JPS61151U - 縮小投影露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の縮小レンズ開口絞りの可変装置の一例
を示す構成図、第２図は本考案のコヒーレンシイ絞りの
可変装置の一例を示す構成図、第３図は本考案の別のコ
ヒーレンシイ絞り可変装置の一例を示す構成図、第４図
は本考案の露光領域限定絞りの一例を示す斜視図、第５
図は本考案の別の露光領域限定絞りの一例を示す斜視図
、第６図は従来の縮小投影露光装置の一例を示す構成図
、第７図はコヒーレンシイσの説明図、第８図はコヒー
レンシイσの相違による変調伝達関数のＭＴＦの変化の
傾向を示す特性図である。 １・・・・・・紫外線発光ランプ、２・・・・・・楕円
反射鏡、３・・・・・・平面反射鏡、４・・・・・・焦
点、５・・・・・・インプットレンズ、６・・・・・・
蝿の目レンズ、７・・・・・・アウトプットレンズ、８
・・・・・・コリメーションレンズ、９・・・・・・レ
デクル、１０・・・・・・平面反射鏡、１１・・・・・
・縮小レンズ、１２・・・・・・ウエハ、１３・・・・
・・ランプハウス、１４・・・・・・縮小レンズの開口
絞り、１５・・・・・・蝿の目レンズから出る光束に対
する絞り、１６・・・・・・露光領域限定絞り、１７・
・・・・・縮小レンズ鏡筒、１８・・・・・・レバーミ
１９・・・・・・刻印、２０・・・・・・目盛、２１
・・・・・・ランプハウス、２２・・・・・・フタ、２
３・・・・・・蝶つがい、２４・・・・・・つまみ、２
５・・・・・・コヒーレンシイ絞り取付板、２６・・・
・・・支え部品、２７・・・・・・柄、２８・・・・・
・コヒーレンシイ絞り、２９・・・・・・絞り押え板、
３ ０−−−−−−コヒーレンシイ絞り、３１・・・・
・・コヒ−・−レンシイ絞り取付板、３２・・・・・・
軸、３３・・・・・・光束、３４・・・・・・シャツタ
、３．５・・・・・・回転板、３６・・・・・・露光領
域限定絞りの開口形状、３７・・・・・・回転軸、３Ｂ
・・・・・・光束、３９・・・・・・板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 光源から発した光を集光して蝿の目レンズに一旦入れ、
   該蝿の目レンズから出た光をコリメーションレンズによ
   り集光してレチクルを照射し、該レチクル上のパタンを
   縮小レンズを通して、ウエハ上の感光性物質に縮小投影
   露光する装置において、該縮小レンズ内に、該縮小レン
   ズの鏡筒外部から開口の大きさ、形状を変更し得る第１
   の絞りを設け、蝿の目レンズ付近に、該蝿の目レンズか
   ら出る光束の大きさ、形状を変更し更し得る第２ノ絞リ
   ヲ設け、かつ該コリメーションレンズト該ウエハとの間
   の光路に、露光領域の大きさ、形状の変更できる第３の
   絞りを設け、前記第１の絞り、第２の絞り、第３の絞り
   を、露光目的に合わせて変更可能としたことを特徴とす
   る縮小投影露光装置。