JPS61119886A - 可変コンダクタンスバルブ - Google Patents

可変コンダクタンスバルブ

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Publication number
JPS61119886A
JPS61119886A JP24074284A JP24074284A JPS61119886A JP S61119886 A JPS61119886 A JP S61119886A JP 24074284 A JP24074284 A JP 24074284A JP 24074284 A JP24074284 A JP 24074284A JP S61119886 A JPS61119886 A JP S61119886A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
conductance
valve body
opening
variable conductance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24074284A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuyasu Nishida
西田　勝安
Hideji Yamamoto
山本　秀治
Katsuyoshi Kudo
勝義 工藤
Atsushi Kohama
小浜　敦
Yoshiji Kan
管　祥次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Techno Engineering Co Ltd, Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Techno Engineering Co Ltd
Priority to JP24074284A priority Critical patent/JPS61119886A/ja
Publication of JPS61119886A publication Critical patent/JPS61119886A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/03—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with a closure member in the form of an iris-diaphragm

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、可変コンダクタンスバルブに係り、特に真空
処理装置の真空排気系に設けられる可変コンダクタンス
バルブに関するものである。
〔発明の背景〕
試料をプラズマにより処理するプラズマ処理装状 置等の真空処理！Ｊ置を構成する処理室には、〆処理室
内を所定圧力に減圧排気する真空排気系が設けられ、真
空排気系には、可変コンダクタンスバルブが設けられて
いる。可変コンダクタンスバルブは、試料の処理時等に
おいて処理室内の圧力を調節する機能を有している。
このような可変コンダクタンスバルブとしては、例えば
、特開昭５９−６７６１９号公報に記載のような、バタ
フライプレートを有し、該バタフライプレートの開度に
よって真空排気系のコンダクタンスを調節し、該調節に
よつて処理室内の圧力弓 を調節す秋のが知られている。
しかし、このような可変コンダクタンスバルブでは、バ
タフライプレートの少しの開度によってコンダクタンス
が大きく変化するため、処理室内の圧力を均一で連続的
なりニアリテイを有して調節することができないといっ
た問題がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、弁体の少しの開度によってコンダクタ
ンスが大き４変化するのを抑制することで、処理室内の
圧力を均一で連続的なＩＪ　ニアリティを有して調節で
きる可変コンダクタンスバルブを提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は、略円形の開口を形成可能に円周上に複数枚重
なり合って配設された可動弁体と、開口の面積を可変に
可動弁体を駆動する駆動手段とで構成したことを特徴と
するもので、弁体の少しの開度によってコンダクタンス
が大きく変化するのを抑制しようとしたものである。
〔発明の実施例〕
本発明の一実施例を第１図、第２図により説明する。
第１図で、プラズマ処理装置等の真空処理装置を構成す
る処理室１０の底壁には排気口■が形成されている。排
気口Ｈには、真空排気系を構成する排気管刀の一端が連
結されている。排気管美の他端は、真空排気系を構成す
る真空ポンプ（図示省略）の吸入口に連結されている。
排気管田の途中には、可変コンダクタンスバルブＪが設
けられている。
第２図で、可変コンダクタンスバルブ（９）は、この場
合、排気管Ｊ内において、略円形の開口ｍを形成可能に
円周上、この場合は、排気管回の中心を略中心とする円
周上に複数枚重なり合って配設された可動弁体羽と、開
口３１の面積を可変に可動弁体諺を駆動する駆動手段お
とで構成されている。
駆動手段おは、可動弁体！の外側に回動可能に環装され
回動により外周部と排気管（９）の中心部との間で可動
弁体！を絞り動作させる可動リング其と、― 駆動！！！（図示省略）の動力を回動力！変換して可動
リングＵに伝達するウオームあとで構成されている。
第２図に示す状態から可動リングＵを反時計回りに回転
させることで、可動弁体ｎは外周部から排気管Ｊの中心
部に向って絞り動作させられる。
これにより開口五の面積は、急激に変化することなしに
連続的に縮少され、最終的に開口阻は閉じられる。また
、開口Ｍは、上記操作と逆操作により開けられ、この場
合、開口五の面積は急激に開化することなしに連続的に
拡大される。
本実施例では次のような効果を得ることができる０ （１）弁体の少しの開度によってコンダクタンスが大き
４変化するのを抑制できるので、処理室内の圧力を均一
で連続的なりニアリティを有して調節できる。
（２）　　弁体作動に要する排気管の長さを短かくでき
るので、この分、排気管のコンダクタンスを小さくでき
真空排気負荷を軽減できる。
（３）可変コンダクタンスバルブの占有スペースを小さ
くできるので、真空処理室の小形化を図ることができる
。
〔発明の効果〕
本発明は１以上説明したように、弁体の少しの開度によ
ってコンダクタンスが大きく変化するのを抑制できるの
で、処理室内の圧力を均一で連続的なりニアリティを有
して調節できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例を示すもので本発明による
可変コンダクタンスバルブを設けた真空排気系の要部縦
断面図、第２図は、第１図の可変コンダクタンスバルブ
の部分平面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、真空処理装置の真空排気系に設けられるコンダクタ
    ンスバルブにおいて、略円形の開口を形成可能に円周上
    に複数枚重なり合って配設された可動弁体と、前記開口
    の面積を可変に前記可動弁体を駆動する駆動手段とで構
    成したことを特徴とする可変コンダクタンスバルブ。
JP24074284A 1984-11-16 1984-11-16 可変コンダクタンスバルブ Pending JPS61119886A (ja)

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JPS61119886A true JPS61119886A (ja) 1986-06-07

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