JPS61167849A - 放射線吸収の定量的測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、放射線吸収の定量的測定方法及び装置に関
するものである。

［発明の背景］ （１）発明の分野 排他的ではないが、それは特に、混合又は混成された物
質からなる異なる部分の密度及び等質性非接触非破壊試
験によく適用される。以下、“混合物質”は、巨視的又
は微細な異なる性質のマトリックスと称されるメインフ
ェイズ及び１つ以上のフェイズからなり一般にそれほど
高密度でない種々の物質（添加性物質、繊維性物質）を
化学的又は物理的に示す。これに対し、用語“混成”は
、例えば金属挿入物などの等方性物質の挿入物からなる
物質又は構造に関係する。

（２）従来技術の説明 異なる物質の厚さ又は密度を測定するために、電離さ“
れた放射線を用いることは長い間知られている。更に最
近では、光電子工学及び自動化の発達により、Ｘ線及び
映像再構成技術を用いたシステム（Ｘ線スキャナ、ガン
マカメラ）が、人体組織の断層写真を作るため、医学分
野において実用化されている。しかし、この装置は定量
的測定が可能な装置ではない。

産業において、これらの技術は、金属構造の最終制御用
の冶金術、（分裂、溶接）、又は積層形成（機械の調整
、鋳造の厚さ、・・・など）においてほとんど排他的に
発達してきた。

現在まで、混合物質産業の必要性に適合するシステムは
存在しない。

［発明の要約］ 従って、この発明は、混合又は“混成”物質の内側の密
度変化の分析に適合された産業的高精度定量的測定装置
を提供する。この“混成”物質は巨視的に異質であるが
、その質量は異成分の均質分布に依存する。

従って、この発明の方法及び装置は、試験されたワーク
ピースにおける等質性の欠点を、探し、位置を決定し且
つ測定することを可能にする。

この発明の産業的特徴は、ワークピースを最小時間で試
験する溜めの技術的解決にある。全ての機能の自動作用
は、それゆえシステムの決定要因である。

結果を速やかに分析するため、この装置は、試験される
べき生産物の必要仕様により予め決定された規準に従っ
て、ワークピースが“公差外”であることを示すことを
可能にする。従って、機械がこの種の情報を直接与え、
訴訟事件（公差限界外）がそれを詳細に分析させること
を可能にする。

好ましくは、この発明は、適切に選択された放射線源か
らのガンマ量子ビームを用いる。勿論、この発明の装置
は、オペレータに対する個々の保護を伴うことなく、放
射能からの安全を保証し且つこの分野（電離された放射
線）における大勢の標準に完全に従っている。

Ｘ線スキャナなどのシステムに関する簡潔な設計は、映
像再構成がないため、それを判定部分を完全最小限に減
少する定量的測定の可能な装置にする。従って、この発
明の装置のコストは実質的にスキャナのコストより小さ
い。

このため、この発明によれば、電磁放射線ビームを用い
たワークピースの放射線吸収の定量的測定のための方法
は、ワークピースの複数のセクションがビームによって
連続的に観察され且つビームにより受ける減衰が測定さ
れており、以下のＡ〜Ｄにおいて顕著である。

八　−観察される各セクションは、第１の複数の隣接し
た個々の区域に仮に再分割され、その各々はビームに関
する区域長さの単位当たりの減衰を示す未知数と関連す
る。

Ｂ　−第１の複数の個々の区域よりも大きくなるように
選択された第２の複数の相対位置が、各セクションと相
当するセクションの区域とに連絡している間、各々のセ
クションは電磁放射線ビームでスキャンされる。

Ｃ−その後、これら相対位置の各々に対し、ａ−ビーム
が通過する各区域内でビームにより移動する通路長さが
計算される。

ｂ−ビームが通過する各区域に対し、ビームの通路長さ
によって掛け算される長さ単位当たりの減衰係数の異な
る積の総和からなる等式項Ｓが形成される。

Ｃ−セクションの相当する区域を通盪した後にビーム強
度Ｉが測定されて、式ｌｏｇ（Ｉｏ／　Ｉ）が形成され
る。Ｉｏは区域を通過する前のビーム強度である。

ｄ−次の等式が形成される。

ｌｏｇ（１゜／１）＝Ｓ Ｄ　−その後、ビームとセクションの区域との間の全て
の相対位置に対し、異なる等式ｌｏｇ（ｔｏ／　１）＝
Ｓが一緒に集められることにより、セクションの各区域
の長さ単位当たりの減衰係数値を決定するために解かれ
る等式のシステムを形成する。

こうして、その後、得られた長さ単位当たりの異なる減
衰係数値を比較し、且つ等質性の欠陥を持ったセクショ
ンの１つ又はそれ以上の実行可能区域を決定することが
できる。

ワークピースの複数の連続セクションに対するこのよう
な操作は、もはや等質性の欠陥を示す体積以外が決定さ
れる区域ではない。

異なる計算を実行するには、電子計算システムが用いら
れる。各セクションを複数の区域に再分割する図式及び
電磁放射線ビームの位置はそれに伝達されている。従っ
て、ビームが通過する区域及び各区域の内側のビーム通
路長さを決定することができる。そして、容易に線形等
式のシステムを確立し、且つ容易に区域毎に減衰係数の
所望値を決定できる。勿論、この電子計算システムは、
１つのセクションから他のセクションへのビーム通路を
制御するのと同様に、１つのセクションの複数の区域と
ビームとの間の相対動作を制御するため、有益に使用さ
れている。

計算を簡潔にするため、ワークピースの観察される各セ
クションは、正方形又は長方形の個々の区域に再分割さ
れて２つの長方形方向と平行な線及びカラムに分割され
、ビームと複数の区域との間の相対位置の少なくともい
くつかにおいては、ビームか１つ又は他の長方形方向と
平行である。

又、ビームとセクションの複数の区域との間の相対位置
の少なくともいくつかに対して、ビームは正方形又は長
方形の１つ又は他の対角線と平行であってもよい。

更に計算を簡潔にするためには、電磁放射線ビームとセ
クションの複数の区域との間の相対動作が段階的に実行
され、且つビームが各段階でスキャンされる１つ又は複
数の区域の中央を通過することが有益である。

更に、電磁放射線ビームを発生且つ受信するシステムの
構造を簡潔にするためには、ビームとワークピースとの
間の相対動作がワークピースを動かすことによって得ら
れ、ビームは固定のままであることが有益である。従っ
て、発生システム及び受信システム自身は固定され、測
定の間、完全に一直線に整列されている。しかし、異な
る方向にある異なる大きさ及び又は同じ大きさのワーク
ピースを検査するためには、発生システム及び受信シス
テムが集まるか又はビームに沿って互いに離れることが
できることが有益かもしれない。

この発明の方法を実行するためには、以下の構成からな
る装置が好適な実施例である。

−それぞれ電磁放射線ビームの固定通路を画成する電磁
放射線を発生するシステム及びこの放射線を受信するシ
ステムが載置される、強固に固定されたシャーシ、 −強固に固定されたシャーシに関して並進動作可能に載
置されて、ビームの固定通路に平行のまま固定されたビ
ーム通路に対し直角方向に段階的に動けるようにされた
ベース、 −ベースの動作に対し直角の平面内で段階的に動けるよ
うにベース上に載置されたテーブル、及び −回転用にテーブル上に載置されて、テーブル面に対し
直角の回転軸の回りのいくつかの角度位置を占め、ワー
クピースを支持する目的のプレート。

ビームの固定通路は水平であることが有益である。

更に、好ましくは、異なる計算を実行するために用いら
れる電子計算システムは、電磁放射線ビームとワークピ
ースとの間の異なる相対動作を制御する。

電磁放射線スキャニングビームは、ガンマ線ビームであ
ることが有益である。

［好適な実施例の説明］ 添付した図面には、この発明がいかにして実行されるか
がよく示されている。第１図において、その放射線吸収
をこの発明に従って定量的に測定しようとするワークピ
ースｌが透視的に示されている。図面及び説明を容易に
するため、ワークピース１は故意に特別に簡単な形（直
方体）で示されている。しかし、この発明はこの簡単な
形に限定されず、どんな形のワークピースを試験するの
にも適用されることは明らかである。

ワークピース１は直交軸ｏｘ、　ｏｙ、　ｏｚのシステ
ムに関係し、その原点０はワークピース及び軸の頂上に
それらの交点の立体角により合同している。

ワークピースｌは、平面ｏｘ、　ｏｙと平行且っ軸Ｏ２
と直角の複数の平面Ｐｋ（ｋ＝　Ｌ２．３、・・・ｑ）
について試験される。

各平面Ｐｋは、ワークピース１内に、例えばガンマ線ビ
ームなどの電磁放射線２により観測される、平面Ｐｋに
含まれた１つのセクションｓｋを画成する。

ビーム２は、発生システム３により供給され受信システ
ム４により受信される。発生システム３の出力にお＋）
るビーム２の強度は、ｔｏに等しいと仮定され、例えば
それは菫秒間のガンマ量子の数として表現される。

第１図及び第２図に示されたように、各セクションｓｋ
は、仮に複数ｎ、ｐの別個の正方形又は長方形の区域ａ
ｉｊ（１≦ｉ≦ｎ及びｌ≦ｊ≦ｐ）に再分割され、軸Ｏ
ｘ及びＯＹと平行な線及びカラムに分けられる。ビーム
２に関する、区域の長さ減衰係数の単位を表わす未知の
ｘｉｊは、各区域ａｉｊと関係する。

機械手段５（第２図参照）は発生システム３及び受信シ
ステム４を同時に移動（接続部６および７）できるよう
に設けられており、それは、これらのシステムの配列を
維持する間に、 −　ビーム２が軸Ｏ２と直交する所望の平面Ｐｋに供給
されて、そのビームが所望のセクションｓｋを観測する
ことができるように、又、 −区域ａｉｊに関する複数Ｎ　（Ｎ　＞　ｎ、ｐ）の異
なる相対位置を、相当する平面Ｐｋ内に占めている間、
ビーム２が各セクションｓｋをスキャンするように、行
なわれる。これらの異なる相対位置は、機械手段５が、
ビーム２の傾斜Ａを軸Ｏ２の回りのＯＹに関して変え、
及び又はビーム２から軸Ｏ２までの距離りを変えるとい
う事実により得られる。

１つのセクションｓｋにおいて、ビーム２と区域ａｉｊ
との間の各相対位置に対し、ビーム２が通過するワーク
ピースｌの厚さを知ることにより、以下のａ）〜Ｃ）が
行なわれる。

ａ）ビームの通路の長さｅｉｊが、それが通過する各区
域ａｉｊにおいて計算される。これに対し、発生システ
ム３及び受信システム４の位置を知っており、従って傾
斜角度Ａ及び距１１ｉ１Ｌを知っている電子計算システ
ム８（接続部９及び１Ｇ）が設けられている。

更に、電子計算システム８はセクションｓｋを区域ａｉ
ｊに再分割することも知っており、従って、区域ａｉｊ
においてビーム２の通路の異なる長さｅｉｊを計算する
ことができる。

第２図に示された例において、ビーム２は全ての区域ａ
ｌｌ、ａ２１．　ａ２２、ａ３２、ａ３３及びａ４３を
通過する。続いて、この位置を接続部９及びＩＯを介し
て知っている電子計算システム８は、通路長さｅｌ１１
ｅ２１、ｅ２２、ｅ３２、ｅ３３及びｅ４３を計算する
。

ｂ）ビーム２の通路の長さｅＩｊにより増加する長さ単
位ｘｉｊ当りの減衰係数の異なる積の総和からなる等式
項Ｓが、ビームにより通過される各区域ａ３２に対して
形成される。

一般に、Ｓ−Σｘｉｊ・ｅｉｊ　　である。

第２図に示された例においては、 Ｓ　＝　ｘｌｌ　・ａｌｌ＋　ｘ２１　・ｅ２１＋　ｘ
２２　・ｅ２２＋　ｘ３２　・ｅ３２＋　ｘａ３　・ｅ
３３＋　ｘ４３　・ｅ４３である。

乙ちろん、項Ｓは電子計算システム８により形成される
。

Ｃ）受信システム４を用いて、セクションｓｋに相当す
る区域ｌａｊを通過した後にビーム２の強度■が測定さ
れ、その値■は計算システム８に供給されル（接続部１
０）。この計算システムはそれから、式ｌｏｇ（Ｉ０／
　Ｉ）を計算し、等式ｌｏｇ（ｌｏ／ｉ）＝Σｘｉｊ　
−ｅｉｊを形成する。　こうして、機械手段５の動作に
起因する　ビーム２と区域ａｉｊとの間の各相対位置に
対し、このような等式が得られる。続いて、ＮによりＮ
の等式が決定されたとすると、ビーム２及び区域ａｉｊ
の相対位置は一緒に集められ、未知の値Ｘｉｊを決定す
るため、等式システムが（計算システム８によって）得
られる。

これらの値ｘｉｊを比較することにより、実行可能な区
域ａｉｊが異常値ｘｉｊに相当して決定され、異成分と
なる。区域ａｉｊの物質の密度ｄｉｊはｄｉｊ＝ｓｉｊ
／に 但し、Ｋ：質量単位当りの減衰係数 となることが認められるだろう。

この質量単位当りの減衰係数には、ビーム２のガンマ量
子のエネルギと、ワークピースｌの物質の元素性質との
みに依存する。その結果、計算システム８は、即座に密
度ｄｉｊを計算することができる。

接続部１１は、１つの平面Ｐｋから他の平面にビーム２
を制御して各セクションｓｋをスキャンするため、計算
システム８と機械移動手段５との間に設゛　けられてい
る。第３図乃至第５図には機械移動手段５の一実施例が
示されている。それらは、水平ビーム１４を有するガン
トリ１３からなっている。ビーム１４上には結合された
キャリッジ１５及び１６が摺動可能に載置されており、
これらは−緒に引かれ、又はガントリ１３の中央垂直軸
ｕ−ｕ’に関して対称に違いに離れて移動される。放射
線発生システム３はキャリッジ１５から吊され、これに
反して受信システム４はキャリッジ１６から吊される。

こうして、モータ１７とキャリッジ１５及び１６を駆動
するエンドレスネジ１８とにより、システム３及び４は
互いに対称に移動可能となっている。

変形において、又、キャリッジ１５．１６は、ビーム２
が連続的に通過す４ピースｌの厚さを測定するための装
置を支持している。そして、この測定装置は、データを
計算システム８に伝達するための触角５０．５１からな
っている。機械手段５は、更に、モータ２０及びエンド
レスネジ３０によりガントリ１３の垂直方向に沿った垂
直転移の移動が可能な水平ベース１９からなっている。

平衡重り２１は、水平ベース１９の垂直移動を容易にす
るため設けられている。

水平ベース１９上には水平レール２２が設けられており
、この水平レール２２の上には、モータ２４及びラック
２５の動作により水平テーブル２３が摺動できるように
なっている。

更に、水平テーブル２３上には、モータ２７及びカナド
ライブ２８の動作により垂直軸の回りに回転可能なプレ
ート２６が載置されている。

第３図乃至第５図の手段５の作用は第６図乃至第１１図
に示されている。

プレート２６上に装荷されたワークピース１と共に、モ
ータ２０が起動してベース１９．！−垂直に移動し、発
生システム３及び受信システム４がワークピースｌの水
平セクションｓｋを観測できようにする。

その後、モータ２０は停止してモータが起動する。

その後、テーブル２３及びプレート２６はソース３と検
出器４との間で徐々に水平に移動する（第６図）。

第１段階において、ビーム２は、セクションｓｋのｐ区
域ａｌｌ、　ａ１２、・・、ａｌｐを同時に且つ中央に
通過する（第７図）。第２段階においては、それは中央
を通過するビームを持つ区域ａ２１．　ａ２２、・・・
、ａ２ｐなどとなる。第ｎ段階においては、ビーム２は
区域ａｎｌ、　ａｎ２、ａｎｐの中央を通過する。

このｎ段階の後は、モータ２７が起動してプレート２６
はｌ／４回転する。その後、モータ２４が前述の１つ（
第８図）とは反対方向に起動する。その後、テーブル２
３及びプレート２６はソース３と検出器４との間で水平
に移動するが、それは反対方向である。

第１段階で、ビーム２は区域ａｌｐ−ａｎｐの中央に且
つ同時に通過し、その後第２段階で、区域ａｌ（ｐ−１
）〜ａｎ（ｐ−１）などとなる。第ｐ段階で、ビーム２
は区域ａｌｌ〜ａｎｌの中央に通過する（第９図）。

その後、モータ２７が起動してワークピースｌを１／８
回転する（第８図）。ワークピースｌをソース３と検出
器４との間で再び移動させることにより、異なる区域ａ
ｉｊを斜めにスキャンすることが可能となる（第１１図
）。この場合、モータ１７は、各段階で、（ビーム２の
沿った）発生システム３と受信システム４との間のワー
クピースｌに対する距離が一定且つ第６図乃至第９図の
試験の間の距離と等しくなるように起動する。

第６図に示された電子計算システム８の実施例は、キー
ボード制御装置３２及び表示装置３３と結合されたプロ
セッサ３１と、制御卓３４と、メモリブロック配列３５
と、測鎖３６と、制御スイッチ３８〜４１とからなり、
異なるモータ１７．２０．３４及び２７に対する電線３
７からの電源を制御するように適合されている。配列３
５は、例えばモトローラ（ＭＯＴＯＲＯＬＡ）会社のＶ
ＭＥ（ｖｅｒｓａ−ｍｏｄｕｌｅ−ｅｕｒｏｐｅａｎ）
型により必要不可欠要素が形成されている。それは、特
殊な機能を独立して提供するように適合された、いくつ
かのモジュールを受信できる集合体からなっている。

それらの機能は、 ＊移動制御機能と、 ＊測鎖３６を制御する機能と、 ＊プロセッサ３１と測鎖３６との間の接続部と、＊メモ
リ支持と である。

プロセッサ３１は主に以下の機能を提供する。

即ち、 ＊測定−統計及び補正の処理と、 ＊区域に関する幾何学的データからの、区域におけるビ
ームの元素通路長さの行列構成とである。

測鎖３６は、例えばシンチレータ・フォトマルチプライ
ヤ・チャージのプリアンプからなる検出器システム４か
ら送られる信号を処理する。

手順を遂行するため及び通過厚さく網状部）を計算する
ために必要なパラメータは、制御装置３２上に入力され
る。

表示装置３３は、網状部と同様にビームを含む水平面を
介した、ビーム２及び対象物のセクションを表わす他の
ものの間で用いられてもよい。

システムの連続した作用は以下のようになり得る。

０）予備調整 ＊発生器３−検出器４の距離が調整される。

＊ワークピースｌの装荷が分析される。

＊発生システム３のソースの装荷。

ｌ）予備測定 ＊ワークピースｌが支持プレート２６上に固定れ、ビー
ム２の外側に配置されたとき、配列３５の活性化された
メモリはキーボード制御装置３２によってリセットされ
る。

＊ビーム■。の強度を測定するため、制御装置上に計数
時間が表示される。測鎖３６の識別しきい値（マルチチ
ャネル分析器上に表示されるスペクトル）が調整される
。

＊背景ノイズ（密閉発生器３のコリメータ）を測定する
ため、計数時間が制御装置上に表示される。

＊結果がプロセッサに格納される。

２）連続的測定 手順は、ワークピースＩの性質及び幾何学適配列に依存
する。機能が１つのモジュールに相当するように、成る
独立が配列３５の各モジュールに帰し得る。その後、異
なるパラメータを初期設定することは十分である。即ち
、 ＊空間に位置決め ＊計数の期間 ＊段階数 及び連続論理の表示である。

計数は、ワークピースｌが位置決めされ、厚さ測定が実
行されたときに供給される論理信号により初期設定され
る。

計数が終了するやいなや、論理信号が供給されて手順が
続行される。

プロセッサ３２は、配列３５を介して、遂行された測定
の相当する幾何学的データ及び計数値を受信する。

遮蔽時間においてそれは測定を（統計及び補正）処理し
て網状部の各区域においてビームが通過する厚さを計算
し、網状部の幾何学的パラメータはキーボード制御装置
により入力されてプロセッサに格納される。

その結果は配列３５のメモリに供給され、網状部の各区
域の相対密度又は絶対密度を計算するため、タイムラグ
を持ってコンピュータ３１に入力される。

コンピュータはワークピースの「内側」又は「外側」の
公差を示すようにプログラムされている。

電磁放射線発生システム３は以下のものからなっていて
もよい。

＊分析されるワークピースの構造に性質及び放射能が依
存する封止放射線源（汚染危険の除去）。

それは、 −発生源の性質及び放射能と、 −長さ及び測定数と を容易に変更できることによる、正確さの必要性に応答
する。

この発生源は例えばコバルト６０である。

＊大勢の放射能保護標準で明示されたレベルより低い被
曝レベルを供給する発生源のスクリーニング。

＊構造の性質に適合された形状の、小さな開口のガンマ
ビームを得るためのコリメータ。

受信システム４は以下のものからなっていてもよい。

＊高い時間精度及び高効率のガンマ量子検出器（ンンチ
レータ半導体）。

＊高速度増幅器及び弁別器。

＊及び、高速度計数スケール。

この発明は、構造の密度等質性の知識が本質的質量要因
となる、新物質産業（織られた物質、巻かれた物質、２
方向以上の繊維からなる他方向性の物質、ランダム指向
性物質、詰め込み又は添加された物質・・・などの物質
混合）に用いた場合に特によく適合される この発明の測定装置の有効性は、その質量の非破壊試験
にとって重要な利点である。

勿論、この発明の装置は、“混成”物質に対するのと同
様に金属構造にも適合可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの発明の詳細な説明するための概
略斜視図及び概略平面図、第３図はこの発明の方法を達
成するための機械を示す側面図、第４図及び第５図は第
３図の機械の平面図及び側面図、第６図乃至第１１図は
第３図乃至第５図の機械の作用を示す説明図、第１２図
は第３図乃至第５図の機械を制御するための電子計算シ
ステムを示すブロック図である。 ｌ・・・ワークピース　　　２・・・電磁放射線ビーム
３・・・電磁放射線発生システム ４・・・電磁放射線受信システム ８・・・電子計算システム １３・・・ガントリ（シャーシ）１９・・・ベース２３
・・・テーブル　　　　　２６・・・プレートＳ・・・
等式項　　　　　　■・・・強度Ｘｉｊ・・・長さ単位
当たりの減衰係数ｅｉｊ・・・通路長さ　　　　　ａｉ
ｊ・・・区域ｓｋ・・・セクション 尚、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）電磁放射線ビームを用いたワークピースの放射線
   吸収の定量的測定方法であって、前記ワークピースの複
   数のセクションが前記ビームによって連続的に観察され
   、且つ前記ビームによって受ける減衰が測定される放射
   線吸収の定量的測定方法において、 Ａ−観察される前記各セクションは第１の複数の個々の
   隣接する区域に仮に再分割され、これら区域のそれぞれ
   は前記ビームに関する前記区域の長さ単位当たりの減衰
   を示す未知数と関連する。 Ｂ−前記第１の複数の個々の区域よりも大きくなるよう
   に選択された第２の複数の相対位置は、前記各セクショ
   ンと相当するセクションの区域とに連絡している間、前
   記各セクションは前記電磁放射線ビームによってスキャ
   ンされる。 Ｃ−その後、これら相対位置のそれぞれに対し、ａ）前
   記ビームが通過する前記各区域内における前記ビームの
   通路長さが計算される。 ｂ）前記ビームが通過する前記各区域に対し、前記ビー
   ムの通路長さによって掛け算される単位長さ当たりの減
   衰係数の異なる積の総和からなる等式項Ｓが形成される
   。 ｃ）前記セクションの相当する区域を通過した後にビー
   ム強度 I が測定され、式ｌｏｇ（ I ＿０／ I ）が形
   成される。 I ＿０は前記区域を通過する前の前記ビー
   ムの強度である。 ｄ）次の等式が形成される。 ｌｏｇ（ I ＿０／ I ）＝Ｓ Ｄ−その後、前記ビームと前記セクションの区域との間
   の全ての相対位置に対して、異なる等式ｌｏｇ（ I ＿
   ０／ I ）＝Ｓが一緒に集められることにより、セクシ
   ョンの各区域の長さ単位当たりの減衰係数値を決定する
   ために解かれる等式のシステムを形成する。 ことを特徴とする放射線吸収の定量的測定方法。
2. （２）ワークピースの観察される各セクションは、正方
   形又は長方形を有する個々の区域によって再分割されて
   前記長方形の２つの方向と平行な線及びカラムに分割さ
   れ、且つビームと前記区域との間の相対位置の少なくと
   もいくつかにおいては、前記ビームが前記２つの方向の
   一方と平行であることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の放射線吸収の定量的測定方法。
3. （３）ワークピースの観察される各セクションは、正方
   形又は長方形を有する個々の区域によって再分割されて
   前記長方形の２つの方向と平行な線及びカラムに分割さ
   れ、且つビームと前記区域との間の相対位置の少なくと
   もいくつかにおいては、前記ビームが前記区域の対角線
   の一方と平行であることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の放射線吸収の定量的測定方法。
4. （４）ビームとセクションの区域との間の第２の複数の
   相対位置は、各段階で前記ビームが１つ以上の区域の中
   央を通過するように、段階的動作によって得られること
   を特徴とする特許請求の範囲第２項又は第３項記載の放
   射線吸収の定量的測定方法。
5. （５）ビームとセクションの区域との間の第２の複数の
   相対位置は、固定されたままの前記ビームに関して、ワ
   ークピースを動かすことによって得られることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載の放射線吸収の定量的測
   定方法。
6. （６）ワークピースのセクションの連続的スキャニング
   は、固定されたままのビームに関して、前記ワークピー
   スを動かすことによって得られることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の放射線吸収の定量的測定方法。
7. （７）特許請求の範囲第５項及び第６項に記載の方法を
   実行するための放射線吸収の定量的測定装置であって、 −それぞれ電磁放射線ビームのための固定通路を画成す
   る電磁放射線発生器及びこの放射線を受信するシステム
   が載置される、強固に固定されたシャーシと、 −前記強固に固定されたシャーシに関して並進動作可能
   に載置され、前記ビームの固定通路に対して平行のまま
   、前記ビームの固定通路に対し直角方向に動けるように
   されたベースと、 −前記ベースの動作に対し直角の平面内で段階的に動け
   るように前記ベース上に載置されたテーブルと、 −回転用に前記テーブル上に載置されて、前記テーブル
   面に対し直角の回転軸の回りのいくつかの角度位置を占
   め、ワークピースを支持する目的のプレートと を備えたことを特徴とする放射線吸収の定量的測定装置
   。
8. （８）ビームの通路は水平であることを特徴とする特許
   請求の範囲第７項記載の放射線吸収の定量的測定装置。
9. （９）電磁放射線発生システムと電磁放射線受信システ
   ムとの間の距離は、ビームに沿って調整可能であること
   を特徴とする特許請求の範囲第７項又は第８項記載の放
   射線吸収の定量的測定装置。
10. （１０）異なる計算を遂行し、且つ、ベース、テーブル
    及びプレートの動作を制御する電子計算システムを備え
    たことをことを特徴とする特許請求の範囲第７項乃至第
    ９項のいずれかに記載の放射線吸収の定量的測定装置。