JPS61145804A - 感温・感湿素子の製造方法 - Google Patents
感温・感湿素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS61145804A JPS61145804A JP59268963A JP26896384A JPS61145804A JP S61145804 A JPS61145804 A JP S61145804A JP 59268963 A JP59268963 A JP 59268963A JP 26896384 A JP26896384 A JP 26896384A JP S61145804 A JPS61145804 A JP S61145804A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- humidity
- sensitive
- moisture
- sensing
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は電気抵抗値の変化によって雰囲気の温湿度を
検知でき、空調機、調理器、乾燥機などの温湿度検出に
用論ちれる感温・感湿素子の製造方法に関するものであ
る。
検知でき、空調機、調理器、乾燥機などの温湿度検出に
用論ちれる感温・感湿素子の製造方法に関するものであ
る。
従来、感温・感湿素子としては９例えば実開昭５６−１
１１１５５９号公報および％−昭５５−９１１（Ｎ号公
報記載のものがある。前者は第１図の断面構成ｕＫ示す
ように感温素子と、基板の一方の面に感湿部を形成した
感湿素子を有し、上記基板の他方の面＠に感温素子を配
置し９画素子により各々温度、湿度を検知するものであ
る。図において（１）は感温素子、＋２１Ｆｉ感湿素子
、 （２ａ）は基板、 （２’ｂ）は感湿部、（３）
は感温素子（１）と感湿素子とを保穫する金網である。
１１１５５９号公報および％−昭５５−９１１（Ｎ号公
報記載のものがある。前者は第１図の断面構成ｕＫ示す
ように感温素子と、基板の一方の面に感湿部を形成した
感湿素子を有し、上記基板の他方の面＠に感温素子を配
置し９画素子により各々温度、湿度を検知するものであ
る。図において（１）は感温素子、＋２１Ｆｉ感湿素子
、 （２ａ）は基板、 （２’ｂ）は感湿部、（３）
は感温素子（１）と感湿素子とを保穫する金網である。
後者は第８図の斜視図に示すようＫ 、 （ｙ ヒーＦ
ｙス温度依存性とインピーダンス湿度依存性とを示す
誘電体からなり、この誘電体の電極面から温度と湿度と
の信号を検出するようにしたものである。図において、
（４）は誘電体、（５）は電極である。
ｙス温度依存性とインピーダンス湿度依存性とを示す
誘電体からなり、この誘電体の電極面から温度と湿度と
の信号を検出するようにしたものである。図において、
（４）は誘電体、（５）は電極である。
前者は感温および感湿の２つの素子を組み合わせるため
、製造が繁雑で場所をとるという問題点があった。また
、後者は、インピーダンス（抵抗）を測定しただけでは
、それが温度、湿度のどちらに起因するものか不明瞭で
あるという問題膚があった。
、製造が繁雑で場所をとるという問題点があった。また
、後者は、インピーダンス（抵抗）を測定しただけでは
、それが温度、湿度のどちらに起因するものか不明瞭で
あるという問題膚があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになさｈ
＋もので、温度および湿度各々を明確に測定できるとと
もに、小型の感温・感湿素子を作業性良（製造りようと
するものである。
＋もので、温度および湿度各々を明確に測定できるとと
もに、小型の感温・感湿素子を作業性良（製造りようと
するものである。
この発明の感湿・感温素子は基板に互いに分離Ｉて有機
けい素化合物重合体と無機質材料を含有する組成物より
なる第１および第２塗膜を形成し。
けい素化合物重合体と無機質材料を含有する組成物より
なる第１および第２塗膜を形成し。
この塗膜を熱処理して感湿部とし、一方の感湿部表面に
コーテイング材を塗布して感温部を形成して製造するも
のである。
コーテイング材を塗布して感温部を形成して製造するも
のである。
この発明においては感温部で温度を、感湿部で湿度を独
立に測定するので温・湿度を明確に検知できる。感温部
の前半部の作業工程は感湿部の前半部の千りと同じ工程
であるので作業性がよ（なる。コーテイング材を塗布す
ることにより、撥水性となりかつ多孔性か失なわｈるこ
とＫなり、感湿能がなくなり、感温部として利用できる
。
立に測定するので温・湿度を明確に検知できる。感温部
の前半部の作業工程は感湿部の前半部の千りと同じ工程
であるので作業性がよ（なる。コーテイング材を塗布す
ることにより、撥水性となりかつ多孔性か失なわｈるこ
とＫなり、感湿能がなくなり、感温部として利用できる
。
第１図はこの発明の一実施例に係わる感温・感湿素子を
示す斜視図＋、＠２図はこの発明の他の実施例に係わる
感温・感湿素子を示す断面図で９図Ｉにおいて（５）は
電極、（６）け基板、１７１１Ｉｉ感温敵、（８１け感
湿ＩＭ、（９１けり−ド線である。感温部（７１は雰囲
気の温１＃によって電気抵抗値が変化するという特性を
、感湿部（８１は雰囲気の湿度によって電気抵抗値−°
変化するという特性を有しており、この電気抵抗値の変
化を電極（５）で検知［て、そｈぞｈ雰囲気の温度、湿
度を検出する。
示す斜視図＋、＠２図はこの発明の他の実施例に係わる
感温・感湿素子を示す断面図で９図Ｉにおいて（５）は
電極、（６）け基板、１７１１Ｉｉ感温敵、（８１け感
湿ＩＭ、（９１けり−ド線である。感温部（７１は雰囲
気の温１＃によって電気抵抗値が変化するという特性を
、感湿部（８１は雰囲気の湿度によって電気抵抗値−°
変化するという特性を有しており、この電気抵抗値の変
化を電極（５）で検知［て、そｈぞｈ雰囲気の温度、湿
度を検出する。
実施例１
＃［３図はこの発明の一実施例を工程順に示す斜視図で
、Ｖにおいて顛は＄１塗膜、Ｕけ８ｇ２塗膜である。
、Ｖにおいて顛は＄１塗膜、Ｕけ８ｇ２塗膜である。
アルミナ基板＋６１の同一面に、互いに分離してＡｇペ
ーストにてくし形状の対向電極（５）を２組形成しく第
３１ｇ１ａ）、この２組の対同電極（５）上に下記組成
例の組成物にシンナーを加えて攪拌機にて混練後、混練
物をハケ塗りにて約５０μｍの厚さに塗布して第１およ
び第２塗膜（ＩＱａｌｌを形成しく第３図ｂ ）、 第
１お［［２塗膜ａｍｅｎを４８０℃で２＃間焼成して感
湿部を形成した（第３囚Ｃ）、感！部とし７’ｒ第２塗
膜表面にフッ素樹脂をコーテイング材として甲い４．５
μｍの厚さに塗布して感温部とＥた（第３図ｄ）。２組
の対向電極各々にＯｕリード線を取り付けて感温・感湿
素子（第１図）を作製した。
ーストにてくし形状の対向電極（５）を２組形成しく第
３１ｇ１ａ）、この２組の対同電極（５）上に下記組成
例の組成物にシンナーを加えて攪拌機にて混練後、混練
物をハケ塗りにて約５０μｍの厚さに塗布して第１およ
び第２塗膜（ＩＱａｌｌを形成しく第３図ｂ ）、 第
１お［［２塗膜ａｍｅｎを４８０℃で２＃間焼成して感
湿部を形成した（第３囚Ｃ）、感！部とし７’ｒ第２塗
膜表面にフッ素樹脂をコーテイング材として甲い４．５
μｍの厚さに塗布して感温部とＥた（第３図ｄ）。２組
の対向電極各々にＯｕリード線を取り付けて感温・感湿
素子（第１図）を作製した。
組成例
有機けい素化合物重合体二メ牛ルフェニルシリコーン初
期重合物 ３５．４重量％無機質材料ＨＴｉＯ２６
０，６Ｎ ５ｉＯ＋ ４．０ １ｔＩ
Ｌ４図はこのようにして得られた感温部（７１の感温特
性を示す特性図、第５図は同感湿部の感湿特性を示＋特
性♂である。
期重合物 ３５．４重量％無機質材料ＨＴｉＯ２６
０，６Ｎ ５ｉＯ＋ ４．０ １ｔＩ
Ｌ４図はこのようにして得られた感温部（７１の感温特
性を示す特性図、第５図は同感湿部の感湿特性を示＋特
性♂である。
実施例２
実施ｆ１１１と同様にして感湿部までを形成し、感湿部
とした第２塗膜表面を有機けい素化合物重合体を主成分
とするコーテイング材で４５μｍの厚さに塗布［て感温
部を形成し感温・感湿素子を作製した。草６図はこの感
温・感湿素子のＩＩ＆温■（の感温特性を示す特性図で
ある。し１から判るように。
とした第２塗膜表面を有機けい素化合物重合体を主成分
とするコーテイング材で４５μｍの厚さに塗布［て感温
部を形成し感温・感湿素子を作製した。草６図はこの感
温・感湿素子のＩＩ＆温■（の感温特性を示す特性図で
ある。し１から判るように。
このコーテイング材を塗布して形成した感温部の感温特
性は実翰例１のフッ素系樹脂のもの＃１ど高抵抗化せず
感度も低下［ガかっに０ 有機けい素化合物重合体あるいけアルカリケイ酸塩を主
成分とするコーテイング膜は、塗膜の焼成皮膜（感温♂
）と熱伝導率が近い値であり、かつ感度を低下させるこ
とがかい。また、他の樹脂系コーテイング材はど高抵抗
化しないことを確認した。
性は実翰例１のフッ素系樹脂のもの＃１ど高抵抗化せず
感度も低下［ガかっに０ 有機けい素化合物重合体あるいけアルカリケイ酸塩を主
成分とするコーテイング膜は、塗膜の焼成皮膜（感温♂
）と熱伝導率が近い値であり、かつ感度を低下させるこ
とがかい。また、他の樹脂系コーテイング材はど高抵抗
化しないことを確認した。
この発明に係わる有機けい素化合物重合体と［テＨ，例
Ｊ、ハメ手ルフェニルシリコーン、メチルシリコーンな
どのオルガノシロキサンの初期重合物のグリース状、フ
ェス状およびオイル状のもの。
Ｊ、ハメ手ルフェニルシリコーン、メチルシリコーンな
どのオルガノシロキサンの初期重合物のグリース状、フ
ェス状およびオイル状のもの。
またエポキシ変性、アクリル変性およびウレタン変性シ
リコーンなどの変性タイプのものが甜いちれる。
リコーンなどの変性タイプのものが甜いちれる。
この発”ＡＫ係わる無機質材料としては、 Ｐ５１３０
４゜Ｌ１２０およびａｌｏｆｘどの金属酸化物、ＡＩ、
Ｃｕ。
４゜Ｌ１２０およびａｌｏｆｘどの金属酸化物、ＡＩ、
Ｃｕ。
シよびＮ１などの金属粉、ならびにグラファイトなどの
炭素粉等が用いらｈる。
炭素粉等が用いらｈる。
この発明に係わるコーテイング材としては、アルカリケ
イ酸塩を主成分とするもの（水ガラスなど）、および有
機けい素化合物重合体を主成分とするもの（シリコーン
フェス、シリコーン系耐熱コーティングなど）、フッ素
系樹脂（テフロンコーティング材、ポリフッ化ビニリデ
ン系塗料など）ポリイミド系樹脂等の有機高分子系樹脂
が用いらｈる。なお、有機高分子系樹脂のコーティング
厚を厚くすると感温特性が低下するので注意を要する。
イ酸塩を主成分とするもの（水ガラスなど）、および有
機けい素化合物重合体を主成分とするもの（シリコーン
フェス、シリコーン系耐熱コーティングなど）、フッ素
系樹脂（テフロンコーティング材、ポリフッ化ビニリデ
ン系塗料など）ポリイミド系樹脂等の有機高分子系樹脂
が用いらｈる。なお、有機高分子系樹脂のコーティング
厚を厚くすると感温特性が低下するので注意を要する。
この発明は以上説明したとおり、基板に互すに分離して
有機けい素化合物重合体と無機質材料を含有する組成物
よりなる第１および第２塗膜を形成し、この塗膜を熱処
理して感湿部とし、一方の感湿部表面にコーテイング材
を塗布して感温部を形成して製造するものであるので、
温度および湿度台々を明確に測定できるとともに、小型
の感温・感湿素子を作業性良く製造できる効果がある。
有機けい素化合物重合体と無機質材料を含有する組成物
よりなる第１および第２塗膜を形成し、この塗膜を熱処
理して感湿部とし、一方の感湿部表面にコーテイング材
を塗布して感温部を形成して製造するものであるので、
温度および湿度台々を明確に測定できるとともに、小型
の感温・感湿素子を作業性良く製造できる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例に係わる感温・感湿素子を
示す斜視図、第２図はこの発明の他の実施例に係わる感
温素子を示す断面図、第３図はこの発明の一実施例を工
程順に示す斜視図、第４図はこの発明の一実施例に係わ
る感温部の感温特性を示す特性図、第５図はこの発明の
一実施例に係わる感湿部の感湿特性を示す特性図、第６
図はこの発明の他の実施例に係わる感温部の感温特性を
示す特性図、第１図は従来例の感温・感湿素子を示す断
面図、第８図は従来例の感温・感湿素子を示す斜視図で
ある。 図において、（５）は電極、（６）は基板、（７１け感
温部。 （８１け感湿部、（９）はリード線、舖は第１塗膜、ａ
Ｄは第２塗膜である。 なお２図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
示す斜視図、第２図はこの発明の他の実施例に係わる感
温素子を示す断面図、第３図はこの発明の一実施例を工
程順に示す斜視図、第４図はこの発明の一実施例に係わ
る感温部の感温特性を示す特性図、第５図はこの発明の
一実施例に係わる感湿部の感湿特性を示す特性図、第６
図はこの発明の他の実施例に係わる感温部の感温特性を
示す特性図、第１図は従来例の感温・感湿素子を示す断
面図、第８図は従来例の感温・感湿素子を示す斜視図で
ある。 図において、（５）は電極、（６）は基板、（７１け感
温部。 （８１け感湿部、（９）はリード線、舖は第１塗膜、ａ
Ｄは第２塗膜である。 なお２図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）基板に互いに分離して，有機けい素化合物重合体
と無機質材料を含有する組成物よりなる第１および第２
塗膜を形成する工程，第１および第２塗膜を熱処理して
感湿部にする工程，および感湿部とした第２塗膜表面に
コーテイング材を塗布して感温部とする工程を施す感温
・感湿素子の製造方法。 - （２）コーテイング材の主成分が有機けい素化合物重合
体である特許請求の範囲第１項記載の感温・感湿素子の
製造方法。 - （３）コーテイング材の主成分がアルカリケイ酸塩であ
る特許請求の範囲第１項記載の感温・感湿素子の製造方
法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59268963A JPS61145804A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 感温・感湿素子の製造方法 |
| US06/800,024 US4731257A (en) | 1984-12-20 | 1985-11-20 | Process for producing a temperature and moisture sensitive element |
| DE8585115731T DE3585433D1 (de) | 1984-12-20 | 1985-12-10 | Verfahren zur herstellung eines temperatur- und feuchtigkeitsfuehlers. |
| EP85115731A EP0186039B1 (en) | 1984-12-20 | 1985-12-10 | Process for producing a temperature and moisture sensitive element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59268963A JPS61145804A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 感温・感湿素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61145804A true JPS61145804A (ja) | 1986-07-03 |
Family
ID=17465729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59268963A Pending JPS61145804A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 感温・感湿素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61145804A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004335731A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 有機ｎｔｃ素子 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59173742A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-10-01 | Sharp Corp | 温湿度センサ− |
-
1984
- 1984-12-20 JP JP59268963A patent/JPS61145804A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59173742A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-10-01 | Sharp Corp | 温湿度センサ− |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004335731A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 有機ｎｔｃ素子 |
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