JPS61117401A - 磁気スケ−ルの製造方法 - Google Patents

磁気スケ−ルの製造方法

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JPS61117401A
JPS61117401A JP23968584A JP23968584A JPS61117401A JP S61117401 A JPS61117401 A JP S61117401A JP 23968584 A JP23968584 A JP 23968584A JP 23968584 A JP23968584 A JP 23968584A JP S61117401 A JPS61117401 A JP S61117401A
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JP
Japan
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sheet
magnetic
stage
aging
scale
Prior art date
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Pending
Application number
JP23968584A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Yoshida
裕 吉田
Tetsuo Hattori
徹夫 服部
Yasushi Kaneda
安司 金田
Yasushi Ono
康 大野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明は、リニアまたはロータリー磁気エンコーダに使
用される長尺状または円板状の磁気スケールの新規な製
造方法に関するものである。
(発明の背景) リニアまたはロータリー磁気エンコーダは、長尺状また
は円板状の磁気スケールとそのスケールに刻まれた磁気
目盛を読み取るための磁気ヘッドからなり、磁気スケー
ルは、長尺状または円板状の磁性材料に長手方向または
円周方向に沿って所定ピンチで着磁することにより磁気
目盛を刻んだものである。
従来、磁気目盛の磁化の方向は、水平方向つま    
第6り板面内であったが、最近、目盛の高宏度化を目的
として垂直方向つまり板厚方向に磁化すること    
のUが提案されたく特開昭56−29115号公報参 
″   さt照)、(資 そして、前記特開昭56−29115号公報に    
 4開示された製造方法によれば、主として加工の容 
   ルC易なスピノーダル分解型のFe −Cr −
Co系磁性材料     (情を用いて、この磁性材料
の鋳造物を、           オ第1工程:圧延
により薄板とする工程         気道に付した
後、順序は問わないが、           理さ第
2工程:所定形状に切断する工程          
化層第3工程;溶体化処理工程           
   磁りに付し、その後、順次          
     摺V第4工程:前記所定形状の薄板の板厚方
向に磁場    着磁を印加した状態で加熱する磁気異
方性    効等化処理工程            
    去す第5工程二時効工程          
       太き工程:前記所定形状の薄板の板厚方
向に磁化を示す磁気目盛を着磁する工程 1工程に付すことにより、磁気スケールが製造、るので
ある。
1明の目的) 発明の・目的は、このような従来の磁気スケ−製造方法
を改良することにある。
1明の概要) 発明者らは、鋭意研究の結果、第4工程=磁・方性化処
理および第5工程二時効工程で熱処れた際に表面に薄く
酸化層が生成し、この酸が、(イ)磁気特性を低下させ
、また(口)目盛の高密度化を妨げ、更に(ハ)ヘッド
をさせた際にヘッドを著しく摩耗し、その結果のとき並
びにスケールとして使用したときのを低下させることを
発見し、この酸化層を除ることにより、磁気スケールと
しての性能が(向上することを見い出し、本発明を成す
にて処理して磁気スケールを製造する。
第1工程:圧延加工により例えば厚さ0.3〜3Il1
11の薄尋反とする。
第2工程二前記薄板を例えば長さ50〜1000mmの
長尺状または例えば直径10〜50mpmの円板状に切
断する。
第3工程;長尺状または円板状の薄板を例えば約too
o〜1300℃で約20〜40分加熱することにより溶
体化処理を行う、溶体化処理は、(イ)次の磁気異方性
化処理の際のスピノーダル分解のための均一化を目的と
して行うが、(ロ)圧延により、薄板の板面方向に磁気
異方性が形成され、その結果、後の工程で垂直磁化目盛
を着磁することが難しくなるので、この板面方向の磁気
異方性を消去する目的でも行なう。
第4工程:前記薄板を板厚方向に例えば約3000〜4
000エルステツドの磁場を印加した状態で例えハes
o〜690℃に30〜60分加熱することにより磁気異
方性化処理を行う。
第5工程:磁気異方性化処理工程の後、室温まで戻すこ
となく、そのまま多段時効の第1段階部度例えば620
℃にまで放冷し、或いは一旦室温まで冷却した後、例え
ば 第1段階:620℃×1時間 第2段階:600℃×1時間 第3段階=580℃×1時間 第4段階=560℃×1時間 第5段階二540℃×4時間 の如き多段時効、或いは 第1段階:600℃×2時間 第2段階:580℃×4時間 の如き多段時効を行う0時効は多段時効に限ることなく
場合により1段の時効でもよい。
また時効の条件は磁性合金の組成で多少変わってくる。
第6工程:時効処理された長尺状または円板状薄板に青
磁用の磁気へラドを用いて第1図に示すように所定ピッ
チ例えば10〜1(10ミクロンのピッチで板厚方向に
磁気目盛を着磁する。なお、611化の向きは一目盛ご
とに上向き下向きに変える。
こうして得られた磁気スケールは、本発明者らの知見に
よると、表面に黒色に近い薄い酸化層を存しており、こ
の酸化層の厚さは5〜50ミクロンに達し、そしてこの
酸化層は主として異方性化処理および時効処理によって
生成することがわかった。
そこで本発明では、第5工程と第6工程との間に、第7
工程として表面酸化層を除去する工程を設ける0表面酸
化層の除去は、ここでは精密研磨用の砥石を用いて研磨
することにより行なう。
その後、ここではポリッンング加工により表面粗さを0
.01−0.5ミクロンの鏡面に近い平滑面に仕上げる
こうして得られた磁気スケールは、酸化層の除去前は、
目盛が140ミクロンのピッチより細かくなると正確な
目盛を刻むことができなかったのに対して、本発明に従
い研削、ラッピング加工を行った後は、10ミクロンま
でのピッチで正確な目盛を形成することができた。
(発明の効果) 以上のとおり、本発明によれば、表面酸化層を研削除去
することにより、磁気スケールの磁気特性が向上し、そ
の結果、より細かいピッチで目盛を精度よく刻むことが
でき、そのためエンコーダとしての分解能が格段に向上
する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、所定形状の薄板状磁性材料に板厚方向に磁気
目盛を着磁する方法を示す慨念図である。 〔主要部分の符号の説明〕

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 永久磁性材料の鋳造物を、 第1工程:圧延により薄板とする工程 に付した後、順序は問わないが、 第2工程:所定形状に切断する工程 第3工程:溶体化処理工程 に付し、その後、順次 第4工程:前記所定形状の薄板の板厚方向に磁場を印加
    した状態で加熱する磁気異 方性化処理工程 第5工程:時効工程 第6工程:前記所定形状の薄板の板厚方向に磁化を示す
    磁気目盛を着磁する工程 の諸工程に付すことにより磁気スケールを製造する方法
    に於いて、 前記第5工程と第6工程との間に 第7工程として表面酸化層を除去する工程を付加したこ
    とを特徴とする磁気スケールの製造方法。
JP23968584A 1984-11-14 1984-11-14 磁気スケ−ルの製造方法 Pending JPS61117401A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002023255A1 (en) * 2000-09-15 2002-03-21 Ultimate Clip, Inc. Eyeglass accessory frame, eyeglass device, and method of forming a magnetic eyeglass appliance
US9136072B2 (en) 2009-10-09 2015-09-15 Mitsubishi Electric Corporation Indicator apparatus
US10072943B2 (en) 2011-03-03 2018-09-11 Rls Merilna Tehnika D.O.O. Method of scale substrate manufacture

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