JPS61183034A - ウエハ搬送用ベルト幅の調節装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、研削盤における吸着型チャック機構ヘウエハ
を送り出し、並びに研削加工後の研削盤よりカートリッ
ジへ格納するベルトの幅を調節できるようにしたベルト
幅の調節装置に関する。

現今における弛まざる技術革新は目覚ましいものがあり
、其の先端技術による開発によって、優れた様々な商品
群が多数送出されている。

本発明に係る特にこの種のコンピュータ、マイコン等を
搭載した電子関連機器の開発は、実に日進月歩の感があ
り、更により高度な応用技術の開発に鏑を削っている現
状にある。

このため半導体は、より超高度の質性と、小型化に繋が
る或は大量集積回路化の図れるような。

極薄のシリコンウェハが要求されてきている。

通常、この種の搬送用ベルトは、多数枚のウェハを単品
毎に集積格納して昇降可動かつ前面が開放されているカ
ートリッジの直前下辺に形成されている。然るに、この
搬送用ベルトは比較的幅広の単帯状のものか、若しくは
細帯状のものを双条にしたのものであっても、ベルトの
幅はベルトの駆動車軸が常に一定の位置にあるため、ベ
ルト間の相互の間隔を狭めたり伸延したりすることは事
実上不可能なものであった。

この様な作動状態を具体的に説明すると、つまり単品ウ
ェハの一枚一枚が、カートリッジ内部の両端側壁部に設
けられた梯子形仕切り枠によって整理集積されていて、
カー１〜リツジが順次降下し、集積されている最下辺の
ウェハが、直前下辺に形設された搬送用ベルトの一側端
辺に接地すると。

これを回転する当該ベルトが上面に受けて載置し、被研
削ウェハは研削盤へ搬送するための移送アームの可動位
置へ順次案内される。ところが、ベルトの横幅が常時一
定であるため、外形幅の比較的大きな被加工ウェハを載
置した場合、ウェハはベルトからはみだした端辺部分が
撓み、巨視的に見ると歪曲する様な虞れが生じており、
又外形の比較的小さなウェハの場合では、これも中心部
分から下がって撓むなどいずれも歪みが生じる欠点が存
し、特に研削加工後に研削盤よりカートリッジへ格納す
る場合加工後のウェハは極薄と成るために、撓み易くカ
ートリッジの梯子形仕切り枠間へ集積する際にウェハが
カートリッジへ接触して損傷や破損などの虞れも有り、
先の精度向上の要望を大きく阻んでいた。

本発明は上記の事由に鑑みてこれらの不利欠点を解決す
べく鋭意研濯の結果、ウェハを搬送するベルトの幅を自
在に可変できる、ベルト幅の調節装置に創達し、これを
供せんとするものである。

斯る目的を達成せしめた本発明の、ウェハ搬送用ベルト
幅の調節装置による一実施例を、以下図面によって説明
する。

第１図は本発明の一実施例として、ウェハを一集積格納
したカートリッジと係合する。当該ウェハ搬送用ベルト
の構成要部を現した概要平面図であり、第２図は其のウ
ェハの搬送用ベルトの作動状態を現した側方向からの概
要説明図である。

本発明は、第１図による構成要部を現した図示の如く、
薄物ウェハＡを液面張力又はエアー吸着する機構を有し
複数個の半導体ウェハをチャックして研削する研削盤（
図記せず）へ、ウェハを載置して案内並びに格納するた
めの搬送用ベルト装置であって、ウェハＡを単品毎に集
積格納するカートリッジＢの昇降によって、該ウェハが
載置され案内される搬送用ベルト４，４′を、平面状で
ありかつ間隔をあけた双条にて形成すると共に、該双条
ベルト４の相互の間隔を狭める又は伸延できるよう、ベ
ルト４と係合する両端に設けた駆動車軸１，１′の幅を
伸縮せしめるための、ベルト幅の調節ボルトを受承する
調整ジグ２と、該調節ボルト３を備えて構成したことを
特徴とするウェハ搬送用ベルト幅の調節装置となるもの
であり、加えて該近傍辺へ、先端部にエアー吸着バット
を備え水平方向に回動かつ進退し、並びに昇降可能なウ
ェハＡの移送アーム（図記していない）を軸支併設せし
めて本発明を構成したものである。

この様に構成した本発明は、ウェハＡｔ１−載置して案
内する搬送用ベルト４，４′を双条にして形成し、かつ
双条とする相互間のベルト４，４′が夫々係合回転する
駆動車軸１，１′の間隔を、適宜箇所に設けた調整ジグ
と螺合する調節ポル１〜３の繰り出し又は廻し戻しによ
って、前記駆動車軸１．１′の幅を狭める、或は伸延す
る等微細な調節をも可能となしたことを特徴とするもの
であって、冒記の不利欠点を排除した最良の状態にして
、カートリッジＢよりウェハＡをベルト４上に載置して
前記移送アームの可動位置に案内し、これを別のシステ
ム装置へ移送することができるものである。前述は半導
体ウェハＡをカートリッジＢより研削盤へ送り出すベル
トの説明であるが、研削加工後のウェハを研削盤より昇
降して集積格納するカートリッジへ搬送するベルトも同
構成である。

以上の如く本発明は、薄物ウェハが撓んで歪曲するよう
な虞れの全く生じない搬送装置を提供できるものである
。双条ベルトは相互間隔を巾方向に伸縮する調整ジグに
螺合せしめた調節ボルトの捻子歯によって、確実かつ微
細にベルト幅を調節できるものであり、いかなる外形の
異なるウェハであっても歪むことなく安全に、信頼度の
高いウェハを送り出すことができる本発明の其の貢献性
は計り知れないものがあり、極めて有意義な効果を奏す
ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例として、ウェハを集積格納し
たカートリッジと係合する当該ウェハ搬送用ベルトの構
成要部を現した平面概要図であり、第２図は其のウェハ
の搬送用ベルトの作動状態を現した概要説明図である。 Ａ−ウェハ。 １．１′−ベルトの駆動車軸、２−ベルト幅の調整ジグ
、３−ベルト幅の調節ボルト、４．４’　−ベルト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 薄物ウェハを液面張力又はエアー吸着する機構を有し複
   数個の半導体ウェハをチャックして研削する研削盤へ、
   並びに研削加工後研削盤よりカートリッジへウエハを載
   置して案内並びに格納するための搬送用ベルト装置であ
   って、 ウェハを単品毎に集積格納するカートリッジの昇降によ
   って該ウェハが載置され案内され、並びに格納される搬
   送用ベルトを平面状でありかつ間隔をあけた双条にて形
   成すると共に、該双条ベルトの相互の間隔を狭める又は
   伸延できるようベルトと係合する両端に設けた駆動車軸
   の幅を伸縮せしめるためのベルト幅調節ボルトを受承す
   る調整ジグと該調節ボルトを備えて構成したことを特徴
   とするウェハ搬送用ベルト幅の調節装置。