JPS61179049A - スパツタイオンポンプ - Google Patents
スパツタイオンポンプInfo
- Publication number
- JPS61179049A JPS61179049A JP1773985A JP1773985A JPS61179049A JP S61179049 A JPS61179049 A JP S61179049A JP 1773985 A JP1773985 A JP 1773985A JP 1773985 A JP1773985 A JP 1773985A JP S61179049 A JPS61179049 A JP S61179049A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- anode
- cathode
- cathodes
- heating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
- H01J41/12—Discharge tubes for evacuating by diffusion of ions, e.g. ion pumps, getter ion pumps
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は高真空を得るに使用されるスパッタイオンポン
プに関する。
プに関する。
（従来の技術）
従来、この種のポンプは、真空排気口を有する金属容器
内にアノードと例えばチタン材のカソードを設け、その
間の放電によ・り該カソードをスパッタして該容器内の
気体分子を除去し、該容器の外側に該放電をマグネトロ
ン形とするだめの磁石を設けて構成されるを一般とする
。
内にアノードと例えばチタン材のカソードを設け、その
間の放電によ・り該カソードをスパッタして該容器内の
気体分子を除去し、該容器の外側に該放電をマグネトロ
ン形とするだめの磁石を設けて構成されるを一般とする
。
このポンプはスパッタされたカソード構成物質が気体分
子を捕捉してポンプ容器内に付着堆積することにより高
真空を得るものであるが、その堆積口が多くなると付着
効率が低下するので、該ポンプ全体を外部から加熱し乍
らその内部を不活性ガス雰囲気として作動させ付着堆積
物を除去するベーキング処理を行ない再生する必要があ
る。
子を捕捉してポンプ容器内に付着堆積することにより高
真空を得るものであるが、その堆積口が多くなると付着
効率が低下するので、該ポンプ全体を外部から加熱し乍
らその内部を不活性ガス雰囲気として作動させ付着堆積
物を除去するベーキング処理を行ない再生する必要があ
る。
（発明が解決しようとする問題点）
前記ベーキング処理に於いてはポンプ全体を加熱するの
で大きなヒータやオーブンが必要で大きなスペースを用
意しなければならない不都合があり、またポンプ容器内
にはベーキング処理に使用した不活性ガスが多少とも残
存付着し、これがポンプとして使用中、特に超高真空に
まで真空排気されたときに該容器内に残存する不活性ガ
スが遊離して真空排気速度が低下する欠点がある。
で大きなヒータやオーブンが必要で大きなスペースを用
意しなければならない不都合があり、またポンプ容器内
にはベーキング処理に使用した不活性ガスが多少とも残
存付着し、これがポンプとして使用中、特に超高真空に
まで真空排気されたときに該容器内に残存する不活性ガ
スが遊離して真空排気速度が低下する欠点がある。
本発明は、スパッタイオンポンプのベーキング処理に伴
う前記不都合を解決することを目的とするものである。
う前記不都合を解決することを目的とするものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明では、真空排気口を有する金属容器内にアノード
とカソードを設け、その間の放電により該カソードをス
パッタして該容器内の気体分子を除去するようにしたも
のに於いて、該アノードを電気抵抗発熱材で構成し、こ
れに加熱用電源を接続するようにした。
とカソードを設け、その間の放電により該カソードをス
パッタして該容器内の気体分子を除去するようにしたも
のに於いて、該アノードを電気抵抗発熱材で構成し、こ
れに加熱用電源を接続するようにした。
（作 用）
アノードとカソードの間の放電により発生するイオンは
金属容器の外側に通常設けられる磁石により誘導されて
例えばチタン材からなるカソード面をスパッタし、該容
器中の気体分子とスパッタされたチタンとが結合してア
ノード面或は金属容器内面に付着することにより真空排
気口から流入する気体が排気される。長時間の運転で排
気能力が低下するとベーキング処理を施して容器内に付
着した気体分子が取り除かれるが、その場合、例えばス
テンレス材で構成したアノードに加熱電源から通電する
ことにより容器内部を加熱すると共に他の真空ポンプに
より容器内を真空に維持して行なわれ、その加熱は容器
内部のアノードを利用して行なうので熱効率が良く、温
度制御も通電量を制御することにより容易に行なえ、容
器外部の磁石の加熱を小さく出来るので加熱による磁石
の減磁効果が少なくなる。また従来は不活性ガスを容器
内に導き、放電を生じさせ乍らイオンボンバードにより
容器内を加熱する手段を併用する必要があったが、本発
明のようにアノードによる加熱では容器′内金体が良好
に加熱されるので加熱だめの不活性ガスが不要になり、
容器内に残存する不活性ガスがポンプの超高真空排気時
になって湧出する不都合がない。
金属容器の外側に通常設けられる磁石により誘導されて
例えばチタン材からなるカソード面をスパッタし、該容
器中の気体分子とスパッタされたチタンとが結合してア
ノード面或は金属容器内面に付着することにより真空排
気口から流入する気体が排気される。長時間の運転で排
気能力が低下するとベーキング処理を施して容器内に付
着した気体分子が取り除かれるが、その場合、例えばス
テンレス材で構成したアノードに加熱電源から通電する
ことにより容器内部を加熱すると共に他の真空ポンプに
より容器内を真空に維持して行なわれ、その加熱は容器
内部のアノードを利用して行なうので熱効率が良く、温
度制御も通電量を制御することにより容易に行なえ、容
器外部の磁石の加熱を小さく出来るので加熱による磁石
の減磁効果が少なくなる。また従来は不活性ガスを容器
内に導き、放電を生じさせ乍らイオンボンバードにより
容器内を加熱する手段を併用する必要があったが、本発
明のようにアノードによる加熱では容器′内金体が良好
に加熱されるので加熱だめの不活性ガスが不要になり、
容器内に残存する不活性ガスがポンプの超高真空排気時
になって湧出する不都合がない。
（実施例）
本発明の実施例を第１図につき説明すると、（１）は真
空室等に接続される真空排気口（ゐを有する金属容器、
（３）は該金属容器（Ｄ内に設けた環状のステンレス製
のアノード、（４） （５）は該アノード（３）を挟ん
で対向して設けたカソードを示し、図示の例では一方の
カソード（４）をタンタルとし、他方のカソード（５）
をチタンで構成した。（６）は該容器（１）の外側でカ
ソード（４） （５）の方向に磁束を発生させる磁石、
（７＞はアノード（３）とカソード（４） （５）間に
放電を発生させるための電源、（８）は該容器（１）内
が超高真空状態であっても放電開始を可能ならしめるべ
くカソード（４）に設けた１次電子源（８ａ）とこれに
対向する２次電子？ｌｉ （８ｂ）とで構成され２次電
子を放出するトリガーである。
空室等に接続される真空排気口（ゐを有する金属容器、
（３）は該金属容器（Ｄ内に設けた環状のステンレス製
のアノード、（４） （５）は該アノード（３）を挟ん
で対向して設けたカソードを示し、図示の例では一方の
カソード（４）をタンタルとし、他方のカソード（５）
をチタンで構成した。（６）は該容器（１）の外側でカ
ソード（４） （５）の方向に磁束を発生させる磁石、
（７＞はアノード（３）とカソード（４） （５）間に
放電を発生させるための電源、（８）は該容器（１）内
が超高真空状態であっても放電開始を可能ならしめるべ
くカソード（４）に設けた１次電子源（８ａ）とこれに
対向する２次電子？ｌｉ （８ｂ）とで構成され２次電
子を放出するトリガーである。
以上の構成は従来のものも略同様であり、真空排気口（
２）の圧力が例えば１０’ Ｔｏｒｒ程度になると電源
（７）から通電され、アノード（３）とカソード（４）
（５）との間にグロー放電が生じ、該放電に伴い発生
した気体分子のイオンがカソード（４） （５）の面や
その周囲の容器（１）に突入して捕捉され、該容器（１
）内の真空度を高め、該真空度が例えば１Ｏ−８ｒｏｒ
ｒ以下の超高真空状態の放電が生じ難い状態になっても
トリガー（８）からの２次電子により放電が維持され、
更に高い真空状態を生成維持することも従来のものと同
様である。また気体分子のイオンが突入する面が既に突
入したイオンで飽和状態になると新たなイオンを捕捉す
る能力が低下し、ポンプ能力の再生のためにベーキング
処理を必要とすることも従来のものと変わりがない。
２）の圧力が例えば１０’ Ｔｏｒｒ程度になると電源
（７）から通電され、アノード（３）とカソード（４）
（５）との間にグロー放電が生じ、該放電に伴い発生
した気体分子のイオンがカソード（４） （５）の面や
その周囲の容器（１）に突入して捕捉され、該容器（１
）内の真空度を高め、該真空度が例えば１Ｏ−８ｒｏｒ
ｒ以下の超高真空状態の放電が生じ難い状態になっても
トリガー（８）からの２次電子により放電が維持され、
更に高い真空状態を生成維持することも従来のものと同
様である。また気体分子のイオンが突入する面が既に突
入したイオンで飽和状態になると新たなイオンを捕捉す
る能力が低下し、ポンプ能力の再生のためにベーキング
処理を必要とすることも従来のものと変わりがない。
而して本発明のものでは、該アノード（３）をステンレ
スの電気抵抗発熱材とし、これに該容器（１）の外部に
設けた加熱用電源（９）から通電によって発熱させ、そ
の輻射熱により該容器（１）内のカソード（４） （５
）や内壁面等を加熱出来るので従来のもののように容器
外部から加熱してベーキング処理する式に較べ効率良く
加熱出来る。さらに該アノード（３）の温度を例えば加
熱用電源（９）との間に設けたトランスａＧを作動させ
ることにより任意に制御出来、比較的正確に容器（１）
内の温度制御を行なえ、磁石（６）は直接加熱されるこ
とがないので加熱による減磁が防止される。
スの電気抵抗発熱材とし、これに該容器（１）の外部に
設けた加熱用電源（９）から通電によって発熱させ、そ
の輻射熱により該容器（１）内のカソード（４） （５
）や内壁面等を加熱出来るので従来のもののように容器
外部から加熱してベーキング処理する式に較べ効率良く
加熱出来る。さらに該アノード（３）の温度を例えば加
熱用電源（９）との間に設けたトランスａＧを作動させ
ることにより任意に制御出来、比較的正確に容器（１）
内の温度制御を行なえ、磁石（６）は直接加熱されるこ
とがないので加熱による減磁が防止される。
またベーキングに際しては該排気口（乃を他のポンプに
接続して容器（１）内を例えば１０″’ Ｔｏｒｒとし
、加熱により遊離したカソード（４＞ （５）、容器（
１）の内壁等に捕捉されていた気体分子を該ポンプで吸
引することにより行なえ、アルゴンガス等の不活性ガス
を使用しないので容器（１）内にベーキングによる不活
性ガスが残存することの不都合が解消される。
接続して容器（１）内を例えば１０″’ Ｔｏｒｒとし
、加熱により遊離したカソード（４＞ （５）、容器（
１）の内壁等に捕捉されていた気体分子を該ポンプで吸
引することにより行なえ、アルゴンガス等の不活性ガス
を使用しないので容器（１）内にベーキングによる不活
性ガスが残存することの不都合が解消される。
尚、加熱用電源（９）は容器（１）の外部にこれと一体
に取付けることが使用上便利であるが、これと別個に用
意することも可能である。
に取付けることが使用上便利であるが、これと別個に用
意することも可能である。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、アノードを電気抵抗発
熱材で構成して、これに加熱用電源を接続するようにし
たのでスパッタイオンポンプのベーキング処理を該アノ
ードを熱源としてポンプ内部から効率良く行なえ、磁石
等のポンプ構成部品が加熱される不都合がなく、ベーキ
ング温度の制御も容易であり、特に不活性ガスを使用す
ることなくベーキング出来るので超高真空時に不活性ガ
スの湧出のないクリーンなイオンポンプが得られる等の
効果がある。
熱材で構成して、これに加熱用電源を接続するようにし
たのでスパッタイオンポンプのベーキング処理を該アノ
ードを熱源としてポンプ内部から効率良く行なえ、磁石
等のポンプ構成部品が加熱される不都合がなく、ベーキ
ング温度の制御も容易であり、特に不活性ガスを使用す
ることなくベーキング出来るので超高真空時に不活性ガ
スの湧出のないクリーンなイオンポンプが得られる等の
効果がある。
図面は本発明の実施例の断面図である。
（１）・・・金属容器
（２）・・・真空排気口
（３）・・・アノード
（４） ＜５）・・・カソード
（９）・・・加熱用電源
特 許 出 願 人 アルバック・ファイ株式会社外２
名
名
Claims (1)
- 真空排気口を有する金属容器内にアノードとカソードを
設け、その間の放電により該カソードをスパッタして該
容器内の気体分子を除去するようにしたものに於いて、
該アノードを電気抵抗発熱材で構成し、これに加熱用電
源を接続することを特徴とするスパッタイオンポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1773985A JPS61179049A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | スパツタイオンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1773985A JPS61179049A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | スパツタイオンポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61179049A true JPS61179049A (ja) | 1986-08-11 |
Family
ID=11952111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1773985A Pending JPS61179049A (ja) | 1985-02-02 | 1985-02-02 | スパツタイオンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61179049A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006134798A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Ulvac Japan Ltd | スパッタイオンポンプ |
| JP2011060430A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-24 | Sanyu Electron Co Ltd | イオン化スパッタ真空ポンプ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5317766A (en) * | 1976-07-31 | 1978-02-18 | Citizen Watch Co Ltd | Lighting device of electronic watch |
-
1985
- 1985-02-02 JP JP1773985A patent/JPS61179049A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5317766A (en) * | 1976-07-31 | 1978-02-18 | Citizen Watch Co Ltd | Lighting device of electronic watch |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006134798A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Ulvac Japan Ltd | スパッタイオンポンプ |
| JP4557681B2 (ja) * | 2004-11-09 | 2010-10-06 | 株式会社アルバック | スパッタイオンポンプ |
| JP2011060430A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-24 | Sanyu Electron Co Ltd | イオン化スパッタ真空ポンプ |
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