JPS61118136A - 表面処理法 - Google Patents
表面処理法Info
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- JPS61118136A JPS61118136A JP23773584A JP23773584A JPS61118136A JP S61118136 A JPS61118136 A JP S61118136A JP 23773584 A JP23773584 A JP 23773584A JP 23773584 A JP23773584 A JP 23773584A JP S61118136 A JPS61118136 A JP S61118136A
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- treatment method
- gas
- electrode
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T19/00—Devices providing for corona discharge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、プラズマ処理等の表面処理法に関する。さ
らに詳しくは、プラスチックス製品、繊維製品９紙、木
材、金属等の成形物、あるいは、金属粉、金属酸化物粉
、顔料等の粉末などの表面に対し、■均一に、■迅速に
、■各種の気体雰囲気下で、■各種の温度、圧力下で、
物理的、化学的に修飾処理することのできる改良された
表面処理法に関する。
らに詳しくは、プラスチックス製品、繊維製品９紙、木
材、金属等の成形物、あるいは、金属粉、金属酸化物粉
、顔料等の粉末などの表面に対し、■均一に、■迅速に
、■各種の気体雰囲気下で、■各種の温度、圧力下で、
物理的、化学的に修飾処理することのできる改良された
表面処理法に関する。
近年、プラスチックス製品、Ｓａ維製品１紙、木材、金
属等の成形物の表面密着性、塗布性、接着性、ぬれ性、
耐久性その他の特性、あるいは、金属粉、金属酸化物粉
、顔料等の粉末のぬれ性２分散性等の緒特性を改良する
ことを目的として種々の表面処理法が研究されている。
属等の成形物の表面密着性、塗布性、接着性、ぬれ性、
耐久性その他の特性、あるいは、金属粉、金属酸化物粉
、顔料等の粉末のぬれ性２分散性等の緒特性を改良する
ことを目的として種々の表面処理法が研究されている。
たとえば、酸。
アルカリ等による化学処理、紫外線照射処理、火炎処理
等がその例であり、一部の分野では、すでに工業的に実
施されてもいる。
等がその例であり、一部の分野では、すでに工業的に実
施されてもいる。
しかしながら、これらの方法は、それぞれ一長一短があ
り、使用上程々の制約がある。たとえば、化学処理法で
は、洗浄等のウェットプロセスを必要とし、工程が煩雑
となる等の問題がある。紫外線処理法では、紫外線が直
進性のため、複雑な形状の被処理物には有効でない等の
欠点がある。
り、使用上程々の制約がある。たとえば、化学処理法で
は、洗浄等のウェットプロセスを必要とし、工程が煩雑
となる等の問題がある。紫外線処理法では、紫外線が直
進性のため、複雑な形状の被処理物には有効でない等の
欠点がある。
また、火炎処理法では、被処理物が高温にさらされるた
め、被処理物の種類、形状、処理時間が制約されるとい
う問題がある。
め、被処理物の種類、形状、処理時間が制約されるとい
う問題がある。
この発明は、これらの問題が生じない表面処理法を提供
することを目的とする。
することを目的とする。
発明者らは、前述の如き表面処理法の問題点に鑑みて、
プラズマ処理法を採用することが最も簡便かつ有効であ
ると考え、プラズマ処理法の応用を種々検討した。しか
しながら、通常ひろく採用されている減圧プラズマ処理
法は、処理効果がすぐれているものの、減圧状態、たと
えば５ｗｍＨｇ以下の減圧状態下で行なう必要があるた
め、密閉する必要が生じ、大型成形品、長尺物、多量の
粉体などを表面処理する場合、装置が大型化したり、複
雑な機構を必要とする等の問題が生じる。 そこで、発
明者らは、電極の形態に工夫をこらすことによって、従
来法の問題を解決しようと着想し、鋭意検討の結果、こ
の発明を完成した。
プラズマ処理法を採用することが最も簡便かつ有効であ
ると考え、プラズマ処理法の応用を種々検討した。しか
しながら、通常ひろく採用されている減圧プラズマ処理
法は、処理効果がすぐれているものの、減圧状態、たと
えば５ｗｍＨｇ以下の減圧状態下で行なう必要があるた
め、密閉する必要が生じ、大型成形品、長尺物、多量の
粉体などを表面処理する場合、装置が大型化したり、複
雑な機構を必要とする等の問題が生じる。 そこで、発
明者らは、電極の形態に工夫をこらすことによって、従
来法の問題を解決しようと着想し、鋭意検討の結果、こ
の発明を完成した。
すなわち、この発明は、励起電極と対向電極との間に高
電圧を印加して放電させ、その放電部に失 気体を送り、発生した活性気体を被処理物に噴射してそ
の被処理物表面を活性化処理する表面処理法を要旨とし
ている。以下、この発明の詳細な説明する。
電圧を印加して放電させ、その放電部に失 気体を送り、発生した活性気体を被処理物に噴射してそ
の被処理物表面を活性化処理する表面処理法を要旨とし
ている。以下、この発明の詳細な説明する。
励起電極および対向電極には、金属などの導電性物質が
用いられ、形状は、それぞれ特に限定されないが、両電
極が誘電体を挟んでいる場合、励起電極は、スリット状
、コイル状、リング状など、沿面ストリーマ形成のため
誘電体が露出するような形であることが好ましい。
用いられ、形状は、それぞれ特に限定されないが、両電
極が誘電体を挟んでいる場合、励起電極は、スリット状
、コイル状、リング状など、沿面ストリーマ形成のため
誘電体が露出するような形であることが好ましい。
励起電極と対向電極との間に高電圧を印加する電源は、
電圧が通常１０〜５０ｋＶ、好ましくは１０〜３０に■
であり、周波数が１〜１００ｋＨｚであるのが好ましい
。電源出力は、目的に応じて適宜に選択すればよい。電
源回路としては、従来公知のものが使用可能であるが、
プラズマの発生をもたらす放電電流を負荷に応じて任意
に制御しうろこと、ならびに、高電圧電源の周波数およ
び出力を最適レベルに調整しうるものであることが望ま
しい、また、タイマーの設定により高電圧出力の時間を
任意に設定することによって、処理時間を一定に制御し
うろことが望ましい。
電圧が通常１０〜５０ｋＶ、好ましくは１０〜３０に■
であり、周波数が１〜１００ｋＨｚであるのが好ましい
。電源出力は、目的に応じて適宜に選択すればよい。電
源回路としては、従来公知のものが使用可能であるが、
プラズマの発生をもたらす放電電流を負荷に応じて任意
に制御しうろこと、ならびに、高電圧電源の周波数およ
び出力を最適レベルに調整しうるものであることが望ま
しい、また、タイマーの設定により高電圧出力の時間を
任意に設定することによって、処理時間を一定に制御し
うろことが望ましい。
放電部に送られる気体は、たとえば、空気、窒素、酸素
、炭酸ガス、−酸化炭素、アンモニア。
、炭酸ガス、−酸化炭素、アンモニア。
窒素酸化物、ハロゲン化炭素、ハロゲン化炭化水素、ビ
ニル化合物、アルゴン、ヘリウムなどを表面処理の目的
に応じてそれぞれ単独で１．または、２種以上混合して
用いることができる。また、これらの気体は、大気圧下
あるいはわずかな減圧下で用いられるが、さらに減圧あ
るいは加圧状態下で用いられてもよい。気体の温度も、
種々の温度を適宜選択すればよい。操作の簡便さや生産
効率の点からは、常温常圧の空気を用いるのがもつとも
好ましい。
ニル化合物、アルゴン、ヘリウムなどを表面処理の目的
に応じてそれぞれ単独で１．または、２種以上混合して
用いることができる。また、これらの気体は、大気圧下
あるいはわずかな減圧下で用いられるが、さらに減圧あ
るいは加圧状態下で用いられてもよい。気体の温度も、
種々の温度を適宜選択すればよい。操作の簡便さや生産
効率の点からは、常温常圧の空気を用いるのがもつとも
好ましい。
気体を放電部に送る手段としては、ポンプ、送風機など
が用いられる。
が用いられる。
活性気体を被処理物に噴射する手段も、ポンプ、送風機
などが用いられたり、あるいは、放電部に送られた勢い
でそのまま噴射してもよい。
などが用いられたり、あるいは、放電部に送られた勢い
でそのまま噴射してもよい。
気体の通路が設けられていると、効率がよ（なり好まし
い。気体の通路の形状も、特に限定されないが、例をあ
げると、筒状体（断面は、円形。
い。気体の通路の形状も、特に限定されないが、例をあ
げると、筒状体（断面は、円形。
楕円形、多角形などがあり、特に限定されない。
）、箱状体などがある。通路は、励起電極と対向−電極
とのみで形成されてもよいが、前記両電極に挟まれた誘
電体で形成されてもよい。すなわち、たとえば、誘電体
が筒状体あるいは箱状体であって、その内面に励起電極
が、外面に対向電極が設けられたような構造であっても
よいのである。また、通路となる筒状体の軸付近に励起
電極等の放電部が設けられた場合のごとく、電極の周囲
を取り囲むように電極と別個に通路が形成されていても
よい。
とのみで形成されてもよいが、前記両電極に挟まれた誘
電体で形成されてもよい。すなわち、たとえば、誘電体
が筒状体あるいは箱状体であって、その内面に励起電極
が、外面に対向電極が設けられたような構造であっても
よいのである。また、通路となる筒状体の軸付近に励起
電極等の放電部が設けられた場合のごとく、電極の周囲
を取り囲むように電極と別個に通路が形成されていても
よい。
被処理物としては、たとえば、プラスチックス製品、繊
維製品１紙、木材、金属などの成形物、あるいは、金属
粉、金属酸化物粉、顔料などの粉末などがあるが、これ
らに限定されない。
維製品１紙、木材、金属などの成形物、あるいは、金属
粉、金属酸化物粉、顔料などの粉末などがあるが、これ
らに限定されない。
表面処理の目的としては、上記成形物の表面密着性、塗
布性、接着性、ぬれ性、耐久性その他の特性の改良、あ
るいは、上記粉末のぬれ性１分散性などの緒特性の改良
などがあるが、これらに限定されない。
布性、接着性、ぬれ性、耐久性その他の特性の改良、あ
るいは、上記粉末のぬれ性１分散性などの緒特性の改良
などがあるが、これらに限定されない。
′ 気体の噴射口および被処理物のいずれか
一方あるいは両方が、相対的に定速移動するようになっ
ていれば、被処理物が複雑な形状であっも、容易に迅速
かつ均一に活性化処理することができる。
一方あるいは両方が、相対的に定速移動するようになっ
ていれば、被処理物が複雑な形状であっも、容易に迅速
かつ均一に活性化処理することができる。
送気風速、噴射風速は、印加電圧２周波数、被処理物の
種類などによって変化するので、適宜選択すればよい。
種類などによって変化するので、適宜選択すればよい。
また、表面処理時間も印加電圧。
周波数、被処理物の種類、送気風速、噴射風速。
処理目的などによって変化するので、適宜選択すればよ
い。
い。
以下では、この発明の表面処理法を、これを実施するの
に便利な装置の例を示す図に基づいて詳しく説明する。
に便利な装置の例を示す図に基づいて詳しく説明する。
第１図は、その装置の第１の例に用いる電極ユニットの
例である。同図に見るように、この電極ユニット１は、
励起電極２と対向電極３とがシート状の誘電体４を挟ん
でおり、両電極間には、高電圧電源５が接続されている
。励起電極２は、誘電体４が露出するように、格子状に
なっている。
例である。同図に見るように、この電極ユニット１は、
励起電極２と対向電極３とがシート状の誘電体４を挟ん
でおり、両電極間には、高電圧電源５が接続されている
。励起電極２は、誘電体４が露出するように、格子状に
なっている。
対向電極３は、シート状であり、アースされてい勺
る。
第２図は、その装置の第１の例である。同図に見るよう
に、箱状体６内には気体の通路が設けられている。この
箱状体６は、第１図に示すような電極ユニツ）１．１が
向かい合う１組の側壁となり、それぞれ励起電極２．２
倒が箱状体６の内面になるようにして形成されている（
第３図＋８）参照）。箱状体６の上部底面７には、送気
口８が設けられ、送風機（図示省略）から送られる気体
を導く管９が送気口８に接続されている０箱状体６の下
部底面は、開口しており、噴射口ｌＯとなっている。も
う１組の向かい合う側壁は、別の誘電体で形成されてい
る（第３図（ｂ）参照）が、これも前記電極ユニットと
同様のもので形成されてもよい送気口８から箱状体６に
入った気体は、放電部を通過する際に活性化され、その
まま噴射口１０から噴射されて被処理物１１にあたり、
その表面を活性化する。なお、第２図、第３図（ａｌ、
（ｂ）中矢印は、気体の流れる方向を示している。
に、箱状体６内には気体の通路が設けられている。この
箱状体６は、第１図に示すような電極ユニツ）１．１が
向かい合う１組の側壁となり、それぞれ励起電極２．２
倒が箱状体６の内面になるようにして形成されている（
第３図＋８）参照）。箱状体６の上部底面７には、送気
口８が設けられ、送風機（図示省略）から送られる気体
を導く管９が送気口８に接続されている０箱状体６の下
部底面は、開口しており、噴射口ｌＯとなっている。も
う１組の向かい合う側壁は、別の誘電体で形成されてい
る（第３図（ｂ）参照）が、これも前記電極ユニットと
同様のもので形成されてもよい送気口８から箱状体６に
入った気体は、放電部を通過する際に活性化され、その
まま噴射口１０から噴射されて被処理物１１にあたり、
その表面を活性化する。なお、第２図、第３図（ａｌ、
（ｂ）中矢印は、気体の流れる方向を示している。
第４図は、この発明の表面処理法を実施するための装置
の第２の例に用いる電極ユニットの例である。同図にみ
るように、この電極ユニット２１は筒形であり、励起電
極２２が内側から、対向電極２３が外側から、円筒状の
誘電体２４査挟んでなっている。両電極２２．２３間に
は、高電圧電源（図示省略）が接続されている。励起電
極２２はコイル状、対向電極２３はネット状の形状であ
る。筒の一端開口部が送気口２５、他端開口部が噴射口
２６である。
の第２の例に用いる電極ユニットの例である。同図にみ
るように、この電極ユニット２１は筒形であり、励起電
極２２が内側から、対向電極２３が外側から、円筒状の
誘電体２４査挟んでなっている。両電極２２．２３間に
は、高電圧電源（図示省略）が接続されている。励起電
極２２はコイル状、対向電極２３はネット状の形状であ
る。筒の一端開口部が送気口２５、他端開口部が噴射口
２６である。
第５図は、第２の例の装置である。同図に見るように、
電極ユニット２１が粉体処理容器である丸底フラスコ２
７の首２８の中にその軸方向に納められており、電極ユ
ニット２１の誘電体２４の一端が、丸底フラスコ２７の
首２８の先端を貫き外部へ延びており、送風機（図示省
略）に接続している。丸底フラスコ２７の首２８の側部
には、排気口２９が設けられている。丸底フラスコの首
２８と電極ユニット２１との間は、気体の通路となって
いてフィルタ３０を介して排気口２９に通じている。丸
底フラスコ２７の中には、被処理物である粉体３１が入
れられている。送風機がら送られできた気体は、送気口
２５から電極ユニット２１に入り、放電部へ送られる。
電極ユニット２１が粉体処理容器である丸底フラスコ２
７の首２８の中にその軸方向に納められており、電極ユ
ニット２１の誘電体２４の一端が、丸底フラスコ２７の
首２８の先端を貫き外部へ延びており、送風機（図示省
略）に接続している。丸底フラスコ２７の首２８の側部
には、排気口２９が設けられている。丸底フラスコの首
２８と電極ユニット２１との間は、気体の通路となって
いてフィルタ３０を介して排気口２９に通じている。丸
底フラスコ２７の中には、被処理物である粉体３１が入
れられている。送風機がら送られできた気体は、送気口
２５から電極ユニット２１に入り、放電部へ送られる。
そこで活性気体となり、噴射口２６から噴射されて粉体
３１を攪拌しながら、活性化したのち、フィルタ３０を
通って排気口２９から排出される。なお、丸底フラスコ
２７は、モータ（図示省略）によりベルト（図示省略）
を介して首２８の軸を中心にして回転できるようになっ
ている。電極ユニット２１は、丸底フラスコ２７が回転
しても動かないようになっている。なお、図中の矢印は
、気体の流れる方向を示している。
３１を攪拌しながら、活性化したのち、フィルタ３０を
通って排気口２９から排出される。なお、丸底フラスコ
２７は、モータ（図示省略）によりベルト（図示省略）
を介して首２８の軸を中心にして回転できるようになっ
ている。電極ユニット２１は、丸底フラスコ２７が回転
しても動かないようになっている。なお、図中の矢印は
、気体の流れる方向を示している。
以下に、具体的実施例をあげて、この発明の表面処理法
の有用性をさらに詳しく説明するが、この発明は、これ
らの実施例によって何ら限定されるものではない。
の有用性をさらに詳しく説明するが、この発明は、これ
らの実施例によって何ら限定されるものではない。
（実施例１）
第１図に示すような、厚み０．５ｆｉのセラミックア
板に励起電極および対向電極を備え付３すで
１乍製した電極ユニット２枚を第３図（ａ）、 （ｂ）
に示すように、間隔Ａを５鶴２幅Ｂを１３ｃｍとして作
製した第２図の装置を使用してポリプロピレンシートの
表面処理を行った。ポリプロピレンシートを噴射口より
１ａｍの間隔（第３図（ａ）、 （ｂ）で間隔Ｃ）に保
ち、５ｋＨｚ、２５ｋＶの電圧を印加し、空気雰囲気下
で、放電し発生した活性気体をポリプロピレンシートに
噴射することにより、表面処理を行った表面処理された
ポリプロピレンシートに、２液型ポリウレタンをスプレ
ー塗布し、接着性を１８０°ハクリ強度で評価した。結
果を第１表に示す、なお、未処理物に対するハクリ強度
は２０ｇ／備以下であった。したがって、この装置を用
いた表面処理により、被処理物のハクリ強度すなわち、
接着性が顕著に向上していることがわかる。
板に励起電極および対向電極を備え付３すで
１乍製した電極ユニット２枚を第３図（ａ）、 （ｂ）
に示すように、間隔Ａを５鶴２幅Ｂを１３ｃｍとして作
製した第２図の装置を使用してポリプロピレンシートの
表面処理を行った。ポリプロピレンシートを噴射口より
１ａｍの間隔（第３図（ａ）、 （ｂ）で間隔Ｃ）に保
ち、５ｋＨｚ、２５ｋＶの電圧を印加し、空気雰囲気下
で、放電し発生した活性気体をポリプロピレンシートに
噴射することにより、表面処理を行った表面処理された
ポリプロピレンシートに、２液型ポリウレタンをスプレ
ー塗布し、接着性を１８０°ハクリ強度で評価した。結
果を第１表に示す、なお、未処理物に対するハクリ強度
は２０ｇ／備以下であった。したがって、この装置を用
いた表面処理により、被処理物のハクリ強度すなわち、
接着性が顕著に向上していることがわかる。
第１表
（実施例２）
第５図に示した装置を用いて、キナクリドン顔料の表面
処理を行った。
処理を行った。
キナクリドン顔料３０重量部（以下「部」と略す）を丸
底フラスコに入れ、フラスコを３Ｏｒｐｍで回転させた
。電極ユニットに５ｋＨｚ、２５ｋＶの電圧を印加し送
気口より空気を流入させ空気雰囲気下で放電し発生した
活性気体をキナクリドン顔料に噴射して表面処理を行っ
た。
底フラスコに入れ、フラスコを３Ｏｒｐｍで回転させた
。電極ユニットに５ｋＨｚ、２５ｋＶの電圧を印加し送
気口より空気を流入させ空気雰囲気下で放電し発生した
活性気体をキナクリドン顔料に噴射して表面処理を行っ
た。
処理された顔料２０部にヤシ油変性アルキッド樹脂（酸
価８．水酸基価８０．固形分６０重量％）４０部、溶剤
としてツルペッツ−１００（エッソスタンダード社製）
４０部を加え、ＳＧミルで４時間分散して、分散ペース
トを製造した。未処理顔料、３０分処理顔料、６０分処
理顔料についての各分散ペーストの粘度およびＣａ５ｓ
ｏｎＯ式から求めた降伏値を第２表に示す。粘度はコー
ンプレート型粘度計（Ｅ型粘度計、東京計器側）を用い
て測定した。
価８．水酸基価８０．固形分６０重量％）４０部、溶剤
としてツルペッツ−１００（エッソスタンダード社製）
４０部を加え、ＳＧミルで４時間分散して、分散ペース
トを製造した。未処理顔料、３０分処理顔料、６０分処
理顔料についての各分散ペーストの粘度およびＣａ５ｓ
ｏｎＯ式から求めた降伏値を第２表に示す。粘度はコー
ンプレート型粘度計（Ｅ型粘度計、東京計器側）を用い
て測定した。
（以 下 余 白）
第２表
※ ずり速度 １９．２ （ｓｅｃ−＋３第２表にみる
ように、分散品の粘度３降伏値とも大幅に低下しており
、良好な分散系を示していることがわかる。この発明の
表面処理法によれば、粉末の分散性が改善されているの
がわかる。
ように、分散品の粘度３降伏値とも大幅に低下しており
、良好な分散系を示していることがわかる。この発明の
表面処理法によれば、粉末の分散性が改善されているの
がわかる。
この発明の表面処理法は、以上にみてきたように、励起
電極と対向電極との間に高電圧を印加して放電させ、そ
の放電部に気体を送り、発生した活性気体を被処理物に
噴射するようにしているので、工程が簡単であり、複雑
な形状の被処理物でも迅速かつ均一に表面処理でき、常
温常圧で行えるので被処理物の種類、形状あるいは処理
時間が制約されず、この処理法を実施する装置も大型化
したり複雑になったりしない。
電極と対向電極との間に高電圧を印加して放電させ、そ
の放電部に気体を送り、発生した活性気体を被処理物に
噴射するようにしているので、工程が簡単であり、複雑
な形状の被処理物でも迅速かつ均一に表面処理でき、常
温常圧で行えるので被処理物の種類、形状あるいは処理
時間が制約されず、この処理法を実施する装置も大型化
したり複雑になったりしない。
第１図は、この発明を実施するための装置の第１の例に
用いる電極ユニットの斜視図、第２図は、この発明を実
施するための装置の第１の例の斜視図、第３図（ａｌ、
（ｂｌは、この発明を実施するための装置の第１の例
の断面図、第４図は、この発明を実施するための装置の
第２の例に用いる電極ユニットの斜視図、第５図は、こ
の発明を実施するための装置の第２の例の断面図である
。 ２．２２・・・励起電極 ３，２３・・・対向電極 ４
．２４・・・誘電体 ５・・・高電圧電源 ８，２５・
・・送気口 １０．２６・・・噴射口 １１・・・被処
理物 ３１・・・被処理物である粉体 代理人 弁理士 松 本 武 音 用１図 第２図 第３図（ａ） 第３図（ｂ）
用いる電極ユニットの斜視図、第２図は、この発明を実
施するための装置の第１の例の斜視図、第３図（ａｌ、
（ｂｌは、この発明を実施するための装置の第１の例
の断面図、第４図は、この発明を実施するための装置の
第２の例に用いる電極ユニットの斜視図、第５図は、こ
の発明を実施するための装置の第２の例の断面図である
。 ２．２２・・・励起電極 ３，２３・・・対向電極 ４
．２４・・・誘電体 ５・・・高電圧電源 ８，２５・
・・送気口 １０．２６・・・噴射口 １１・・・被処
理物 ３１・・・被処理物である粉体 代理人 弁理士 松 本 武 音 用１図 第２図 第３図（ａ） 第３図（ｂ）
Claims (7)
- （１）励起電極と対向電極との間に高電圧を印加して放
電させ、その放電部に気体を送り、発生した活性気体を
被処理物に噴射してその被処理物表面を活性化処理する
表面処理法。 - （２）励起電極と対向電極とが誘電体を挟んでいる特許
請求の範囲第１項記載の表面処理法。 - （３）誘電体が、気体の送気口、通路、および、噴射口
をそれぞれ有する形状であり、誘電体の内面に励起電極
が、外面に対向電極がそれぞれ配置されている特許請求
の範囲第２項記載の表面処理法。 - （４）気体の送気口、通路、および、噴射口をそれぞれ
有する形状が円筒形である特許請求の範囲第３項記載の
表面処理法。 - （５）気体の送気口、通路、および、噴射口をそれぞれ
有する形状が箱形である特許請求の範囲第３項記載の表
面処理法。 - （６）気体の噴射口が被処理物に対し、相対的に定速移
動する特許請求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに
記載の表面処理法。 - （７）放電が、プラズマ放電であり、この放電電流を一
定値に制御しうる安定化電源を備えている特許請求の範
囲第１項ないし第６項のいずれかに記載の表面処理法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23773584A JPS61118136A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 表面処理法 |
| EP85307422A EP0178907A3 (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Activation apparatus and method |
| CA000492963A CA1276908C (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Excitation apparatus with discharge between opposing electrodes separated by dielectric member |
| AU48595/85A AU582590B2 (en) | 1984-10-15 | 1985-10-15 | Activation apparatus |
| AU18567/88A AU601856B2 (en) | 1984-10-15 | 1988-06-30 | Activation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23773584A JPS61118136A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 表面処理法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61118136A true JPS61118136A (ja) | 1986-06-05 |
| JPH0142743B2 JPH0142743B2 (ja) | 1989-09-14 |
Family
ID=17019696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23773584A Granted JPS61118136A (ja) | 1984-10-15 | 1984-11-12 | 表面処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61118136A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331536A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-10 | Natl Res Inst For Metals | プラズマ気相反応による微粒子製造装置 |
| US6670766B2 (en) | 2000-06-06 | 2003-12-30 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Plasma treatment apparatus and plasma treatment method |
| WO2006111027A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-10-26 | Shawcor Ltd. | Bondably coated metallic member |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57209935A (en) * | 1981-06-18 | 1982-12-23 | Hashimoto Forming Co Ltd | Treatment of plastic molding with plasma generator |
| JPS5827937A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-18 | ハイドロ−ケベツク | 化学的及び冶金学的利用のための移行ア−ク式プラズマ反応器 |
| JPS5932937A (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-22 | Sankyo Dengiyou Kk | イオンガン |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP23773584A patent/JPS61118136A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS57209935A (en) * | 1981-06-18 | 1982-12-23 | Hashimoto Forming Co Ltd | Treatment of plastic molding with plasma generator |
| JPS5827937A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-18 | ハイドロ−ケベツク | 化学的及び冶金学的利用のための移行ア−ク式プラズマ反応器 |
| JPS5932937A (ja) * | 1982-08-16 | 1984-02-22 | Sankyo Dengiyou Kk | イオンガン |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0410376B2 (ja) * | 1986-07-25 | 1992-02-25 | ||
| US6670766B2 (en) | 2000-06-06 | 2003-12-30 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Plasma treatment apparatus and plasma treatment method |
| WO2006111027A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-10-26 | Shawcor Ltd. | Bondably coated metallic member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0142743B2 (ja) | 1989-09-14 |
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