JPS61178304A - ワ−ク処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 主粟上皇肌■分見 本発明はワーク処理装置に関し、詳しくは例えば、リニ
アＩＣ等の半導体装置（以下単にワークと称す）の製造
においてワークに所定の表示を捺印する捺印工程に、複
数個のワークを整列収納した収納ケースから１個ずつワ
ークを供給し、更に捺印済のワークを上記収納ケースに
再収納する装置に関するものである。

従来夏肢玉 一般にワークの製造においては、最終的に製品化される
前にワークの所定の位置に品種番号等の表示が捺印され
る。このワークの製造における捺印工程では、例えば第
１１図に示すシングルインライン型のワーク（１）の場
合、半導体素子を含む主要部分を熱硬化性樹脂でモール
ドしたモールド成形部（１ａ）の表面に所定の表示を捺
印している。

通常、上記捺印工程及びその他の処理工程にワーク（１
）を供給したり、或いは工程間で上記ワーク（１）を搬
送したりするに際しては、第１２図に示す収納ケース（
２）に複数個のワーク（１）（１）−を整列収納した状
態で行われる。上記収納ケース（２）はその長手方向上
面に開口溝（２ａ）を有し、且つ、端部の一方が開口す
る長尺なものである。この収納ケース（２）には複数個
のワーク（１）（１）−が整列収納され、該ワーク（１
）（１）−のモールド成形部（ｌａ）　　（ｌａ＞−１
即ち捺印箇所が収納ケース（２）の開口ａ（２ａ）　　
（２ａ）　　−から露呈している。

捺印工程にて捺印機にワーク（１）を供給するに際して
は、上記収納ケース（２）からワーク（１）を順次取出
し、捺印完了後は捺印済のワーク（１）（１）−・別の
収納ケース（２）に順次挿入し、複数個のワーク（１）
（１）・・・をを整列収納させて収納ケース（２）ごと
後工程に搬送・供給している。

一、日が”パシよ゛と　るう ところで、上記捺印工程において使用する捺印機を含め
、収納ケース（２）からワーク（１）を１次取出して上
記捺印機に供給する装置及び捺印機から排出される処理
済のワーク（１）を収納ケースに再収納する装置は、ワ
ーク（１）を供給する収納ケースと、ワーク（１）を再
収納する収納ケースとを別々に配備しているため、大型
な設備を必要とし、装置の設置スペースを有効利用する
ことが非常に困難であった。また、捺印機にワーク（１
）を供給するための収納ケース（２）を適宜補充すると
共に捺印機から排出される処理済のワーク（１）を再収
納するための収納ケース（２）も適宜補充しなければな
らないので、作業性も大幅に低下するという問題点もあ
り、改善が望まれていた。

。　　　　°　るための 本発明は、上記問題点に鑑み提案されたもので、この問
題点を解決するための技術的手段は、複数個のワークを
整列収納した収納ケースを多段に亘って縦積みしたワー
ク供給部と、該ワーク供給部から収納ケースを個別分離
して搬出した後供給ポジションにて、収納ケースからワ
ークを順次取出してワーク処理部に移送する供給シュー
ト部と、上記供給ポジションにてワークが取出された空
の収納ケースを、エレベータ機構を利用して次の収納ポ
ジションに搬送する収納ケース回送部と、ワーク処理部
から処理済のワークを収納ポジションにて待機する収納
ケースに順次移送する収納シュート部と、収納ポジショ
ンから搬送されて（る、処理済のワークを整列再収納し
た収納ケースを多段に亘って縦積みしたワーク収納部と
を具備したものである。

作朋 本発明は上記技術的手段によりワーク供給部に供給され
た収納ケースからワークを順次取出して所定の処理を行
った後、処理済のワークを上記ワーク供給部からワーク
収納部へ搬送する途中にある収納ケースに再収納するこ
とにより、ワーク供給部とワーク収納部とに夫々別々に
収納ケースを配備する必要なく、上記ワーク供給部に供
給した収納ケースをそのままワーク収納部にて再利用で
きるものである。

実皿拠 以下に本発明に係るワーク処理装置を半導体装置の製造
における捺印工程に適用した一実施例を第１図乃至第１
Ｏ図を参照しながら説明する。第１図はワーク処理装置
の斜視図を示し、同図に於いて、（３）は後述する捺印
機にワーク（１）を供給するためのワーク供給部で、こ
のワーク供給部（３）は基台（４）上に立設された２枚
の側壁（５）（５）からなり、該側壁（５）（５）の対
向する内面（５ａ）　　（５ａ）には、２列のガイドｉ
　（６）（６）が形成され、このガイドｉ　（６）（６
）に沿って複数個のワーク（１）（ＩＬ−を整列収納し
た収納ケース（２）（２）−・を多段に亘って縦積みす
る。

（７）は上記収納ケース（２）をワーク供給部（３）か
ら基台（４）の端部まで搬送するために該基台（４）上
に配置した第１のチェーンコンベア、（８）はワーク供
給部（３）から収納ケース（２）を個別分離して搬出し
た後、第１のチェーンコンベア（７）上の供給ポジショ
ンにて収納ケース（２）の開口端部を下方にした状態で
収納ケース（２）を傾斜させ、該収納ケース（２）内の
ワーク（１）（１）−を順次取出してワーク処理部、例
えば捺印機（９）に移送する供給シュート部である。上
記捺印機（９）は取付台（１０）上に設置されている。

（１１）は第１のチェーンコンベア（７）上の供給ポジ
ションにてワーク（１）（１）・−が取出された空の収
納ケース（２）を、基台（４）の端部から下方゛へ搬送
させる収納ケース回送部であるエレベータ機構、（１２
）は該エレベータ機構（１１）により降下してきた空の
収納ケース（２）を後述するワーク収納部まで移送する
ために、前記基台（４）の下方位置で傾斜した基台（１
３）上に配置した第２のチェーンコンベアで、この第２
のチェーンコンベア（１２）の移送方向は前記第１のチ
ェーンコンベア（７）の移送方向とは逆である。（１４
）は捺印機（９）から捺印済のワーク（１）（１）−を
第２のチェーンコンベア（１２）上の収納ポジションに
て待機する空の収納ケース（２）に順次移送する収納シ
ュート部、（１５）は上記収納ポジションにて捺印済の
ワーク（１）（１）−を整列再収納した後、第２のチェ
ーンコンベア（１２）により収納ポジションから搬送さ
れてきた収納ケース（２）を多段に亘って縦積みするワ
ーク収納部で、このワーク収納部（１５）は、前記ワー
ク供給部（３）と同一構造で基台（１３）上に立設した
２枚の側壁（１６）　　（１６）からなり、該側壁（１
６）　　（１６）の対向する内面（１６ａ）（１６ａ）
には２列のガイド溝（１７）　　（１７）が形成されて
いる。

上記ワーク供給部（３）は第２図及び第３図に示すよう
に両側壁（５）（５）の下方で突出退入自在に対向配置
した分離爪（１８）　　（１８）を有し、該分離爪（１
８）　　（１８）により多段に亘って縦積みした収納ケ
ース（２）　　（２）−の内、最下段の収納ケース（２
）を切り出して個別分離する。また両側壁（５）（５）
間の基台（４）上には前述したように第１のチェーンコ
ンベア（７）の端部が配置されていると共に、上記分離
爪（１Ｂ）　　（１８）により分離された最下段の収納
ケース（２ンを一旦載置する載置台（１９）が設けられ
ている。この載置台（１９）は図示しないがシリンダに
より昇降可能に取付けられている。

次に第１．１２のチェーンコンベア（７）（１２）は第
４図（ａ）、（ｂ）に示すように夫々離隔したスプロケ
ットホイール（２０ａ　）　　（２０ｂ　）（２１ａ　
）　　（２１ｂ　）に無端状のチェーン（２２）（２３
）を纏掛け、該チェーン（２２）　　（２３）の全周に
亘って収納ケース（２）の両端部を載置するための多数
個の突状部材（２４）　　（２５）−を固着したもので
ある。上記第１のチェーンコンベア（７）の端部におけ
るポジション（Ｐ４）には、第１のチェーンコンベア（
７）上の収納ケース（２）をエレベータ機構（１１）に
転送するための送り爪（２６）が、第１のチェーンコン
ベア（７）の移送方向に移動可能に設けられている。ま
た第２のチェーンコンベア（１２）の端部におけるポジ
ション（Ｐ５）にも、エレベータ機構（１１）により下
降してくる収納ケース（２）を第２のチェーンコンベア
（１２）に転送するための送り爪（２７）が、第２のチ
ェーンコンベア（１２）の移送方向に移動可能に設けら
れている。更に第２のチェーンコンベア（１２）のポジ
ション（Ｐｌｏ）　　（Ｐｔｔ）には図示しないが、前
述のワーク収納部（１５）の側壁（１６）　　（１６）
が配置され、ワーク供給部（３）の側壁（５）（５）と
同様に上記両側壁（１６）　　（１６）の下方に突出退
入自在に分離爪（図示せず）を対向配置し、且つ、ポジ
ション（Ｐｌｏ）（Ｐａｔ）に搬送されてきた収納ケー
ス（２）（２）の下方に昇降自在にブツシャ−（図示せ
ず）を配置する。

上記第１のチェーンコンベア（７）の供給ポジション（
Ｐ３）には、収納ケース（２）を位置決めしながらチャ
ックするチャック装置（２８）が設置されている。この
チャック装置（２８）は上記収納ケース（２）の両側方
から収納ケース（２）を挟持する把持爪（２９）　　（
２９）を回動自在に対向配置し、第５図にも示すように
上記把持爪（２９）　　（２９）は支持ブロック（３０
）に枢着されており、該支持ブロック（３０）は基台（
４）上に立設した支持部材（３１）に枢着されたアーム
（３２）の先端に固着されている。また上記支持ブロッ
ク（３０）の一部にシリンダ（３３）のロンド（３３ａ
　）を枢着する。尚、このチャック装置（２８）にて位
置決め保持された収納ケース（２）の開口端部と略当接
する位置に供給シュート部（８）の上端部（８ａ）が配
置されている。

上記供給シュート部（８）は、第６図に示すようにワー
ク（１）のモールド成形部（ｌａ）が移動するシュート
（８ｂ）と、該シュート（８ｂ）に連通して側方に開口
し、上記ワーク（１）のリード部（１ｂ）が移動する開
口溝（８ｃ）とを有する。この供給シュート部（８）の
略中央部分には開口ｍ　（８ｃ）の側方で微小振動する
２個のブロック（３４）　　（３４）が配置され、この
ブロック（３４）　　（３４）間にてワーク（１）のリ
ード部（１ｂ）を瞬間的に挟み込むことによりリード部
がりを修正する。また供給シュート部（８）の下端部近
傍の上下方向に２個のローラ（３５）（３５）を対向配
置している。

ワーク処理部である捺印機（９）は第７図乃至第９図に
示すように基台（１０）　　（第１図参照）上に回転自
在にインデックステーブル（３６）を装着し、該インデ
ックステーブル（３６）の周縁部に亘って等間隔に取付
部材（３７）　　（３７Ｌ−・（図ではＥＮＩりを配設
すると共に該取付部材（３７）　　（３７Ｌ−−−にヘ
ッド（３８）　　（３Ｂ）・・−を軸支し、酸ヘッド（
３８）　　（３Ｂ）−に取付けられたカムフォロア（３
９）　　（３９）・・−により所定のポジションにて所
望の角度にヘッド（３８）　　（３８）−を傾動させる
。このヘッド（３Ｂ）　　（３８）−の上面には、前記
供給シュート部（８）から移送されてくるワーク（１）
が載置されるステージ部（３８ａ　）　　（３８ａ　）
−一・−が形成されており、更に上記ヘソｔ’　（３８
）　　（３Ｂ）−の外側にはストッパ部材（３９）　　
（３９）−・−が枢着されている。

収納シュート部（１４）は、第１０図に示すように、そ
の上端部（１４ａ）が前記捺印機（９）のインデックス
テーブル（３６）のヘッド（３８）（３８）　−の内、
排出ポジション（Ｓ４）にあるヘッド（３日）の近傍に
配置され、一方下端部（１４ｂ　）が第２のチェーンコ
ンベア（１２）上の収納ポジション（Ｐａ）（第４図参
照）に位置する空の収納ケース（２）の開口端部の近傍
に配置されている。

本発明に係るワーク処理装置の動作を以下に説明すると
、まず複数個のワーク（１）（１）　　　’−を整列収
納した収納ケース（２）（２）−を多段に亘って縦、債
みしてワーク供給部（３）に供給する。第２図及び第３
図に示すようにこの状態からワーク供給部（３）の両側
壁（５）（５）下方にある分離爪（１Ｂ）　　（１８）
を突出作動させて縦積みにした収納ケース（２）（２）
−の最下段から２番目上にある収納ケース（２）（２）
−に挿入し、最下段の収納ケース（２）（２）のみを切
出して分離する。この時載置台（１９）は上昇端位置に
あり、分離された収納ケース（２）（２）は上記載置台
（１９）上に載置される。その後載置台（１９）を下降
させることにより第４図（ａ）、（ｂ）に示すように第
１のチェーンコンベア（７）上のポジション（Ｐｏ　）
（Ｐｌ）にて収納ケース（２）（２）を該第１のチェー
ンコンベア（７）上に載置する。第１のチェーンコンベ
ア（７）の駆動により供給ポジション（Ｐａ）に移送さ
れた収納ケース（２）は、チャック装置（２８）の把持
爪（２９）　　（２９）を内方へ回動させることにより
両側から挟持されて位置決め保持される。この状態から
第５図に示すようにシリンダ（３３）の作動によってロ
ンド（３３ａ）を突出させて支持ブロック（３０）を傾
動させ、収納ケース（２）を開口端部を下方にした状態
で、収納ケース（２）が供給シュート部（８）と−直線
状になる角度まで傾斜させる。これにより収納ケース（
２）内のワーク（１）（１）−・は、順次供給シュート
部（８）に転送され、第６図に示すように供給シュート
部（８）の途中にて微小振動するブロック（３４）（３
４）でリード曲がりを修正しながら供給シュート部（８
）の下端部近傍に達する。そしてローラ（３５）　　（
３５）を所定量ずつ間欠的に回転駆動させろことにより
所定の速度でワーク（１）（１）−・−を順次捺印機（
９）に供給する。

一方第４図（ａ）、（ｂ）に示すように第１のチェーン
コンベア（７）の供給ポジション（Ｐｓ）にて空になっ
た収納ケース（２）は、水平状態に復帰した後、更に第
１のチェーンコンヘア（７）の駆動でポジション（Ｐ４
）に移送される。そして該ポジション（Ｐ４）に位置す
る送り爪（２６）を移動させることにより収納ケース（
２）を第１のチェーンコンベア（７）からエレベータ機
構（１１）に転送する。上記エレベータ機構（１１）の
駆動によって下降端位置まで下降した収納ケース（２）
を送り爪（２７）を移動させることにより第２のチェー
ンコンベア（１２）上のポジション（Ｐｓ）に転送し、
その後第２のチェーンコンベア（１２）を駆動させてポ
ジション（Ｐｓ　）　　（Ｐ７　）を介して収納ポジシ
ョン（Ｐｓ　）　Ｌこ空の収納ケース（２）を移送する
。

他方前記供給シュート部（８）から捺印機（９）に供給
されたワーク（１）は、第７図乃至第９図に示すように
供給シュート部（８）と−直線状になるように所定の角
度に傾斜した供給ポジション（ＳＯ）のヘッド（３８）
に転送され、該ヘッド（３８）のステージ部（３８ａ　
）に載置されたワーク（１）はストッパ部材（３９）に
より係止されると共に位置決めされる。その後インデッ
クステーブル（３６）を間欠的に回転させることにより
上記ヘッド（３８）をポジション（Ｓｌ）に移送すると
共に水平状態にして捺印前処理を行い、更にポジション
（Ｓ２）に移送してワーク（１）の捺印を行う。捺印完
了後、ポジション（Ｓ３）にてモニター処理等により捺
印確認などの後処理を行って上記ヘッド（３８）を排出
ポジション（Ｓ４）に移送する。この時排出ポジション
（Ｓ４）ではヘッド（３８）を収納シュート部（１４）
と−直線状になるように所定の角度に傾動させ、ストッ
パ部材（３９）を解放することにより捺印済のワーク（
１）を収納シュート部（１４）に転送する。

収納シュート部（１４）に転送されたワーク（１）は、
前述したように第２のチェーンコンベア（１２）上の収
納ポジション（Ｐｓ）にて待機する空の収納ケース（２
）の再収納される。

第４図（ａ）、（ｂ）に示すようにこの収納ケース（２
）に複数個の捺印済ワーク（１）　　（１）・−が整列
収納されると、第２のチェーンコンベア（１２）を駆動
させて該収納ケース（２）をポジション（Ｐｌｏ）或い
は（Ｐｉ）に移送し、下方に配置したプッシャー（図示
せず）を突出作動させて収納ケース（２）を上昇させる
と共にワーク収納部（１５）の側壁（１６）　　（１６
）に設けた分離爪（図示せず）を突出作動させて収納ケ
ース（２）を係止することによりワーク収納部（１５）
に捺印済ワーク（１）　　（１）・・・−を有する収納
ケース（２）を下段から縦積み、して収納する。

上記動作によりワーク供給部（３）に縦積みされた収納
ケース（２）（２）−・からワーク（１）（１）−・−
を順次取出して捺印機（９）に供給し、該捺印機（９）
による捺印済のワーク（１）（１）−・−を上記ワーク
供給部（３）で使用した収納ケース（２）（２）−に再
収納した後、その収納ケース（２）　　（２）−を順次
ワーク収納部（１５）に縦積みする。

尚、上記実施例では半導体装置の製造における捺印工程
にワーク処理装置を通用した例を説明したが、本発明は
これに雨足されることな（、その他の電子部品や機構部
品等の製造工程にて使用することも勿論可能である。

文皿夏班来 本発明によれば、ワーク供給部にて使用した収納ケース
を再利用して処理済のワークを上記収納ケースに再収納
するため、設備のコンパクト化が容易となり、装置の設
置スペースを有効利用することが可能となる。またワー
ク収納部に収納ケースを新たに補充する必要がないので
作業は自動化でき、勿論作業性も大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るワーク処理装置の一実施例を示す
斜視図、第２図はワーク供給部の一部を示す部分断面図
、第３図はワーク供給部の一部を示す部分側面図、第４
図（ａ）、（ｂ）は第１、第２のチェーンコンベアを示
す概略説明図、第５図は第１のチェーンコンベアの供給
ポジションにおけるチャック装置を示す説明図、第６図
は供給シュート部を示す側断面図、第７図は捺印機のイ
ンデックステーブルを示す平面図、第８図は捺印機のヘ
ッドを示す側面図、第９図は供給及び排出ポジションに
おけるヘッドを示す正面図、第１０図は収納シュート部
を示す正面図、第１１図はワーク（半導体装置）の−例
を示す斜視図、第１２図は収納ケースの一例を示す斜視
図である。 （１）−ワーク（半導体装置）、（２Ｌ−収納ケース、
（３）・−・ワーク供給部、（７）　−第１のチェーン
コンベア、（８）　−供給シュート部、（９）　−ワー
ク処理部（捺印機）、（１１）・〜収納ケース回送部（
エレベータ機構）、　（１２）・−第２のチェーンコン
ベア、（１４）　−収納シュート部、（１５）・−・ワ
ーク収納部、（Ｐ３）・−供給ポジション、（Ｐｓ）−
収納ポジション。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数個のワークを整列収納した収納ケースを多段
   に亘って縦積みしたワーク供給部と、該ワーク供給部か
   ら収納ケースを個別分離して搬出した後供給ポジション
   にて収納ケースからワークを順次取出してワーク処理部
   に移送する供給シュート部と、 上記供給ポジションにてワークが取出された空の収納ケ
   ースを次の収納ポジションに搬送する収納ケース回送部
   と、 ワーク処理部から処理済のワークを収納ポジションにて
   待機する収納ケースに順次移送する収納シュート部と、 収納ポジションから搬送されてくる、処理済のワークを
   整列再収納した収納ケースを多段に亘って縦積みしたワ
   ーク収納部とを具備したことを特徴とするワーク処理装
   置。