JPS61138182A - 半導体素子の自動測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ＩＣ，ＬＳＩなど半導゛体素子の電気特性
を自動的に測定する自動測定装置に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体素子は、必要回路を形成した半導体ペレットをリ
ードフレームにダイボンディングし。

更にワイヤボンディングした後、樹脂でモールドし、リ
ードフレームの余分の部分を切断除去して形成し、電気
特性を測定した後、スティックなどに数１０個収納して
ユーザーに供給する。

通常、このボンディングからスティック収納までの作業
は、自動的に連続して行なわれており、電気特性の測定
作業は、半導体素子がシュートのある所定個所に一時係
止され、外部引出リードが測定端子または測定ソケット
に接触また（工挿入されて行なわれる。

従来、外部引出リードを測定端子に接触して測定する方
式の装置は１色々な構造のものがあるが、半導体素子の
外部引出リードのリード数が多（なると、全てのリード
の測定端子との接触圧を均一に保持することが難かしく
なり、また、測定端子の各端子が近接し、相互に電気的
影響を受は易（なり、測定誤差が発生し易くなるという
欠点がある。

上記の欠点を除去するには、外部引出リードを測定ソケ
ットに挿入して測定する構成とすることが望ましい。こ
の方式の装置は９％公昭５４−２０７３号公報に提案さ
れている。提案の装置は、薄板状シュートに、デエアル
インラインパッケージの半導体素子を跨がせて搬送し、
薄板状シュートにばねで上下動する可動部分を設げげ、
その部分の下部に測定器に接続した測定ソケットを設置
し、上から半導体素子を押して。

リードを測定ソケットに押し込んで挿入し、測定する構
造のものである。

しかし、この装置は、薄板状シュートに半導体素子を跨
がせて搬送する構造のため、シングルインラインパッケ
ージの半導体素子には使用できず、また、可動部分のシ
ュート面を水平に配置したため半導体素子を搬送するた
めのエネルギーを供給する機構が必要で、構造が複雑と
なり、高価になるという問題点があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この発明は、シングルインラインパッケージの半導体素
子にも使用でき、半導体素子を搬送するためのエネルギ
ーを外部から供給する必要のな（・構成とし、構造を簡
単にし、かつ、測定端子を装着しても、測定ソケットを
装着しても使用できる自動測定装置を得ることを目的と
するものである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

この発明は、半導体素子を搬送するシュートを半導体素
子がほぼ垂直に摺動する状態に配置し、該シュートの中
間部にほぼ水平方向にずらすことができる可動シュート
部を設け、ヰ魯＝−可動シュート部の所定の個所 に半導体素子を係止固定して測定する構成とし。

半導体素子を自重で摺動させ、搬送するためのエネルギ
ーを外部から供給する必要をなくして。

構造を簡単にし、シングルインラインパッケージのもの
も搬送できる構造にし、かつ、可動シュート部の上方の
固定シェード部に半導体素子を１個ずつ分離して摺動さ
せる機構を設け、可動シュート部の複数の所定個所にそ
れぞれ半導体素子を位置決め固定する機構を設けるとと
もに、上記２機構と可動ンエート部をずら丁機構を１個
の偏ｌｕカムの回転揺動運動で駆動する構成とし、駆動
機構をも間単にすることである。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図によって説明する。第１
図はこの発明の一実施例の駆動機構部分を示す説明図、
第２図はこの発明の一実施例の固定シュート部から半導
体素子を１個ずつ分離して可動７一−ト部に移送する機
構部分を示す説明図、第３図はこの発明の一実施例の可
動シェード部の複数の所定個所にそれぞれ半導体素子を
位置決め固定する機構部分を示す説明図である。

図において、１は半導体素子、２は偏心カム。

３はスプリング、４は偏心カム２０回転揺動運動によっ
て揺動する第１の駆動レバー、５は第１の駆動レバー４
に固定され偏心カム２９回転揺動運動に連動して回転す
る主軸、６は主軸５に固定され主軸５の回転に連動して
主＠５とともに揺動する第２の駆動レバー、７は半導体
素子がほぼ無直に摺動する状態に配置した半導体素子を
搬送するシュート、７ａはほぼ水平方向にずら丁ことが
できる可動シュート部、８は第２の駆動レバー６に固定
された駆動板、９は測定ソケノ）、１０ａは主軸５に連
動する固定レバー、１０ｂ＋！固定レバー１０　ａにば
ね１１を介して連動する可動レバー、１２ハ可動レバー
１０　ｂの位置を調整する調整ネジ、　１３は固定レバ
ー１０　ａに固定されたデバイスストップピン、１４＆
工可動レバー　ｔｏ　ｂに固定された押えピン、　１５
は第２の駆動レバー６に連結されたカム板、１６ハ可動
シユート７ａに取付けられ、カム板１５により軸１７を
中心に揺動する揺動レバー、１６−１・は揺動レバー１
６の上端部、１６−２は揺動レバー１６の下端部を示す
。

半導体素子を搬送するンーート７は、半導体素子がその
内部をほぼ垂直に摺動するように固定配置されており９
．可動シュート部７ａも同じ状態に配置されている。偏
心カム２が回転揺動すると、一端部４Ａがスプリング３
を介して固定された第１の駆動レバー４が揺動し、主軸
５が回転する。

シェード７を摺動して搬送されてきた半導体素子１は、
一旦、デバイスストップピン１３によって係止される。

偏心カム２０回転揺動に連動して主軸５が一方向に回転
すると、固定レバー１０　ａが矢印方向Ｘに揺動し、ば
ね１１を介して固定レバー１０　ａに連動する可動レバ
ー１０　ｂが揺動し、押えピン１４がデバイスストップ
ピン１３によって係止されている半導体素子１の下から
２番目の半導体素子を押え、可動レバー１０　ｂの動き
が止まる。固定レバー１０　ａの方は、主軸５０回転に
つれて更に揺動し、デバイスストップピン１３の係止が
とけて、一番下の半導体素子が可動シュート部７ａに移
送される。調整レバー１２は。

可動レバー１０　ｂが下から２番目の半導体素子を押え
ると同時に外れ、固定レバー１０　ａと一体に揺動する
。

矢に、王＠５が反対方向に回転すると、固定レバ　１０
ａが反対方向に揺動し、デバイスストップピン１３が７
ユート７を下方に摺動しながら降下してくる半導体素子
を係止できる状態に復帰し、可動レバー１０　ｂの揺動
によって押えピン１４の押えがとけて解放される半導体
素子を係止する。

以上の動作を繰り返し、固定シュート部７から半導体素
子を１個ずつ分離して可動シュート部７ａへ移送する。

可動シュート部７ａに移送された半導体素子１＆工、ま
づ、最上段の半導体素子位置決め固定機構の主軸５の一
方向への回転に連動して軸１７を中心にＡ′←Ｂ′方向
に揺動する揺動レバー１６の上端部１６−１に図示のよ
うに係止される。主軸５が反対方向へ回転すると、揺動
レバー１６の上端部１６−１がＡ′→Ｂ′方向に揺動し
、上端部１６−１０係止から解放された半導体素子ｉｔ
’ｚ、ｃ’←Ｄ′方向に揺動する下端部１６−２に係止
される。

次に、主軸５が一方向に回転すると、下端部１６−２の
係止がとけて、解放された半導体素子は次段ンユー）７
ｂの半導体素子位置決め固定機構の揺動レバー１６　（
図示しない）の上端部１６−１（図示しない）に係止さ
れ、同時に、固定シュート部７かも半導体素子が１個移
送され、揺動レバー１６の上端部１６−１に係止される
。

以上の動作を繰り返し、各揺動レバー１６の上端部１６
−１に半導体素子が係止されると、主軸５が一方向に更
に回転するように、偏心カム２が駆動され、第２の駆動
レバー６の主軸５の回転に連動した揺動によって、第２
の駆動レバー６に固定された駆動板８が可動７ユ一ト部
７ａを押してずらし、可動ノエート部７ａの複数の所定
個所に係止固定した半導体素子１の外部引出リードを対
応する位置に固定された測定ソケット９に挿入する。

半導体素子の電気特性の測定が終了すると。

主軸５が反対方向に回転し、この主軸５０回転に連動し
た第２の駆動レバー６の揺動によって。

駆動板８の押えがとけて、可動ゾーート部７ａは（図示
しない）ばねなどの機構によって元の状態に復帰する。

可動シュート部７ａが元の状態に復帰すると。

主１ｉ１１５の回転によって、測定済み半導体素子が１
個ずつ可動７ユー）　部７　ａの下方に設置された固定
７ユ一ト部７ｂに移送されて行くとともに、上方の固定
シュート部から半導体素子が１個ずつ移送されてきて、
各揺動レバー１６によって下方へ送られて行き、各揺動
レバー１６の上端部１６−１に係止されて行（。

以上のようにして、シュート７に供給された半導体素子
ｌは目動的に連続して電気特性が測定され、良否が判別
され、シュート７を経て。

次の工程場所に送られろ。

以上、測定ソケット９を使用する場合を説明したが、測
定ソケット９を測定端子に取り換えても、そのま〜使用
できる。また、７ングルインラインパノケージのものに
も、デュアルインライ／パッケージのものにも使用でき
る。

〔発明の効果〕

以上説明のとおり、この発明によれは、各種パッケージ
の半導体素子の測定に使用することかできるとともに、
多数の半導体素子の電気特性を同時にかつ迅速に測定で
きる構成にすることが容易になり、また８重力を利用す
るので半導体素子を搬送するために外部からエネルギー
を供給する必要がなく、かつ、１個の偏心カムの駆動に
連動して、各部が動作するように構成したので、構造が
簡単になるという効果がある。

更に、測定ソケットあるいは測定端子のいずれを用いる
方式でも使用できるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の駆動機構部分を示す説明
図、第２図はこの発明の一実施例の固定７ユ一ト部から
半導体素子を１個ずつ分離して可動／ニート部に移送す
る機構部分を示す説明図、第３図はこの発明の一実施例
の可動シュート部の複数の所定個所にそれぞれ半導体素
子を位置決め固定する機構部分を示す説明図である。 １・・・半導体素子、２・・・偏ＩＬ？カム、３・・・
スプリング、４・・・第１の駆動レバー、５・・・主軸
、６・・・第２の駆動レバー、７・・固定ノユート部、
７ａ・・・可動シュート部、７ｂ・・・固定シュート、
８・・・駆動板、９・・・測定ソケット、４０ａ・・固
定レバー１０　ｂ・・可動レバー、１１・・・ハネ、１
２・・調整レバー。 １３・・・デバイスストップピン、１４・・・押工ピン
、１５・・カム板、　１６・・揺動レバー、１６−１・
・・上端部。 ｌ６−２・・・下端部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体素子を搬送するシュートを半導体素子がほぼ垂直
   に摺動する状態に配置し、該シュートの中間部にほぼ水
   平方向にずらすことができる可動シュート部を設け、該
   可動シュート部の複数の所定個所にそれぞれ半導体素子
   を係止し、該可動シュート部をずらして所定個所にそれ
   ぞれ係止した半導体素子の外部引出リードを測定機構に
   接続した測定端子または測定ソケットに接触または挿入
   し、半導体素子の電気特性を自動的に測定する装置であ
   って、１個の偏心カムの回転揺動運動によって第１の駆
   動レバーを介して回転する主軸、前記主軸が一定状態の
   ときは前記主軸に連動する固定レバーに固定したデバイ
   スストップピンが前記可動シュート部の上方の固定シュ
   ート部において前記半導体素子を係止し、前記主軸が一
   方向へ回転すると前記固定レバーにばねを介して連動す
   る可動レバーに固定した押えピンが前記デバイスストッ
   プピンが係止している半導体素子の下から２番目の半導
   体素子を押え、前記デバイスストップピンが係止を解除
   して最下位の半導体素子を前記可動シュート部に移送し
   、前記主軸が反対方向へ回転すると前記デバイスストッ
   プピンが前記押えピンが押えから解放した前記半導体素
   子を係止する動作を繰り返し、前記半導体素子を１個ず
   つ前記可動シュート部に移送する機構、前記主軸が一方
   向へ回転すると前記主軸に連動する第２の駆動レバーに
   カム板を介して連動し軸を中心に揺動する複数個の揺動
   レバーの上端部がそれぞれ前記可動シュート部を摺動す
   る半導体素子を所定の個所に係止し、前記主軸が反対方
   向へ回転すると前記揺動レバーの下端部がそれぞれ前記
   可動シュート部を摺動する前記半導体素子を係止する動
   作を繰り返し、前記可動シュート部の複数の所定個所に
   それぞれ前記半導体素子を位置決め固定する機構、前記
   可動シュート部の複数の所定個所にそれぞれ半導体素子
   が位置決め固定されたとき、前記偏心カムの特定の回転
   揺動運動により前記主軸に連動する前記第２の駆動レバ
   ーに固定した駆動板が前記可動シュート部を押してずら
   し、該可動シュート部の複数の所定個所にそれぞれ位置
   決め固定された前記半導体素子の外部引出リードを測定
   端子または測定ソケットに接触または挿入する機構を備
   えた半導体素子の自動測定装置。