相対位置関係とは無
関係に測定を行なうことができ、被測定物体が変わる毎
に芯合せをする必要がなく、円形部径の大きさに拘わり
なく、測定が短時間に行なわれる偏心量測定方法及び装
置が提供される。
該断面円形部分の中心軸よりの該物体における端面円形
部の中心軸の偏心量を測定でき、その測定においては回
転中心軸と断面円形部分中心軸との相対位置関係とは無
関係に測定を行なうことができ、被測定物体が変わる毎
に芯合せをする必要がなく、円形部径の大きさに拘わり
なく、測定が短時間に行なわれる偏心量測定方法及び装
置が提供される。
第1図は本発明装置例を示すブロック図、第2図は本発
明方法の70−チャートの1例を示す図、第3図は本発
明の実施例装置の全体概略説明図、第4a図はその実施
例により測定するフェルールの断面図、第4b図はその
側面図、第4C図はファイバにフェルールを装着したと
きの断面図、第5a図は第3図の実施例装置を説明する
ブロック図、第5b図はフェルールのチャックへの装着
の説明図、第5C図から第5e図は本発明方法の実施例
の説明図、第6図は円筒及び孔の中心軸の軌跡を示す図
、第7図及び第8図は第1の実施例による円筒中心軸座
標の求め方の説明図、第9因はイメージセンサの概略構
成図、第10図は孔像とラインセンサとの関係を示す図
、第11図及び第12図は第1の実施例による孔中心軸
座標の求め方の説明図、第13図は第1の実施例による
偏心mの求め方の説明図、第14図は第2の実施例によ
る円筒中心軸座標の求め方の説明図、第15図は同じ実
施例による孔中心軸座標の求め方の説明図である。 (1):フエルール (IA):フエルールの円筒面 (IB):フエルールの孔 (1b):化機 (2):エアスピンドル (2A):チャック (3):パルスモータ (7):レーザ測定器 (7G):レーザ光 (7d):レーザマスク板 (9):イメージセンサ (9a)ニラインセンサ (10):コンピュータ (以 上) II 4a m 17zL−ル 第4b図 第4c図 〕2 第6図 第7図 9a ライムt−ツ・ 手続補正書く自制 昭和60年3月28日 特許庁長官 志賀 学 殿 ) 1、事件の表示 昭和60年特 許 願第 32230 号2、 @
明f:)名k 偏心量測定方法及び装置3、補正をす
る者 事件との関係特許出願人 株式会社化繊ノズ!製作所 46代理人
明方法の70−チャートの1例を示す図、第3図は本発
明の実施例装置の全体概略説明図、第4a図はその実施
例により測定するフェルールの断面図、第4b図はその
側面図、第4C図はファイバにフェルールを装着したと
きの断面図、第5a図は第3図の実施例装置を説明する
ブロック図、第5b図はフェルールのチャックへの装着
の説明図、第5C図から第5e図は本発明方法の実施例
の説明図、第6図は円筒及び孔の中心軸の軌跡を示す図
、第7図及び第8図は第1の実施例による円筒中心軸座
標の求め方の説明図、第9因はイメージセンサの概略構
成図、第10図は孔像とラインセンサとの関係を示す図
、第11図及び第12図は第1の実施例による孔中心軸
座標の求め方の説明図、第13図は第1の実施例による
偏心mの求め方の説明図、第14図は第2の実施例によ
る円筒中心軸座標の求め方の説明図、第15図は同じ実
施例による孔中心軸座標の求め方の説明図である。 (1):フエルール (IA):フエルールの円筒面 (IB):フエルールの孔 (1b):化機 (2):エアスピンドル (2A):チャック (3):パルスモータ (7):レーザ測定器 (7G):レーザ光 (7d):レーザマスク板 (9):イメージセンサ (9a)ニラインセンサ (10):コンピュータ (以 上) II 4a m 17zL−ル 第4b図 第4c図 〕2 第6図 第7図 9a ライムt−ツ・ 手続補正書く自制 昭和60年3月28日 特許庁長官 志賀 学 殿 ) 1、事件の表示 昭和60年特 許 願第 32230 号2、 @
明f:)名k 偏心量測定方法及び装置3、補正をす
る者 事件との関係特許出願人 株式会社化繊ノズ!製作所 46代理人
Claims (6)
- (1)断面円形部分を有する物体の該断面円形部分の中
心軸よりの該物体における円形部の中心軸の偏心量を測
定する方法にして、 該断面円形部分と測定手段との相対角度を変化させる過
程、 各相対角度における該断面円形部分中心軸の平面座標を
求める過程、 該円形部の像を形成させて各相対角度における該円形部
中心軸の平面座標を求める過程、及び 前記求められた断面円形部分中心軸の各平面座標と円形
部中心軸の各平面座標より前記偏心量を求める過程 を含むことを特徴とする前記偏心量を測定する方法。 - (2)前記測定手段が定位置から該断面円形部分までの
距離及び該断面円形部分の径を求めるための手段である
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の方法。 - (3)前記相対角度の変化がm×360°/4n(ここ
で、mは1以上の奇数、nは1以上の整数)ずつ行なわ
れることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項
に記載の方法。 - (4)前記相対角度の変化が任意の角度で行なわれるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項に記載
の方法。 - (5)断面円形部分を有する物体の該断面円形部分の中
心軸よりの該物体における該円形部の中心軸の偏心量を
測定する装置にして、 該断面円形部分の位置又は位置及び大きさを求めるため
の手段、 該手段と該物体との相対角度を変化させる手段、 各相対角度における該断面円形部分中心軸の平面座標を
求める手段、 該円形部の像を形成させて各相対角度における該円形部
中心軸の平面座標を求める手段、及び 前記求められた断面円形部分中心軸の各平面座標と該円
形部中心軸の各平面座標より前記偏心量を求める手段 を備えたことを特徴とする前記偏心量を測定する装置。 - (6)前記断面円形部分の位置又は位置及び大きさを求
めるための手段が、定位置から該断面円形部分までの距
離及び該断面円形部分の径を求めるための手段であるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第5項に記載の装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3223085A JPS61191912A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 偏心量測定方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3223085A JPS61191912A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 偏心量測定方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61191912A true JPS61191912A (ja) | 1986-08-26 |
Family
ID=12353167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3223085A Pending JPS61191912A (ja) | 1985-02-20 | 1985-02-20 | 偏心量測定方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61191912A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01121806A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光コネクタの構造パラメータ測定方法および測定装置 |
FR2689229A1 (fr) * | 1992-03-26 | 1993-10-01 | Souriau & Cie | Dispositif de mesure d'au moins une dimension d'un échantillon. |
CN100348945C (zh) * | 2003-03-24 | 2007-11-14 | 上海上诠光纤通信设备有限公司 | 检测陶瓷插芯开口夹角的方法及其装置 |
CN101846496A (zh) * | 2009-03-25 | 2010-09-29 | 富士能株式会社 | 旋转中心线的位置变动测定方法及装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4956664A (ja) * | 1972-09-29 | 1974-06-01 | ||
JPS57187610A (en) * | 1981-05-14 | 1982-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring device for coaxial degree of tubular and cylindrical objects |
-
1985
- 1985-02-20 JP JP3223085A patent/JPS61191912A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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EP2233883A1 (en) * | 2009-03-25 | 2010-09-29 | Fujinon Corporation | Method and apparatus of measuring positional variation of rotation center line |
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