JPS5843518A - 投影露光装置 - Google Patents
投影露光装置Info
- Publication number
- JPS5843518A JPS5843518A JP56141891A JP14189181A JPS5843518A JP S5843518 A JPS5843518 A JP S5843518A JP 56141891 A JP56141891 A JP 56141891A JP 14189181 A JP14189181 A JP 14189181A JP S5843518 A JPS5843518 A JP S5843518A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shielding plate
- shielding
- opaque pattern
- reticle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体集積回路の製造に用いる投影露光装置
に係り、特に遮光板の位置を自動的に設定することが可
能な投影露光装置に関する。
に係り、特に遮光板の位置を自動的に設定することが可
能な投影露光装置に関する。
先ず、従来の投影露光装置を、第１図に示す。
同図にお−で、光源１により照明されたレティクル２上
の明暗像１０は、レンズ３によって基板４上に投影され
る。ここで、レティクル２上には、第２図に示す様に、
明暗像１０の周囲に、遮光用不透明パタン１１が描画し
てある。第１図において、光源１の光が明暗像１０の外
側から基板４上へ漏れない様に、 遮光用不透パタン１
１に一部分重なる位置に遮光板２１を手動で設定する。
の明暗像１０は、レンズ３によって基板４上に投影され
る。ここで、レティクル２上には、第２図に示す様に、
明暗像１０の周囲に、遮光用不透明パタン１１が描画し
てある。第１図において、光源１の光が明暗像１０の外
側から基板４上へ漏れない様に、 遮光用不透パタン１
１に一部分重なる位置に遮光板２１を手動で設定する。
さて、明暗像の大きさは、半導体チップ毎に異り、また
、一枚の基板の上に大きさの異る明暗像を描画する場合
もある。従って、従来の投影露光装置においては、明暗
像の大きさの異るレティクルを交換する度に、前記遮光
板の位置を手動で合わせる必要があり、遮光板の位置が
少々ずれるためにわずかな光が前記不透明パタンの外部
と遮光板の間から漏れ、基板上に余分な露光がされる欠
点があつた。基板上には、本来露光されるべき像の光と
漏洩光が混在するため、露光前に漏洩光を確実に検出す
るのは困難であった。
、一枚の基板の上に大きさの異る明暗像を描画する場合
もある。従って、従来の投影露光装置においては、明暗
像の大きさの異るレティクルを交換する度に、前記遮光
板の位置を手動で合わせる必要があり、遮光板の位置が
少々ずれるためにわずかな光が前記不透明パタンの外部
と遮光板の間から漏れ、基板上に余分な露光がされる欠
点があつた。基板上には、本来露光されるべき像の光と
漏洩光が混在するため、露光前に漏洩光を確実に検出す
るのは困難であった。
本発明の目的は、このような従来の欠点のない投影露光
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
本発明の特徴は、レティクル上の明暗像の周囲に設けた
遮光用不透明パタンの位置を検出する手段と、この不透
明パタンの外部を遮光する遮光板と、遮光板を移動させ
る駆動手段とを備え、この駆動手段により遮光板を移動
させ、その不透明パタンを検出した位置でこの駆動手段
を停止することにより、遮光板により、この不透明パタ
ンの外部を遮光し、かつこの不透明パタンの内部を遮光
しない位置に遮光板の位置を自動的に設定する投影露光
装置にある。
遮光用不透明パタンの位置を検出する手段と、この不透
明パタンの外部を遮光する遮光板と、遮光板を移動させ
る駆動手段とを備え、この駆動手段により遮光板を移動
させ、その不透明パタンを検出した位置でこの駆動手段
を停止することにより、遮光板により、この不透明パタ
ンの外部を遮光し、かつこの不透明パタンの内部を遮光
しない位置に遮光板の位置を自動的に設定する投影露光
装置にある。
以下１本発明の一実施例について、図面を用いて説明す
る。
る。
本発明による投影露光装置の一実施例を第３図に示す。
本実施例においで、遮光板２１は、駆動装置２２によっ
て光軸との距離を調節可能である。
て光軸との距離を調節可能である。
さらに、フォトセンサー２３が前記駆動装置に設置され
、フォトセンサー２３は、遮光板２１同時に移動し、光
学的に前記遮光用不透明パタンを検出する。投影露光装
置に用いられるレティクル２は、通常ガラス基板上にク
ロム薄膜を付着してあり、遮光用不透明パタン１１の巾
は通常数ｍｍあるので、遮光用不透明パタン１１をレテ
ィクル裏面から光学的に検出することは可能である。こ
こで、駆動装置２２により遮光板２１を光軸から離れた
位置から光源に近づく方向に移動させ、フォトセンサー
２３が遮光用不透明パターン１１を検出した位置で駆動
装置２２を停止する。従って遮光板２１とフォトセンサ
ー２３の光軸からの距離の関係を一度適切に設定してお
けば、レティクル２を交換して明暗像１０の大きさが変
っても、常に適正な位置に遮光板２１を自動的に設定す
ることができる。なお、明暗像を基板上に投影露光する
場合には、フォトセンサー２３は、光軸から離しておけ
ば、露光のじゃまにならない。
、フォトセンサー２３は、遮光板２１同時に移動し、光
学的に前記遮光用不透明パタンを検出する。投影露光装
置に用いられるレティクル２は、通常ガラス基板上にク
ロム薄膜を付着してあり、遮光用不透明パタン１１の巾
は通常数ｍｍあるので、遮光用不透明パタン１１をレテ
ィクル裏面から光学的に検出することは可能である。こ
こで、駆動装置２２により遮光板２１を光軸から離れた
位置から光源に近づく方向に移動させ、フォトセンサー
２３が遮光用不透明パターン１１を検出した位置で駆動
装置２２を停止する。従って遮光板２１とフォトセンサ
ー２３の光軸からの距離の関係を一度適切に設定してお
けば、レティクル２を交換して明暗像１０の大きさが変
っても、常に適正な位置に遮光板２１を自動的に設定す
ることができる。なお、明暗像を基板上に投影露光する
場合には、フォトセンサー２３は、光軸から離しておけ
ば、露光のじゃまにならない。
以上説明した様に、本発明によれば、レティクル２を交
換しても、遮光用不透明パタン１１の外部からの漏洩光
が基板４に露光される事故を防ぐことができる。
換しても、遮光用不透明パタン１１の外部からの漏洩光
が基板４に露光される事故を防ぐことができる。
第１図は、従来の投影露光装置の構造を示す原理図、第
２図は、レティクルを示す平面図、第３は、本発明の一
実施例の投影露光装置の構造を示す原理図、である。 なお図において、１……光源、２……レティクル、３…
…レンズ、４……基板、１０……明暗像、１１……遮光
用不透明パターン、２１……遮光板、２２……駆動装置
、２３……フォトセンサー、である。 代理人 弁理士 内原 晋
２図は、レティクルを示す平面図、第３は、本発明の一
実施例の投影露光装置の構造を示す原理図、である。 なお図において、１……光源、２……レティクル、３…
…レンズ、４……基板、１０……明暗像、１１……遮光
用不透明パターン、２１……遮光板、２２……駆動装置
、２３……フォトセンサー、である。 代理人 弁理士 内原 晋
Claims (1)
- レティクル上の明暗像の周囲に設けた遮光用不透明パタ
ンの位置を検出する手段と、該遮光用不透明パタンの外
部を遮光する遮光板と、遮光板を移動させる駆動手段と
を備え、該駆動手段により前記遮光板を移動させ、前記
不透明パタンを検出した位置で前記駆動手段を停止する
ことにより、前記遮光板により、前記不透明パタンの外
部を遮光し、かつ該不透明パタンの内部を遮光しない位
置に前記遮光板の位置を自動的に設定することを特徴と
した投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56141891A JPS5843518A (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 投影露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56141891A JPS5843518A (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 投影露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5843518A true JPS5843518A (ja) | 1983-03-14 |
Family
ID=15302564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56141891A Pending JPS5843518A (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 投影露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5843518A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61151U (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 日本電信電話株式会社 | 縮小投影露光装置 |
| JPS6323318A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-01-30 | Canon Inc | 投影露光装置 |
| JPS6333834A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Canon Inc | 表面状態検査装置 |
-
1981
- 1981-09-09 JP JP56141891A patent/JPS5843518A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61151U (ja) * | 1984-06-06 | 1986-01-06 | 日本電信電話株式会社 | 縮小投影露光装置 |
| JPS6333834A (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-13 | Canon Inc | 表面状態検査装置 |
| JPS6323318A (ja) * | 1987-04-13 | 1988-01-30 | Canon Inc | 投影露光装置 |
| JPH0142130B2 (ja) * | 1987-04-13 | 1989-09-11 | Canon Kk |
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