JPS61168147A - 情報記録媒体 - Google Patents
情報記録媒体Info
- Publication number
- JPS61168147A JPS61168147A JP60005793A JP579385A JPS61168147A JP S61168147 A JPS61168147 A JP S61168147A JP 60005793 A JP60005793 A JP 60005793A JP 579385 A JP579385 A JP 579385A JP S61168147 A JPS61168147 A JP S61168147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- silicon nitride
- recording layer
- recording
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はたとえば光デイスクメモリにおいて、情報の記
録、再生および消去可能な情報記録媒体層構成の改良に
関する。
録、再生および消去可能な情報記録媒体層構成の改良に
関する。
近年、情報量の増大に伴ない情報を高密度に記録し再生
する媒体の開発が行なわれている。この種の媒体に対す
る情報記録法としてレーザー光や短パルスのキセノン光
などのエネルギーによる記録材料の光学的性質（吸収、
反射、透過）の変化を利用する方法が挙げられる。この
方法は（１）記録面密度が高くビット当りのメモリコス
トが安い。
する媒体の開発が行なわれている。この種の媒体に対す
る情報記録法としてレーザー光や短パルスのキセノン光
などのエネルギーによる記録材料の光学的性質（吸収、
反射、透過）の変化を利用する方法が挙げられる。この
方法は（１）記録面密度が高くビット当りのメモリコス
トが安い。
（２）高速アクセスが可能である。（３）記録媒体の保
存性が良い。と云った利点を有している。現−在までに
これらの記録材料としては金属（タングステン、クロム
、ニッケルなど）または半金属（８ｉ０，８ｉ０２など
のシリコン系）のような無機薄膜、染料などを含有した
ポリマーによる有機薄膜などが知られている。
存性が良い。と云った利点を有している。現−在までに
これらの記録材料としては金属（タングステン、クロム
、ニッケルなど）または半金属（８ｉ０，８ｉ０２など
のシリコン系）のような無機薄膜、染料などを含有した
ポリマーによる有機薄膜などが知られている。
また、記録方法としてはレーザー光の熱により記録媒体
を溶融、蒸発させて微小孔（ビット）を形成し、その反
射率変化を読み取る方法が用いられている。この方法は
記録されたビット情報を消去できないという欠点がある
。
を溶融、蒸発させて微小孔（ビット）を形成し、その反
射率変化を読み取る方法が用いられている。この方法は
記録されたビット情報を消去できないという欠点がある
。
これに対して、カルコゲナイド材料に見られるようなレ
ーザー光照射による結晶と非晶質の相変化による反射率
の変化を用いた書換え可能な情報記録媒体も開発が進め
られている。
ーザー光照射による結晶と非晶質の相変化による反射率
の変化を用いた書換え可能な情報記録媒体も開発が進め
られている。
このような書換え可能な記録層としてはＴｅｉだけＴｅ
を主体とするカルコゲナイド材料が多く用いられている
。Ｔｅ系材料は（１）融点が低い。（２）熱伝導率が低
い。（３）レーザー光波長での光吸収が大きい。と云っ
た長所をもっている反面窄気中での酸化が発生し酸化物
となり易い短所をもっている。上記Ｔｅの酸化膜は光照
射による結晶から非晶質へ、あるいは非晶質から結晶へ
の相変化によっても光学濃度の変化は得られず、情報の
記録が行なえなくなる。そのため、記録層の耐酸化性を
増すことがこの種の記録媒体を実用化するだめの重要な
ポイントとなる。そこで、この記録層に種々の材料を積
層することにより酸化の防止を図ることが試みられてき
た。その材料としては他の金属薄膜（Ｎｉ 、Ｃｒ 、
Ｗ ）や有機薄膜が王に用いられている。
を主体とするカルコゲナイド材料が多く用いられている
。Ｔｅ系材料は（１）融点が低い。（２）熱伝導率が低
い。（３）レーザー光波長での光吸収が大きい。と云っ
た長所をもっている反面窄気中での酸化が発生し酸化物
となり易い短所をもっている。上記Ｔｅの酸化膜は光照
射による結晶から非晶質へ、あるいは非晶質から結晶へ
の相変化によっても光学濃度の変化は得られず、情報の
記録が行なえなくなる。そのため、記録層の耐酸化性を
増すことがこの種の記録媒体を実用化するだめの重要な
ポイントとなる。そこで、この記録層に種々の材料を積
層することにより酸化の防止を図ることが試みられてき
た。その材料としては他の金属薄膜（Ｎｉ 、Ｃｒ 、
Ｗ ）や有機薄膜が王に用いられている。
しかしながら、これらの金属薄膜はＴｅなどの記録層に
対して付着性が悪く、また機械的強度が弱く表面に傷が
付き易いといった欠点を有している。一方、有機薄膜の
場合には耐熱性が劣るため情報記録時において熱により
膜の変形や孔形成が生ずる可能性を有している。
対して付着性が悪く、また機械的強度が弱く表面に傷が
付き易いといった欠点を有している。一方、有機薄膜の
場合には耐熱性が劣るため情報記録時において熱により
膜の変形や孔形成が生ずる可能性を有している。
このような金属薄膜や有機薄膜の酸化防止層の欠点を補
なうため酸化珪素（８ｉ０．ＳｉＯ２など）が用いられ
る。この酸化珪素膜は血４熱性に優れ、かつ傷が付き難
く緻密であるといった長所をもち、保護層としては好適
であるが、反面吸湿性をもっているため酸化珪素膜単独
では強度が弱く、樹脂などにより被覆層を形成する必要
があるという欠点を有している。
なうため酸化珪素（８ｉ０．ＳｉＯ２など）が用いられ
る。この酸化珪素膜は血４熱性に優れ、かつ傷が付き難
く緻密であるといった長所をもち、保護層としては好適
であるが、反面吸湿性をもっているため酸化珪素膜単独
では強度が弱く、樹脂などにより被覆層を形成する必要
があるという欠点を有している。
本発明は上記事情にもとづいてなされたもので、酸化防
止層として従来よりも高い耐酸化性をもつ材料を用いる
ことにより空気中および基板からの酸化を防止し、長期
間の使用に耐え得る情報記録媒体を提供することを目的
とする。
止層として従来よりも高い耐酸化性をもつ材料を用いる
ことにより空気中および基板からの酸化を防止し、長期
間の使用に耐え得る情報記録媒体を提供することを目的
とする。
本発明は上記目的を達成するために従来用いられていた
酸化珪素膜よりも酸化防止作用の大きい酸素を窒素でお
き換えた窒化珪素膜で記録層に付着させることにより酸
化を防止するようにしたことを特徴とするものである。
酸化珪素膜よりも酸化防止作用の大きい酸素を窒素でお
き換えた窒化珪素膜で記録層に付着させることにより酸
化を防止するようにしたことを特徴とするものである。
以下、本発明を図面に示す一実施例にもとづいて説明す
る。図中、（１）はアクリル、ポリカーボネート、ガラ
スなどの材質からなる基板、（２）はＴｅまたはＴｅを
含むカルコゲナイド材の記録層、（３ａ）、（３ｂ）は
上記記録層（２）の上面、下面に成膜される窒化珪素膜
を用いた酸化防止層である。
る。図中、（１）はアクリル、ポリカーボネート、ガラ
スなどの材質からなる基板、（２）はＴｅまたはＴｅを
含むカルコゲナイド材の記録層、（３ａ）、（３ｂ）は
上記記録層（２）の上面、下面に成膜される窒化珪素膜
を用いた酸化防止層である。
つぎに、本発明による情報記録媒体の作成方法を説明す
る。まず、メタン雰囲気中において基板（１）上に珪素
をターゲットとしてスパッタリングすることにより窒化
珪素層（３ａ）を成膜する。つぎに、上記窒化珪素層（
３ａ）上にＴｅをターゲットトシてスパッタリングする
ことにより記録層（２）全積層する。そして、最後に最
初と同様の方法で上記記録層（２）上に窒化珪素層（３
ｂ）を積層して完成す名。このとき、酸化防止用窒化珪
素層（３ａ）。
る。まず、メタン雰囲気中において基板（１）上に珪素
をターゲットとしてスパッタリングすることにより窒化
珪素層（３ａ）を成膜する。つぎに、上記窒化珪素層（
３ａ）上にＴｅをターゲットトシてスパッタリングする
ことにより記録層（２）全積層する。そして、最後に最
初と同様の方法で上記記録層（２）上に窒化珪素層（３
ｂ）を積層して完成す名。このとき、酸化防止用窒化珪
素層（３ａ）。
（３ｂ）の膜厚は記録層（２）の上部、下部とも約１０
００＾、記録層（２）の膜厚は５００ ′Ａである。ま
た、珪素ヲターケットとしてスパッタリングするときの
Ａｒ分圧は３Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ 、窒素分圧は５Ｘ１
０ ” Ｔｏｒｒ 。
００＾、記録層（２）の膜厚は５００ ′Ａである。ま
た、珪素ヲターケットとしてスパッタリングするときの
Ａｒ分圧は３Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ 、窒素分圧は５Ｘ１
０ ” Ｔｏｒｒ 。
印加電力は２００Ｗ、スパッタ時間は２０分である。
このような方法で作成した記録媒体を用いて記録、消去
の繰返しを行なった結果、所期の目的を達成することが
確認され、さらにこの記録媒体に対し高温、高湿中で劣
化試験を行なった結果、窒化珪素膜は酸化防止層として
の効果が極めて顕著であることが立証された。
の繰返しを行なった結果、所期の目的を達成することが
確認され、さらにこの記録媒体に対し高温、高湿中で劣
化試験を行なった結果、窒化珪素膜は酸化防止層として
の効果が極めて顕著であることが立証された。
なお、上記実施例では窒化珪素膜を記録層の上部、下部
に積層して構成したが、必ずしもとれに限定されるもの
ではなく記録層の上部にのみ窒化珪素膜を積層すること
により基板側に多少の酸化が考えられるが、実用上は差
支えない。
に積層して構成したが、必ずしもとれに限定されるもの
ではなく記録層の上部にのみ窒化珪素膜を積層すること
により基板側に多少の酸化が考えられるが、実用上は差
支えない。
以上説明したように本発明によれば記録層の片面まだは
両面に層形成される窒化珪素膜は従来の酸化珪素膜に比
べて化学的に安定しており、水分、アルカリイオンに対
するブロック効果が大きく機械的強度にも優れた利点を
有している。また、酸化珪素膜に比べて記録層との接着
性が良好であるだめクラックが発生するという現象はな
く、さらには記録層の蒸発を防ぐことにより結晶から非
晶質へ、あるいは非晶質から結晶への相変化域を広げる
ことができて記録、消去時の圧力を下げることが可能で
ある。また、熱伝導率が低いため熱の拡散を防止し、ス
ポット径を絞ることができるといった他の効果も有して
おり、記録層の酸化防止層として優れた特性をもつもの
である。
両面に層形成される窒化珪素膜は従来の酸化珪素膜に比
べて化学的に安定しており、水分、アルカリイオンに対
するブロック効果が大きく機械的強度にも優れた利点を
有している。また、酸化珪素膜に比べて記録層との接着
性が良好であるだめクラックが発生するという現象はな
く、さらには記録層の蒸発を防ぐことにより結晶から非
晶質へ、あるいは非晶質から結晶への相変化域を広げる
ことができて記録、消去時の圧力を下げることが可能で
ある。また、熱伝導率が低いため熱の拡散を防止し、ス
ポット径を絞ることができるといった他の効果も有して
おり、記録層の酸化防止層として優れた特性をもつもの
である。
図面は本発明の一実施例を示す情報記録媒体の層構成図
である。 １・・基板 ２・・記録層 ３ａ、３ｂ 窒化珪素層 代理人 弁理士 井 上 −男 図 −２７：−
である。 １・・基板 ２・・記録層 ３ａ、３ｂ 窒化珪素層 代理人 弁理士 井 上 −男 図 −２７：−
Claims (4)
- （１）集束光を用いて情報が記録される情報記録媒体に
おいて、基板と、この基板上に形成した記録層と、この
記録層を保護するように設けた窒化珪素層とを具備した
ことを特徴とする情報記録媒体。 - （２）記録層はＴｅまたはＴｅを含むカルコゲナイドに
より形成されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の情報記録媒体。 - （３）窒化珪素層は記録層の上部にのみ形成したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の情報記録媒体。 - （４）窒化珪素層は記録層の上部および記録層と基板と
の間に形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の情報記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005793A JPS61168147A (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 情報記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60005793A JPS61168147A (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 情報記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61168147A true JPS61168147A (ja) | 1986-07-29 |
Family
ID=11620957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60005793A Pending JPS61168147A (ja) | 1985-01-18 | 1985-01-18 | 情報記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61168147A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281751A (ja) * | 2004-04-28 | 2006-10-19 | Sony Corp | 追記型光記録媒体 |
-
1985
- 1985-01-18 JP JP60005793A patent/JPS61168147A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281751A (ja) * | 2004-04-28 | 2006-10-19 | Sony Corp | 追記型光記録媒体 |
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