JPS61164692A - 精密洗浄方法 - Google Patents
精密洗浄方法Info
- Publication number
- JPS61164692A JPS61164692A JP487785A JP487785A JPS61164692A JP S61164692 A JPS61164692 A JP S61164692A JP 487785 A JP487785 A JP 487785A JP 487785 A JP487785 A JP 487785A JP S61164692 A JPS61164692 A JP S61164692A
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- JP
- Japan
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- hot air
- drying
- cleaned
- cleaning
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は精密洗浄方法に関するものである。
（従来の技術）
従来の精密洗浄は、例えば１２槽式を用いていた。ム１
槽と／１６２槽においてバークロールエチレン等の有機
溶剤を用いて有機物を除去し、／１６３槽、ム４槽及び
／１６６槽において、洗剤にて無機物を除去し、／１６
５檜、／Ｉ６７槽及び／１６８槽において水洗にによっ
てすすぎを行い、水分のついた被洗浄物（プラスチック
レンズ、液晶ガラス、ガラスレンズ、シリコンウェハー
等）を下記手段にて乾燥していた。
槽と／１６２槽においてバークロールエチレン等の有機
溶剤を用いて有機物を除去し、／１６３槽、ム４槽及び
／１６６槽において、洗剤にて無機物を除去し、／１６
５檜、／Ｉ６７槽及び／１６８槽において水洗にによっ
てすすぎを行い、水分のついた被洗浄物（プラスチック
レンズ、液晶ガラス、ガラスレンズ、シリコンウェハー
等）を下記手段にて乾燥していた。
即ち、／Ｉ６９檜、／ｌ６１Ｏ槽及び、％１１槽にイノ
プロピルアルコール（以下ＩＰＡと称す）を充填し、こ
のＩＰＡ中に被洗浄物を浸漬して付着している水分をＩ
ＰＡに置換し、腐１２槽においてＩＰＡ又はフロン蒸気
にて乾燥させていた。
プロピルアルコール（以下ＩＰＡと称す）を充填し、こ
のＩＰＡ中に被洗浄物を浸漬して付着している水分をＩ
ＰＡに置換し、腐１２槽においてＩＰＡ又はフロン蒸気
にて乾燥させていた。
前記手段は、ＩＰＡを用いるため、爆発の恐れがあり、
装置を防爆構造で作らねばならないためコストが高くな
る。ＩＰＡは水が入ると比重が変るので比重管理で液を
交換しなければならず、液管理が面倒である。
装置を防爆構造で作らねばならないためコストが高くな
る。ＩＰＡは水が入ると比重が変るので比重管理で液を
交換しなければならず、液管理が面倒である。
又、／に９槽にフロν′に活性剤を入れた液により水置
換を行い、４１０，１１．１２槽でフロン液浴、蒸気に
よって乾燥させる手段も用いられているが、フロンに活
性剤を入れるため、この活性剤がとれきれずに被洗浄物
に付着して残り、被洗浄物によっては、精密洗浄になら
ないという欠点があった。
換を行い、４１０，１１．１２槽でフロン液浴、蒸気に
よって乾燥させる手段も用いられているが、フロンに活
性剤を入れるため、この活性剤がとれきれずに被洗浄物
に付着して残り、被洗浄物によっては、精密洗浄になら
ないという欠点があった。
他ニ、シリコンウェハーの洗浄に際し、純水ですすぎ洗
いした後、スピンドライヤーで、遠心力によって水分を
吹き飛ばして乾燥させる手段も用いられているが、吹き
飛んだ水分が跳返って被洗浄物に再付着して汚れの原因
になったり、高速回転のため被洗浄物に静電気が帯電し
て空気中の塵埃が付着しやすい欠点があった。
いした後、スピンドライヤーで、遠心力によって水分を
吹き飛ばして乾燥させる手段も用いられているが、吹き
飛んだ水分が跳返って被洗浄物に再付着して汚れの原因
になったり、高速回転のため被洗浄物に静電気が帯電し
て空気中の塵埃が付着しやすい欠点があった。
（発明が解決しようとする問題点）
前記のように従来の技術は、夫々乾燥工程に大きな問題
が存在するので、この工程１を改良することにより精密
洗浄を可能にしようとするものである。
が存在するので、この工程１を改良することにより精密
洗浄を可能にしようとするものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明における精密洗浄方法は、有機溶剤による洗浄工
程と、洗剤による洗浄工程と、水によるすすぎ工程後に
、熱風を超精密フィルターを通してきれいな熱風にして
被洗浄物に吹付けて乾燥するものである。
程と、洗剤による洗浄工程と、水によるすすぎ工程後に
、熱風を超精密フィルターを通してきれいな熱風にして
被洗浄物に吹付けて乾燥するものである。
（作用）
本発明においては有機溶剤による洗浄工程で被洗浄物に
付着している有機物を除去し、洗剤による洗浄工程で無
機物を除去し、その後、純水によるすすぎ工程にて汚物
及び溶剤、洗剤をきれいに洗い流し、熱風により乾燥す
る。この熱風は超精密フィルターを通してきれいにして
被洗浄物に吹きつけて乾燥する。
付着している有機物を除去し、洗剤による洗浄工程で無
機物を除去し、その後、純水によるすすぎ工程にて汚物
及び溶剤、洗剤をきれいに洗い流し、熱風により乾燥す
る。この熱風は超精密フィルターを通してきれいにして
被洗浄物に吹きつけて乾燥する。
（実施例）
本実施例に用いる乾燥手段を図面に基き説明すると、入
口１側にダンパー２を設けて空気の導入を調整できるよ
うに形成した導入路３の途中に、７０ツコフアン４を設
置して空気全圧送できるようにする。そして、導入路３
のシロッコファン４の前方にヒータ５を設置して空気を
一定温度になるように制御する。ヒータ５の出口には熱
風ダクト６を設けてフィルター室７と連通し、このフィ
ルター室７に０．１μ以下の超精密フィルター８を多数
設けて熱風中の塵埃を除去してきれいな熱風にして乾燥
室９に送る。この乾燥室９の手前には通路ｌＯ中にルー
パー１１を設置して熱風の方向を制御して乾燥室９内の
被洗浄物に一定の風速で全体に熱風を吹付けて乾燥する
。乾燥後の熱風は排出路１２を前記導入路３と連通して
繰返し、使用して超精密フィルター８により微小ゴミを
除去してクリーン度を上げる。そして、空気の湿度が上
昇してくると、ダンパー２を開いて新しい空気を導入す
る。
口１側にダンパー２を設けて空気の導入を調整できるよ
うに形成した導入路３の途中に、７０ツコフアン４を設
置して空気全圧送できるようにする。そして、導入路３
のシロッコファン４の前方にヒータ５を設置して空気を
一定温度になるように制御する。ヒータ５の出口には熱
風ダクト６を設けてフィルター室７と連通し、このフィ
ルター室７に０．１μ以下の超精密フィルター８を多数
設けて熱風中の塵埃を除去してきれいな熱風にして乾燥
室９に送る。この乾燥室９の手前には通路ｌＯ中にルー
パー１１を設置して熱風の方向を制御して乾燥室９内の
被洗浄物に一定の風速で全体に熱風を吹付けて乾燥する
。乾燥後の熱風は排出路１２を前記導入路３と連通して
繰返し、使用して超精密フィルター８により微小ゴミを
除去してクリーン度を上げる。そして、空気の湿度が上
昇してくると、ダンパー２を開いて新しい空気を導入す
る。
次に、本実施例を詳細に説明すると、４１槽と／１６２
檜は有機溶剤を用い、超音波振動を利用して被洗浄物に
付着している有機物を除去し、／Ｉ６３槽と腐４槽にお
いては洗剤を用い、超音波振動を利用して被洗浄物に付
着している無機物を除去し、魔５槽にて市水を用い超音
波振動を利用してすすぎを行う。次に、／１６６槽にお
いて再び洗剤を用い超音波を利用して無機物の除去を行
い、／ｒ６７槽及び／１６８槽において純水を用い、超
音波を利用してすすぎを行う。その後、乾燥室を複数個
、例えば４個直列に設置し、各乾燥室の出入口はコンベ
ヤの間欠移動に合わせて開閉できるように形成し、乾燥
室に熱風の導入口と排出口を開口して前記乾燥手段を用
いて乾燥する。
檜は有機溶剤を用い、超音波振動を利用して被洗浄物に
付着している有機物を除去し、／Ｉ６３槽と腐４槽にお
いては洗剤を用い、超音波振動を利用して被洗浄物に付
着している無機物を除去し、魔５槽にて市水を用い超音
波振動を利用してすすぎを行う。次に、／１６６槽にお
いて再び洗剤を用い超音波を利用して無機物の除去を行
い、／ｒ６７槽及び／１６８槽において純水を用い、超
音波を利用してすすぎを行う。その後、乾燥室を複数個
、例えば４個直列に設置し、各乾燥室の出入口はコンベ
ヤの間欠移動に合わせて開閉できるように形成し、乾燥
室に熱風の導入口と排出口を開口して前記乾燥手段を用
いて乾燥する。
本発明においては、有機溶剤と洗剤による洗浄工程にお
いて、有機物と無機物を確実に除去することができ、す
すぎには純水を用いているので、きれいに洗い流すこと
ができる。次の乾燥工程においては熱風乾燥を行うので
、除去した水分が再付着するようなことがなく、更に熱
風は超精密フィルターでゴミ等を除去しているので、ゴ
ミ等の付着はなく精密な乾燥を行うことができ、フレオ
ン蒸気、アルコール、有機溶剤等を使用しないので、地
変けなく、ランニングコストも安く、仕上り精度も高い
。
いて、有機物と無機物を確実に除去することができ、す
すぎには純水を用いているので、きれいに洗い流すこと
ができる。次の乾燥工程においては熱風乾燥を行うので
、除去した水分が再付着するようなことがなく、更に熱
風は超精密フィルターでゴミ等を除去しているので、ゴ
ミ等の付着はなく精密な乾燥を行うことができ、フレオ
ン蒸気、アルコール、有機溶剤等を使用しないので、地
変けなく、ランニングコストも安く、仕上り精度も高い
。
図は本発明に係る精密洗浄方法に用いる乾燥手段を示す
断面図である。 尚、図中 ８・・・超精密フィルター。
断面図である。 尚、図中 ８・・・超精密フィルター。
Claims (1)
- 有機溶剤による洗浄工程と、洗剤による洗浄工程と、純
水によるすすぎ工程後に、熱風を超精密フィルターを通
してきれいな熱風にして被洗浄物に吹付けて乾燥するこ
とを特徴とする精密洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP487785A JPS61164692A (ja) | 1985-01-17 | 1985-01-17 | 精密洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP487785A JPS61164692A (ja) | 1985-01-17 | 1985-01-17 | 精密洗浄方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61164692A true JPS61164692A (ja) | 1986-07-25 |
| JPH0331112B2 JPH0331112B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=11595896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP487785A Granted JPS61164692A (ja) | 1985-01-17 | 1985-01-17 | 精密洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61164692A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01210092A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-23 | Sonitsuku Fueroo Kk | 精密洗浄の乾燥方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6159837A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウエ−ハ洗浄連続装置 |
-
1985
- 1985-01-17 JP JP487785A patent/JPS61164692A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6159837A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-03-27 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ウエ−ハ洗浄連続装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01210092A (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-23 | Sonitsuku Fueroo Kk | 精密洗浄の乾燥方法 |
| JPH0448515B2 (ja) * | 1988-02-18 | 1992-08-06 | Sonic Ferro Kk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0331112B2 (ja) | 1991-05-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |